JPH1117251A - Ｙａｇレーザ発振器およびレーザマーキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パルス発振時および連続発振時にかかわらず
レーザ出力を常に正確かつ安価にモニタすることが可能
なＹＡＧレーザ発振器およびそれを備えたレーザマーキ
ング装置を提供することである。 【解決手段】 収納ケース１０にＹＡＧロッド１１およ
びランプ１２が内蔵される。ＹＡＧロッド１１の両端面
は収納ケース１０から外部に露出している。ＹＡＧロッ
ド１１の前端面近傍でレーザ光の光路に干渉しない位置
に赤外線カットフィルタ１６および受光素子１７が配設
される。ＣＰＵ２１は、受光素子１７の出力信号に基づ
いてランプ電源２０からランプ１２に供給される電流を
制御することによりレーザ出力を一定値に補正するとと
もに、ランプ１２の交換直後の光量からの減衰量に基づ
いてランプ１２が寿命に達したかどうかを判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＹＡＧレーザ発振
器およびそれを用いたレーザマーキング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】対象物に文字、記号、図形等のマークを
印字するためにレーザマーキング装置が用いられてい
る。このようなレーザマーキング装置には、例えばＹＡ
Ｇレーザ発振器が用いられる。

【０００３】図４は従来のＹＡＧレーザ発振器の概略図
である。図４において、収納ケース３１（レーザチャン
バ）内に、ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガー
ネット）の棒状結晶体であるＹＡＧロッド３２および励
起用のランプ３３が内蔵されている。

【０００４】また、ＹＡＧロッド３２の前方および後方
にそれぞれ出力ミラー４０および全反射ミラー３５が対
向するように配置されている。これらの出力ミラー４０
および全反射ミラー３５が光共振器を構成する。ＹＡＧ
ロッド３２と全反射ミラー３５との間にＱスイッチ３４
が配置されている。ランプ３３はランプ電源４１に接続
される。

【０００５】ランプ電源４１からランプ３３に電流が供
給されると、ランプ３３が点灯する。ランプ３３の光
（ランプ光）がＹＡＧロッド３２に照射されると、ラン
プ光の中の特定の波長領域の光でＹＡＧロッド３２が励
起され、誘導放出光が発生する。ＹＡＧロッド３２の端
面から発生した誘導放出光は、出力ミラー４０と全反射
ミラー３５との間で多重反射することにより増幅されて
レーザ発振し、一部のレーザ光が出力ミラー４０を透過
して出射される。

【０００６】Ｑスイッチ３４は、Ｑスイッチイングによ
りレーザ光をパルス発振させることにより高くかつ時間
幅の短いレーザ出力を得る。Ｑスイッチングとは、光共
振器の損失を増加させた状態でポンピングを行い、エネ
ルギーを励起準位に蓄積して適当なときに損失を減少さ
せ、レーザ作用を行わせることをいう。Ｑスイッチ３４
が作動しないときには、レーザ光は連続発振する。

【０００７】このようなＹＡＧレーザ発振器において、
レーザ出力（レーザパワー）の制御は、ランプ電源４１
からランプ３３に供給する電流を調整することにより行
う。ランプ３３の光量は個々のランプ３３により異な
り、かつ時間の経過とともに低下し、それに伴ってレー
ザ出力も変動する。そのため、レーザ出力を一定に補正
する必要がある。

【０００８】従来は、レーザ出力を一定に補正する方法
として、全反射ミラー３５の後方にフォトダイオード等
の受光素子３６を配置し、連続発振時に全反射ミラー３
５を透過した微小量のレーザ光をその受光素子３６でモ
ニタし、レーザ出力が一定になるようにランプ電源４１
からランプ３３に供給する電流をフィードバック制御し
ている。

【０００９】あるいは、出力ミラー４０の前方にハーフ
ミラー３７を配置し、連続発振時に出力ミラー４０を透
過したレーザ光をハーフミラー３７で分岐させ、微小量
のレーザ光を受光素子３８でモニタし、レーザ出力が一
定になるようにランプ電源４１からランプ３３に供給す
る電流をフィードバック制御している。

【００１０】また、ランプ３３の点灯時間をアワーメー
タ（積算時間計）等で積算し、点灯時間の積算値が規定
値に達した時点でランプ３３が寿命に達したことを判断
し、ランプ３３を交換している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】連続発振時において
は、レーザ出力は多少変動するが、モニタされた値を平
滑化することにより、上記の方法でレーザ出力を一定に
補正することは可能である。

【００１２】しかしながら、ＹＡＧレーザ発振器は、上
記のようにＱスイッチ３４によりレーザ光をパルス発振
させて使用することが多い。パルス発振時のレーザ光の
パルス幅は５０ｎｓｅｃ程度と非常に短く、かつパルス
の最大値は大きく変動する。そのため、受光素子の出力
信号がレーザ出力の変動に追従できず、パルス発振時の
レーザ光をモニタすることは困難となる。したがって、
パルス発振時に、レーザ出力をフィードバック制御によ
り正確に一定に補正することはできない。

