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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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1. Gebiet
der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Lasereinheit und insbesondere
eine Vorrichtung zum Detektieren einer Position eines Laserstrahlverschlusses
der Lasereinheit.
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2. Beschreibung des verwandten
Standes der Technik
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Eine
Lasereinheit hat einen Laserstrahlverschluss zum Steuern einer Aktivierung
oder eines Abstellens der Abstrahlung eines durch einen Laser erzeugten
Laserstrahls und auch zum Steuern der Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls.
Dieser Laserstrahlverschluss steuert das Aktivieren oder das Abschalten,
als auch die Ausbreitungsrichtung, des Laserstrahls durch Verwenden
einer Dämpfungseinrichtung,
um den Laserstrahl zu absorbieren, oder eines reflektierenden Elementes,
um die Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls zu ändern. Der Verschluss befindet
sich demontierbar in einem optischen Pfad des durch den Laser erzeugten
Laserstrahls.
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10 ist
eine schematische Ansicht zur Erklärung eines Beispiels einer
Anordnung eines Laserstrahlverschlusses nach dem Stand der Technik. Ein
Verschluss 56 ist auf einer drehbaren Welle 54 eines
Solenoid- bzw. Magnetspulenmotors 53 befestigt und wird
durch Antreiben des Magnetspulenmotors 53 um die Welle 54 herum
gedreht. Ein reflektierender Spiegel 52 zum Reflektieren
eines Laserstrahls ist an dem Verschluss 56 befestigt.
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In 10 zeigt
eine gestrichelte Linie den Verschluss 56 an, wie er zu
einem Punkt gedreht ist, an dem der reflektierende Spiegel 52 den
Laserstrahl nicht reflektiert. Der Drehwinkel des Verschlusses beträgt in diesem
Beispiel 90°.
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Der
Verschluss 56 kann durch Drehen der durch den Magnetspulenmotor 53 angetriebenen Welle
abwechselnd in zwei Positionen bzw. Stellungen gebracht werden,
um die Aktivierung oder das Abstellen als auch die Ausbreitungsrichtung
des Laserstrahls zu steuern. Da die Position des Verschlusses 56 detektiert
werden muss, um aus Sicherheitsgründen eine irreguläre Abstrahlung
des Laserstrahls zu verhindern, können ein oder mehrere Näherungsschalter
zum Detektieren der Position des Verschlusses vorgesehen werden.
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Bezüglich 10 sind
zwei Näherungsschalter 55a, 55b an
zwei Drehpositionen des Verschlusses 56 angeordnet, um
den Verschluss zu detektieren. Jeder der Näherungsschalter 55a, 55b detektiert
den Verschluss 56 in der Nachbarschaft des jeweiligen Schalters.
Daher kann aus den Detektions- bzw. Messergebnissen der Schalter
die Position des Verschlusses 56 (d.h., in 10 ist
die Position des Verschlusses 56 eine durch eine durchgehende Linie
angedeutete Position, eine durch eine gestrichelte Linie angedeutete
Position oder eine Zwischenposition zwischen ihnen) bestimmt werden.
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11 ist
eine schematische Ansicht zur Erklärung eines Zustands, in welchem
die Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls ausgewählt werden kann. Wie in 11 gezeigt,
wird der Laserstrahl mittels des reflektierenden Spiegels 52 reflektiert
und breitet sich in eine durch eine durchgehende Linie angedeutete
Richtung B aus, wenn der Spiegel 52 in einem optischen
Pfad des Laserstrahls angeordnet ist, welcher durch einen Laser
oder einen Laserresonator 51 bestrahlt wird. Andererseits
breitet sich der Laserstrahl in einer durch eine gestrichelte Linie
angedeutete Richtung A aus, wenn der Spiegel 52 sich nicht
in dem optischen Pfad des Laserstrahls befindet. Die Ausbreitungsrichtungen
A und B werden in 10 auch durch eine gestrichelte
Linie bzw. eine durchgehende Linie angedeutet. Diese Ausbreitungsrichtungen
A, B und eine Einfallsrichtung auf den reflektierenden Spiegel 52 des
Laserstrahls sind aus Gründen
der Bequemlichkeit eingezeichnet.
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Daher
kann die Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls durch Verwenden des
Laserstrahlverschlusses ausgewählt
werden.
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Eine
Ausführungsform,
welche eine Detektion eines reflektierenden Spiegels eines Laserstrahlverschlusses
verwendet, ist in der Japanischen Gebrauchsmuster-Veröffentlichung
(Kokoku) Nr. 7-20933 offenbart. In der Ausführungsform wird eine Position
des Laserstrahlverschlusses durch zwei Endschalter detektiert, und
der Laserstrahl wird elektrisch daran gehindert, abzustrahlen, wenn
der Verschluss zum Abfangen des Laserstrahls zwischen einer Position
bewegt wird, an der ein Teil den Laserstrahl abfängt, und einer Position, an
der ein Teil den Laserstrahl nicht abfängt. Dadurch wird verhindert, dass
ein Bestrahlungsmechanismus für
sichtbare Strahlen, welcher an dem Verschluss angeordnet ist, durch
den Laserstrahl beschädigt
wird.
