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Gebiet der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf Mikro-Betätigungseinrichtungen
und insbesondere auf eine Mikrospiegelvorrichtung.
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Hintergrund
der Erfindung
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Mikrobetätigungseinrichtungen
wurden auf Isolatoren oder anderen Substraten unter Verwendung mikroelektronischer
Techniken gebildet, wie z. B. Photolithographie, Dampfaufbringung
und Ätzen. Solche
Mikrobetätigungseinrichtungen
werden häufig
als mikroelektromechanische Systeme (MEMS; micro-electromechanical
systems) bezeichnet. Ein Beispiel einer Mikrobetätigungseinrichtung umfasst eine
Mikrospiegelvorrichtung. Die Mikrospiegelvorrichtung kann als ein
Lichtmodulator für
eine Amplituden- und/oder Phasenmodulation von einfallendem Licht
betätigt
werden. Eine Anwendung einer Mikrospiegelvorrichtung ist in einem
Anzeigesystem. Als solches sind mehrere Mikrospiegelvorrichtungen
in einem Array derart angeordnet, dass jede Mikrospiegelvorrichtung
eine Zelle oder ein Pixel der Anzeige bereitstellt.
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Eine
herkömmliche
Mikrospiegelvorrichtung umfasst einen elektrostatisch betätigten Spiegel,
der für
eine Drehung um eine Achse des Spiegels getragen wird. Herkömmliche
Mikrospiegelvorrichtungen müssen
jedoch ausreichend groß sein,
um eine Drehung des Spiegels relativ zu der Tragestruktur zu ermöglichen.
Ein Vergrößern der
Größe der Mikrospiegelvorrichtung
reduziert jedoch die Auflösung
der Anzeige, da weniger Mikrospiegelvorrichtungen einen gegebenen
Bereich belegen können.
Zusätzlich
dazu müssen
ausgeübte
Aktivierungsenergien ausreichend groß sein, um eine gewünschte Aktivierungskraft
auf den Spiegel zu erzeugen.
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Die
US 4,359,698 offenbart einen
Lichtmodulator vom reflektierenden Typ, der das Prinzip der Ioneneinspeisung
von einer Schaltelektrode in ein Fluiddielektrikum umfasst, um Turbulenzkräfte und die
resultierende Bewegung eines lichtreflektierenden Objekts in einen
und aus einem Lichtweg zu bewirken.
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Das
EP 0 916 984 A1 offenbart
eine Lichtablenkungsvorrichtung, die ein Ablenkbauglied mit einem
segmentären,
sphärischen
Körper
aufweist, der einen Ablenkflächenabschnitt
zum Ablenken eines Lichtstrahls, ein Tragebauglied zum Tragen des
Ablenkbauglieds auf drehbare Weise und eine Antriebseinrichtung
zum Drehen des Ablenkbauglieds, wobei die Antriebseinrichtung auf
der segmentären,
sphärischen
Fläche
vorgesehen ist, einschließt.
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Dementsprechend
ist es erwünscht,
eine Größe einer
Mikrospiegelvorrichtung zu minimieren, um die Dichte eines Arrays
solcher Vorrichtungen zu maximieren und eine Aktivierkraft auf die
Mikrospiegelvorrichtung zu erhöhen,
wie sie durch eine gegebene Aktivierenergie erzeugt wird.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung schafft eine elektrostatisch betätigte Mikrospiegelvorrichtung
und ein Verfahren zum Erzeugen einer elektrostatisch betätigten Mikrospiegelvorrichtung
gemäß den Ansprüchen.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
eine schematische Querschnittsansicht, die ein Ausführungsbeispiel
eines Abschnitts einer Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung darstellt.
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2 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein Ausführungsbeispiel eines Abschnitts
einer Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
darstellt.
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3 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein anderes Ausführungsbeispiel
eines Abschnitts einer Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
darstellt.
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4 ist
eine schematische Querschnittsansicht entnommen entlang der Linie
4-4 aus 2 und 3, die ein
Ausführungsbeispiel
der Betätigung der
Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
darstellt.
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5 ist
eine schematische Querschnittsansicht ähnlich zu 4,
die ein anderes Ausführungsbeispiel
der Betätigung
der Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung darstellt.
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6 ist
eine schematische Querschnittsansicht ähnlich zu 4,
die ein anderes Ausführungsbeispiel
der Betätigung
der Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung darstellt.
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7 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein anderes Ausführungsbeispiel
eines Abschnitts einer Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
darstellt.
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8 ist
eine schematische Querschnittsansicht entnommen entlang der Linie
8-8 aus 7, die ein Ausführungsbeispiel
der Betätigung
der Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung darstellt.
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9 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein anderes Ausführungsbeispiel
eines Abschnitts einer Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
darstellt.
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10A ist eine schematische Querschnittsansicht
entnommen entlang der Linie 10-10 aus 9, die ein
Ausführungsbeispiel
der Betätigung der
Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
darstellt.
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10B ist eine schematische Querschnittsansicht ähnlich zu 10A, die eine Betätigung eines anderen Ausführungsbeispiels
einer Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt.
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10C ist eine schematische Querschnittsansicht ähnlich zu 10A, die eine Betätigung eines anderen Ausführungsbeispiels
einer Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt.
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11 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein anderes Ausführungsbeispiel
eines Abschnitts einer Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
darstellt.
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12 ist
eine schematische Querschnittsansicht entnommen entlang der Linie
12-12 aus 11, die ein Ausführungsbeispiel
der Betätigung der
Mikrospiegelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
darstellt.
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13 ist
ein Blockdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel
eines Anzeigesystems darstellt, das eine Mikrospiegelvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung umfasst.
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14 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein Ausführungsbeispiel eines Abschnitts
eines Arrays aus Mikrospiegelvorrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung
darstellt.
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15 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein anderes Ausführungsbeispiel
eines Abschnitts eines Arrays aus Mikrospiegelvorrichtungen gemäß der vorliegenden
Erfindung darstellt.
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Beschreibung
der bevorzugten Ausführungsbeispiele
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In
der nachfolgenden, detaillierten Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele
wird Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen genommen, die einen
Teil derselben bilden und in denen auf darstellende Weise spezifische
Ausführungsbeispiele gezeigt
sind, in denen die Erfindung praktiziert werden kann. Diesbezüglich wird
eine Richtungsterminologie, wie z. B. „oben", „unten", „Front-", „Rück-", „Vorder-", „Hinter-", etc. Bezug nehmend
auf die Orientierung der Figur(en) verwendet, die beschrieben werden.
