DE69028270T2

DE69028270T2 - Belichtungssteuerung durch mehrere Strahlen

Info

Publication number: DE69028270T2
Application number: DE69028270T
Authority: DE
Inventors: Thomas D Macarthur
Original assignee: Xerox Corp
Current assignee: Xerox Corp
Priority date: 1989-10-13
Filing date: 1990-10-12
Publication date: 1997-02-20
Anticipated expiration: 2010-10-13
Also published as: EP0422956A2; JPH03139672A; EP0422956B1; DE69028270D1; US5251058A; EP0422956A3; JP2582182B2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft die Intensitätsmodulation eines Laserstrahls, der in einem elektronischen Drucker dazu dient, eine photoleitende Oberfläche zu belichten. Die Erfindung offenbart die Teilung eines Laserstrahls in zwei Strahlen, die separat moduliert und polarisiert werden. Diese beiden Strahlen werden dann wieder zusammengebracht und genutzt, um eine lichtempfindliche Oberfläche, wie beispielsweise eine xerographische Platte, zu belichten. Die Strahlen werden so wieder zusammengebracht, daß sie sich an genau der gleichen Position befinden, so daß ein Strahl mit mehrstufiger Intensität entsteht, der verwendet werden kann, um Hervorhebungsfarbe oder ein Graureihen-Ladungsmuster auf dem Photorezeptor zu erzeugen.
Bei einigen elektronischen Laserdruckern werden Abtastlaserlichtquellen eingesetzt, um einen Photoleiter in dem Laserdrucker zu entladen. Der Laserstrahl trifft auf den Photoleiter auf und entlädt ihn auf bekannte Weise selektiv, so daß ein Ladungsmuster auf der Oberfläche des Photoleiters in Form der zu druckenden Information verbleibt. Anschließend wird die Trommel mit Toner entwickelt, der auf ein Ausgabedokument übertragen wird. Ein normaler Laserdrucker ist vom AN/AUS-Typ, so daß keine Graureihenausgabe möglich ist. Das heißt, der Photoleiter ist entweder isolierend oder nach Belichtung mit Licht leitend. Mit neueren Photoleitern kann jedoch lediglich ein Teil der gespeicherten Ladung entladen werden. Dies macht Graureihenausgabe möglich, da mit unterschiedlichen Ladungspegeln unterschiedliche Mengen an Toner an dem Bereich haften können, so daß bei Übertragung des Bildes auf Papier oder ein anderes Medium ein Graureihenbild entsteht.
Daher ist es mitunter vorteilhaft, den Photoleiter wahlweise auf einen von mehreren verschiedenen Ladungspegeln zu entladen. Um dies mit einem Laserdruckkopf tun zu können, muß die Belichtung abgestuft werden, indem entweder die Intensität oder die Belichtungszeit des Abtaststrahls verändert wird. Das heißt, die Helligkeit des Abtaststrahls muß verändert werden können, um den Photoleiter mehr oder weniger zu entladen, oder die Abtastgeschwindigkeit des Strahls muß so gesteuert werden können, daß der Strahl je nach der gewünschten Rate der Entladung des Photorezeptors unterschiedlich lang an verschiedenen Ausgabepositionen verweilen kann. Da die Geschwindigkeit des Photoleiters durch den Abtastbereich des Druckers bzw. Kopierers aufgrund der Notwendigkeit synchroner Geschwindigkeiten normalerweise unveränderlich ist, muß gewöhnlich die Intensität des Laserstrahls verändert werden. Es sind jedoch Probleme bei der Modulation der Intensität bei der Bilddatengeschwindigkeit und bei der Aufrechterhaltung der erforderlichen einheitlichen Intensität auf jedem Niveau über das gesamte Format aufgetreten. Auch das Kombinieren von zwei oder mehr Strahlen zur Herstellung eines Strahls mit veränderlicher Intensität ist schwierig, da es zu Interferenzen zwischen zwei nahe beieinanderliegenden Strahlen kommt, wodurch "Artefakte" oder Muster auf der Ausgabekopie entstehen.
EP-A-0 299 455 offenbart einen Strahlenmodulator in einer Laserbelichtungsvorrichtung, wobei in dem Modulator der Ausgangsstrahl in zwei Strahlen aufgeteilt wird, die jeweils in Reihen von Strahlen "mehrfach geteilt" werden. Diese beiden Gruppen von Strahlen werden separat moduliert, in Orthogonalpolarisation gebracht und zusammengeführt. Schließlich wird die zusammengeführte Gruppe von Strahlen auf einen Punkt fokussiert.
