DE663880C

DE663880C - Aus blendenfoermigen Elektroden bestehendes elektronenoptisches Immersionssystem

Info

Publication number: DE663880C
Application number: DEA76769D
Authority: DE
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Publication date: 1938-08-15

Description

Aus blendenförmigen Elektroden bestehendes elektronenoptisches Immersionssystem Als elektrisches Immersionssystem kann in Anlehnung an die Begriffe der Lichtoptik ein für die Zwecke der elektronenoptischen Ab- bildung dienendes Elektrodensystem bezeichnet werden, bei welchem die beiderseitigen Brechungsindizes voneinander verschieden sind, d.h. elektrisch, zu beiden Seiten des Systems verschiedene Potentiale herrschen. Solche elektrischen Immersionssysteme sind bekannt und wurden bisher etwa gemäß Abb. i aus gelochten ebenen Blechen hergestellt.
Es hat sich gezeigt, daß derartige Linsensysteme Bildfehler, insbesondere Bildfeldwölbung und sphärischeAberratlon aufweisen, und zwar machen sich diese Fehler mit wachsender Entfernung der Elektronenstrahlen von der optischen Achse des Systems in steigendem Maße bemerkbar. Es lassen sich infolgedessen mit den bekannten elektrischen Linsen nur verhältnismäßig kleine Bereiche der elektronenemittierenden Fläche, z. B. der Kathode, einigermaßen fehlerfrei abbilden.
Die Abbildungsfehler sind darauf zurückzuführen, daß die die brechenden Eigenschaften des Systems bestimmenden Potentialflächen eine starke Krümmung aufweisen, wie dies aus dem eingezeichneten Potentialverlauf der Abb. i zu ersehen ist (vgl. z. B. die Punkte a) .
Es lassen sich nun die Bildfehler weitgehend verringern, wennerfindungsgemäß die die brechenden Eigenschaften des Systems bestimmenden Elektrodenöffnungen mit trichterförmigen Auswölbungen versehen werden, welche dem natürlichen Verlauf der Potentialflächen angepaßt sind.
Die Erfindung soll näher an Hand der Zeichnung erläutert werden.
Abb. 2 zeigt ein elektronenoptisches, Immersionsobjektiv in Form eines rotationssymmetrischen Elektrodensystems im Querschnitt. Das System besteht aus der abzubildenden elektronene.mittierenden Fläche G und den beiden weiteren ElektrodenE1 und E.. Der abzubilden& Gegenstand (KathodeG) bestimmt hiermit den Potentialverlauf und damit die abbildenden Eigenschaften des Gesamtsystems. Bei der hier dargestelltenForm ist nur die ElektrodeE, ausgewölbt, während E, als gewöhnliche Lochblende ausgebildet ist. Die Auswölbung gerade der Blendenöfffiung von E., ist besonders wirksam, da hier in Kathodennähe die Elektronen noch ge- ringe Geschwindigkeit besitzen und die Elektronenbahnen infolgedessen leicht beeinflußt werden können.
Aus dem Vergleich des Potentialverlaufes an den öffnungen von EI und Eß - der Potentialverlauf ist auf Grund von Potentialmessungen nach der elektrolytischen Methode gewonnen - ist der günstige Einfluß der trichterförmigen Ansätze auf den Potentialverlauf und damit auf die abbildenden Eigenschaften des Systems ohne weiteres ersichtlich. Natürlich kann auch bei dieser Anordinung die zweite ElektrodeE. gemäß der Erfindung ausgebildet werden.
Als vorteilhaft hat sich auch die in der Abb.3 dargestellte Form erwiesen, bei der der nach außen gerichtete trichterförmige Ansatz F noch eine Umbiegung f' besitzt. Hierdurch wird die Krümmung der Potentialflächen noch gleichmäßiger, so daß sich eine weitere Verminderung der Bildfehler erzielen läßt.
- Die erfindungsgemäß ausgebildeten Elektrode,n bestehen zweckmäßig aus geprelitem Blech.

Claims

PATrNTANSPRUCH' Aus blendenförmigen Elektroden bestehendes elektronenoptisches Immersionssystem, dadurch gekennzeichnet, daß die die brechenden Eigenschaften des Systems bestimmenden Elektrodenöffnungen trichterfürrnige Auswölbungen besitzen, die dem natürlichen Verlauf der Potentialfläch-en angepaßt sind.