Da Komponenten der vorliegenden Erfindung in einer Anzahl von unterschiedlichen
Orientierungen positioniert sein können, wird die Richtungsterminologie
zu Zwecken der Darstellung verwendet und ist in keiner Weise einschränkend. Es
wird darauf hingewiesen, dass andere Ausführungsbeispiele verwendet werden
können
und strukturelle oder logische Änderungen
ausgeführt
werden können,
ohne von dem Schutzbereich der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
Die nachfolgende, detaillierte Beschreibung soll daher nicht in
einem einschränkenden
Sinn genommen werden und der Schutzbereich der vorliegenden Erfindung
ist durch die beiliegenden Ansprüche
definiert.
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1 stellt
ein Ausführungsbeispiel
einer Mikrospiegelvorrichtung 10 dar. Die Mikrospiegelvorrichtung 10 ist
ein Mikrobetätiger,
der auf einer Elektrisch-zu-Mechanisch- Umwandlung basiert, um eine Kraft zu
erzeugen und eine Bewegung oder Betätigung eines Körpers oder
Elements zu verursachen. Bei einem Ausführungsbeispiel, wie nachfolgend
beschrieben wird, ist eine Mehrzahl von Mikrospiegelvorrichtungen 10 angeordnet,
um ein Array aus Mikrospiegelvorrichtungen zu bilden. Als solches
kann das Array aus Mikrospiegelvorrichtungen verwendet werden, um
eine Anzeige zu bilden. Als solches bildet jede Mikrospiegelvorrichtung 10 einen
Lichtmodulator für
eine Modulation von einfallendem Licht und liefert eine Zelle oder
ein Pixel der Anzeige. Zusätzlich
dazu kann die Mikrospiegelvorrichtung 10 ferner bei anderen
Bilderzeugungssystemen verwendet werden, wie z. B. Projektoren,
und kann ferner für eine
optische Adressierung verwendet werden.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
umfasst die Mikrospiegelvorrichtung 10 ein Substrat 20,
eine Platte 30 und ein Betätigungselement 40.
Das Substrat 20 weist eine Oberfläche 22 auf. Bei einem
Ausführungsbeispiel
ist die Oberfläche 22 durch
einen Graben oder eine Wanne gebildet, die in und/oder auf dem Substrat 20 gebildet
ist. Vorzugsweise ist die Platte 30 im Wesentlichen parallel
zu der Oberfläche 22 orientiert
und von der Oberfläche 22 beabstandet, um
einen Hohlraum 50 zwischen denselben zu definieren. Das
Betätigungselement 40 ist
zwischen der Oberfläche 22 des
Substrats 20 und der Platte 30 positioniert. Als
solches ist das Betätigungselement 40 in
dem Hohlraum 50 positioniert.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
wird das Betätigungselement 40 betätigt, um
sich zwischen einer ersten Position 47 und einer zweiten
Position 48 relativ zu dem Substrat 20 und der
Platte 30 zu bewegen. Vorzugsweise bewegt sich das Betätigungselement 40 oder
kippt in einem Winkel um eine Drehachse. Als solches ist die erste
Position 47 des Betätigungselements 40 derart
dargestellt, dass sie im Wesentlichen horizontal und im Wesentlichen
parallel zu dem Substrat 20 ist, und die zweite Position 48 des
Betätigungselements 40 ist
derart dargestellt, dass sie in einem Winkel zu der erste Position 47 orientiert
ist. Eine Bewegung oder Betätigung
des Betätigungselements 40 relativ
zu dem Substrat 20 und der Platte 30 wird nachfolgend
detailliert beschrieben.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
ist der Hohlraum 50 mit einer dielektrischen Flüssigkeit 52 gefüllt, derart,
dass das Betätigungselement 40 in
Kontakt mit der dielektrischen Flüssigkeit 52 ist. Bei
einem Ausführungsbeispiel
ist der Hohlraum derart mit einer dielektrischen Flüssigkeit 52 gefüllt, dass
das Betätigungselement 40 in
die dielektrische Flüssigkeit
getaucht ist. Die dielektrische Flüssigkeit 52 ist daher
zwischen dem Betätigungselement 40 und dem
Substrat 20 und zwischen dem Betätigungselement 40 und
der Platte 30 angeordnet. Somit kontaktiert die dielektrische
Flüssigkeit 52 oder
benetzt gegenüberliegende
Oberflächen
des Betätigungselements 40.
Bei einem anderen Ausführungsbeispiel
ist der Hohlraum 50 mit einer dielektrischen Flüssigkeit 52 derart
gefüllt,
dass das Betätigungselement 40 über der
dielektrischen Flüssigkeit 52 positioniert
ist und zumindest eine Oberfläche
des Betätigungselements 40,
die dem Substrat 20 zugewandt ist, in Kontakt mit der dielektrischen
Flüssigkeit 52 ist.
Die dielektrische Flüssigkeit 52 verbessert
die Betätigung des
Betätigungselements 40,
wie nachfolgend beschrieben wird.
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Vorzugsweise
ist die dielektrische Flüssigkeit 52 transparent.
Als solches ist die dielektrische Flüssigkeit 52 durchsichtig
oder farblos in dem sichtbaren Spektrum. Zusätzlich dazu ist die dielektrische
Flüssigkeit 52 chemisch
stabil in elektrischen Feldern, chemisch stabil bei Temperaturänderungen
und chemisch inert. Zusätzlich
dazu weist die dielektrische Flüssigkeit 52 einen
niedrigen Dampfdruck auf und ist nicht korrodierend. Ferner weist
die dielektrische Flüssigkeit 52 eine
hochmolekulare Orientierung in elektrischen Feldern auf und bewegt
sich in einem elektrischen Feld.
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Vorzugsweise
weist die dielektrische Flüssigkeit 52 eine
niedrige dielektrische Konstante und ein hohes Dipolmoment auf.
Zusätzlich
dazu ist die dielektrische Flüssigkeit 52 im
Allgemeinen flexibel und hat pi Elektronen zur Verfügung. Beispiele
von Flüssigkeiten,
die zur Verwendung als dielektrische Flüssigkeit 52 geeignet
sind, umfassen Phenylether, entweder allein oder in Mischungen (d.
h. 2, 3 und 5 Ring), Phenylsulfide und/oder Phenylselenide. Bei
einem darstellenden Ausführungsbeispiel
umfassen Beispiele von Flüssigkeiten,
die geeignet zur Verwendung als dielektrische Flüssigkeit 52 sind,
ein Polyphenylether (PPE), wie z. B. OS138 und Olivenöl.