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Auch
wird in einem weiteren Ausführungsbeispiel,
das in der Japanischen Patentveröffentlichung
(Kokai) Nr. 11-312831 offenbart ist, ein Laserstrahl detektiert,
der durch ein optisches System zum Lenken des Laserstrahls aus einer
Lasereinheit her aus gestreut wird, als auch die Position eines Verschlusses,
und eine Detektion des gestreuten Strahls kann dazu verwendet werden,
den Laserstrahl zu steuern.
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Wie
in der Japanischen Gebrauchsmuster-Veröffentlichung (Kokoku) Nr. 7-20933
gezeigt, können
in einer Anordnung, in welcher die Endschalter oder getrennte Sensoren
als Detektoreinheiten zum Detektieren der Position des Verschlusses
vorgesehen sind, die getrennten Sensoren versagen. Beispielsweise
hat ein Kontaktschalter, wie beispielsweise der Endschalter, einen
Kontakt, welcher sich durch wiederholtes Betätigen abnutzen kann. Ein elektromagnetischer
Schalter kann durch Fremdkörper
oder Ablagerungen versagen. Auch kann ein fotoelektrischer Schalter
aufgrund unerwarteten Streulichts aus der äußeren Umgebung versagen.
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Falls
ein Versagen auftritt, kann beispielsweise ein Laser mit hoher Ausgangsleistung
zum Schneiden oder Schweißen
aus der Lasereinheit heraus abgestrahlt werden, und der abgestrahlte
Laser kann nicht nur ein Werkstück
beschädigen,
sondern auch ein Feuer anzünden
oder einen Bediener ernsthaft verletzen.
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Andererseits
offenbart die Japanische Patentveröffentlichung (Kokai) Nr. 11-312831
eine Vorrichtung zum Detektieren des Laserstrahls selbst, um das
Versagen des getrennten Sensors zum Detektieren der Position des
Verschlusses zu verhindern. Jedoch benötigt diese Vorrichtung mehr
Sensoren, und die Steuerung des Laserstrahls ist kompliziert.
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Die
US-Patentveröffentlichung
US 6,493,364 offenbart eine
Lasereinheit, welche einen Verschluss mit einem reflektierenden
Element zum Reflektieren eines Laserstrahls umfasst, sowie einen
Motor zum Bewegen des Verschlusses zwischen einer Position in einem
optischen Pfad des Laserstrahls und einer Position außerhalb
des optischen Pfads als auch eine Verschlusspositionssteuerung zum
Steuern des Motors.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Es
ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, das oben angesprochene
Problem des Standes der Technik zu lösen und eine verlässliche
Lasereinheit mit einer einfachen Struktur bereitzustellen.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung ist es durch Überwachen
eines Zustands eines Verschlusses, welcher auf einem Drehzustand
eines Motors zum Antreiben eines Verschlusses beruht, unnötig, einen
getrennten Sensor zum Detektieren der Position des Verschlusses
oder eine Detektoreinheit zum Detektieren eines Laserstrahls bereitzustellen,
welche versagen können,
und die Zahl der notwendigen Sensoren kann verringert werden.
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Gemäß der Erfindung
wird eine Lasereinheit bereitgestellt, umfassend einen Verschluss
mit einem reflektierenden Element zum Reflektieren eines Laserstrahls,
einen Motor zum Bewegen des Verschlusses zwischen einer Position
in einem optischen Pfad des Laserstrahls und einer Position außerhalb
des optischen Pfads und eine Verschlusspositionssteuerung zum Steuern
des Motors, wobei die Lasereinheit einen Messaufnehmer bzw. Wertgeber
zum Detektieren eines Drehzustands des Motors umfasst, die Verschlusspositionssteuerung
Positionsdaten des Verschlusses durch Detektieren eines Signals
von dem Messaufnehmer empfängt
und den Motor auf der Grundlage der Positionsdaten steuert.
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Der
Messaufnehmer kann ein Drehgeber sein, welcher in den Motor eingebaut
oder an der Außenseite
des Motors befestigt ist. Andererseits kann der Messaufnehmer ein
linearer Messaufnehmer sein. Auch kann der Messaufnehmer in einer
Drehwelle des Motors oder einem Antriebselement eines Koppelmechanismus
eingebaut sein, welcher eine Antriebskraft des Motors überträgt.
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Der
Messaufnehmer kann ein Absolutwert-Messaufnehmer bzw. Absolutwertgeber
sein, welcher eine Absolutposition ausgibt, oder ein inkrementeller
Messaufnehmer bzw. Inkrementalgeber, welcher einen Abstand der Bewegung
von einer Referenzposition ausgibt. Eine Absolutposition des Verschlusses
oder eine Relativposition des Verschlusses von einer Position des
Verschlusses vom Beginn der Bewegung aus kann mittels eines Ausgabesignals
vom Messaufnehmer bzw. Wertgeber detektiert werden.
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Der
erfindungsgemäße Verschluss
dient dazu, den Laserstrahl abzufangen, welcher dazu gedacht ist,
die Lasereinheit zu verlassen und/oder dient dazu, die Ausbreitungsrichtung
des Laserstrahls innerhalb der Lasereinheit zu ändern. Im ersten Fall schaltet
der Verschluss abwechselnd zwischen einem Abstrahlen des Laserstrahls
nach außen
aus der Lasereinheit und Absorbieren des Lasers innerhalb des Laserstrahls
durch Bewegen des Verschlusses. Im letzteren Falle, ändert der
Verschluss die Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls innerhalb der
Lasereinheit durch Bewegen des Verschlusses.
