JP3063852B2 - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JP3063852B2 JP3063852B2 JP2170142A JP17014290A JP3063852B2 JP 3063852 B2 JP3063852 B2 JP 3063852B2 JP 2170142 A JP2170142 A JP 2170142A JP 17014290 A JP17014290 A JP 17014290A JP 3063852 B2 JP3063852 B2 JP 3063852B2
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- laser
- light
- optical axis
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、レーザ光を照射して加工あるいは治療する
レーザ装置に関する。
レーザ装置に関する。
従来技術 従来のレーザ装置においては、レンズやミラー等の光
学系は組立時あるいは納入時に手動で光軸調整される。
その後は必要に応じて光軸調整していた。
学系は組立時あるいは納入時に手動で光軸調整される。
その後は必要に応じて光軸調整していた。
発明が解決しようとする課題 しかし、調整した時点で最も良い状態であっても、周
囲の温室や冷却水等の環境の変化によって光学系の光軸
ずれが生じてしまう。光学系の光軸ずれが生じると、レ
ーザの設定出力に対する照射出力の低下、消費電力の増
加等の不具合が生じてしまう。
囲の温室や冷却水等の環境の変化によって光学系の光軸
ずれが生じてしまう。光学系の光軸ずれが生じると、レ
ーザの設定出力に対する照射出力の低下、消費電力の増
加等の不具合が生じてしまう。
発明の目的 本発明は、上記課題を解決して、光学系の光軸ずれを
補正しレーザ光の照射出力の低下や消費電力の増加を防
止して、出力効率の最良なレーザ装置を提供することを
目的とする。
補正しレーザ光の照射出力の低下や消費電力の増加を防
止して、出力効率の最良なレーザ装置を提供することを
目的とする。
発明の要旨 この発明は特許請求の範囲に記載のレーザ装置を要旨
としている。
としている。
課題を解決するための手段 第2図を参照する。レーザ発光手段(実施例ではレー
ザ発振器1)によるレーザ光Lは導光路である光ファイ
バー11により導く。導光路にレーザ光Lを集光する集光
光学系(集光レンズ10)が設けられている。導光路の入
射端側に配置された第1の光量検出手段(受光素子7)
と、導光路の出射端側に配置された第2の光量検出手段
(受光素子12)との検出結果を比較して、集光光学系の
光軸を調整する光軸調整手段(XYステージ8)により、
集光レンズ10の光軸垂直方向の調整が可能になってい
る。
ザ発振器1)によるレーザ光Lは導光路である光ファイ
バー11により導く。導光路にレーザ光Lを集光する集光
光学系(集光レンズ10)が設けられている。導光路の入
射端側に配置された第1の光量検出手段(受光素子7)
と、導光路の出射端側に配置された第2の光量検出手段
(受光素子12)との検出結果を比較して、集光光学系の
光軸を調整する光軸調整手段(XYステージ8)により、
集光レンズ10の光軸垂直方向の調整が可能になってい
る。
作用 受光素子7と12の信号の比較により集光レンズ10の光
軸を光ファイバー11の光軸に合せる。
軸を光ファイバー11の光軸に合せる。
実施例 第1図はアルゴンレーザ光凝固装置のような眼科用治
療装置を示している。
療装置を示している。
この装置は、主に眼底を光凝固するために使用され、
本体部100、スリットランプ部101、光学台部102から構
成されている。
本体部100、スリットランプ部101、光学台部102から構
成されている。
第2図において、第1図に示す本体部100にはレーザ
発振器1、レーザ光Lを反射及び透過するハーフミラー
6、ハーフミラー6により透過した一部の光を受光する
受光素子7、XYステージ8が内蔵されている。
発振器1、レーザ光Lを反射及び透過するハーフミラー
6、ハーフミラー6により透過した一部の光を受光する
受光素子7、XYステージ8が内蔵されている。
レーザ発振器1は第3図に示すように、中央に配置さ
れたレーザ管2、レーザ管2を固定するマウント5、レ
ーザ光を発振するための共振器ミラー3a、3b、および共
振器ミラー3a、3bをそれぞれ調整するミラー調整板4a、
4bから構成されている。このミラー調整板4a、4bは、駆
動源(図示せず)により動かすことができる。
れたレーザ管2、レーザ管2を固定するマウント5、レ
ーザ光を発振するための共振器ミラー3a、3b、および共
振器ミラー3a、3bをそれぞれ調整するミラー調整板4a、
4bから構成されている。このミラー調整板4a、4bは、駆
動源(図示せず)により動かすことができる。
第2図に示すように、XYステージ8にはステージ中央
部に集光レンズ10が配置されている。XYステージ8は集
光レンズ10の光軸を移動させる微調整送り機構9を備え
ている。微調整送り機構9は、X軸方向の調整モータ9
a、Y軸方向の調整モータ9bを有している。各調整モー
タにより送りねじ(図示せず)を回してXYステージ8を
X、Y方向に移動する。
部に集光レンズ10が配置されている。XYステージ8は集
光レンズ10の光軸を移動させる微調整送り機構9を備え
ている。微調整送り機構9は、X軸方向の調整モータ9
a、Y軸方向の調整モータ9bを有している。各調整モー
タにより送りねじ(図示せず)を回してXYステージ8を
