JPH11220193A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH11220193A JPH11220193A JP10036755A JP3675598A JPH11220193A JP H11220193 A JPH11220193 A JP H11220193A JP 10036755 A JP10036755 A JP 10036755A JP 3675598 A JP3675598 A JP 3675598A JP H11220193 A JPH11220193 A JP H11220193A
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- Japan
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- laser
- output
- reflection mirror
- angle
- mirror
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Laser Surgery Devices (AREA)
- Radiation-Therapy Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ光の出射において発振効率の良い反射
ミラー位置角度を短時間で導き出す事ができ、消費電力
を押さえる。 【解決手段】 レーザ発振を得るためのレ−ザ発振手段
の両端に向き合うようにして置かれ、レーザ光を共振さ
せるレ−ザ反射ミラ−において、少なくとも一方のレ−
ザ反射ミラ−を第１軸とこの第１軸に所定の角度で交差
する第２軸を中心にそれぞれ回転させるための回転手段
と、レ−ザ反射ミラ−を出射されたレーザ光の出力値を
測定する測定手段と、角度変位に対する出力特性に基づ
いて定められた少なくとも３個の回転角にレ−ザ反射ミ
ラ−を回転させ各回転角でのレーザ出力を測定手段によ
り測定し、その測定結果に基づいて決められる回転角の
範囲内でレ−ザ反射ミラ−を順次変位させその出力を得
ることによってレ−ザ反射ミラ−の各軸方向の最適な角
度を求めるミラ−角度検知手段と、を備える。
ミラー位置角度を短時間で導き出す事ができ、消費電力
を押さえる。 【解決手段】 レーザ発振を得るためのレ−ザ発振手段
の両端に向き合うようにして置かれ、レーザ光を共振さ
せるレ−ザ反射ミラ−において、少なくとも一方のレ−
ザ反射ミラ−を第１軸とこの第１軸に所定の角度で交差
する第２軸を中心にそれぞれ回転させるための回転手段
と、レ−ザ反射ミラ−を出射されたレーザ光の出力値を
測定する測定手段と、角度変位に対する出力特性に基づ
いて定められた少なくとも３個の回転角にレ−ザ反射ミ
ラ−を回転させ各回転角でのレーザ出力を測定手段によ
り測定し、その測定結果に基づいて決められる回転角の
範囲内でレ−ザ反射ミラ−を順次変位させその出力を得
ることによってレ−ザ反射ミラ−の各軸方向の最適な角
度を求めるミラ−角度検知手段と、を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光源からの
治療レーザ光を患部に導光照射して治療を行うレーザ装
置に関する。
治療レーザ光を患部に導光照射して治療を行うレーザ装
置に関する。
【０００２】
【従来技術】従来のレーザ装置においては、治療レーザ
光を患者眼眼底に照射して光凝固等を行うレーザ治療装
置が知られている。この種の装置に使用されるレーザ光
源はレーザ管内にて励気され、発生したレーザ光をレー
ザ管両端に平行にして向き合うように設けられた一対の
反射ミラーでもって共振させることによってレーザ発振
を得ている。この両端に設けられた反射ミラーはわずか
でも設置角度がずれているとレーザが発振・出射しなか
ったり、または発振効率が悪くなり、レーザの設定出力
に対する照射出力の低下等の不具合が生じてしまう。そ
のため電源投入時に初期設定としてレーザを発振させる
と同時に反射ミラーを回転駆動させ、回転駆動している
間の照射出力値を測定し、もっとも発振効率の良い位置
角度へ反射ミラーを合せることにより最適なレーザ発振
を得ている。
光を患者眼眼底に照射して光凝固等を行うレーザ治療装
置が知られている。この種の装置に使用されるレーザ光
源はレーザ管内にて励気され、発生したレーザ光をレー
ザ管両端に平行にして向き合うように設けられた一対の
反射ミラーでもって共振させることによってレーザ発振
を得ている。この両端に設けられた反射ミラーはわずか
でも設置角度がずれているとレーザが発振・出射しなか
ったり、または発振効率が悪くなり、レーザの設定出力
に対する照射出力の低下等の不具合が生じてしまう。そ
のため電源投入時に初期設定としてレーザを発振させる
と同時に反射ミラーを回転駆動させ、回転駆動している
間の照射出力値を測定し、もっとも発振効率の良い位置
角度へ反射ミラーを合せることにより最適なレーザ発振
を得ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら最適なレ
ーザ発振を得るためには所定パルス分全部を回転駆動さ
せ測定していたため非常に時間がかかり、術者はその間
待っていなければならなかった。
ーザ発振を得るためには所定パルス分全部を回転駆動さ
せ測定していたため非常に時間がかかり、術者はその間
待っていなければならなかった。
【０００４】また、時間がかかるため消費電力が大きく