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Die
Verschlusspositionssteuerung der Erfindung steuert mindestens eine
Drehposition, eine Drehgeschwindigkeit und/oder ein Drehmoment am Motor,
um eine Verschlussposition zu steuern.
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Als
ein erster Aspekt zum Erhöhen
der Sicherheit des Laserstrahls umfasst die erfindungsgemäße Lasereinheit
eine Bewertungsvorrichtung zum Bewerten, ob der Verschluss gemäß einem
Steuerbefehl von der Verschlusspositionssteuerung betrieben wird
oder nicht, und die Bewertungsvorrichtung kann mindestens eine Stromversorgung
des Motors und/oder eine Stromversorgung zur Laseranregung begrenzen,
wenn die Bewertungsvorrichtung es so bewertet, dass der Verschluss
nicht gemäß des Steuerbefehls
betrieben wird.
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Gemäß dem ersten
Aspekt wird dann, wenn es so bewertet wird, dass die Verschlussposition nicht
mit einer angesteuerten Position übereinstimmt, die Abstrahlung
des Laserstrahls durch Ausschalten einer Stromversorgung des Motors
und/oder einer Stromversorgung für
die Laseranregung gestoppt.
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Als
ein zweiter Aspekt zum Erhöhen
der Sicherheit des Laserstrahls umfasst die erfindungsgemäße Lasereinheit
eine Bewegungsvorrichtung zum zwingenden Bewegen des Verschlusses
auf eine sichere Warteposition, wo der Laserstrahl durch den Verschluss
abgefangen wird und daran gehindert wird, die Lasereinheit zu verlassen,
wenn der Motor nicht eine bestimmte Antriebskraft bereitstellt oder ein
Antriebsmechanismus des Verschlusses gestört ist. Die Bewegungsvorrichtung
kann einen Federmechanismus zum Bewegen des Verschlusses in eine sichere
Warteposition umfassen.
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Falls
gemäß dem zweiten
Aspekt die Antriebskraft des Motors kleiner ist als ein bestimmter Wert
oder der Antriebsmechanismus des Verschlusses gestört ist,
wird die Abstrahlung des Laserstrahls durch Bewegen des Verschlusses
in die sichere Warteposition durch Verwendung der Bewegungsvorrichtung
gestoppt. Die Bewegungsvorrichtung kann beispielsweise einen Federmechanismus
mit einer Feder zum Bewegen des Verschlusses in die sichere Warteposition
aufweisen, und eine durch die Feder erzeugte Kraft wird so eingerichtet,
dass sie einem bestimmten für
den Motor benötigten
Pegel der Antriebskraft entspricht. Daher kann die Bewegungsvorrichtung
den Verschluss durch die Federkraft in die sichere Warteposition
bewegen, wenn die Antriebskraft des Motors niedriger als die Federkraft
ist.
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Die
Bewegungsvorrichtung kann auch auf der Grundlage eines Vergleichsergebnisses
zwischen einem Wert eines durch den Motor bereitgestellten Antriebsstroms
und einem bestimmten Referenzwert bewegt werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER
ZEICHNUNGEN
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Die
obigen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden
Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung der bevorzugten
Ausführungsformen
davon mit Bezug auf die zugehörigen
Zeichnungen klarer gemacht, wobei:
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1 ein
Blockdiagramm zum Erklären
eines grundsätzlichen
Aufbaus der Erfindung ist;
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2a und 2b schematische
Ansichten zum Erklären
einer ersten Ausführungsform
der Erfindung sind;
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3 eine
schematische Ansicht zum Erklären
einer zweiten Ausführungsform
der Erfindung ist;
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4 eine
schematische Ansicht zum Erklären
einer dritten Ausführungsform
der Erfindung ist;
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5 eine
schematische Ansicht zum Erklären
eines weiteren Beispiels der dritten Ausführungsform der Erfindung ist;
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6 eine
schematische Ansicht zum Erklären
einer vierten Ausführungsform
der Erfindung ist;
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7a bis 7c schematische
Ansichten zum Erklären
des Schaltens eines Laserstrahls in der vierten Ausführungsform
der Erfindung sind;
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8 eine
schematische Ansicht zum Erklären
einer fünften
Ausführungsform
der Erfindung ist;
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9a und 9b schematische
Ansichten zum Erklären
einer Bewegung der fünften
Ausführungsform
der Erfindung sind;
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10 eine
schematische Ansicht zum Erklären
eines Beispiels einer Anordnung eines Laserstrahlverschlusses nach
dem Stand der Technik ist; und
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11 eine
schematische Ansicht zum Erklären
eines Zustands ist, in welchem die Ausbreitungsrichtung eines Laserstrahls
mittels des Laserstrahlverschlusses nach dem Stand der Technik ausgewählt wird.
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GENAUE BESCHREIBUNG
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Im
Folgenden werden Ausführungsbeispiele der
Erfindung in Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Zusätzlich haben
die gleichen Anordnungen oder die gleichen Teile, wie vorher beschrieben, gleiche
Bezugsziffern, und die Beschreibungen werden ausgelassen.
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1 ist
ein Blockdiagramm eines Hauptteils einer erfindungsgemäßen Lasereinheit.
