DE2152895C3 - Dünnschichtphotozelle und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents
Dünnschichtphotozelle und Verfahren zu ihrer HerstellungInfo
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 49
- BWFPGXWASODCHM-UHFFFAOYSA-N Copper monosulfide Chemical compound [Cu]=S BWFPGXWASODCHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 22
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 20
- FRLJSGOEGLARCA-UHFFFAOYSA-N Cadmium sulfide Chemical compound [S-2].[Cd+2] FRLJSGOEGLARCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 3
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 claims description 2
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L Copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 102200001731 SLC22A5 G12S Human genes 0.000 description 1
- 241000282898 Sus scrofa Species 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 230000004059 degradation Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- QDHHCQZDFGDHMP-UHFFFAOYSA-N monochloramine Chemical compound ClN QDHHCQZDFGDHMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003638 reducing agent Substances 0.000 description 1
- 230000002441 reversible Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
Die Erfindung betrifft eine Dünnschiehtphotozelle mit einer Cadmiumsulfidschicht und einer darauf
befindlichen Oberflächenschicht aus Kupfersulfid, bei der zur Kontaktierung der Kupfersulfidschieht eine
Elektrode vorgesehen ist sowie ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Dünnschichtphotozelle.
Zur Direktumwandlung von Licht in elektrischen
Strom werden vielfach einkristalline SiliziunizeUen verwendet die einen pn-übergang aufweisea Solche
Zellen haben einen Wirkungsgrad von mindestens i 1%.
wobei die Lebensdauer der Zellen für terrestrische Zwecke praktisch unbegrenzt ist Der Nachteil dieser
Zellen besteht darin, daß sie in der Herstellung relativ teuer sind und das Leistungsgewicht nicht beliebig
herabgesetzt werden kann.
Man ist daher bestrebt Photozellen zu entwickeln, die
notfalls auch auf Kosten des Wirkungsgrades wesentlich billiger und einfacher herzustellen sind. In dieser
Entwicklungsrichtung sind bekanntlich die polykristallinen Dünnschichtphotozellen am erfolgreichsten gewesen,
die als n-Typ-Halbleitergrundkörper Cadmiumsulfid
benutzen und die an der Oberfläche mit einer p-leitenden Schicht aus Kupfersulfid versehen werden.
Durch die US-PS 28 20 841 ist eine Dünnschiehtphotozelle
bekannt, die aus einem Trägerkörper, einer darauf aufgebrachten Cadmiumsulfidschicht und aus
einer auf der Cadmiumsulfidschicht befindlichen Oberflächenschicht aus Kupfersulfid bestehi. Die Oberflächenschidit
aus Kupfersulfid ist durch eine Elektrode kontiktiert, die aus einer Metallschicht besteht.
Weiterhin ist durch die US-PS 28 20 841 eine Dünnschiehtphotozelle
bekannt die aus einem Trägerkörper aus Kupfer, einer auf dem Kupferträgerkörper befindlichen
Kupfersulfidschieht und einer Oberflächenschicht aus Cadmiumsulfid besteht.
Da diese Photozellen nur aus einer etwa 20 bis 80 μπι
dicken Cadmiumsulfidschicht bestehen, haben die Zellen ein geringes Leistungsgewicht und sind in der Regel
flexibel. Da die Cadmiumsulfidschicht polykristallin auf eine Unterlage aufgedampft wird, können auf billige
Weise großflächige Photozellen hergestellt werden.
Bei der Dünnschiehtphotozelle auf CdS-Basis wurden bisher Umwandlungswirkungsgrade von etwa 6%
erreicht. Nachteilig wirkte sich die geringe Stabilität bei erhöhten Temperaturen aus.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Dünnschiehtphotozelle auf CdS-Basis
anzugeben, die einen erhöhten Wirkungsgrad aufweist und bei erhöhten Temperaturen stabil ist. Diese
Aufgabe wird bei einer Photozelle der eingangs erwähnten Art nach der Erfindung dadurch gelöst, daß
zwischen dieser Elektrode und der Kupfersulfidschieht eine zusätzliche Kupfer enthaltende Schicht angeordnet
ist, die dünn gegenüber der Kupfersulfidschieht ist.