なり、結果として発熱量も大きくなり、それによりレー
ザ装置内の温度が上昇するため、予め設定してある使用
限界温度に達するまでの時間が早くなりやすいという問
題が生じていた。特に手術等に使用するレーザ治療装置
は手術中に使用限界温度に達して装置が止まってしまわ
ないように、なるべく発熱量を押さえることのできる装
置が望まれていた。
なり、結果として発熱量も大きくなり、それによりレー
ザ装置内の温度が上昇するため、予め設定してある使用
限界温度に達するまでの時間が早くなりやすいという問
題が生じていた。特に手術等に使用するレーザ治療装置
は手術中に使用限界温度に達して装置が止まってしまわ
ないように、なるべく発熱量を押さえることのできる装
置が望まれていた。
【０００５】本発明は、上記問題点に鑑み、発振効率の
良い位置角度を短時間で導き出す事ができ、消費電力を
押さえることのできるレーザ装置を提供することを技術
課題とする。
良い位置角度を短時間で導き出す事ができ、消費電力を
押さえることのできるレーザ装置を提供することを技術
課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
【０００７】（１） レーザ光を発振するレーザ装置に
おいて、レーザ発振を得るためのレ−ザ発振手段と、該
レ−ザ発振手段により発振するレーザ光を共振させるレ
−ザ反射ミラ−を持つ共振手段と、該共振手段の少なく
とも一方のレ−ザ反射ミラ−を第１軸とこの第１軸に所
定の角度で交差する第２軸を中心にそれぞれ回転させる
ための回転手段と、前記レ−ザ反射ミラ−を出射された
レーザ光の出力値を測定する測定手段と、角度変位に対
する出力特性に基づいて定められた少なくとも３個の回
転角に前記レ−ザ反射ミラ−を回転させ各回転角でのレ
ーザ出力を前記測定手段により測定し、その測定結果に
基づいて決められる回転角の範囲内で前記レ−ザ反射ミ
ラ−を順次変位させその出力を得ることによって前記レ
−ザ反射ミラ−の各軸方向の最適な角度を求めるミラ−
角度検知手段と、を備えることを特徴とする。
おいて、レーザ発振を得るためのレ−ザ発振手段と、該
レ−ザ発振手段により発振するレーザ光を共振させるレ
−ザ反射ミラ−を持つ共振手段と、該共振手段の少なく
とも一方のレ−ザ反射ミラ−を第１軸とこの第１軸に所
定の角度で交差する第２軸を中心にそれぞれ回転させる
ための回転手段と、前記レ−ザ反射ミラ−を出射された
レーザ光の出力値を測定する測定手段と、角度変位に対
する出力特性に基づいて定められた少なくとも３個の回
転角に前記レ−ザ反射ミラ−を回転させ各回転角でのレ
ーザ出力を前記測定手段により測定し、その測定結果に
基づいて決められる回転角の範囲内で前記レ−ザ反射ミ
ラ−を順次変位させその出力を得ることによって前記レ
−ザ反射ミラ−の各軸方向の最適な角度を求めるミラ−
角度検知手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】（２） （１）のレーザ装置において、前
記ミラ−角度検知手段は少なくとも３個の回転角に前記
レ−ザ反射ミラ−を置いた時の出力結果に基づいて最適
な角度がどの回転角とどの回転角との間にあるかを予想
する予想手段を持つことを特徴とする。
記ミラ−角度検知手段は少なくとも３個の回転角に前記
レ−ザ反射ミラ−を置いた時の出力結果に基づいて最適
な角度がどの回転角とどの回転角との間にあるかを予想
する予想手段を持つことを特徴とする。
【０００９】（３） （２）のレーザ装置において、前
記ミラ−角度検知手段は前記予想手段により予想された
る回転角と回転角との間で前記レ−ザ反射ミラ−を回転
走査して各回転角に対する出力を測定することを特徴と
する。
記ミラ−角度検知手段は前記予想手段により予想された
る回転角と回転角との間で前記レ−ザ反射ミラ−を回転
走査して各回転角に対する出力を測定することを特徴と
する。
【００１０】（４） （１）のレーザ装置において、前
記ミラ−角度検知手段は、もっとも高い出力が得られた
角度を中心として前記回転角の範囲で前記レ−ザ反射ミ
ラ−を回転走査することを特徴とする。
記ミラ−角度検知手段は、もっとも高い出力が得られた
角度を中心として前記回転角の範囲で前記レ−ザ反射ミ
ラ−を回転走査することを特徴とする。
【００１１】（５） （１）のレーザ装置において、前
記駆動手段は前記レ−ザ反射ミラ−の一方のミラーのみ
を駆動させることを特徴とする。
記駆動手段は前記レ−ザ反射ミラ−の一方のミラーのみ
を駆動させることを特徴とする。
【００１２】（６） （４）のレーザ装置において、前
記レーザ発振手段は、複数の主波長を持つレ−ザ光を発
振するものであり、前記駆動手段は前記レ−ザ反射ミラ
−の一方の全反射ミラーのみを駆動させることを特徴と
する。
記レーザ発振手段は、複数の主波長を持つレ−ザ光を発
振するものであり、前記駆動手段は前記レ−ザ反射ミラ
−の一方の全反射ミラーのみを駆動させることを特徴と
する。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図面に基づい
て説明する。なお、実施例に使用するレーザ治療装置は
複数波長を選択することのできるイオンレーザ装置であ
る。図１は共振器の概略を示した概略断面図である。１
はレーザ発振を行うガス媒質が封入されているイオンレ
ーザ管である。本実施例では赤色光（647.1nm ）と黄色
光（568.2nm）、及び緑色光（530.9nm、520.8nm）の発