Die Lasereinheit umfasst einen Verschluss 6 mit einem reflektierenden
Element 8 zum Reflektieren eines Laserstrahls, einen Motor 9 zum
Bewegen des Verschlusses 6 zwischen einer Position in einem
optischen Pfad des Laserstrahls und einer Position außerhalb
des optischen Pfads und eine Verschlusspositionssteuerung 12 zum
Steuern des Motors, wobei die Lasereinheit einen Messaufnehmer bzw.
Wertgeber 10 zum Detektieren eines Drehzustands des Motors
umfasst, die Verschlusspositionssteuerung 12 Positionsdaten
des Verschlusses durch Detektieren eines Signals von dem Messaufnehmer 10 empfängt und
den Motor 9 auf der Grundlage der Positionsdaten steuert.
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2a zeigt
eine erste Ausführungsform
der Lasereinheit. Die Lasereinheit hat eine Anordnung zum Erzeugen
eines Laserstrahls und eine Laserstrahl-Steuervorrichtung zum Abfangen
und Ändern der
Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls.
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Die
Anordnung zum Erzeugen des Laserstrahls kann einen Laser oder einen
Laserresonator 1, eine Stromversorgung 11 zum
Versorgen des Lasers 1 mit Strom bzw. Leistung und eine
Lasersteuerung 7 zum Steuern des Lasers 1 umfassen.
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Der
Laser 1 hat mindestens zwei reflektierende Spiegel 101 und 102,
die sich zugewandt sind, und eine laseranregende Vorrichtung 103,
die sich zwischen den zwei Spiegeln befindet. Die Laseranregungsvorrichtung 103 wird
durch die Stromversorgung 11 mit Strom versorgt. Ein durch
die Laseranregungsvorrichtung 103 angereg ter Laserstrahl
wird mehrfach zwischen den zwei Spiegeln 101 und 102 reflektiert
und wird dann durch den Laser 1 abgestrahlt. Der von der
Stromversorgung 11 zugeführte Strom wird mittels der
Lasersteuerung 7 gesteuert. Zusätzlich wird eine Erklärung eines
Aufbaus und eines Betriebs des Lasers 1 ausgelassen, weil
diese die gleichen wie die eines herkömmlichen Resonators sind.
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Die
Laserstrahl-Steuervorrichtung umfasst einen Verschluss 6,
ein an dem Verschluss 6 befestigtes reflektierendes Element 8 zum
Reflektieren des Laserstrahls, einen Motor 9 zum Bewegen
des Verschlusses 6 zwischen einer ersten Position in einem
optischen Pfad des Laserstrahls und einer zweiten Position außerhalb
des optischen Pfads, einen Messaufnehmer 10, welcher einen
Drehzustand des Motors 9 detektiert, und eine Verschlusspositionssteuerung 12 zum
Steuern des Motors 9.
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Das
reflektierende Element 8 wird auf dem Verschluss dergestalt
positioniert, dass das reflektierende Element den Laserstrahl in
eine vorbestimmte Richtung reflektiert, wenn das reflektierende
Element in den optischen Pfad des Laserstrahls bewegt wird. Die
Richtung des Laserstrahls wird durch einen Einfallwinkel des Laserstrahls
in Bezug auf das reflektierende Element 8 bestimmt, und
der Einfallswinkels wird mittels eines Aufbaus bzw. einer Konfiguration des
reflektierenden Elementes und/oder eines Einbauwinkels des reflektierenden
Elementes 8 am Verschluss festgesetzt.
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Für den Fall,
dass das reflektierende Element zum Reflektieren des Laserstrahls
für einen YAG-Laseroszillator
verwendet wird, kann das reflektierende Element beispielsweise ein
hochreflektierender Spiegel aus einem transparenten Material sein,
wie beispielsweise Quarz, auf welchem ein dielektrisches Material
aufgedampft ist. Auch kann das reflektierende Element ein hochreflektierendes
Material sein, wie beispielsweise Gold oder Silber, welches direkt
auf den Verschluss aufgedampft wurde.
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Der
Motor 9 treibt den Verschluss 6 als Ganzes an,
um das reflektierende Element 8 zwischen der ersten Position
in dem optischen Pfad des Laserstrahls und der zweiten Position
außerhalb
des optischen Pfads zu bewegen. Der Messaufnehmer 10, wie
beispielsweise ein Drehgeber, wird auf den Motor 9 aufgeschlossen.
Detektionsdaten vom Messaufnehmer 10 werden zur Verschlusspositionssteuerung 12 übertragen,
wodurch die Antriebsgeschwindigkeit und die Position des Verschlusses 6 gesteuert
werden können.
Der Messaufnehmer 10 kann ein Absolutwert-Messaufnehmer
sein, welcher eine absolute Position bzw. Stellung ausgibt, oder
ein inkrementeller Messaufnehmer, welcher einen Bewegungsabstand
bzw. einen zurückgelegten
Weg von einer Referenzposition ausgibt. Die Verschlusspositionssteuerung 12 kann
die Positi onsdaten des Verschlusses auf der Grundlage eines Signals
von dem Messaufnehmer 10 in Bezug auf einen Drehzustand
des Motors 9 empfangen.