Bei der Dünnschiehtphotozelle nach der Erfindung wird offenbar die stöchiometrische Zusammensetzung
der Kupfersulfidschieht wesentlich verbessert Die Kupfer enthaltende Oberflächenschicht besteht in einer
vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Anordnung vorzugsweise aus metallischem Kupfer. Mit
Hilfe der beschriebenen Maßnahme wird besonders dann eine Verbesserung des lichtelektrischen Wirkungsgrades
erzielt, wenn die KupfersUlfidsGhicht aus einem durch eine chemische Reaktion umgewandelten Oberflächenbereich
des Cadmiumsulfids besteht
Die erfindungsgemäße Photozelle und ein geeignetes Verfahren 2u ihrer Herstellung wird an Hand der Pig, I
bis 4 noch näher erläutert.
In der F i g. 1 ist im Schnitt eine fertig aufgebaute CdS-CmS-Cu-Dünnschichtphotözelle dargestellt Der
Trägerkörper 1 besteht beispielsweise aus Kunststoff und ist an der für die Aufnahme des Halbleiterkörpers
vorgesehenen Oberflächenseite mit Silber oder einem anderen gut leitenden Metall beschichtet (2). Auf den
Kunststoff-Trägerkörper wird eine etwa 20 bis 80 μΐη
dicke Cadmiumsulfidschicht aufgedampft Diese Cadmium-Sulfidschicht
3 ist η-leitend und weist beispielsweise einen spezifischen Widerstand im Bereich zwischen 1
und lOOOhracm auf. An der freien Oberfläche der
CdS-Schicht soll eine Kupfersulfidschicht erzeugt werden, die beispielsweise 500 bis 2690 Ä dick ist Dies
geschieht in vorteilhafter Weise dadurch, daß das Cadmiumsulfid nach einer vorangegangenen Oberflächenreinigung
in eine positive Kupferionen enthaltende Lösung eingetaucht wird. Eine solche Lösung besteht
beispielsweise aus Kupferchlorid, Ammoniumchlorid und einem Reduktionsmittel. In dieser Lösung, die
beispielsweise auf eine Temperatur von 900C erwärmt ist, wandelt sich die CdS-Schicht an der Oberfläche in
Kupfersulfid um. Die stöchiometrische Zusammensetzung dieser Kupfersulfidschicht ist für den photoelektrischen
Wirkungsgrad ausschlaggebend. Hierbei wird angestrebt, daß die Kupfersulfidschicht möglichst in
großen Bereichen aus G12S besteht und die anderen möglichen Kupfer-Schwefel-Verbindungen weitgehend
unterdrückt werden. Die Kupfersulfidschicht ist in der Fig. 1 mit der Ziffer 4 bezeichnet.
Im weiteren Verlauf des Herstellungsverfahrens kann nun die Photozelle zunächst einer Temperung unterworfen
werden, durch die ein dem bisherigen Stand der Technik entsprechender photoelektrischer Wirkungsgrad
in der Größenordnung von 5 bis 6% erzielt wird. Die bei dieser Behandlung notwendige Temperatur und
die Zeitdauer ihrer Einwirkung auf die Photozelle ist von der Stöchiometrie und der Struktur der Kupfersulfidschicht
abhängig. Die Photozellen werden beispielsweise bei einer Temperatur von etwa 2000C 10 Minuten
lang getempert.