US-A-4 733 252 offenbart ein System, bei dem ein Ausgangsstrahl in zwei orthogonal polarisierte Strahlen aufgeteilt wird, die separat moduliert, jedoch nicht zusammengeführt werden.
Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren der Strahlintensitätsmodulation unter Verwendung von Hochleistungsdruckköpfen. Die Erfindung schafft einen intensitätsmodulierten Strahl, indem der Ausgangsstrahl in zwei Strahlen aufgeteilt wird, die unabhängig voneinander moduliert werden. Anschließend werden die Strahlen nach der Modulation zusammengebracht, so daß ein Strahl entsteht, der so gesteuert werden kann, daß er auf der Photorezeptorebene ein beliebiges von drei Intensitätsniveaus hat. Es kommt nicht zu optischer Interferenz, da die Strahlen in dem Aufteilschritt um 90º zueinander polarisiert werden. Dies führt zu einem mehrstufigen Hervorhebungsfarbe oder Graureihen-Ladungsmuster auf einem Photoleiter.
Die grundlegendste Form der vorliegenden Erfindung ist die Kombination aus einem Strahlenteiler, der den einzelnen Eingangsstrahl in zwei parallele Strahlen aufteilt, die um einen vorgegebenen Abstand und eine Polarisation von 90º voneinander getrennt sind, einem akusto-optischen(A/O)-Modulator, der die beiden Strahlen ohne nennenswertes Nebensprechen moduliert, und einer Strahlen-Zusammenführungseinrichtung, die die Strahlen wieder zusammenbringt. In dem Modulator wird auch Facettennachführung (facet tracking) erreicht, d.h., der Strahl folgt der momentanen Facette, wenn er durch seinen Bogen schwingt. Schließlich tritt keine Interferenz zwischen den beiden Strahlen auf, wenn sie letztendlich zusammengebracht werden, da sie an diesem Punkt um 90º versetzt polarisiert sind.
Ein Problem, das bei dieser Konstruktion nach wie vor besteht, ist, daß ein Strahl einen längeren Weg zurücklegt, und daher nicht beide Strahlen auf den gleichen Punkt fokussiert werden. In diesem Fall kann ein Doppelbrechungs-Einschnürungspositions-Kompensator (birefringent waist location compensator) verwendet werden, um die Einschnürungen wieder zusammenzubringen. Eine Alternative besteht darin, ein Halbwellenplättchen zwischen dem Modulator und der Strahlen-Zusammenführungseinrichtung einzusetzen. In diesem Fall wird ein Strahl in dem Strahlenteiler abgelenkt und der andere in der Zusammenführungseinrichtung abgelenkt. Daher werden beide Strahlen auf die gleiche Ebene fokussiert.
Bei allen obenstehenden Ausführungen ist ein polarisationsunempfindlicher Modulator erforderlich. Wenn ein polarisationsempfindlicher Modulator eingesetzt werden sollte, wäre für das System ein Halbwellenplättchen für einen Strahl zwischen dem Strahlenteiler und dem Modulator erforderlich, und ein weiteres für den anderen Strahl zwischen dem Modulator und der Zusammenführungseinrichtung. Bei dieser Konstruktion weisen die Strahlen an dem Modulator gleiche Polarisation auf.
Die Erfindung ist in den Ansprüchen dargelegt.
Für ein vollständigeres Verständnis der Erfindung kann auf die folgende ausführliche Beschreibung der Erfindung im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen zurückgegriffen werden, wobei:
Fig. 1 eine schematische Gesamtansicht einer Ausführung der Erfindung zeigt;
Fig. 2 die Ausführung in Fig. 1 mit einem Einschnürungs- Kompensator zeigt;
Fig. 3 eine Ausführung mit gleichen Strahlenweglängen zeigt;
Fig. 4 eine Ausführung zeigt, bei der zwei Halbwellenplättchen eingesetzt werden;
Fig. 5 ein Schema einer akusto-optischen Zelle ist, die bei der vorliegenden Erfindung eingesetzt wird;
Fig. 6 eine schematische Darstellung der Zelle in Fig. 5 ist;
Fig. 7 eine schematische Darstellung eines Strahlenteilers ist, der bei der Erfindung eingesetzt wird;
Fig. 8 eine schematische Darstellung einer Strahlen-Zusammenführungseinrichtung ist, die bei der Erfindung eingesetzt wird;