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Der
Messaufnehmer 10 kann in den Motor 9 eingebaut
sein, kann an der Außenseite
des Motors 9 befestigt sein oder kann auf einem Antriebsmechanismus
(nicht gezeigt) angeordnet sein, welcher sich zwischen einer Antriebswelle
des Motors und dem Verschluss 6 befindet. Weiterhin kann
der Messaufnehmer ein linearer Messaufnehmer anstatt des Dreh(wert)gebers
sein. Falls der Messaufnehmer ein linearer Messaufnehmer ist, können die
Daten bezüglich
des Bewegungsabstands des Verschlusses durch Positionieren des linearen
Messaufnehmers zusammen mit einer Bewegungsverfolgung des Verschlusses
bereitgestellt werden.
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Die
Lasersteuerung 7 kann als eine Bewertungsvorrichtung dienen,
welche detektieren kann, ob der Verschluss 6 sich an der
angesteuerten Position befindet oder nicht, und zwar durch Empfangen von
Positionsdaten von der Verschlusspositionssteuerung 12 und
Vergleichen der Positionsdaten mit der angesteuerten Position. Die
Steuerung der Position wird von einer Steuereinheit einer Werkzeugmaschine
oder einer Verarbeitungsmaschine (nicht gezeigt) gegeben.
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Als
Nächstes
werden sämtliche
Komponenten der erfindungsgemäßen Lasereinheit
beschrieben.
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Wie
in 2a gezeigt, weist der Laser 1 mindestens
zwei reflektierende Spiegel 101 und 102 auf, die
sich zugewandt sind, und die sich zwischen den zwei Spiegel befindliche
Laseranregungseinheit 103. Die Laseranregungseinheit 103 umfasst
mindestens ein laseraktives Medium, wie beispielsweise einen Nd:YAG-Kristall.
Die Laseranregungsvorrichtung 103 umfasst weiterhin eine
Vorrichtung zum Aktivieren eines laseraktiven Mediums, wie beispielsweise
eine Bogenlampe oder einen Halbleiterlaser, falls die Laseranregungsvorrichtung
eine optische Anregungsvorrichtung ist.
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Obwohl
sich der Verschluss 6 in dieser Ausführungsform außerhalb
der Spiegel 101 und 102 befindet, kann der Verschluss
sich zwischen den zwei Spiegeln befinden. Im letzteren Fall, wird
die Laseroszillation nicht erzeugt und der Laserstrahl nicht nach
außen
abgestrahlt, falls der Verschluss 6 sich in dem optischen
Pfad befindet.
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Falls
der Verschluss 6 sich außerhalb der zwei Spiegel befindet,
wie in den 2a und 2b gezeigt,
kann die Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls durch den Verschluss
ausgewählt
werden. Falls sich beispielsweise das reflektierende Element 8 außerhalb des
optischen Pfads des Laserstrahls befindet, wie in 2a gezeigt,
läuft der
von dem Laser 1 abgestrahlte Laserstrahl direkt in eine
Richtung A. Falls sich andererseits das reflektierende Element 8 in
dem optischen Pfad des Laserstrahls befindet, wie in 2b gezeigt,
wird der Laserstrahl durch das reflektierende Element 8 reflektiert
und breitet sich in eine unterschiedliche Richtung B aus.
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Der
Motor 9 kann ein Servomotor oder ein Schrittmotor sein
und kann eine Struktur einschließlich eines Getriebes, einer
Kugelgewindespindel, einer Verbindung bzw. eines Gelenks, eines
Gurts und einer Kette als dem oben beschriebenen Antriebsmechanismus
aufweisen, um den Verschluss 6 zu drehen. Die Verschlusspositionssteuerung 12 steuert eine
Position, eine Geschwindigkeit und ein Drehmoment des Motors 9 und
positioniert den Verschluss 6 und das reflektierende Element 8.
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Der
Messaufnehmer 10 detektiert bzw. erfasst die Drehung der
Motorwelle. Der Messaufnehmer 10 kann die Drehposition
der Welle detektieren, beispielsweise durch Abstrahlen eines Lichts
in Richtung eines Schlitzes, welcher auf einer mit der Welle verbundenen
Scheibe ausgeformt ist, und durch Messen eines reflektierten oder
durchgelassenen Lichts bzw. Lichtanteils des abgestrahlten Lichts.
Der Messaufnehmer 10 kann ein Absolutwert-Messaufnehmer
sein, welcher eine absolute Position ausgibt, oder ein inkrementeller
Messaufnehmer, welcher eine relative Position in Bezug auf eine
Position beim Bewegungsbeginn ausgibt. Im letzteren Fall kann die Verschlussposition
abgespeichert werden durch Bereitstellen einer Funktion zum Berechnen
der relativen Position in der Verschlusspositionssteuerung 12 oder
einer getrennten Berechnungseinheit (nicht gezeigt) oder dergleichen.
Dadurch kann die Verschlussposition als quantitative Daten unter
Verwendung jeglichen Typs von Messaufnehmer angegeben werden.
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Die
quantitativen Daten der von dem Messaufnehmer ausgegebenen Verschlussposition
werden zur Lasersteuerung 7 gesandt und werden zum Steuern
des Laseroszillators verwendet. Die Lasersteuerung 7 bewertet,
ob die Verschlussposition auf einer angesteuerten bzw. vorbestimmten
Position ist, oder nicht, beispielsweise durch Vergleichen der angesteuerten
Position mit den von dem Messaufnehmer ausgegebenen Positionsdaten.