振光を持つクリプトンレーザ（Ｋｒ）を使用している。
イオンレーザ管１の両端には陽極２と陰極３の二つの電
極が設置されており、封入された前記ガス媒質に電圧を
与えることにより放電を行う。
て説明する。なお、実施例に使用するレーザ治療装置は
複数波長を選択することのできるイオンレーザ装置であ
る。図１は共振器の概略を示した概略断面図である。１
はレーザ発振を行うガス媒質が封入されているイオンレ
ーザ管である。本実施例では赤色光（647.1nm ）と黄色
光（568.2nm）、及び緑色光（530.9nm、520.8nm）の発
振光を持つクリプトンレーザ（Ｋｒ）を使用している。
イオンレーザ管１の両端には陽極２と陰極３の二つの電
極が設置されており、封入された前記ガス媒質に電圧を
与えることにより放電を行う。
【００１４】４は出力ミラー、５は第１全反射ミラー、
６は第２全反射ミラーである。第1全反射ミラー５は黄
色光（568.2nm）及び緑色光（530.9nm、520.8nm）の光
を反射する特性を有し、レーザ光軸Ｌ上に固定的に配置
されている。第２全反射ミラー６は、赤色光（647.1nm
）を反射する特性を有し、光軸Ｌ上に挿脱可能に配置
される。出力ミラー４は、赤色光、黄色光、緑色光の全
ての波長域の光に対して１〜３％の透過率を有する。し
たがって、第２全反射ミラー６を光軸Ｌ上に配置したと
きは、これと出力ミラー４により共振器が構成されて赤
色のレーザ光が発振する。一方、第２全反射ミラー６を
光軸Ｌ上から退避させると、第１全反射ミラー５と出力
ミラー４により共振器が構成されて黄色光（568.2nm）
及び緑色光（530.9nm、520.8nm）のレーザ光が発振され
るようになる。この第１全反射ミラー５と第２全反射ミ
ラー６の切替機構による異なる波長のレーザ発振に関す
る事項は、詳しくは特願平 9-10430を参照されたい。
６は第２全反射ミラーである。第1全反射ミラー５は黄
色光（568.2nm）及び緑色光（530.9nm、520.8nm）の光
を反射する特性を有し、レーザ光軸Ｌ上に固定的に配置
されている。第２全反射ミラー６は、赤色光（647.1nm
）を反射する特性を有し、光軸Ｌ上に挿脱可能に配置
される。出力ミラー４は、赤色光、黄色光、緑色光の全
ての波長域の光に対して１〜３％の透過率を有する。し
たがって、第２全反射ミラー６を光軸Ｌ上に配置したと
きは、これと出力ミラー４により共振器が構成されて赤
色のレーザ光が発振する。一方、第２全反射ミラー６を
光軸Ｌ上から退避させると、第１全反射ミラー５と出力
ミラー４により共振器が構成されて黄色光（568.2nm）
及び緑色光（530.9nm、520.8nm）のレーザ光が発振され
るようになる。この第１全反射ミラー５と第２全反射ミ
ラー６の切替機構による異なる波長のレーザ発振に関す
る事項は、詳しくは特願平 9-10430を参照されたい。
【００１５】レーザ光を増幅するためにはイオンレーザ
管１に対して出力ミラー４、第１全反射ミラー５、第２
全反射ミラー６がそれぞれ正確な位置をとることが要求
され、本実施例においては以下のような共振器７が形成
されている。
管１に対して出力ミラー４、第１全反射ミラー５、第２
全反射ミラー６がそれぞれ正確な位置をとることが要求
され、本実施例においては以下のような共振器７が形成
されている。
【００１６】共振器７はインバーやスーパーインバー等
の熱膨張率の小さい素材を使用した３本のロッド棒８
（図では１本のロッド棒は描かれていない）とロッド棒
８を結合するプレート９、１０、１１、１２とで構造体
が形成され、イオンレーザ管１はプレート１０、１１に
保持されている。また、ロッド棒８の両端にはプレート
９、１２があり、プレート９には第１及び第２全反射ミ
ラー５、６を保持する可動プレート１３が、プレート１
２には出力ミラー４を保持する可動プレート１４が板バ
ネを介して接続されている。図２はこの共振器７をイオ
ンレーザ管１の陰極側斜方向から見た図であるがこの図
が示すように板バネ１５ａ、１５ｂ、１５ｃと３ヶ所に
て接続されている。
の熱膨張率の小さい素材を使用した３本のロッド棒８
（図では１本のロッド棒は描かれていない）とロッド棒
８を結合するプレート９、１０、１１、１２とで構造体
が形成され、イオンレーザ管１はプレート１０、１１に
保持されている。また、ロッド棒８の両端にはプレート
９、１２があり、プレート９には第１及び第２全反射ミ
ラー５、６を保持する可動プレート１３が、プレート１
２には出力ミラー４を保持する可動プレート１４が板バ
ネを介して接続されている。図２はこの共振器７をイオ
ンレーザ管１の陰極側斜方向から見た図であるがこの図
が示すように板バネ１５ａ、１５ｂ、１５ｃと３ヶ所に
て接続されている。
【００１７】また、可動プレート１３には３本の調節ネ
ジ１６ａ、１６ｂ、１６ｃが接続されている。可動プレ
ート１４側も同じように板バネ、調整ネジを３ヶ所にて
使用している。可動プレート１３の調節ネジ１６ａ、１
６ｂにはパルスモータ１８ａ、１８ｂがそれぞれ取り付
けられており、このモータをそれぞれ駆動させることに
より調整ネジ１６ａ、１６ｂが前後に移動する。調整ネ
ジ１６ａが前後に移動すると可動プレート１３は調整ネ
ジ１６ｃを中心とした図２上のＸ軸を回転軸として回転
微動する。調整ネジ１６ｂが前後に移動すると可動プレ
ート１３は調整ネジ１６ｃを中心としたＹ軸を回転軸と
して回転微動する。これを用いて第１全反射ミラー５、
第２全反射ミラー６のレーザ光軸Ｌに対する角度位置調