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Vorzugsweise
ist die Platte 30 eine transparente Platte 32 und
das Betätigungselement 40 ist
ein reflektierendes Element 42. Bei einem Ausführungsbeispiel
ist die transparente Platte 32 eine Glasplatte. Andere
geeignete, planare, lichtdurchlässige
oder transparente Materialien können
jedoch verwendet werden. Beispiele eines solchen Materials umfassen Quarz
und Kunststoff.
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Das
reflektierende Element 42 umfasst eine reflektierende Oberfläche 44.
Bei einem Ausführungsbeispiel
ist das reflektierende Element 42 aus einem einheitlichen
Material mit einem geeigneten Reflexionsvermögen gebildet, um eine reflektierende Oberfläche 44 zu
bilden. Beispiele eines solchen Materials umfassen ein Metall, wie
z. B. Aluminium. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel ist das reflektierende
Element 42 aus einem Basismaterial gebildet, wie z. B.
Polysilizium, mit einem reflektierenden Material, wie z. B. Aluminium,
das auf dem Basismaterial angeordnet ist, um die reflektierende
Oberfläche 44 zu
bilden. Zusätzlich
dazu kann das reflektierende Element 42 aus einem leitfähigen Material
gebildet sein oder ein solches umfassen.
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Wie
in dem Ausführungsbeispiel
aus 1 dargestellt ist, moduliert die Mikrospiegelvorrichtung 10 Licht,
das durch eine Lichtquelle (nicht gezeigt) erzeugt wird, die auf einer
Seite der transparenten Platte 32 gegenüberliegend zu dem Substrat 20 angeordnet
ist. Die Lichtquelle kann z. B. Umgebungs- und/oder Kunst-Licht
umfassen. Als solches fließt Eingangslicht 12,
das auf die transparente Platte 32 einfällt, durch die transparente
Platte 32 in den Hohlraum 50 und wird durch die
reflektierende Oberfläche 44 des
reflektierenden Elements 42 als Ausgangslicht 14 reflektiert.
Somit fließt
Ausgangslicht 14 aus dem Hohlraum 50 und zurück durch
die transparente Platte 32.
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Die
Richtung des Ausgangslichts 14 wird bestimmt oder gesteuert
durch die Position des reflektierenden Elements 42. Wenn
z. B. das reflektierende Element 42 in der ersten Position 47 ist,
wird das Ausgangslicht 14 in einer ersten Richtung 141 geleitet.
Wenn das reflektierende Element 42 jedoch in der zweiten
Position 48 ist, wird das Ausgangslicht 14 in
einer zweiten Richtung 142 geleitet. Somit moduliert oder
variiert die Mikrospiegelvorrichtung 10 die Richtung des
Ausgangslichts 14, die durch das Eingangslicht 12 erzeugt
wird. Als solches kann das reflektierende Element 42 verwendet
werden, um Licht in das und/oder weg von einem optischen Bilderzeugungssystem
zu lenken.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
ist die erste Position 47 eine neutrale Position des reflektierenden Elements 42 und
stellt einen „EIN"-Zustand der Mikrospiegelvorrichtung 10 dar,
in der Licht z. B. zu einem Betrachter oder auf einen Anzeigebildschirm
reflektiert wird, wie nachfolgend beschrieben wird. Somit ist die
zweite Position 48 eine betätigte Position des reflektierenden
Elements 42 und stellt einen „AUS"-Zustand der Mikrospiegelvorrichtung 10 dar, indem
Licht nicht reflektiert wird, z. B. zu einem Betrachter oder auf
einen Anzeigebildschirm.
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2 stellt
ein Ausführungsbeispiel
des reflektierenden Elements 42 dar. Das reflektierende Element 142 weist
eine reflektierende Oberfläche 144 auf
und umfasst einen im Wesentlichen rechteckig geformten Außenabschnitt 180 und einen
im Wesentlichen rechteckig geformten Innenabschnitt 184.
Bei einem Ausführungsbeispiel
ist die reflektierende Oberfläche 144 sowohl
auf dem Außenabschnitt 180 als
auch dem Innenabschnitt 184 gebildet. Der Außenabschnitt 180 weist
vier angrenzende Seitenabschnitte 181 auf, die angeordnet
sind, um eine im Wesentlichen rechteckig geformte Öffnung 182 zu
bilden. Als solches ist der Innenabschnitt 184 in der Öffnung 182 positioniert.
Vorzugsweise ist der Innenabschnitt 184 symmetrisch innerhalb
der Öffnung 182 positioniert.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
erstreckt sich ein Paar aus Gelenken 186 zwischen dem Innenabschnitt 184 und
dem Außenabschnitt 180.
Gelenke 186 erstrecken sich von gegenüberliegenden Seiten oder Rändern des
Innenabschnitts 184 zu benachbarten, gegenüberliegenden
Seiten oder Rändern des
Außenabschnitts 180.
Vorzugsweise wird der Außenabschnitt 180 durch
Gelenke 186 entlang einer Symmetrieachse getragen. Genauer
gesagt wird der Außenabschnitt 180 um
eine Achse getragen, die sich durch die Mitte von gegenüberliegenden
Rändern
derselben erstreckt. Als solches ermöglichen Gelenke 186 eine
Bewegung des reflektierenden Elements 142 zwischen der
ersten Position 47 und der zweiten Position 48,
wie oben beschrieben wurde (1). Genauer
gesagt ermöglichen
Gelenke 186 eine Bewegung des Außenabschnitts 180 zuwischen der
ersten Position 47 und der zweiten Position 48 relativ
zu dem Innenabschnitt 184.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
umfassen Gelenke 186 Torsionsbauglieder 188 mit
Längsachsen 189,
die im Wesentlichen parallel zu der reflektierenden Oberfläche 144 orientiert
sind. Längsachsen 189 sind
kollinear und fallen mit einer Symmetrieachse des reflektierenden
Elements 142 zusammen. Als solche winden oder drehen sich
Torsionsbauglieder 188 um Längsachsen 189, um
eine Bewegung des Außenabschnitts 180 zwischen
der ersten Position 47 und der zweiten Position 48 relativ
zu dem Innenabschnitt 184 zu berücksichtigen.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
wird das reflektierende Element 142 relativ zu dem Substrat 20 durch
einen Träger
oder eine Stütze 24 getragen,
die sich von der Oberfläche 22 des
Substrats 20 erstreckt.