Falls sich die Verschlussposition nicht an der angesteuerten Position
befindet, sendet die Lasersteuerung 7 ein Steuersignal
an die Stromversorgung 11, um die Tätigkeit der Laseranregungsvorrichtung 103 zu
steuern und eine Anregung des Lasers zu begrenzen. Die Stromversorgung 11 ist
eine Stromversorgung, welche einen Strom an die Laseranregungsvorrichtung 103 anlegt,
um eine Laseroszillation zu erzeugen.
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Die
Lasersteuerung 7 kann auch ein Einfügen eines Abschirmelements 104,
wie beispielsweise eines Metalls mit einem niedrigen Reflexionsgrad, zwischen
die reflektierenden Elemente 101 und 102 steuern,
um so die Anregung des Lasers durch den Laser 1 zu stoppen
bzw. anzuhalten. Weiterhin kann die Lasersteuerung 7 das
Aussenden eines Steuersignals zum Motor 9 über die
Verschlusspositionssteuerung 12 steuern, um den Verschluss
auf die angesteuerte Position zu bewegen und/oder den Unterschied
zwischen der Verschlussposition und der angesteuerten Position anzuzeigen
und zu korrigieren.
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Durch
den oben beschriebenen Aufbau kann die Richtung des Laserstrahls
durch Positionieren des Verschlusses mit dem reflektierenden Element innerhalb
oder außerhalb
des Lichtpfads des Laserstrahls gesteuert werden.
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Als
Nächstes
wird in Bezug auf 3 eine zweite Ausführungsform
einer erfindungsgemäßen Lasereinheit
beschrieben. Die zweite Ausführungsform
hat eine Anordnung zum Abfangen des Laserstrahls und eine Anordnung
zum Steuern der Abstrahlung von der Lasereinheit zur Außenseite
der Einheit und zum Abstellen der Abstrahlung.
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Die
zweite Ausführungsform
der Lasereinheit hat ein Element, welches den Laserstrahl in einem
optischen Pfad des Laserstrahls absorbiert, welcher durch den Verschluss
in der ersten Ausführungsform
ausgewählt
wird.
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Wie
in 3 gezeigt, ist eine Laserabsorptionseinheit 13,
wie beispielsweise ein Metall mit einer hohen Wärmeleitfähigkeit, das mit einem Material
mit einer hohen Lichtabsorptionsfähigkeit beschichtet ist, in
einem Pfad des Laserstrahls angeordnet, welcher durch das sich an
dem Verschluss 6 befindliche reflektierende Element 8 reflektiert
wird. Der weitere Aufbau dieser Ausführungsform kann ähnlich zu demjenigen
der ersten Ausführungsform
sein. Wenn das reflektierende Element 8 auf dem Verschluss 6 in einen
optischen Pfad des abgestrahlten Laserstrahls bewegt wird, wird
der Laserstrahl durch das reflektierende Element 8 reflektiert
und breitet sich in einer in 3 durch
eine durchgehende Linie angedeuteten Richtung B aus und wird mittels
der Laserabsorptionseinheit 13 absorbiert. Dadurch wird
der Laserstrahl daran gehindert, die Lasereinheit in einen Bereich
außerhalb
des Lasers zu verlassen.
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Wenn
andererseits das reflektierende Element 8 an dem Verschluss 6 aus
dem optischen Pfad des ausgestrahlten Laserstrahls bewegt wird,
breitet sich der Laserstrahl in eine Richtung A aus, welche in 3 durch
eine gestrichelte Linie angedeutet ist, und wird aus der Lasereinheit
heraus abgestrahlt.
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Umgekehrt
kann die Position der Laserabsorptionseinheit 13 so angeordnet
werden, dass der durch das reflektierende Element reflektierte Laserstrahl
aus der Lasereinheit heraus abgestrahlt wird und der Laserstrahl,
welcher nicht reflektiert worden ist, mittels der Laserabsorptionseinheit
absorbiert wird.
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Als
Nächstes
wird in Bezug auf die 4 und 5 eine dritte
Ausführungsform
einer erfindungsgemäßen Lasereinheit
beschrieben. Die dritte Ausführungsform
hat eine Anordnung zum Schalten optischer Pfade des Laserstrahls,
und diese Anordnung kann beispielsweise dazu verwendet werden, den
Laserstrahl zu einer Vielzahl von Bearbeitungspunkten bzw. -stellen
zu senden, und zwar abwechselnd mit einer bestimmten zeitlichen
Verteilung.
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In
der dritten Ausführungsform
der Lasereinheit ist eine Vielzahl von Bearbeitungspunkten angeordnet,
von denen jeder sich in einem jeweiligen der Pfade des Laserstrahls
befindet, welche ähnlich
der ersten Ausführungsform
durch den Verschluss ausgewählt
werden, und der Laserstrahl kann einen der Bearbeitungspunkte erreichen
und kann den Punkt durch Auswählen
des Pfads des Laserstrahls unter Verwendung des Verschlusses bearbeiten.
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Wie
in 4 gezeigt, befindet sich eine fokussierende Linse 14a in
einem Pfad des Laserstrahls vom Laser 1, und eine Brennweitenposition der
Linse 14a wird als ein Verarbeitungspunkt 15a bestimmt.
Auch befindet sich eine fokussierende Linse 14b in einem
Pfad des Laserstrahls, welcher durch das reflektierende Element 8 an
dem Verschluss 6 reflektiert wird, und eine Brennweitenposition
der Linse 14b wird als ein Verarbeitungspunkt 15b bestimmt.