整を行うことができる。また可動プレート１３、１４は
共振器組立て時、もしくはメンテナンス時において予め
手動にて調整ネジを使用して調整されているため出荷時
においてはレーザ発振ができるようになっている。
ジ１６ａ、１６ｂ、１６ｃが接続されている。可動プレ
ート１４側も同じように板バネ、調整ネジを３ヶ所にて
使用している。可動プレート１３の調節ネジ１６ａ、１
６ｂにはパルスモータ１８ａ、１８ｂがそれぞれ取り付
けられており、このモータをそれぞれ駆動させることに
より調整ネジ１６ａ、１６ｂが前後に移動する。調整ネ
ジ１６ａが前後に移動すると可動プレート１３は調整ネ
ジ１６ｃを中心とした図２上のＸ軸を回転軸として回転
微動する。調整ネジ１６ｂが前後に移動すると可動プレ
ート１３は調整ネジ１６ｃを中心としたＹ軸を回転軸と
して回転微動する。これを用いて第１全反射ミラー５、
第２全反射ミラー６のレーザ光軸Ｌに対する角度位置調
整を行うことができる。また可動プレート１３、１４は
共振器組立て時、もしくはメンテナンス時において予め
手動にて調整ネジを使用して調整されているため出荷時
においてはレーザ発振ができるようになっている。
【００１８】１７は第１全反射ミラー５、第２全反射ミ
ラー６を塵、埃等から防ぐための防塵カバーである。防
塵カバー１７の外部にはパルスモータ１９が取り付けら
れており、これを使用することによって第２全反射ミラ
ーをレーザー光軸Ｌ上に挿入することが可能となる。
ラー６を塵、埃等から防ぐための防塵カバーである。防
塵カバー１７の外部にはパルスモータ１９が取り付けら
れており、これを使用することによって第２全反射ミラ
ーをレーザー光軸Ｌ上に挿入することが可能となる。
【００１９】以上のような構成を持つ装置の動作を図３
の制御系概略図を用いながら説明する。
の制御系概略図を用いながら説明する。
【００２０】装置本体１の電源を投入すると、制御部２
０はシャッタセンサ２３にて安全シャッタ２２が確実に
挿入されているかを確認する。確実に挿入されていれば
次にパルスモータ１９を使用して第２全反射ミラーがレ
ーザ光軸Ｌ上にきちんと挿入されるかの動作確認が行わ
れる。動作確認が終了後、第２全反射ミラー６を光軸Ｌ
上から離脱させ、第１全反射ミラー５に切替えた後、レ
ーザ用電源２４から所定電流（３０Ａ）を流す。レーザ
用電源２４から所定電流が流れ、共振器７からレーザが
発振される。このときのレーザの出力はレーザ光の大部
分を透過し一部を反射するビームスプリッタ２５で、一
部反射され、出力センサ２６に入射される。出力センサ
２６は共振器７から発振したレーザ光のレーザ出力を検
出する。
０はシャッタセンサ２３にて安全シャッタ２２が確実に
挿入されているかを確認する。確実に挿入されていれば
次にパルスモータ１９を使用して第２全反射ミラーがレ
ーザ光軸Ｌ上にきちんと挿入されるかの動作確認が行わ
れる。動作確認が終了後、第２全反射ミラー６を光軸Ｌ
上から離脱させ、第１全反射ミラー５に切替えた後、レ
ーザ用電源２４から所定電流（３０Ａ）を流す。レーザ
用電源２４から所定電流が流れ、共振器７からレーザが
発振される。このときのレーザの出力はレーザ光の大部
分を透過し一部を反射するビームスプリッタ２５で、一
部反射され、出力センサ２６に入射される。出力センサ
２６は共振器７から発振したレーザ光のレーザ出力を検
出する。
【００２１】この時点においてレーザ出力が検出されて
いない場合、制御部２０はパルスモータ１８ａ、１８ｂ
を使用し、調整ネジ１６ａ、１６ｂを駆動させることに
よって、レーザの出力が得られる第１全反射ミラー５の
位置角度を以下のような調整方法を用いて決定させる。
いない場合、制御部２０はパルスモータ１８ａ、１８ｂ
を使用し、調整ネジ１６ａ、１６ｂを駆動させることに
よって、レーザの出力が得られる第１全反射ミラー５の
位置角度を以下のような調整方法を用いて決定させる。
【００２２】図４はイオンレーザ管に放電を行っても全
反射ミラーの位置角度が悪く、レーザ光が発振しないと
きの調整手段を示した図である。ここでＡは第１全反射
ミラー５の初めの位置を示す。ＰＡは共振器７からレー
ザが発振させることができる全反射ミラーの位置角度を
示す範囲、ＰＴは範囲ＰＡの範囲の中で効率よく最適な
レーザ出力が得られる位置角度を示している。効率よく
最適なレーザ出力とは所定電流においてレーザ出力が最
大値を得る状態のことである。
反射ミラーの位置角度が悪く、レーザ光が発振しないと
きの調整手段を示した図である。ここでＡは第１全反射
ミラー５の初めの位置を示す。ＰＡは共振器７からレー
ザが発振させることができる全反射ミラーの位置角度を
示す範囲、ＰＴは範囲ＰＡの範囲の中で効率よく最適な
レーザ出力が得られる位置角度を示している。効率よく
最適なレーザ出力とは所定電流においてレーザ出力が最
大値を得る状態のことである。
【００２３】制御部２０は所定電流を流しながらパルス
モータ１８ａ、１８ｂを駆動させ、第１全反射ミラー５
を図４のように５００パルス分ずつＸ軸、Ｙ軸方向に駆
動させ、各地点においてレーザ出力を検出する。一回に
駆動させるパルス数はレーザ出力の範囲（ＰＡ）を考慮
して決定されている。第１全反射ミラー５を渦巻上に走
査させて行き、範囲ＰＡに掛かると共振器７からレーザ
出射が行われ、出力センサ２６にレーザ出力が検出され
る。
モータ１８ａ、１８ｂを駆動させ、第１全反射ミラー５
を図４のように５００パルス分ずつＸ軸、Ｙ軸方向に駆
動させ、各地点においてレーザ出力を検出する。一回に
駆動させるパルス数はレーザ出力の範囲（ＰＡ）を考慮