Fig. 9 eine Seitenansicht der Raster-Ausgabe-Abtastvorrichtung der Erfindung ist, und
Fig. 10 eine Draufsicht auf die in Fig. 9 dargestellte Abtastvorrichtung ist.
Fig. 1 stellt die grundlegendste Ausführung der Erfindung dar. Ein einzelner Strahl 20 tritt in einen Polarisationsstrahlenteiler 21 ein, der aus einem Material mit starker Doppelbrechung, beispielsweise Kalzit oder Rutil, besteht. Der Strahlenteiler 21 dient dazu, den einen Eingangsstrahl von einem Laser 30 in bezug auf die Ebene, die durch den auftreffenden Strahl und die Kristallachse gebildet wird, um 45º polarisiert in zwei orthogonal polarisierte und parallele Strahlen mit einem Austrittstrennungsabstand zu teilen, der dem Abstand zwischen den beiden Elektroden eines akusto-optischen(A/O) (oder Bragg)-Zellen-Modulators 22 entspricht.
Der Modulator 22 erfüllt zwei Funktionen: gleiche Facettennachführung für beide Strahlen zu ermöglichen, und die Strahlen unabhängig voneinander zu modulieren. Der Strahl wird entsprechend dem Datenstrom, der seinem Treiber eingegeben wird, an- und abgeschaltet und erreicht die photoleitende Oberfläche des Druckers, wobei er der momentanen Drehprismenfacette folgt. Schließlich werden die Strahlen durch eine Strahlen-Zusammenführungseinrichtung 23 zusammengebracht, so daß sie eine Abtastzeile mit mehreren Intensitätsniveaus bilden.
Ein Problem bei dieser Konstruktion besteht darin, daß der obere (in der Darstellung) Strahl 24 einen längeren (oder je nach dem Kristall und seiner Ausrichtung kürzeren) Weg zurücklegt als der untere Strahl 25. Daher tritt die Einschnürung (waist) des oberen Strahls links (rechts) von der des unteren Strahls 25 auf. Die Einschnürung ist der schmalste Teil des Strahls. Diese Einschnürungsverschiebung kann, wie in Fig. 2 dargestellt, mit einem Einschnürungs-Kompensator 26 korrigiert werden. Der Einschnürungs-Kompensator 26 weist unterschiedliche Lichtgeschwindigkeittransmissionen als Funktion der Polarisation auf, und verschiebt so die Einschnürung eines Strahls in bezug auf den anderen. Daher werden beide Strahlen auf den kleinstmöglichen Punkt auf der gleichen Ebene fokussiert.
In Fig. 3 ist eine Ausführung dargestellt, bei der die Einschnürungsverschiebung nicht kompensiert werden muß. Hier wird ein Halbwellenplättchen 27 zwischen dem Modulator 22 und der Strahlen-Zusammenführungseinrichtung 23 eingesetzt. Dies führt dazu, daß beide Strahlenwege gleiche Länge aufweisen.
Ein Problem aller obenstehenden Ausführungen besteht darin, daß eine polarisationsunempfindliche Ab-Zelle bevorzugt wird, so daß die gleiche Energiemenge zur Modulation von Strahlen jeder beliebigen Polarisation eingesetzt werden kann, und ein derartiges Zellenmaterial nicht immer für die optischen Wellenlängen und/oder Trägerfrequenzen zur Verfügung steht, die für das System erforderlich sind. Die in Fig. 4 dargestellte Ausführung gleicht die Polarisation beider Strahlen vor dem Eintritt in die A/O-Zelle 22 an. Dadurch kann ein polarisationsempfindliches Medium verwendet werden. Die Polarisation kann angeglichen werden, indem ein Halbwellenplättchen 28 in den Weg des unteren Strahls 25 vor der A/O-Zelle 22 eingesetzt wird, und ein zweites Halbwellenplättchen 29 in den Weg des oberen Strahls 24 hinter der A/O-Zelle 22. Dadurch weisen die Strahlen die gleiche Polarisation auf, wenn sie die A/O-Zelle passieren. Das Material der Halbwellenplättchen 28, 29 kann beispielsweise Kristallquarz sein, das für Licht mit 632,8 mm bestimmt ist.
Wenn der Strahl 40 aus der Zusammenführungseinrichtung 23 austritt, ist er, wie in Fig. 9 dargestellt, parallel zu der Systemmittellinie 41, jedoch oberhalb derselben. In einem optischen System ist es jedoch günstig, wenn der Austrittsstrahl mit dem Einlaß fluchtend ist. Daher ist ein Sagittalplättchen 42 vorhanden. Bei diesem Bauteil handelt es sich um ein rechteckiges Stück optisches Glas (feinvergütet, Grade A), das auf den Winkel eingestellt ist, der erforderlich ist, um den Strahl 40 auf die Mittellinie 41 nach unten zu bringen.