Die weiteren Aufbauten dieser Ausführungsform können ähnlich zu
denjenigen der ersten oder zweiten Ausführungsformen sein.
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Wenn
das reflektierende Element 8 an dem Verschluss 6 in
den Pfad des Laserstrahls bewegt wird, wird der Laserstrahl durch
das reflektierende Element 8 reflektiert und wird dann
durch die fokussierende Linse 14b auf den Bearbeitungspunkt 15b fokussiert,
um den Punkt 15b zu verarbeiten. Wenn andererseits das
reflektierende Element 8 an dem Verschluss 6 aus
dem Pfad des Laserstrahls heraus bewegt wird, wird der Laserstrahl
durch die fokussierende Linse 14a auf den Bearbeitungspunkt 15a fokussiert,
um den Punkt 15a zu verarbeiten.
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Falls
die Verarbeitungspunkte 15a und 15b zudem abwechselnd
mit einer bestimmten Zeitverteilung verarbeitet werden sollen, wird
ein Steuerbefehl zum Schalten der Verschlussposition gemäß einem Verarbeitungstyp
jedes der Verarbeitungspunkte von der Verschlusspositionssteuerung 12 zum
Motor 9 übertragen.
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Dadurch
kann das Umschalten des Laserstrahls von der Lasereinheit in Richtung
jedes der Bearbeitungspunkte gesteuert werden.
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Obwohl
die Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls in den oben beschriebenen
Ausführungsformen
durch den Verschluss um 90° verändert wird, kann
die Richtung auch statt um 90° um
einen beliebigen Winkel verändert
werden. Der veränderte
Winkel des Laserstrahls kann mittels einer Reflexionsrichtung des
an dem Verschluss angebrachten reflektierenden Elementes bestimmt
werden.
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Weiterhin
kann es möglich
sein, dass eine Vielzahl von Bearbeitungspunkten durch Platzieren einer
Vielzahl von Verschlüssen
Seite an Seite in dem Pfad des Laserstrahls verarbeitet wird. Ein
in 5 gezeigtes Beispiel verwendet zwei Verschlüsse dergestalt,
dass drei Verarbeitungspunkte exponiert sein können und durch den Laserstrahl
ausgewählt
verarbeitet werden können.
Die Abstrahlung des Laserstrahls zu einem Verarbeitungspunkt 15b wird
mittels eines Verschlusses 6b ausgewählt, und die Abstrahlung des
Laserstrahls zu einem Verarbeitungspunkt 15a oder 15c wird
mittels eines Verschlusses 6c ausgewählt. Ein einen Verschluss 6b antreibender
Motor 9b wird mittels einer Verschlusspositionssteuerung 12b gesteuert,
und ein einen Verschluss 6c antreibender Motor 9c wird
mittels einer Verschlusspositionssteuerung 12c gesteuert.
Die Lasersteuerung 7 steuert die Verschlusspositionssteuerungen 12b und 12c so,
dass der Laserstrahl auf einen der Verarbeitungspunkte 15a, 15b und 15c gerichtet
wird.
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Obwohl
in dem Beispiel nach 5 die zwei Verschlüsse verwendet
werden, kann eine Zahl von Verarbeitungspunkten durch Erhöhen einer
Zahl positionierter Verschlüsse
erhöht
werden.
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Als
Nächstes
wird eine vierte Ausführungsform
einer erfindungsgemäßen Lasereinheit
in Bezug auf die 6 bis 7c beschrieben. Ähnlich zur dritten
Ausführungsform
weist die vierte Ausführungsform
eine Anordnung zum Umschalten optischer Pfade des Laserstrahls auf,
und diese Anordnung kann beispielsweise dazu verwendet werden, den
Laserstrahl zu einer Vielzahl von Verarbeitungspunkten zu senden,
und zwar abwechselnd mit einer bestimmten Zeitverteilung.
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In
der vierten Ausführungsform
kann eine Vielzahl von Verarbeitungspunkten durch den Laserstrahl
bearbeitet werden, und zwar dadurch, dass es einem Verschluss ermöglicht wird,
mehr als eine Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls auszuwählen. In dieser
Ausführungsform
kann der Verschluss 6 abwechselnd eine Vielzahl von Ausbreitungspfaden des
Laserstrahls auswählen,
von welchen jeder auf jeden der Verarbeitungspunkte gerichtet ist,
wodurch der Laserstrahl einen ausgewählten Verarbeitungspunkt erreichen
und den Punkt bearbeiten kann.
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6 zeigt
einen Aufbau eines Beispiels der vierten Ausführungsform. In der vierten
Ausführungsform
sind zwei reflektierende Elemente 8b und 8c an dem
Verschluss 6 angeordnet. Jedes der zwei reflektierenden
Elemente 8b und 8c bestimmt einen Reflexionswinkel
des Laserstrahls dergestalt, dass der von einem der reflektierenden
Elemente reflektierte Laserstrahl einen Verarbeitungspunkt 15b oder 15c erreichen
kann.