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Genauer
gesagt trägt
die Stütze 24 den
Innenabschnitt 184 des reflektierenden Elements 142. Als
solches ist der Pfosten 24 in Seitenabschnitten 181 des
Außenabschnitts 180 positioniert.
Somit wird der Außenabschnitt 180 des
reflektierenden Elements 142 von dem Pfosten 24 durch
Gelenke 186 getragen.
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3 stellt
ein anderes Ausführungsbeispiel des
reflektierenden Elements 42 dar. Das reflektierende Element 242 hat
eine reflektierende Oberfläche 244 und
umfasst einen im Wesentlichen H-förmigen Abschnitt 280 und
ein Paar aus im Wesentlichen rechteckig geformten Abschnitten 284.
Bei einem Ausführungsbeispiel
ist die reflektierende Oberfläche 244 sowohl
auf dem H-förmigen
Abschnitt 280 als auch auf dem rechteckig geformten Abschnitt 284 gebildet.
Der H-förmige Abschnitt 280 weist
ein Paar von beabstandeten Schenkelabschnitten 281 und
einen Verbindungsabschnitt 282 auf, der sich zwischen den
beabstandeten Schenkelabschnitten 281 erstreckt. Als solches
sind die rechteckig geformten Abschnitte 284 auf gegenüberliegenden
Seiten des Verbindungsabschnitts 282 zwischen beabstandeten Schenkelabschnitten 281 positioniert.
Vorzugsweise sind rechteckig geformte Abschnitte 284 symmetrisch
zu den beabstandeten Schenkelabschnitten 281 und dem Verbindungsabschnitt 282 positioniert.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
erstrecken sich Gelenke 286 zwischen rechteckig geformten
Abschnitten 284 und dem H-förmigen
Abschnitt 280. Gelenke 286 erstrecken sich von
einer Seite oder einem Rand der rechteckig geformten Abschnitte 284 zu
benachbarten, gegenüberliegenden
Seiten oder Rändern
des Verbindungsabschnitts 282 des H-förmigen Abschnitts 280.
Vorzugsweise wird der H-förmige
Abschnitt 280 durch Gelenke 286 entlang einer Symmetrieachse
getragen. Genauer gesagt wird der H-förmige Abschnitt 280 um
eine Achse getragen, die sich durch die Mitte von gegenüberliegenden
Rändern
des Verbindungsabschnitts 282 erstreckt. Als solches ermöglichen
Gelenke 286 die Bewegung des reflektierenden Elements 242 zwischen
der ersten Position 47 und der zweiten Position 48,
wie oben beschrieben ist (1). Genauer
gesagt ermöglichen Gelenke 286 eine
Bewegung des H-förmigen
Abschnitts 280 zwischen der ersten Position 47 und
der zweiten Position 48 relativ zu den rechteckig geformten
Abschnitten 284.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
umfassen Gelenke 286 Torsionsbauglieder 288 mit
Längsachsen 289,
die im Wesentlichen parallel zu der reflektierenden Oberfläche 244 orientiert
sind. Längsachsen 289 sind
kollinear und fallen mit einer Symmetrieachse des reflektierenden
Elements 242 zusammen. Als solches winden oder drehen sich
Torsionsbauglieder 288 um Längsachsen 289, um
eine Bewegung des H-förmigen
Abschnitts 280 zwischen der ersten Position 47 und
der zweiten Position 48 relativ zu den rechteckig geformten
Abschnitten 284 zu berücksichtigen.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
wird das reflektierende Element 242 relativ zu dem Substrat 20 durch
ein Stützenpaar 24 getragen,
die sich von der Oberfläche 22 des
Substrats 20 erstrecken. Genauer gesagt tragen die Stützen 24 rechteckig
geformte Abschnitte 284 des reflektierenden Elements 242.
Als solches sind Stützen 24 an
gegenüberliegenden
Seiten des Verbindungsabschnitts 282 zwischen beabstandeten
Schenkelabschnitten 281 positioniert. Somit wird der H-förmige Abschnitt 280 des
reflektierenden Elements 242 von den Stützen 24 durch Gelenke 286 getragen.
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4 stellt
ein Ausführungsbeispiel
der Betätigung
der Mikrospiegelvorrichtung 10 dar. Bei einem Ausführungsbeispiel
wird das reflektierende Element 42 (das die reflektierenden
Elemente 142 und 242 umfasst) zwischen der ersten Position 47 und
der zweiten Position 48 bewegt durch Anlegen eines elektrischen
Signals an eine Elektrode 60, die auf dem Substrat 20 gebildet
ist. Vorzugsweise ist die Elektrode 60 auf dem Substrat 20 benachbart
zu einem Ende oder Rand des reflektierenden Elements 42 gebildet.
Das Anlegen eines elektrischen Signals an die Elektrode 60 erzeugt
ein elektrisches Feld zwischen der Elektrode 60 und dem
reflektierenden Element 42, was eine Bewegung des reflektierenden Elements 42 zwischen
der ersten Position 47 und der zweiten Position 48 verursacht.
Bei einem Ausführungsbeispiel
wird das elektrische Signal an die Elektrode 60 durch die
Antriebsschaltungsanordnung 64 angelegt.
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Die
dielektrische Flüssigkeit 52 ist
ausgewählt,
um auf das elektrische Feld anzusprechen. Genauer gesagt ist die
dielektrische Flüssigkeit 52 derart
ausgewählt,
dass das elektrische Feld polare Moleküle der Flüssigkeiten ausrichtet und bewegt. Als
solches bewegt sich die dielektrische Flüssigkeit 52 in dem
elektrischen Feld und trägt
zu der Bewegung des reflektierenden Elements 42 zwischen
der ersten Position 47 und der zweiten Position 48 nach dem
Anlegen des elektrischen Signals bei. Somit, mit der dielektrischen
Flüssigkeit 52 in
dem Hohlraum 50, verbessert die dielektrische Flüssigkeit 52 eine Betätigungskraft,
die auf das reflektierende Element 42 wirkt. Genauer gesagt
vergrößert die
dielektrische Flüssigkeit 52 eine
Betätigungskraft
auf das reflektierende Element 42, wie sie durch eine gegebene
Aktivierungsenergie erzeugt wird. Zusätzlich dazu liefert die dielektrisches
Flüssigkeit 52 Wärme-Verwaltungs- und/oder
Kühl-Eigenschaften
durch Ableiten von Wärme,
die in der Mikrospiegelvorrichtung 10 entwickelt oder durch
dieselbe absorbiert wird. Wärme
kann in der Mikrospiegelvorrichtung 10 entwickelt werden
durch eine Bewegung des reflektierenden Elements 42 und/oder
Wärme kann
durch die Mikrospiegelvorrichtung 10 durch Licht absorbiert
werden, das auf das reflektierende Element 42 auftrifft.