Auf diese Zwischentemperung kann bei der Durchführung des Herstellungsverfahrens für eine Dünnschichtphotozelle
nach der Erfindung aber auch verzichtet werden. Nach der Erfindung wird auf die Kupfersulfidschicht eine weitere Kupfer enthaltende
Oberflächenschicht 5 aufgebracht. Diese Schicht besteht vorzugsweise aus metallischem Kupfer mit einer Dicke
von etwa 20 bis 30 A. Je dicker diese Schicht ist, desto länger muß die Halbleiteranordnung in einem nachfolgenden
Verfahrensschritt getempert werden, damit sich ein optimaler Wirkungsgrad der Zelle einstellt. Die
notwendige Temperzeit läßt sich durch Versuche leicht ermitteln. Es hat sich gezeigt, daß bei einer Kupfer-Schichtdicke
von etwa 20 bis 30 A Photozellen mit guten elektrischen Eigenschaften hergestellt werden
können, wobei sich der optimale lichtelektrische Wirkungsgrad nach einer Temperung von etwa 15
Minuten Dauer bei etwa 2000C einstellt. Die Temperung erfolgt beispielsweise in Luft oder im Vakuum. Der
Wirkungsgrad konnte bei einer Anordnung nach der Erfindung beispielsweise von 5,5 auf 7,3% gesteigert
werden. Die Ursache hierfür dürfte in der Verbesserung der stöchiometrischen Zusammensetzung der Kupfersulfidschicht
zu suchen sein.
Die Kupfer enthaltende zusätzliche Schicht 5 kann auf die Kupfersulfidoberfläche im Vakuum aufgedampft
oder chemisch oder galvanisch abgeschieden werden. Ferner läßt sich auf der Kupfersulfidschicht eine mit
Kupfer angereicherte Schicht dadurch erzeugen, daß die Anordnung in reduzierender Atmosphäre getempert
wird. Dies geschieht beispielsweise durch Behandlung der Kupfersulfidschicht im Glimmfeid in einer Wasser-
Zur Fertigstellung der Photozelle wird auf die Kupfer
enthaltende Oberflächenschicht 5 ein Kontaktgitter 6 aufgebracht, das beispielsweise aus Gold besteht und auf
die Oberfläche mit Hilfe eines geeigneten Klebemittels aufgeklebt wird. Danach wird eine mit einem lichtdurchlässigen
Kleber 7 beschichtete lichtdurchlässige Folie 8 auf die Halbleiteranordnung aufgelegt und mit dieser
verpreßL Dieser Verpressungsvorgang erfolgt bei einer Temperatur, bei der das Klebemittel plastisch wird, so
daß nach dem Abkühlen und Aushärten des Klebers Halbleiterkörper, Metallelektrode und Folie fest und
innig aneinanderhaften. Die lichtdurchlässige und aufgeklebte Folie 8 ist mit ihrem Rand mit der
Oberfläche des Trägerkörpers 1 verklebt, so daß die Dümischichtphotozelle allseitig gegen äußere Einflüsse
abgeschirmt ist
In der F i g. 2 ist die in der F i g. 1 im Schnitt dargestellte Anordnung der Anschaulichkeit halber
nochmals in einer perspektivischen Ansicht dargestellt.
Aus dem Diagramm der F i g. 3 läßt sich das Ergebnis eines Vergleichsversuches entnehmen. Mit 9 ist die
Ul-Kennlinie einer CdS-Photozelle dargestellt, die
nach dem bekannten Verfahren und damit ohne eine zusätzliche Kupfer enthaltende Oberflächenschicht
hergestellt wurde. 10 ist die Kennlinie einer erfindungsgemäßen Photozelle. Die aktive Fläche beider Zellen
betrug 1,5 cm2. Die Photozellen wurden mit Licht unter simulierten Weltraumbedingungen bestrahlt. Wie sich
aus den Kennlinien ergibt, weisen beide Zellen etwa die gleiche Leerlaufspannung mit 500 mV auf. Dagegen
erhöht sich der Kurzschlußstrom bei der erfindungsgemäßen Zelle wesentlich gegenüber den früher üblichen
Zellen. Er beträgt anstatt 35 mA nunmehr nahezu 5OmA. Wie sich ferner aus den in das Diagramm
eingetragenen Wirkungsgradlinien ergibt, konnte der maximale Wirkungsgrad inf optimalen Arbeitspunkt
von 5,5 auf 7,3% gesteigert werden.
