DE683330C - Verfahren zur Herstellung von als lichtelektrisch empfindliches Organ bei Sperrschichtzellen dienenden Metallverbindungen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von als lichtelektrisch empfindliches Organ bei Sperrschichtzellen dienenden Metallverbindungen

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DE683330C
DE683330C DEA62021D DEA0062021D DE683330C DE 683330 C DE683330 C DE 683330C DE A62021 D DEA62021 D DE A62021D DE A0062021 D DEA0062021 D DE A0062021D DE 683330 C DE683330 C DE 683330C
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DE
Germany
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production
glow discharge
glow
metal compounds
discharge
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Expired
Application number
DEA62021D
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English (en)
Inventor
Dr Emil Rupp
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AEG AG
Original Assignee
AEG AG
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Publication date
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/16Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising cuprous oxide or cuprous iodide

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Description

Es ist bekannt, daß Metalloxyde, Sulfide, Selenide, Telluride und Metallhalogenide lichtelektrisch 'wirksam sind, wenn man sie mit Licht geeigneter Wellenlänge bestrahlt. S Diese Metallverbindungen verwendete man dabei zunächst in Form der in der Natur vorkommenden Kristalle. Man konnte die lichtelektrische Wirkung dadurch nachweisen, daß man den Kristall zwischen zwei Elektroden legte, von denen die eine zweckmäßig eine Spitze war, wie bei der gewöhnlichen Detektoranordnung, und die durch Licht im Innern des Kristalls ausgelösten Elektronen maß (innerer lichtelektrischer Effekt). Bei dieser Anordnung war man von natürlichen Kristallen abhängig.
Man stellte ferner Zellen her, indem man • die obengenannten lichtelektrischen Verbindungen auf einer Metallplatte durch deren Erhitzen in einer passenden Gas- oder Dampfatmosphäre aufwachsen ließ. Auf ihrer freien Oberfläche wurde eine Gegenelektrode etwa in Form einer lichtdurchlässigen dünnen Metallhaut aufgebracht, durch die hindurch die lichtelektrische Verbindung belichtet wurde (Sperrschichtzellen).
Die Erfindung bezieht sich nun auf ein besonders vorteilhaftes Verfahren zur Herstellung solcher als lichtelektrisch empfmdliches Organ bei Sperrschichtzellen dienenden Metallverbindungen. Das Verfahren gemäß der Erfindung besteht darin, daß das Trägermetall, dessen Verbindung hergestellt werden soll, in der Atmosphäre eines der Elemente der Sauerstoffgruppe oder der Halogengruppe von vermindertem Druck erhitzt wird und gleichzeitig eine Glimmentladung zwischen dem als Kathode geschalteten Trägermetall und einer zweiten in die Gas-(Dampf-) Atmosphäre gebrachten als Anode dienenden Elektrode hergestellt wird. Hierbei bildet sich eine dünne Schicht der entsprechenden Metallverbindung auf der Oberfläche des Trägermetalls aus. Die lichtelektrisch wirksame Schicht, deren Dicke vorzugsweise möglichst gering gehalten wird, etwa von der Größenanordnung 0,01 bis 0,001 mm, kann in bekannter Weise zwischen zwei Elektroden verwendet werden, wobei eine hohe lichtelektrische Empfindlichkeit erreicht wird.
Einige Ausführungsbeispiele seien erwähnt: Erhitztes Silberblech wird "in Schwefeldampf gebracht und eine Glimmentladung zwischen dem Silberblech und einer zweiten Elektrode erzeugt. Das Silberblech ist dabei als Kathode geschaltet, oder
Kupfer wird in Sauerstoff von etwa ο, ι mm Druck auf einige hundert Grad erwärmt und eine Glimmentladung wie im obigen Beispiel
*) Von dem Patentsucher ist als der Erfinder angegeben worden:
Dr. Emil Rupp in Leipzig.

Claims (3)

  1. hindurchgeschickt. Die Spannung während der Entladung beträgt beispielsweise 500 bis 1000V Gleichspannung. Ein äußerer Widerstand in der Größenanordnung io4Ohm
    grenzt den Glimmstrom.
    Gegenüber den bekannten Verfahren,
    denen die Erhitzung ohne zusätzliche Glimmentladung bzw. in Ätmosphärendruck vorgenommen wird, bietet das Verfahren gemäß der Erfindung verschiedene Vorteile. Da die Glimmentladung in der Dampf- (Gas-) Atmosphäre Jonen mit einfacher und doppelter Ladung sowie metastabile Atome bildet, die besonders aktionsfähig sind, kann die Erhitzungstemperatur beispielsweise von 1000 auf 600 bis 8oo° C herabgesetzt werden. Infolgedessen wird das Verfahren auch bei Metallen niedrigeren Schmelzpunktes anwendbar, die andernfalls verschmelzen würden. Ferner kann die Glühdauer erheblich verkürzt werden, wobei der geringe Aufwand an elektrischer Energie für die Glimmentladung nicht ins Gewicht fällt. Dagegen werden
    Heizungskosten gespart und die Herstellung wesentlich beschleunigt. Auch zeichnen sich as die so hergestellten Zellen durch große leichmäßigkeit der lichtelektrischen Eigenaften bei der Serienfabrikation aus.
    Patentansprüche: „ ■
    i. Verfahren zur Herstellung von als lichtelektrisch empfindliches Organ bei Sperrschichtzellen dienenden Metallverbindungen, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägermetall in der Atmosphäre eines Elementes der Sauerstoff- oder der Halogengruppe von vermindertem Druck erhitzt und gleichzeitig einer solchen Glimmentladung ausgesetzt wird, daß das Trägermetall als Kathode geschaltet ist.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Silber in Schwefel-, Selen- oder Tellurdampf behandelt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Kupfer in Sauerstoff oder einem Halogen behandelt wird.
DEA62021D 1930-12-03 1930-12-04 Verfahren zur Herstellung von als lichtelektrisch empfindliches Organ bei Sperrschichtzellen dienenden Metallverbindungen Expired DE683330C (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1034289B (de) * 1955-12-30 1958-07-17 Ct D Etudes Et De Dev De L Ele Verfahren zur Herstellung von Richtleitern, wie Photowiderstands-zellen und Trockengleichrichter
DE973156C (de) * 1948-03-25 1959-12-10 Hilger & Watts Ltd Verfahren zur Herstellung lichtelektrisch leitender Schichten fuer Photowiderstaende

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE973156C (de) * 1948-03-25 1959-12-10 Hilger & Watts Ltd Verfahren zur Herstellung lichtelektrisch leitender Schichten fuer Photowiderstaende
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