して決定されている。第１全反射ミラー５を渦巻上に走
査させて行き、範囲ＰＡに掛かると共振器７からレーザ
出射が行われ、出力センサ２６にレーザ出力が検出され
る。
【００２４】次に、レーザ出力が出力センサ２６によっ
てある程度検出されている場合、制御部２０はＸ軸方
向、Ｙ軸方向においてそれぞれ所定電流にてレーザの出
力値が最大になるように以下のような調整方法を用いて
第１全反射ミラー５の位置角度を決定させる。
てある程度検出されている場合、制御部２０はＸ軸方
向、Ｙ軸方向においてそれぞれ所定電流にてレーザの出
力値が最大になるように以下のような調整方法を用いて
第１全反射ミラー５の位置角度を決定させる。
【００２５】はじめに制御部２０はパルスモータ１８ｂ
だけ使用し、Ｘ軸方向についてのレーザの最大出力値が
得られる位置を検出する。図５はＸ軸方向に対しての第
１全反射ミラー５の位置角度に対するレーザの出力分布
を示した図である。ここでＰＡｘはＸ軸方向に対するレ
ーザの出力範囲、ＰＴｘはレーザの最大出力値を示す。
制御部２０は最初にあった位置Ｐ１の出力を検出し、出
力メモリ２７に記憶させておく。次に所定パルスだけ駆
動させた位置Ｐ２（５００パルス）へ第１全反射ミラー
５を回転駆動させた後、位置Ｐ２の出力を検出し、出力
メモリ２７に記憶させておく。さらに反対方向の位置Ｐ
３へ所定パルス（１０００パルス）だけ駆動させる。こ
のとき制御部２０は第１全反射ミラー５を正確に位置Ｐ
３へ回転駆動させるためパルスモータを１０００＋αパ
ルス駆動させた後、もう一度逆方向へαだけ戻している
（バックラッシュ）。このように常に所定方向から回転
駆動させることによりギアの遊びによる角度誤差を無く
し、正確な調整を可能にしている。第１全反射ミラー５
回転駆動し、位置Ｐ３まできたらレーザ出力を検出し、
同様に出力メモリ２７に記憶させる。
だけ使用し、Ｘ軸方向についてのレーザの最大出力値が
得られる位置を検出する。図５はＸ軸方向に対しての第
１全反射ミラー５の位置角度に対するレーザの出力分布
を示した図である。ここでＰＡｘはＸ軸方向に対するレ
ーザの出力範囲、ＰＴｘはレーザの最大出力値を示す。
制御部２０は最初にあった位置Ｐ１の出力を検出し、出
力メモリ２７に記憶させておく。次に所定パルスだけ駆
動させた位置Ｐ２（５００パルス）へ第１全反射ミラー
５を回転駆動させた後、位置Ｐ２の出力を検出し、出力
メモリ２７に記憶させておく。さらに反対方向の位置Ｐ
３へ所定パルス（１０００パルス）だけ駆動させる。こ
のとき制御部２０は第１全反射ミラー５を正確に位置Ｐ
３へ回転駆動させるためパルスモータを１０００＋αパ
ルス駆動させた後、もう一度逆方向へαだけ戻している
（バックラッシュ）。このように常に所定方向から回転
駆動させることによりギアの遊びによる角度誤差を無く
し、正確な調整を可能にしている。第１全反射ミラー５
回転駆動し、位置Ｐ３まできたらレーザ出力を検出し、
同様に出力メモリ２７に記憶させる。
【００２６】制御部２０は出力メモリ２７に記憶された
３位置での出力値を比較し、その比較結果に基づいてＰ
Ｔｘの位置を検出する。以下３条件についてそれぞれ説
明する。
３位置での出力値を比較し、その比較結果に基づいてＰ
Ｔｘの位置を検出する。以下３条件についてそれぞれ説
明する。
【００２７】（Ｐ１の出力値が一番高い場合）３位置で
の出力値の内、Ｐ１が一番高い場合は図５ａのような形
となるため、制御部２０はＰ１を中心にＰ２とＰ３間に
要する移動パルス数の過半数となる範囲（この場合左右
２５０＋数パルス）を走査する。この場合もパルスモー
タの遊びによる誤差を無くすために所定方向（本実施例
の場合右側）から第１全反射ミラー５をゆっくりと駆動
させ、同時に出力センサ２７によるレーザ出力値の検出
を行う。Ｐ１を中心に左右２５０＋数パルスの範囲の走
査が終了し、その中の出力最大値ＰＴｘが得られると制
御部２０は第１全反射ミラー５を出力最大値が得られる
位置角度へ所定方向から回転駆動させる。
の出力値の内、Ｐ１が一番高い場合は図５ａのような形
となるため、制御部２０はＰ１を中心にＰ２とＰ３間に
要する移動パルス数の過半数となる範囲（この場合左右
２５０＋数パルス）を走査する。この場合もパルスモー
タの遊びによる誤差を無くすために所定方向（本実施例
の場合右側）から第１全反射ミラー５をゆっくりと駆動
させ、同時に出力センサ２７によるレーザ出力値の検出
を行う。Ｐ１を中心に左右２５０＋数パルスの範囲の走
査が終了し、その中の出力最大値ＰＴｘが得られると制
御部２０は第１全反射ミラー５を出力最大値が得られる
位置角度へ所定方向から回転駆動させる。
【００２８】（Ｐ２の出力値が一番高い場合）３位置で
の出力値の内、Ｐ２が一番高い場合は図５ｂのような形
となるため、先程と同様に制御部２０はＰ２を中心に移
動パルス数の過半数となる範囲（この場合も左右２５０
＋数パルス）を走査する。Ｐ２を中心に左右２５０＋数
パルスの範囲の走査が終了し、ＰＴｘが得られると制御
部２０は第１全反射ミラー５を出力最大値が得られる位
置角度へ回転駆動させる。
の出力値の内、Ｐ２が一番高い場合は図５ｂのような形
となるため、先程と同様に制御部２０はＰ２を中心に移
動パルス数の過半数となる範囲（この場合も左右２５０
＋数パルス）を走査する。Ｐ２を中心に左右２５０＋数
パルスの範囲の走査が終了し、ＰＴｘが得られると制御
部２０は第１全反射ミラー５を出力最大値が得られる位
置角度へ回転駆動させる。