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Durch
Verbessern der Betätigungskraft,
die auf das reflektierende Element 42 wirkt, ermöglicht die
dielektrische Flüssigkeit 52,
dass niedrigere Aktivierungsenergien für eine Betätigung des reflektierenden
Elements 42 ausgeübt
werden. Zum Beispiel können
Aktivierungsenergien kleiner als ungefähr 10 Volt verwendet werden.
Da niedrigere Aktivierungsspannungen verwendet werden können, kann
die Antriebsschaltungsanordnung 64 für die Mikrospiegelvorrichtung 10 in
dem Substrat 20 eingelagert sein. Somit kann eine komplementäre Metalloxidhalbleiterstruktur
(CMOS-Struktur;
CMOS = complimentary metal oxide semi-conductor) für das Substrat 20 verwendet
werden.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
ist eine Passivierungsschicht auf dem Substrat 20 gebildet,
um die Antriebsschaltungsanordnung 64 zu schützen oder
einzuschließen.
Somit schützt
die Passivierungsschicht die Integrität der Antriebsschaltungsanordnung 64 und
verhindert, dass die Antriebsschaltungsanordnung 64 durch
die dielektrische Flüssigkeit 52 angegriffen
wird. Materialien, die für
die Passivierungsschicht geeignet sind, umfassen einen Isolator
oder ein dielektrisches Material, wie z. B. Siliziumnitrid, Siliziumcarbid
und/oder Siliziumoxid.
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Vorzugsweise,
wenn das elektrische Signal von der Elektrode 60 entfernt
wird, besteht das reflektierende Element 42 weiter oder
hält die
zweite Position 48 für
eine gewisse Zeitlänge.
Nachfolgend ziehen Rückstellkräfte des
reflektierenden Elements 42, die z. B. Gelenke 186 (2)
und Gelenke 286 (3) umfassen,
das reflektierende Element 42 in die erste Position 47 oder
bringen dasselbe dorthin zurück.
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5 stellt
ein anderes Ausführungsbeispiel der
Betätigung
der Mikrospiegelvorrichtung 10 dar. Ähnlich zu dem Ausführungsbeispiel,
das in 4 dargestellt ist, wird das reflektierende Element 42 (das
die reflektierenden Element 142 und 242 umfasst)
zwischen der ersten Position 47 und der zweiten Position 48 bewegt
durch Anlegen eines elektrischen Signals an die Elektrode 60,
die auf dem Substrat 20 benachbart zu einem Ende oder Rand
des reflektierenden Elements 42 gebildet ist, wie oben beschrieben
ist. Als solches wird das reflektierende Element 42 in
einer ersten Richtung bewegt.
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Bei
dem Ausführungsbeispiel
jedoch, das in 5 dargestellt ist, wird das
reflektierende Element 42 ferner in einer zweiten Richtung
entgegengesetzt zu der ersten Richtung bewegt. Wiederum detaillierter
wird das reflektierende Element 42 zwischen der ersten
Position 47 und einer dritten Position 49 bewegt,
die in einem Winkel zu der ersten Position 47 orientiert
ist, durch Anlegen eines elektrischen Signals an eine Elektrode 62,
die auf dem Substrat 20 gebildet ist, benachbart zu einem
gegenüberliegenden
Ende oder einem Rand des reflektierenden Elements 42. Als
solches wird das reflektierende Element 42 in der zweiten
Richtung bewegt, entgegengesetzt zu der ersten Richtung, durch Anlegen
eines elektrischen Signals an die Elektrode 62.
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Das
Anlegen des elektrischen Signals an die Elektrode 62 erzeugt
ein elektrisches Feld zwischen der Elektrode 62 und dem
reflektierenden Element 42, was eine Bewegung des reflektierenden
Elements 42 zwischen der ersten Position 47 und
der dritten Position 49 auf eine ähnliche Weise dazu verursacht,
wie sich das reflektierende Element 42 zwischen der ersten
Position 47 und der zweiten Position 48 bewegt,
wie oben beschrieben ist. Es liegt ebenfalls innerhalb des Schutzbereichs
der vorliegenden Erfindung für
das reflektierende Element 42, sich direkt zwischen der
zweiten Position 48 und der dritten Position 49 zu
bewegen, ohne an der ersten Position 47 zu stoppen oder
zu unterbrechen.
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6 stellt
ein anderes Ausführungsbeispiel der
Betätigung
der Mikrospiegelvorrichtung 10 dar. Bei einem Ausführungsbeispiel
ist ein leitfähiges Durchgangsloch 26 in
der Stütze 24 gebildet
und erstreckt sich durch dieselbe. Das leitfähige Durchgangsloch 26 ist
elektrisch mit dem reflektierenden Element 42 gekoppelt
und genauer gesagt dem leitfähigen
Material des reflektierenden Elements 42. Als solches wird
das reflektierende Element 42 (das die reflektierenden
Elemente 142 und 242 umfasst) zwischen der ersten
Position 47 und der zweiten Position 48 bewegt
durch Anlegen eines elektrischen Signals an die Elektrode 60 und
das reflektierende Element 42. Genauer gesagt wird die
Elektrode 60 zu einer Polarität mit Energie versorgt und
das leitfähige Material
des reflektierenden Elements 42 wird zu einer entgegengesetzten
Polarität
mit Energie versorgt.
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Das
Anlegen eines elektrischen Signals einer Polarität an die Elektrode 60 und
eines elektrischen Signal einer entgegengesetzten Polarität an das
reflektierende Element 42 erzeugt ein elektrisches Feld
zwischen der Elektrode 60 und dem reflektierenden Element 42,
das eine Bewegung des reflektierenden Elements 42 zwischen
der ersten Position 47 und der zweiten Position 48 verursacht.