X、Y方向に移動する。
光ファイバー11は、レーザ発振器1から発振したレー
ザ光Lをスリットランプ部101に導く。光ファイバー11
から出射したレーザ光Lはスリットランプ部101のプリ
ズム13により一部反射され、一部透過したレーザ光Lは
受光素子12で受光される。
ザ光Lをスリットランプ部101に導く。光ファイバー11
から出射したレーザ光Lはスリットランプ部101のプリ
ズム13により一部反射され、一部透過したレーザ光Lは
受光素子12で受光される。
受光素子12と受光素子7は信号を制御回路20により比
較して、制御回路20の信号によりXYステージ8の調整モ
ータ9a、9bが作動される。また制御回路20の信号により
ミラー調整板4a、4bも駆動できる。
較して、制御回路20の信号によりXYステージ8の調整モ
ータ9a、9bが作動される。また制御回路20の信号により
ミラー調整板4a、4bも駆動できる。
プリズム13により一部反射したレーザ光Lは、レーザ
照射系14、投影レンズ15およびスキャニングユニット16
を介して被検眼Eの瞳EPを通して治療部位Efに導かれ
る。
照射系14、投影レンズ15およびスキャニングユニット16
を介して被検眼Eの瞳EPを通して治療部位Efに導かれ
る。
次に第2図と第4図を参照にして動作を説明する。レ
ーザ発振回路を作動させる。レーザ発振器1をスイッチ
オンにしてレーザ管2からレーザ光Lを発光させる。
ーザ発振回路を作動させる。レーザ発振器1をスイッチ
オンにしてレーザ管2からレーザ光Lを発光させる。
制御回路20の信号により調整板4a、4bを操作して共振
器ミラー3a、3bを調整して、レーザ発振モードをカレン
トモードに設定する。まずレーザ管2から発光されるレ
ーザ光Lが設定値に等しいかどうかをチェックする。
器ミラー3a、3bを調整して、レーザ発振モードをカレン
トモードに設定する。まずレーザ管2から発光されるレ
ーザ光Lが設定値に等しいかどうかをチェックする。
ここで、連続発振レーザの発振モードには、光出力を
変えるのに光出力設定値に対してレーザ管電流を比例的
に変化させるカレントモードと、出力の一部をモニター
し出力設定値に対して実際の光出力が比例して変化する
様にレーザ管電流を変化させるライトコントロールモー
ドの二種類がある。
変えるのに光出力設定値に対してレーザ管電流を比例的
に変化させるカレントモードと、出力の一部をモニター
し出力設定値に対して実際の光出力が比例して変化する
様にレーザ管電流を変化させるライトコントロールモー
ドの二種類がある。
レーザ発振器1のレーザ管2から発光されたレーザ光
Lは、ハーフミラー6により反射され、一部透過され
る。
Lは、ハーフミラー6により反射され、一部透過され
る。
ハーフミラー6により透過されたレーザ光Lの一部
は、受光素子7で受光され、レーザ光Lの出力が測定さ
れる。
は、受光素子7で受光され、レーザ光Lの出力が測定さ
れる。
測定されたレーザ光Lの出力は、本体部100の出力設
定部(図示せず)で設定された設定値と制御回路20で比
較され、異常がなければレーザ光Lはそのまま発振され
る。
定部(図示せず)で設定された設定値と制御回路20で比
較され、異常がなければレーザ光Lはそのまま発振され
る。
もし比較して異常があれば、ミラー調整板4a、4bを操
作して共振器ミラー3a、3bを調整する。再度受光素子7
でレーザ光Lの一部の光を受光してレーザ光Lの出力を
測定して、上述の設定値と比較する。比較して異常がな
ければ、レーザ発振モードをライトモードにもどす。
作して共振器ミラー3a、3bを調整する。再度受光素子7
でレーザ光Lの一部の光を受光してレーザ光Lの出力を
測定して、上述の設定値と比較する。比較して異常がな
ければ、レーザ発振モードをライトモードにもどす。
ハーフミラー6により反射されたレーザ光Lは集光レ
ンズ10により光ファイバー11の入射端面に集光されて、
光ファイバー11により導光される。
ンズ10により光ファイバー11の入射端面に集光されて、
光ファイバー11により導光される。
光ファイバー11を通過したレーザ光Lはプリズム13に
より反射され、その一部が透過されて受光素子12で受光
される。
より反射され、その一部が透過されて受光素子12で受光
される。
受光素子12では光ファイバー11を通過した後のレーザ
光Lの出力が測定される。この通過後のレーザ光Lの出
力は受光素子7で受光し測定された光ファイバー11を通
過する前のレーザ光Lの出力と比較される。これにより
光ファイバー11の伝達効率を測定する。集光レンズ10の
光軸ファイバー11の光軸と一致していて、測定された光
ファイバー11の伝達効率が正常値であれば、レーザ光は
プリズム13、レーザ照射系14、投影レンズ15、スキャニ
ングユニット16を通して被検眼Eの治療部位Efに導かれ
る。これにより眼底の光凝固治療をする。
光Lの出力が測定される。この通過後のレーザ光Lの出
力は受光素子7で受光し測定された光ファイバー11を通
過する前のレーザ光Lの出力と比較される。これにより
光ファイバー11の伝達効率を測定する。集光レンズ10の
光軸ファイバー11の光軸と一致していて、測定された光
ファイバー11の伝達効率が正常値であれば、レーザ光は
プリズム13、レーザ照射系14、投影レンズ15、スキャニ
ングユニット16を通して被検眼Eの治療部位Efに導かれ
る。これにより眼底の光凝固治療をする。
もし、集光レンズ10の光軸と光ファイバー11の光軸が
ずれていて伝達効率が低下していれば、XYステージ8に
設けられたX軸方向の調整モータ9aとY軸方向の調整モ
ータ9bを操作することにより、集光レンズ10の光軸を調