【００２９】（Ｐ３の出力値が一番高い場合）３位置で
の出力値の内、Ｐ３が一番高い場合は図５ｃのような形
となるため、先程と同様に制御部２０はＰ３を中心に移
動パルス数の過半数となる範囲（この場合も左右２５０
＋数パルス）を走査し、ＰＴｘが得られる位置角度へ第
１全反射ミラー５を回転駆動させる。
の出力値の内、Ｐ３が一番高い場合は図５ｃのような形
となるため、先程と同様に制御部２０はＰ３を中心に移
動パルス数の過半数となる範囲（この場合も左右２５０
＋数パルス）を走査し、ＰＴｘが得られる位置角度へ第
１全反射ミラー５を回転駆動させる。
【００３０】このようにＸ軸において所定電流に対して
のレーザの最大出力値が得られる位置角度が決定される
と次に制御部２０はその位置からパルスモータ１８ａの
みを使用してＹ軸方向についても同様の調整方法を行い
レーザの最大出力値ＰＴｙ（ＰＴ）が得られる位置角度
を決定させる。Ｘ軸、Ｙ軸方向の第１全反射ミラーの位
置角度が決定されることによりＰＴが得られる。
のレーザの最大出力値が得られる位置角度が決定される
と次に制御部２０はその位置からパルスモータ１８ａの
みを使用してＹ軸方向についても同様の調整方法を行い
レーザの最大出力値ＰＴｙ（ＰＴ）が得られる位置角度
を決定させる。Ｘ軸、Ｙ軸方向の第１全反射ミラーの位
置角度が決定されることによりＰＴが得られる。
【００３１】次に制御部２０はパルスモータ１９を使用
して第２全反射ミラー６をレーザ光路Ｌ上に挿入して第
１全反射ミラー５と同様な調整を行い、最も効率の良い
レーザ出力が得られる位置角度を決定させる。すべての
調整が終了したら制御部２０はレーザ用電源２４から共
振器７への放電用電流の供給を止め、初期設定を終了す
る。
して第２全反射ミラー６をレーザ光路Ｌ上に挿入して第
１全反射ミラー５と同様な調整を行い、最も効率の良い
レーザ出力が得られる位置角度を決定させる。すべての
調整が終了したら制御部２０はレーザ用電源２４から共
振器７への放電用電流の供給を止め、初期設定を終了す
る。
【００３２】以上の実施例で示したレーザ治療装置での
レーザ出力調整方法はＰ１〜Ｐ３の３位置の出力値を比
較し、一番高い出力値を中心にある範囲を走査すること
により、全反射ミラーの位置角度を決定していたが、次
のようにして調整を行うこともできる。
レーザ出力調整方法はＰ１〜Ｐ３の３位置の出力値を比
較し、一番高い出力値を中心にある範囲を走査すること
により、全反射ミラーの位置角度を決定していたが、次
のようにして調整を行うこともできる。
【００３３】Ｐ１〜Ｐ３においてのレーザ出力を測定し
た後、Ｐ２とＰ３での出力値を比べる。Ｐ３＞Ｐ２の場
合（図５ａ、５ｃ）必ずＰＴｘはＰ１とＰ３の間にある
ためＰ３からＰ１へ走査すればＰＴｘを決定することが
できる。また、Ｐ３＜Ｐ２の場合（図５ｂ）必ずＰＴｘ
はＰ１とＰ２の間にあるためＰ１からＰ２へ走査すれば
ＰＴｘを決定することができる。
た後、Ｐ２とＰ３での出力値を比べる。Ｐ３＞Ｐ２の場
合（図５ａ、５ｃ）必ずＰＴｘはＰ１とＰ３の間にある
ためＰ３からＰ１へ走査すればＰＴｘを決定することが
できる。また、Ｐ３＜Ｐ２の場合（図５ｂ）必ずＰＴｘ
はＰ１とＰ２の間にあるためＰ１からＰ２へ走査すれば
ＰＴｘを決定することができる。
【００３４】また、本実施例ではイオンレーザ管を使用
したがこれに限るものではなく、光共振をさせるために
レーザ管の両端に反射ミラーを取り付け、共振させるこ
とでレーザ光を出射させるものであれば実施可能であ
る。
したがこれに限るものではなく、光共振をさせるために
レーザ管の両端に反射ミラーを取り付け、共振させるこ
とでレーザ光を出射させるものであれば実施可能であ
る。
【００３５】さらに、本実施例のＰ２、Ｐ３の位置は、
位置Ｐ１を中心に左右５００パルス分をとっているが、
前述したような手法において効率の良いレーザ出射が得
られる位置が決定される範囲であれば、これに限ったも
のではない。
位置Ｐ１を中心に左右５００パルス分をとっているが、
前述したような手法において効率の良いレーザ出射が得
られる位置が決定される範囲であれば、これに限ったも
のではない。
【００３６】さらに、また本実施例では全反射ミラーの
みを駆動させることとしたが、反対側の出力ミラーのみ
駆動させたり、２つの反射ミラーを同時に駆動させるこ
とで発振効率の良いレーザ出力が精度よく得ることがで
きる。
みを駆動させることとしたが、反対側の出力ミラーのみ
駆動させたり、２つの反射ミラーを同時に駆動させるこ
とで発振効率の良いレーザ出力が精度よく得ることがで
きる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レーザが出力されるための反射ミラー位置角度の範囲を
すべて走査しないため、短時間で発振効率の良いレーザ
出力が得られる位置角度を検出でき、それに伴い消費電
力を押さえ余計な発熱を防ぐことができる。
レーザが出力されるための反射ミラー位置角度の範囲を
すべて走査しないため、短時間で発振効率の良いレーザ
出力が得られる位置角度を検出でき、それに伴い消費電
力を押さえ余計な発熱を防ぐことができる。
【図１】実施例の共振器の概略断面図である。
【図２】実施例の共振器をイオンレーザ管の陰極側斜方
向から見た斜視図である。
向から見た斜視図である。
【図３】装置の制御系と共振器周辺の概略構成を示す図
である。
である。
【図４】レーザ光が発振しないときの調整手段を示した
図である。
図である。
【図５】Ｘ軸方向に対してのレーザの出力分布を示した
図である。