Die dielektrische Flüssigkeit 52 trägt zu der
Bewegung des reflektierenden Elements 42 bei, wie oben
beschrieben wurde.
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Bei
einem anderen Ausführungsbeispiel
wird das reflektierende Element 42 (das die reflektierenden
Elemente 142 und 242 umfasst) zwischen der ersten
Position 48 und der zweiten Position 49 bewegt
durch Anlegen eines elektrischen Signals an das reflektierende Element 42.
Genauer gesagt wird das elektrische Signal an das leitfähige Material
des reflektierenden Elements 42 mit Hilfe eines leitfähigen Durchgangslochs 26 durch
die Stütze 24 angelegt.
Als solches erzeugt das Anlegen eines elektrischen Signals an das
reflektierende Element 42 ein elektrisches Feld, was eine
Bewegung des reflektierenden Elements 42 zwischen der ersten
Position 48 und der zweiten Position 49 verursacht.
Die dielektrische Flüssigkeit 52 trägt zur Bewegung
des reflektierenden Elements 42 bei, wie oben beschrieben
wurde.
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7 stellt
ein anderes Ausführungsbeispiel des
reflektierenden Elements 42 dar. Das reflektierende Element 342 weist
eine reflektierende Oberfläche 344 auf
und umfasst einen im Wesentlichen rechteckig geformten Mittelabschnitt 380 und
eine Mehrzahl von im Wesentlichen rechteckig geformten Abschnitten 382.
Bei einem Ausführungsbeispiel
ist die reflektierende Oberfläche 344 auf
dem Mittelabschnitt 380 und den rechteckig geformten Abschnitten 382 gebildet.
Vorzugsweise sind die rechteckig geformten Abschnitte 382 an
Ecken des Mittelabschnitts 380 positioniert.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
erstrecken sich Gelenke 386 zwischen rechteckig geformten
Abschnitten 382 und dem Mittelabschnitt 380. Gelenke 386 erstrecken
sich von einer Seite oder einem Rand der rechteckig geformten Abschnitte 382 zu
benachbarten Seiten oder Rändern
der Seiten oder Ränder des
Mittelabschnitts 380. Vorzugsweise wird der Mittelabschnitt 380 durch
Gelenke 386 entlang diagonaler Symmetrieachsen getragen.
Genauer gesagt wird der Mittelabschnitt 380 um Achsen getragen,
die sich zwischen entgegengesetzten Ecken des Mittelabschnitts 380 erstrecken.
Als solches ermöglichen
die Gelenke 386 eine Bewegung des reflektierenden Elements 342 zwischen
einer ersten Position 347 und einer zweiten Position 348,
wie nachfolgend beschrieben wird (8). Genauer
gesagt ermöglichen Gelenke 386 eine
Bewegung des Mittelabschnitts 380 zwischen der ersten Position 347 und
der zweiten Position 348 relativ zu den rechteckig geformten Abschnitten 382.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
umfassen Gelenke 386 Biegebauglieder 388 mit Längsachsen 389,
die im Wesentlichen parallel zu der reflektierenden Oberfläche 344 orientiert
sind. Längsachsen 389 erstrecken
sich zwischen gegenüberliegenden Ecken
von dem und schneiden sich in einer Mitte des mittleren Abschnitts 380.
Als solches biegen sich Biegebauglieder 388 entlang der
Längsachsen 389,
um eine Bewegung des Mittelabschnitts 380 zwischen der
ersten Position 347 und der zweiten Position 348 relativ
zu den rechteckig geformten Abschnitten 382 zu berücksichtigen.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
wird das reflektierende Element 342 relativ zu dem Substrat 20 durch
eine Mehrzahl von Stützen 24 getragen,
die sich von der Oberfläche 22 des
Substrats 20 erstrecken. Genauer gesagt tragen die Stützen 24 rechteckig
geformte Abschnitte 382 des reflektierenden Elements 342.
Als solches sind Stützen 24 an
Ecken des Mittelabschnitts 380 positioniert. Somit wird
der Mittelabschnitt 380 des reflektierenden Elements 342 von
Stützen 24 durch
Gelenke 386 getragen.
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8 stellt
ein Ausführungsbeispiel
der Betätigung
der Mikrospiegelvorrichtung 10 dar, die das reflektierende
Element 342 umfasst. Bei einem Ausführungsbeispiel wird das reflektierende
Element 342 betätigt,
um sich zwischen der ersten Position 347 und der zweiten
Position 348 relativ zu dem Substrat 20 und der
Platte 30 zu bewegen. Vorzugsweise bewegt sich das reflektierende
Element 342 in einer Richtung im Wesentlichen senkrecht
zu der Oberfläche 22 des
Substrats 20. Als solches sind die erste Position 347 und
die zweite Position 348 des reflektierenden Elements 342 beide
derart dargestellt, dass sie im Wesentlichen horizontal und parallel
zueinander sind.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
wird das reflektierende Element 342 zwischen der ersten
Position 347 und der zweiten Position 348 bewegt
durch Anlegen eines elektrischen Signals an die Elektrode 60,
die auf dem Substrat 20 gebildet ist. Vorzugsweise ist
die Elektrode 60 auf dem Substrat 20 gebildet, um
zentral unter dem reflektierenden Element 342 angeordnet
zu sein. Das Anlegen eines elektrischen Signals an die Elektrode 60 erzeugt
ein elektrisches Feld zwischen der Elektrode 60 und dem
reflektierenden Element 342, das eine Bewegung des reflektierenden
Elements 342 zwischen der ersten Position 347 und
der zweiten Position 348 verursacht.
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Vorzugsweise,
wenn das elektrische Signal von der Elektrode 60 entfernt
wird, behält
oder hält das
reflektierende Element 342 die zweite Position 348 für eine gewisse
Zeitdauer. Nachfolgend ziehen Rückstellkräfte des
reflektierenden Elements 342, das z. B. Gelenke 386 umfasst,
das reflektierende Element 342 zu der ersten Position 347 oder
bringen es dorthin zurück.
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9 stellte
ein anderes Ausführungsbeispiel
des reflektierenden Elements 42 dar. Das reflektierende
Element 442 weist eine reflektierende Oberfläche 444 auf
und umfasst einen ersten im Wesentlichen rechteckig geformten Abschnitt 480 und
einen zweiten im Wesentlichen rechteckig geformten Abschnitt 482.
Bei einem Ausführungsbeispiel
ist die reflektierende Oberfläche 444 auf
beiden rechteckig geformten Abschnitten 480 und 482 gebildet.