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Die 7a bis 7c veranschaulichen
das Schalten des Laserstrahls durch den Verschluss. Bezüglich 7a wird
der Verschluss 6 auf eine erste Drehposition bewegt, an
welcher der Laserstrahl vom Laser 1 durch ein reflektierendes
Element 8b in eine Richtung B reflektiert wird. Bezüglich 7b wird
der Verschluss auf ähnliche
Weise auf eine zweite Drehposition bewegt, wo der Laserstrahl vom
Laser 1 durch ein reflektierendes Element 8c in
eine Richtung C reflektiert wird. Weiterhin wird, in Bezug auf 7c,
der Verschluss 6 auf eine dritte Drehposition bewegt, an
welcher der vom Laser 1 ausgehende Laserstrahl nicht reflektiert
wird und geradeaus in eine Richtung A läuft. Die Ausbreitungsrichtungen
und Reflexionen des in den 7a bis 7c gezeigten Laserstrahls
sind ausschließlich
zur Anschauung dargestellt, so dass diese Richtungen den Pfad des Laserstrahls
nicht genau darzustellen brauchen.
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Auf
diese Art können
die Verarbeitungspunkte 15a, 15b und 15c,
die in den Richtungen A, B bzw. C angeordnet sind, wahlweise durch
Schalten der Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls bearbeitet werden,
wie in 6 gezeigt.
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Eine
fünfte
Ausführungsform
einer erfindungsgemäßen Lasereinheit
hat einen Aufbau, der es dem Verschluss ermöglicht, sich in eine sichere Warteposition
zu bewegen. In dieser Ausführungsform
wird der Verschluss so auf die sichere Warteposition bewegt, dass
der Laserstrahl sich in eine sichere Richtung ausbreitet, wenn es
schwierig ist, die Position des Verschlusses beispielsweise bei
Verringerung einer Antriebskraft des Motors oder einer Störung eines
Antriebsmechanismus des Verschlusses zu steuern.
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8 ist
eine Zeichnung zur Erklärung
der fünften
Ausführungsform.
Wie gezeigt, sind eine Bewegungsvorrichtung oder ein Mechanismus 16 angeordnet,
um den Verschluss 6 in eine sichere Warteposition zu bewegen.
Wenn der Verschluss 6 durch den Mechanismus 16 in
die sichere Warteposition bewegt worden ist, wird der auf ein Arbeitsobjekt 15 gerichtete
Laserstrahl durch den Verschluss 6 in Richtung eines Laserabsorbers 13 so
reflektiert, dass der Laserstrahl daran gehindert wird, die Lasereinheit
versehentlich zu verlassen. Der Mechanismus 16 kann beispielsweise
eine Zugfeder oder eine Torsionsfeder aufweisen, welche zum dauernden
Anlegen eines gewissen Kraftwerts an den Verschluss verfügbar sind.
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9a und 9b veranschaulichen
einen Betrieb dieser Ausführungsform.
Falls, wie in 9a gezeigt, ein Motor zum Antreiben
des Verschlusses 6 keine ausreichende Antriebskraft zum
Steuern der Position des Verschlusses bereitstellen kann, kann der
Verschluss durch den Mechanismus 16 zwingend in die sichere
Warteposition bewegt werden, wie in 9b gezeigt.
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Es
ist möglich,
den Verschluss auf die sichere Warteposition zu bewegen, wenn der
Motor keine genügende
Antriebskraft bereitstellen kann, beispielsweise durch Festsetzen
einer Beziehung zwischen einem durch eine Feder des Mechanismus 16 an
den Verschluss angelegten Drehmoment und einem Drehmoment des Motors
zum Antreiben des Verschlusses. Beispielsweise wird der Verschluss durch
Festsetzen der Federstärke
so, dass das Drehmoment, welches durch eine durch die Feder erzeugte
Kraft an den Verschluss angelegt wird, gleich oder niedriger ist
als ein Schwellwert eines Drehmoments, bei welchem der Motor als
defekt eingestuft wird, in die sichere Warteposition bewegt, und
zwar durch eine durch die Feder erzeugte Kraft, falls das Drehmoment
des Motors auf einen Wert absinkt, der niedriger ist als das durch
die Feder an den Verschluss angelegte Drehmoment.
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Alternativ
kann der Mechanismus 16 einen Verriegelungsmechanismus
umfassen. Durch Überwachen
eines Werts des dem Motor bereitgestellten Stroms kann der Mechanismus
den Verschluss durch Entriegeln der Verriegelung auf die sichere
Warteposition bewegen, wenn der Stromwert niedriger ist als ein
Schwellwert, bei welchem das Drehmoment zum Antreiben des Verschlusses
ungewöhnlich
verringert wird.
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Wie
oben beschrieben, ist es erfindungsgemäß durch Zuordnen des Messaufnehmers
zum Motor des Verschlusses unnötig,
einen getrennten Sensor zum Detektieren der Position des Verschlusses oder
eine Detektorvorrichtung zum Detektieren des Laserstrahls vorzusehen.
Daher kann eine verlässliche
Lasereinheit mit einer einfachen Struktur bereitgestellt werden.
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Während die
Erfindung in Bezug auf die bestimmten Ausführungsformen, die zu Darstellungszwecken
ausgewählt
wurden, beschrieben worden ist, sollte es klar sein, dass daran
vom Fachmann zahlreiche Modifikationen ausgeführt werden können, und
zwar ohne von dem Grundgedanken und dem Bereich der Erfindung, so
wie er durch die beiliegenden Ansprüche definiert ist, abzuweichen.