図である。
１ イオンレーザ管 ４ 出力ミラー ５ 第１全反射ミラー ６ 第２全反射ミラー １３ 可動プレート １４ 可動プレート １５ａ 板バネ １５ｂ 板バネ １５ｃ 板バネ １６ａ 調整ネジ １６ｂ 調整ネジ １６ｃ 調整ネジ ２０ 制御部 ２２ 安全シャッタ ２６ 出力センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｓ 3/02 Ｈ０１Ｓ 3/02 Ｚ
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザ光を発振するレーザ装置におい
て、レーザ発振を得るためのレ−ザ発振手段と、該レ−
ザ発振手段により発振するレーザ光を共振させるレ−ザ
反射ミラ−を持つ共振手段と、該共振手段の少なくとも
一方のレ−ザ反射ミラ−を第１軸とこの第１軸に所定の
角度で交差する第２軸を中心にそれぞれ回転させるため
の回転手段と、前記レ−ザ反射ミラ−を出射されたレー
ザ光の出力値を測定する測定手段と、角度変位に対する
出力特性に基づいて定められた少なくとも３個の回転角
に前記レ−ザ反射ミラ−を回転させ各回転角でのレーザ
出力を前記測定手段により測定し、その測定結果に基づ
いて決められる回転角の範囲内で前記レ−ザ反射ミラ−
を順次変位させその出力を得ることによって前記レ−ザ
反射ミラ−の各軸方向の最適な角度を求めるミラ−角度
検知手段と、を備えることを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項２】 請求項１のレーザ装置において、前記ミ
ラ−角度検知手段は少なくとも３個の回転角に前記レ−
ザ反射ミラ−を置いた時の出力結果に基づいて最適な角
度がどの回転角とどの回転角との間にあるかを予想する
予想手段を持つことを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項３】 請求項２のレーザ装置において、前記ミ
ラ−角度検知手段は前記予想手段により予想されたる回
転角と回転角との間で前記レ−ザ反射ミラ−を回転走査
して各回転角に対する出力を測定することを特徴とする
レーザ装置。 - 【請求項４】 請求項１のレーザ装置において、前記ミ
ラ−角度検知手段は、もっとも高い出力が得られた角度
を中心として前記回転角の範囲で前記レ−ザ反射ミラ−
を回転走査することを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項５】 請求項１のレーザ装置において、前記駆
動手段は前記レ−ザ反射ミラ−の一方のミラーのみを駆
動させることを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項６】 請求項４のレーザ装置において、前記レ
ーザ発振手段は、複数の主波長を持つレ−ザ光を発振す
るものであり、前記駆動手段は前記レ−ザ反射ミラ−の
一方の全反射ミラーのみを駆動させることを特徴とする
レーザ装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10036755A JPH11220193A (ja) | 1998-02-02 | 1998-02-02 | レーザ装置 |
| US09/240,609 US6233268B1 (en) | 1998-02-02 | 1999-02-01 | Laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10036755A JPH11220193A (ja) | 1998-02-02 | 1998-02-02 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11220193A true JPH11220193A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12478569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10036755A Pending JPH11220193A (ja) | 1998-02-02 | 1998-02-02 | レーザ装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6233268B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11220193A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010021284A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Nippon Soken Inc | レーザ発振装置及びワーク移動装置 |
| CN103972782A (zh) * | 2013-01-31 | 2014-08-06 | 发那科株式会社 | 镜调整方法及镜调整装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10065529A1 (de) * | 2000-12-28 | 2002-07-04 | Bosch Gmbh Robert | Laserstrahlquelle |
| JP2004281888A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Fanuc Ltd | レーザ装置 |