Aus dem Diagramm der F i g. 4 ergibt sich, daß der Kurzschlußstrom auch bei zunehmender Temperatur
nur geringfügig abnimmt. Während die bekannten Zellen nur etwa bis etwa 700C stabil sind, bleiben die
erfindungsgemäßen Zellen bis über 100° C stabil und
zeigen nur eine geringfügige reversible Abnahme des Kurzschlußstromes. Daraus ergibt sich, daß die Photozeilen
auch unter Weltraumbedingungen zur Umwandlung der Sonnenenergie in elektrische Energie verwendet
werden können, da die Lebensdauer erheblich gesteigert und die zeitliche Degradation der Zelle stark
vermindert wurde.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (11)
- Patentansprüche:L Dünnsehichtphotozelle mit einer Cadmiurasulfidschicht und einer darauf befindlichen Oberflädienschicht aus Kupfersulfid, bei der zur Kontaktierung der Kupfersulfidschicht eine Elektrode vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dieser Elektrode und der Kupfersulfidsehicht eine zusätzliche Kupfer enthaltende Schicht angeordnet ist, die dünn gegenüber der Kupfersulfidschicht ist
- 2. Dünnschiehtphotozelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zwischen der Elektrode und der Kupfersulfidschicht befindliche zusätzliche Schicht aus metallischem Kupfer besteht
- 3. Dünnschiehtphotozelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß die Kupfersulfidschicht aus einem durch eine chemische Reaktion umgewandelten Oberflächenbereich des Cadmiumsulfids besteht.
- 4. Dünnschiehtphotozelle nach Anspruch 3, bei der die Kupfersulfidschicht eine Dicke von etwa 500 bis 2000 A aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Kupfer enthaltende Schicht etwa 20 bis 30 A dick ist.
- 5. Verfahren zum Herstellen einer Dünnschiehtphotozelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Kupfer enthaltende Schicht im Vakuum auf die Kupfersulfidschicht der Photozelle aufgedampft wird.
- 6. Verfahren zum Herstellen einer Dünnschichtphotozelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Kupfer enthaltende Schicht chemisch oder galvanisch auf der Kupfersulfidschicht der Photozelle abgeschieden wird.
- 7. Verfahren zum Herstellen einer Dünnschiehtphotozelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Kupfer enthaltende Schicht durch Reduzierung der Kupfersulfidschicht an der Oberfläche erzeugt wird.
- 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kupfersulfidschicht an der Oberfläche durch Behandlung im Glimmfeld in einer Wasserstoffatmosphäre reduziert wird.
- 9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet daß auf eine metallisierte Kunststoffunterlage zunächst Cadmiumsulfid aufgebracht und dieses Cadmiumsulfid an der freien Oberfläche danach durch Eintauchen in eine heiße Kupfer- lonenlösung in Kupfersulfid umgewandelt wird.
- 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß unmittelbar nach der Herstellung der Kupfersulfidschicht die zusätzliche Kupfer enthaltende Schicht aufgebracht wird.
- 11. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Dünnschiehtphotozelle vor dem Aufbringen der zusätzlichen Kupfer enthaltenden Schicht getempert wird.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19712152895 DE2152895C3 (de) | 1971-10-23 | Dünnschichtphotozelle und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
US297703A US3888697A (en) | 1971-10-23 | 1972-10-16 | Photocell |
FR7237503A FR2156924B3 (de) | 1971-10-23 | 1972-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19712152895 DE2152895C3 (de) | 1971-10-23 | Dünnschichtphotozelle und Verfahren zu ihrer Herstellung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2152895A1 DE2152895A1 (de) | 1973-04-26 |
DE2152895B2 DE2152895B2 (de) | 1976-03-11 |
DE2152895C3 true DE2152895C3 (de) | 1976-10-28 |
Family
ID=
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