Bei diesem System ist der Strahl AUS, wenn der Modulator den Strahl nicht beugt, und der Strahl ist AN, wenn der gebeugte Strahl erster Ordnung genau entlang der Mittellinie 46 gerichtet ist. Diese Beziehungen sind in Fig. 10 dargestellt, die eine Draufsicht auf die Elemente in Fig. 9 darstellt und den Kollinearitätskeil (collinearity wedge) 45 darstellt. Dabei handelt es sich um ein nahezu rechteckiges Stück feinvergüteten optischen Glases (Grade A), bei dem eine Fläche um einen oder mehrere Grad von ihrer rechteckigen Fläche abweicht, und es ist so eingestellt, daß, wenn der Strahl 43 nicht von dem Modulator abgelenkt wird, er, wie dargestellt, nach unten abgewinkelt wird. Bei richtiger Einstellung ist der Strahl 44 erster Ordnung aus dem Modulator mit der Mittellinie 46 f luchtend.
Die A/O-Zelle 22 in Fig. 1-4 ist in Fig. 5 und 6 ausführlicher dargestellt. Der Hauptteil der Einheit ist ein akusto-optisches Medium 36, an dem ein piezoelektrischer akustischer Wandler 34 angebracht ist. Die Zelle weist zwei Erdelektroden 37 und zwei HF-Elektroden 35 aus im Vakuum aufgedampften Gold auf. Zwei HF-Signale werden von Drähten 33 zwischen Elektroden und Erde angelegt, so daß zwei akustische Felder 38 entstehen, die die Strahlen modulieren und auch Facettennachführung ermöglichen. Vor der Zelle ist eine Linse (nicht dargestellt) vorhanden, mit der die Strahlen in die Form der in Fig. 6 dargestellten Gauß'schen Punkte fokussiert werden, so daß der gesamte Strahl in dem akustischen Feld liegt. Die Drähte werden mit Ultraschall an den Goldelektroden angeschweißt und mit Perlen aus Epoxydharz verstärkt. Der Abstand zwischen den Elektroden muß wenigstens dem Mehrfachen der Elektrodenbreite entsprechen, um einander nicht überlagernde akustische Felder für jeden der optischen Strahlen zu erzeugen und unabhängige Modulation zu ermöglichen. Bei dem akusto-optischen Medium kann es sich um eines der Vielzahl optischer Gläser oder Einzelkristalle aus TeO&sub2;, LiNbO&sub3;, PbMoO&sub4;, GaP usw. handeln. Der Strahl erster Ordnung ist der, der als Ausgang für den verbleibenden Teil der Ausgabeabtastvorrichtung genutzt wird, so daß, wenn ein Feld an den Modulator angelegt wird, der Strahl AN ist. Wenn kein akustisches Feld vorliegt, ist der Strahl AUS. Darüber hinaus wird die Frequenz der angelegten Hochfrequenz verändert, um den Ablenkwinkel zu verändern. Dadurch ist Facettennachführung möglich.
Der Strahlenteiler 21 in Fig. 1 ist ein Polarisationsstrahlenteiler mit einer vorzugsweise starken Doppelbrechung, wie beispielsweise Kalzit, Rutil usw.. Diese Einheit wird verwendet, um einen auftreffenden Strahl, der in einem Winkel von 45º in bezug auf die Kristallachse auftrifft, in zwei orthogonal polarisierte parallele Strahlen mit einem End-Austrittstrennabstand zu teilen, der dem Abstand zwischen den beiden Elektroden an der Bragg-Zelle entspricht, wie dies in Fig. 7 dargestellt ist.
Wenn der Polarisationswinkel des Eingangsstrahls in bezug auf den Strahlenteiler bei 45º liegt, weisen die horizontal und die vertikal polarisierten Komponenten des Strahls gleiche Energie auf. Die beiden Ausgangsstrahlen haben somit die gleiche Energie, wobei dies der gewünschte Zustand ist. Zirkularpolarisation würde das gleiche bewirken.