| US20050147146A1 (en) * | 2004-01-07 | 2005-07-07 | Ching-Sung Lin | Dual-laser coupling device |
| CN107703601B (zh) * | 2017-09-25 | 2020-03-27 | 青岛海信激光显示股份有限公司 | 一种反射镜调节机构 |
| WO2019224601A2 (en) * | 2018-05-24 | 2019-11-28 | Panasonic intellectual property Management co., Ltd | Exchangeable laser resonator modules with angular adjustment |
| CN110086075A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种激光器谐振腔反射镜的远距离角度调节系统 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3670259A (en) * | 1970-04-13 | 1972-06-13 | American Optical Corp | Double q-switch laser |
| CH565020A5 (ja) * | 1973-04-03 | 1975-08-15 | Filtrox Maschinenbau Ag | |
| DE3617084A1 (de) * | 1986-05-21 | 1987-11-26 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Laser mit umschaltbarer emissionswellenlaenge |
| FI82326C (fi) * | 1986-12-05 | 1991-02-11 | Lasermatic Oy | Laserhuvud. |
| DE3704338C2 (de) * | 1987-02-12 | 1995-04-06 | Gsf Forschungszentrum Umwelt | Einrichtung zur Erzeugung verschiedener Laserwellenlängen aus demselben Lasermedium |
| US5249192A (en) * | 1991-06-27 | 1993-09-28 | Laserscope | Multiple frequency medical laser |
| US5659567A (en) * | 1992-02-19 | 1997-08-19 | Roberts; Rosemary Szewjkowski | Microwave-driven UV light source and solid-state laser |
| US5426662A (en) * | 1994-04-28 | 1995-06-20 | Coherent, Inc. | Laser system selectively operable at two competing wavelengths |
| JP2895014B2 (ja) * | 1997-01-23 | 1999-05-24 | 日本電気株式会社 | イオンレーザ装置 |
-
1998
- 1998-02-02 JP JP10036755A patent/JPH11220193A/ja active Pending
-
1999
- 1999-02-01 US US09/240,609 patent/US6233268B1/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010021284A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Nippon Soken Inc | レーザ発振装置及びワーク移動装置 |
| CN103972782A (zh) * | 2013-01-31 | 2014-08-06 | 发那科株式会社 | 镜调整方法及镜调整装置 |
| JP2014150100A (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-21 | Fanuc Ltd | レーザ発振器に備えられた鏡の傾きを調整する鏡調整方法および鏡調整装置 |
| US8958454B2 (en) | 2013-01-31 | 2015-02-17 | Fanuc Corporation | Mirror adjustment method and mirror adjusting system adjusting slants of mirrors provided at laser oscillator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6233268B1 (en) | 2001-05-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040608 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040809 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050413 |