Der zweite rechteckig geformte Abschnitt 482 ist entlang einer
Seite des ersten rechteckig geformten Abschnitts 480 positioniert.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
erstreckt sich ein Gelenk 486 zwischen dem rechteckig geformten Abschnitt 482 und
dem rechteckig geformten Abschnitt 480. Das Gelenk 486 erstreckt
sich von einer Seite oder einem Rand des rechteckig geformten Abschnitts 482 zu
einer benachbarten Seite oder einem Rand des rechteckig geformten
Abschnitts 480. Als solches wird der rechteckig geformte
Abschnitt 480 auf freitragende Weise entlang einer Seite
oder einem Rand desselben getragen. Somit ermöglicht das Gelenk 486 eine
Bewegung des reflektierenden Elements 442 zwischen einer
ersten Position 447 und einer zweiten Position 448,
wie nachfolgend beschrieben wird (10).
Genauer gesagt ermöglicht
das Gelenk 486 eine Bewegung des rechteckig geformten Abschnitts 480 zwischen
der ersten Position 447 und der zweiten Position 448 relativ
zu dem rechteckig geformten Abschnitt 482.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
umfasst das Gelenk 486 ein Biegebauglied 488 mit
einer Achse 489, die im Wesentlichen parallel zu der reflektierenden
Oberfläche 444 orientiert
ist. Als solches biegt sich das Biegebauglied 488 entlang
der Achse 489, um eine Bewegung des rechteckig geformten
Abschnitts 480 zwischen der ersten Position 447 und der
zweiten Position 448 relativ zu dem rechteckig geformten
Abschnitt 482 zu berücksichtigen.
Während
das Biegebauglied 488 als ein Bauglied dargestellt ist,
liegt es innerhalb des Schutzbereichs der vorliegenden Erfindung
für das
Biegebauglied 488, eine Mehrzahl von beabstandeten Baugliedern
zu umfassen.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
wird das reflektierende Element 442 relativ zu dem Substrat 20 durch
Stütze 24 getragen,
die sich von der Oberfläche 22 des
Substrats 20 erstreckt. Genauer gesagt trägt die Stütze 24 den
im Wesentlichen rechteckig geformten Abschnitt 482 des
reflektierenden Elements 442. Als solches ist die Stütze 24 an
einer Seite des rechteckig geformten Abschnitts 480 positioniert.
Somit wird der rechteckig geformte Abschnitt 480 des reflektierenden
Elements 442 von der Stütze 24 durch
das Gelenk 486 getragen. Während die Stütze 24 als
eine Stütze
dargestellt ist, liegt es in dem Schutzbereich der vorliegenden
Erfindung für die
Stütze 24,
eine Mehrzahl von beabstandeten Stützen zu umfassen. Zusätzlich dazu
umfasst das Positionieren der Stütze 24 auf
einer Seite des rechteckig geformten Abschnitt 480 das
Positionieren der Stütze 24 an
einer Ecke des rechteckig geformten Abschnitts 480.
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10A stellt ein Ausführungsbeispiel der Betätigung der
Mikrospiegelvorrichtung 10 dar, die das reflektierende
Element 442 umfasst. Bei einem Ausführungsbeispiel wird das reflektierende
Element 442 betätigt,
um sich zwischen der ersten Position 447 und der zweiten
Position 448 relativ zu dem Substrat 20 und der
Platte 30 zu bewegen. Vorzugsweise bewegt sich das reflektierend
Element 442 in einer Richtung hin zu der Oberfläche 22 des
Substrats 20.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
wird das reflektierende Element 442 zwischen der ersten
Position 447 und der zweiten Position 448 bewegt
durch Anlegen eines elektrischen Signals an die Elektrode 60,
die auf dem Substrat 20 gebildet ist. Vorzugsweise ist
die Elektrode 60 auf dem Substrat 20 benachbart
zu einem Ende oder Rand des reflektierenden Elements 442 gebildet.
Das Anlegen eines elektrischen Signals an die Elektrode 60 erzeugt
ein elektrisches Feld zwischen der Elektrode 60 und dem
reflektierenden Element 442, was eine Bewegung des reflektierenden
Elements 442 zwischen der ersten Position 447 und
der zweiten Position 448 verursacht.
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Vorzugsweise,
wenn das elektrische Signal von der Elektrode 60 entfernt
wird, besteht das reflektierende Element 442 weiter oder
hält die
zweite Position 448 für
eine gewisse Zeitspanne. Nachfolgend ziehen Rückstellkräfte des reflektierenden Elements 442,
das z. B. ein Gelenk 486 umfasst, das reflektierende Element 442 zur
ersten Position 447 oder bringen dasselbe dorthin zurück.
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10B und 10C stellen
zusätzliche Ausführungsbeispiele
der Betätigung
der Mikrospiegelvorrichtung 10 dar, die zusätzliche
Ausführungsbeispiele
des reflektierenden Elements 442 umfassen. Bei dem Ausführungsbeispiel,
das in 10B dargestellt ist, umfasst
das reflektierende Element 442' einen im Wesentlichen rechteckig
geformten Abschnitt 480',
der direkt durch die Stütze 24 getragen
wird. Der rechteckig geformte Abschnitt 480' ist flexibel und die Stütze 24 ist
im Wesentlichen starr, derart, dass sich der rechteckig geformte
Abschnitt 480' während der
Betätigung
biegt. Bei dem Ausführungsbeispiel,
das in 10C dargestellt ist, umfasst das
reflektierende Element 442'' einen im Wesentlichen
rechteckig geformten Abschnitt 480, der direkt durch die
Stütze 24'' getragen wird. Der rechteckig geformte
Abschnitt 480 ist im Wesentlichen starr und die Stütze 24'' ist flexibel, derart, dass sich
die Stütze 24'' während der Betätigung biegt.
Während
der im Wesentlichen rechteckig geformten Abschnitte 480 (der
den rechteckig geformten Abschnitt 480' umfasst) und die Stütze 24 (die
die Stütze 24'' umfasst) als separate Bauglieder
dargestellt sind, ist es innerhalb des Schutzbereichs der vorliegenden
Erfindung für
den rechteckig geformten Abschnitt 480 und die Stütze 24,
einstückig
als ein Einheitsbauglied gebildet zu sein.