Das gleiche Ergebnis ließe sich erzielen, wenn eine unpolansierte Quelle eingesetzt würde. Leider sind sogenannte "unpolarisierte Laser" nicht wirklich unpolarisiert, sondern erzeugen orthogonal polarisierte Strahlen, die leicht willkürliche bzw. "unkontrollierte" Polarisationseigenschaften aufweisen. Das Problem beim Einsatz eines derartigen Lasers besteht darin, daß die Intensitäten der orthogonal polarisierten Komponenten kein konstantes Verhältnis aufweisen, sondern sich ändern, eine Erscheinung, die allgemein als "Polarisationsrauschen" bezeichnet wird. Diese Art Laser könnte trotzdem eingesetzt werden, wenn die beiden Polarisationskomponenten in 45º in bezug auf den Strahlenteiler ausgerichtet würden. Jeder der beiden Ausgangsstrahlen enthält somit gleiche Komponenten des Polarisationsrauschens, die dazu neigen, sich aufzuheben. Jedoch besteht ein potentielles Problem nach wie vor darin, daß sich ohne spezielle Vorkehrungen bei der Konstruktion des Lasers der Winkel der beiden orthogonalen Komponenten mit der Zeit verändern und den Rauschaufhebungseffekt beeinträchtigen kann. Da Polarisationsrauschen und Polarisationswinkel bei polarisierten Lasern eine gute Stabilität aufweisen, werden derartige Laser gegenwärtig bevorzugt.
Um die ordnungsgemäße Ausrichtung des Laser-Polarisationswinkels zu erreichen, kann eine Einrichtung zum Drehen des Lasers in seiner Halterung vorhanden sein. Wenn jedoch die Laserdrehachse nicht konzentrisch zu der Strahlachse ist, führt das Drehen des Lasers zur Strahlfehlausrichtung. Ein zufriedenstellenderes Verfahren zum Ausrichten des Polarisationswinkels besteht im Einsetzen einer Halbwellen- oder Ganzwellen-Linearverzögerungseinrichtung (linear retarder) 30 in den Laserstrahl vor dem Strahlenteiler 21. Durch Drehung der Halbwellen-Verzögerungseinrichtung dreht sich der Polarisationswinkel mit der doppelten Geschwindigkeit, d.h., eine Drehung der Verzögerungseinrichtung um 2º bewirkt eine Drehung des Polarisationswinkels um 4º. Eine Ganzwellen-Verzögerungseinrichtung führt zu Drehung mit der gleichen Geschwindigkeit. Da beabsichtigt ist, eine Einstellung zu ermöglichen, durch die die Intensität der beiden Strahlen an dem Photorezeptor eng angeglichen wird, können andere Kombinationen von Verzögerungseinrichtungen, wie beispielsweise der Flüssigkristall- Polarisationsdreher, eingesetzt werden, um Drehung eines elliptisch polarisierten Strahls zu bewirken und so eine feinere Einstellung zu ermöglichen.
Ein weiterer Gesichtspunkt besteht darin, daß das Prisma Reflexionseigenschaften aufweist, die sich auf unterschiedliche Weise für das horizontal und das vertikal polarisierte Licht ändern, wenn sich der Einfallwinkel mit Drehung des Prismas ändert. Dadurch ändert sich das Verhältnis der Intensitäten der beiden Strahlen entlang der Abtastzeile. Wenn diese Änderungen nicht toleriert werden können, kann eine Viertelwellen- Verzögerungseinrichtung 31 in die beiden Strahlen hinter der Strahlen-Zusammenführungseinrichtung 23 eingesetzt werden, wobei ihre Achse in einem Winkel von 45º zur Achse der Strahlen- Zusammenführungseinrichtung verläuft. Dies dient dazu, die beiden linear, jedoch orthogonal polarisierten Strahlen in im Uhrzeigersinn und entgegen dem Uhrzeigersinn zirkular polarisierte Strahlen umzuwandeln. Drehung des Prismas beeinflußt beide Strahlen gleichermaßen, und das Intensitätsverhältnis bleibt über die gesamte Abtastung konstant. Eine Halbwellen- Verzögerungseinrichtung würde zum gleichen Ergebnis führen, wenn ihre Achse um 22,5º in bezug auf die Achse der Strahlen- Zusammenführungseinrichtung ausgerichtet wird. Diese Anordnung führt zu einer Drehung des Polarisationswinkels beider Strahlen um 45º, und wiederum werden beide Strahlen gleichermaßen von dem Prisma beeinflußt.
Die Strahlen-Zusammenführungseinrichtung 23 in Fig. 1 wird unmittelbar nach der Modulations-Beugung der beiden Strahlen eingesetzt. Sie weist den gleichen Aufbau auf wie der Strahlenteiler 21, ist jedoch umgekehrt angeordnet, so daß die Strahlen zusammenkommen und zu einem intensitätsmodulierten Strahl zusammengeführt werden. Dies ist in Fig. 8 dargestellt. Wenn die Zusammenführungseinrichtung aus Kalzit besteht, kann der Abstand zwischen Abtastzeilen wie gezeigt eingestellt werden, indem der Winkel der Zusammenführungseinrichtung in bezug auf den Strahl verstellt wird.