整する。
ずれていて伝達効率が低下していれば、XYステージ8に
設けられたX軸方向の調整モータ9aとY軸方向の調整モ
ータ9bを操作することにより、集光レンズ10の光軸を調
整する。
調整された後、再度、光ファイバー11を通過した後の
レーザ光Lの出力を、受光素子7で受光し出力と比較
し、光ファイバー11の伝達効率が正常かどうかをチェッ
クする。その後、正常であれば、プリズム13などを通し
て被検眼Eの治療部位Efに導かれ、眼底の光凝固の治療
を行う。
レーザ光Lの出力を、受光素子7で受光し出力と比較
し、光ファイバー11の伝達効率が正常かどうかをチェッ
クする。その後、正常であれば、プリズム13などを通し
て被検眼Eの治療部位Efに導かれ、眼底の光凝固の治療
を行う。
ところでこの発明は上述の実施例に限定されない。こ
の発明は、たとえば、光凝固装置の他にワーク加工用の
レーザ装置にも適用できる。
の発明は、たとえば、光凝固装置の他にワーク加工用の
レーザ装置にも適用できる。
発明の効果 請求項1の発明によれば、導光系に入射するレーザ光
の光軸ずれを調整でき、レーザ光の出力効率を一定に保
つことができる。しかも、導光系の入射側と出射側の両
側に光量検出手段を配置したことで、導光系の劣化を検
出することが可能となる。
の光軸ずれを調整でき、レーザ光の出力効率を一定に保
つことができる。しかも、導光系の入射側と出射側の両
側に光量検出手段を配置したことで、導光系の劣化を検
出することが可能となる。
請求項2の発明によれば、レーザ光の光軸を簡単に合
せることができる。
せることができる。
第1図はこの発明のレーザ装置の実施例である光凝固装
置を示す図、第2図は光凝固装置の内部構造を示す図、
第3図はレーザ発振器を示す図、第4図は動作を示す流
れ図である。 1……レーザ発振器 6……ハーフミラー 7、12……受光素子 8……XYステージ 10……集光レンズ 11……光ファイバー 100……本体部 101……スリットランプ
置を示す図、第2図は光凝固装置の内部構造を示す図、
第3図はレーザ発振器を示す図、第4図は動作を示す流
れ図である。 1……レーザ発振器 6……ハーフミラー 7、12……受光素子 8……XYステージ 10……集光レンズ 11……光ファイバー 100……本体部 101……スリットランプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 3/101 A61B 18/20 G02B 6/32 G02B 6/42 H01S 3/105
Claims (2)
- 【請求項1】レーザ光を発生するレーザ発光手段(1)
と、 レーザ発光手段(1)によるレーザ光(L)を導く導光
路(11)と、 導光路(11)にレーザ光(L)を集光する集光光学系
(10)と、 導光路(11)の入射端側に配置された第1の光量検出手
段(7)と、 導光路(11)の出射端側に配置された第2の光量検出手
段(12)と、 第1の光量検出手段(7)と第2の光量検出手段(12)
との検出結果を比較して集光光学系の光軸を調整する光
軸調整手段(20、8)と、 を有することを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項2】光軸調整手段は、第1軸とこの第1軸に直
交する第2軸に駆動可能な駆動手段(9)を含んでいる
ことを特徴とする請求項第1項に記載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2170142A JP3063852B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2170142A JP3063852B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | レーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0461290A JPH0461290A (ja) | 1992-02-27 |
JP3063852B2 true JP3063852B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=15899450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2170142A Expired - Fee Related JP3063852B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3063852B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5096760B2 (ja) * | 2007-02-23 | 2012-12-12 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用照明装置および蛍光顕微鏡装置 |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP2170142A patent/JP3063852B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0461290A (ja) | 1992-02-27 |
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Legal Events
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