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11 und 12 stellen
ein anderes Ausführungsbeispiel
der Mikrospiegelvorrichtung 10 dar. Die Mikrospiegelvorrichtung 10' ist ähnlich zu
der Mikrospiegelvorrichtung 10 und umfasst ein Substrat 20,
eine Platte 30 und ein Betätigungselement 40 mit einem
Hohlraum 50, der zwischen dem Substrat 20 und
der Platte 30 definiert ist. Als solches ist der Hohlraum 50 mit
einer dielektrischen Flüssigkeit 52 gefüllt, wie
oben beschrieben wurde. Die Mikrospiegelvorrichtung 10' umfasst jedoch
eine Treiberplatte 35, die zwischen dem Substrat 20 und
dem Betätigungselement 40 positioniert
ist.
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Vorzugsweise
ist die Platte 30 eine transparente Platte 32 und
das Betätigungselement 40 ist
ein reflektierendes Element 42. Zusätzlich dazu wird das reflektierende
Element 42 relativ zu dem Substrat 20 durch die
Stütze 24 getragen.
Die Stütze 24 erstreckt sich
jedoch von der Treiberplatte 35. Als solches wird bei einem
Ausführungsbeispiel
die Treiberplatte 35 relativ zu dem Substrat 20 durch
Stützen 25 getragen,
die sich von der Oberfläche 22 des
Substrats 20 erstrecken.
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Die
Betätigung
der Mikrospiegelvorrichtung 10' ist ähnlich zu der der Mikrospiegelvorrichtung 10, wie
oben beschrieben wurde, mit der Ausnahme, dass sowohl Treiberplatte 35 als
auch das reflektierende Element 42 betätigt werden. Als solches werden
sowohl die Treiberplatte 35 als auch das reflektierende
Element 42 zwischen der ersten Position 47 und
der zweiten Position 48 bewegt durch Anlegen eines elektrischen
Signals an die Elektrode 60, die auf dem Substrat 20 gebildet
ist. Das Anlegen eines elektrischen Signal an die Elektrode 60 erzeugt
ein elektrisches Feld zwischen der Elektrode 60 und der Treiberplatte 35 und/oder
dem reflektierenden Element 42, was eine Bewegung der Treiberplatte 35 und
des reflektierenden Elements 42 zwischen der ersten Position 47 und
der zweiten Position 48 verursacht.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel,
wie in 13 dargestellt ist, ist die
Mikrospiegelvorrichtung 10 (die die Mikrospiegelvorrichtung 10' umfasst) in
einem Anzeigesystem 500 integriert. Das Anzeigesystem 500 umfasst
eine Lichtquelle 510, eine Quelloptik 512, einen
Lichtprozessor oder eine Steuerung 514 und Projektionsoptik 516.
Der Lichtprozessor 514 umfasst mehrere Mirkospiegelvorrichtungen 10,
die in einem Array derart angeordnet sind, dass jede Mikrospiegelvorrichtung 10 eine
Zelle oder ein Pixel der Anzeige bildet. Das Array aus Mikrospiegelvorrichtungen 10 kann
auf einem gemeinsamen Substrat mit getrennten Hohlräumen und/oder
einem gemeinsamen Hohlraum für
die reflektierenden Elemente der mehreren Mikrospiegelvorrichtungen 10 gebildet sein.
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Bei
einem Ausführungsbeispiel
empfängt
der Lichtprozessor 514 Bilddaten 518, die ein
Bild darstellen, das angezeigt werden soll. Als solches steuert
der Lichtprozessor 514 die Betätigung der Mikrospiegelvorrichtungen 10 und
die Modulation des Lichts, das von der Lichtquelle 510 empfangen
wird, basierend auf Bilddaten 518. Das modulierte Licht wird
dann zu einem Betrachter oder auf einen Anzeigebildschirm 520 projiziert.
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14 stellt
ein Ausführungsbeispiel
eines Arrays aus Mikrospiegelvorrichtungen 10 dar. Die
Mikrospiegelvorrichtungen 10 umfassen reflektierende Elemente 142,
wie in 2 dargestellt und oben beschrieben ist. Vorzugsweise
sind benachbarte, reflektierende Elemente 142 derart gedreht, dass
sich die Längsachsen 189 eines
reflektierenden Elements 142 in einer ersten Richtung erstrecken
und die Längsachsen 189 eines
benachbarten reflektierenden Elements 142 in einer zweiten
Richtung erstrecken, die im Wesentlichen senkrecht zu der ersten Richtung
orientiert ist.
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15 stellt
ein anderes Ausführungsbeispiel
eines Arrays aus Mikrospiegelvorrichtungen 10 dar. Die
Mikrospiegelvorrichtungen 10 umfassen reflektierende Elemente 242,
wie in 3 dargestellt und oben beschrieben ist. Vorzugsweise
sind benachbarte, reflektierende Elemente 242 derart gedreht,
dass sich die Längsachsen 289 eines
reflektierenden Elements 242 in einer ersten Richtung erstrecken
und die Längsachsen 289 eines
benachbarten reflektierenden Elements 242 in einer zweiten
Richtung erstrecken, die im Wesentlichen senkrecht zu der ersten
Richtung orientiert ist. Durch Drehen benachbarter, reflektierender
Elemente 142 oder 242, wenn ein Array aus Mikrospiegelvorrichtungen 10 gebildet
wird, wird eine fluidische Kreuzkopplung oder ein Nebensprechen
zwischen benachbarten, reflektierenden Elementen vermieden.
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Obwohl
spezifische Ausführungsbeispiele hierin
zu Zwecken der Beschreibung des bevorzugten Ausführungsbeispiels dargestellt
und beschrieben wurden, werden Fachleute auf dem Gebiet erkennen,
dass eine große
Vielzahl von Alternativen und/oder entsprechenden Implementierungen,
die berechnet sind, um dieselben Zwecke zu erreichen, für die spezifischen
Ausführungsbeispiele
eingesetzt werden können,
die gezeigt und beschrieben sind, ohne von dem Schutzbereich der
vorliegenden Ansprüche
abzuweichen. Fachleute auf dem Gebiet von Chemie, Mechanik, Elektromechanik,
Elektrik und Computertechnik werden ohne Weiteres erkennen, dass
die vorliegenden Erfindung in einer großen Vielzahl von Ausführungsbeispielen
implementiert sein kann. Daher ist es offensichtlich beabsichtigt,
dass diese Erfindung nur durch den Schutzbereich der Ansprüche eingeschränkt wird.