Claims

1. Modulator zum Modulieren eines Strahls (20), der umfaßt:

einen Polarisationsstrahlenteiler (21), der aus einem Material mit starker Doppelbrechung besteht und den Strahl in zwei parallele Strahlen (24,25) teilt, die um 90º versetzt polarisiert sind;

zwei Intensitätsmodulatoren (22), die die Intensität jedes Strahls einzeln und unabhängig modulieren; gekennzeichnet durch:

eine Zusammenführungseinrichtung (23), die die beiden Strahlen zusammenbringt, so daß sie kollinear sind und einen intensitätsmodulierten Ausgangsstrahl bilden, und eine Ausgleicheinrichtung, die wahlweise auf einen der beiden Strahlen einwirkt, um einige ihrer Parameter, jedoch nicht ihre Polarisationswinkel, einander gleich zu machen.

2. Modulator nach Anspruch 1, wobei die Ausgleicheinrichtung die Form eines Einschnürungs-Kompensators (26) hat, der stromab von der Zusammenführungseinrichtung angeordnet ist und die Durchlaßgeschwindigkeit des Strahls verringert, der den kürzeren Weg als den vom anderen Strahl durchquerten zurückgelegt hat, um die Einschnürungen beiden Strahlen auf den gleichen Punkt des Ausgangsstrahls zu bringen.

3. Modulator nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Ausgleicheinrichtung die Form einer Einrichtung hat, die an der stromauf gelegenen Seite des Strahlenteilers angeordnet ist und den Polarisationswinkel des Ausgangsstrahls vor seinem Auftreffen auf den Strahlenteiler einstellt, um die Energiemenge in jedem der Strahlen anzugleichen, die aus dem Strahlenteiler austreten.

4. Modulator nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Ausgleicheinrichtung die Form einer Halbwellen-Verzögerungseinrichtung hat, die stromab der Zusammenführungseinrichtung angeordnet ist und die Polarisation des zusammengeführten Strahls nach seinem Austreten aus der Zusammenführungseinrichtung um 45º dreht.

5. Modulator nach einem der vorangehenden Ansprüche, der einen Kollinearitätskeil (45) umfaßt, der stromauf von dem Strahlenteiler angeordnet ist und den Winkel des Ausgangsstrahls einstellt.

6. Modulator nach einem der vorangehenden Ansprüche, der eine optische Mittellinie hat und ein Sagittalplättchen (42) umfaßt, das stromab von der Zusammenführungseinrichtung angeordnet ist und den Abstand des zusammengeführten Strahls von der optischen Mittellinie einstellt.

7. Modulator nach einem der vorangehenden Ansprüche, der eine Einrichtung umfaßt, die stromab von der Zusammenführungseinrichtung angeordnet ist und den Ausgangsstrahl zirkular polarisiert.

8. Modulator nach Anspruch 7, wobei die Polarisationseinrichtung eine Viertelwellen-Verzögerungseinrichtung (31) umfaßt.

9. Modulator nach einem der vorangehenden Ansprüche, der eine Einrichtung umfaßt, die den Polarisationswinkel des zusammengeführten Strahls um 45º dreht.