【００１３】また、ＹＡＧレーザ発振器から出射される
レーザ光の波長は、赤外領域の１０６４ｎｍである。赤
外領域の光を検出する受光素子は高価である。

【００１４】一方、ランプ３３の寿命は、正確には点灯
時間の積算値ではなく、ランプ３３の初期の光量からの
減衰量で決まる。ランプ光量は個々のランプ３３でばら
つきがあるので、ランプ３３の寿命を点灯時間の積算値
で規定する場合、最も低いランプ光量を有するランプ３
３に基づいて寿命に達する点灯時間の積算値を設定する
必要がある。その場合、ランプ３３の点灯時間の積算値
が設定された時間に達しても、実際にはそのランプ３３
が光量の減衰量で決まる寿命に達していないこともあ
る。

【００１５】本発明の目的は、パルス発振時および連続
発振時にかかわらずレーザ出力を常に正確かつ安価にモ
ニタすることが可能なＹＡＧレーザ発振器およびそれを
備えたレーザマーキング装置を提供することである。

【００１６】本発明の他の目的は、光源の正確な寿命を
判定することが可能なＹＡＧレーザ発振器およびそれを
備えたレーザマーキング装置を提供することである。

【００１７】

【課題を解決するための手段および発明の効果】

（１）第１の発明 第１の発明に係るＹＡＧレーザ発振器は、光源の光によ
り励起されるレーザ媒質を有し、レーザ光を出射するＹ
ＡＧレーザ発振器において、光源の光を受光する受光手
段を備えたものである。

【００１８】本発明に係るＹＡＧレーザ発振器において
は、受光手段により光源の光が受光される。レーザ出力
は、光源の光の中の特定の波長領域の励起光の強さに依
存する。したがって、レーザ光を直接モニタすることな
く、光源の光を受光手段でモニタすることにより、パル
ス発振時および連続発振時にかかわらず、レーザ出力を
正確にモニタすることが可能となる。その結果、常に安
定してレーザ出力の変動を一定に補正することが可能と
なる。

【００１９】また、光源の光のスペクトル分布は光量に
より変化しない。そのため、受光手段により光源の光の
中の任意の波長領域の光をモニタした場合にも、光源の
光の中の特定の波長領域の励起光をモニタした場合と同
等な結果が得られる。したがって、安価な受光手段を用
いることができる。

【００２０】さらに、光源の光がモニターされるので、
光量の減衰量を測定することが可能となる。それによ
り、光量の減衰量に基づいて光源が寿命に達したかどう
かを正確に判定することができる。

【００２１】（２）第２の発明 第２の発明に係るＹＡＧレーザ発振器は、第１の発明に
係るＹＡＧレーザ発振器の構成において、レーザ媒質は
イットリウム、アルミニウムおよびガーネットを含む棒
状結晶体からなり、受光手段が棒状結晶体の端面近傍で
レーザ光の光路に干渉しない位置に配設されたものであ
る。

【００２２】これにより、受光手段によりレーザ光の発
振を阻害することなく棒状結晶体の端面近傍から漏れ出
る光源の光を容易にかつ正確に受光することが可能とな
る。

【００２３】（３）第３の発明 第３の発明に係るＹＡＧレーザ発振器は、第１または第
２の発明に係るＹＡＧレーザ発振器の構成において、受
光手段の出力信号に基づいて光源に供給する電流を制御
する制御手段をさらに備えたものである。

【００２４】これにより、光源の光量に基づいてレーザ
出力を正確に制御することが可能となる。したがって、
パルス発振時および連続発振時にかかわらず、常に安定
してレーザ出力の変動を補正することが可能となる。

【００２５】（４）第４の発明 第４の発明に係るＹＡＧレーザ発振器は、第３の発明に
係るＹＡＧレーザ発振器の構成において、制御手段は、
受光手段の出力信号が所定の基準値と等しくなるように
光源に供給する電流を制御するものである。

【００２６】これにより、パルス発振時および連続発振
時にかかわらず、常に安定してレーザ出力の変動を一定
に補正することが可能となる。

【００２７】また、光源の初期の光量にばらつきがあっ
ても、レーザ出力を一定の値に補正することができる。

【００２８】（５）第５の発明 第５の発明に係るＹＡＧレーザ発振器は、第３または第
４の発明に係るＹＡＧレーザ発振器の構成において、制
御手段は、受光手段の出力信号に基づいて光源の光量の
初期値からの減衰量を検出し、減衰量に基づいて警告を
出力するものである。

【００２９】これにより、光源の光量の初期値からの減
衰量が所定値に達した場合に警告が出力されるので、個
々の光源の初期の光量のばらつきにかかわらず、個々の
光源が寿命に達したかどうかを正確に判定することが可
能となる。その結果、光源をその寿命まで使用すること
ができる。

【００３０】（６）第６の発明 第６の発明に係るＹＡＧレーザ発振器は、第１〜第５の
いずれかの発明に係るＹＡＧレーザ発振器の構成におい
て、レーザ媒質は両端面が外部に露出するように光源と
ともに収納ケース内に収納され、収納ケースから露出し
たレーザ媒質の両端面に対向するように一対のミラーが
配置され、レーザ媒質の一方の端面と一方のミラーとの
間にＱスイッチが配置され、受光手段がレーザ媒質のい
ずれか一方の端面近傍から漏れ出た光源の光を受光する
ように配置されたものである。

【００３１】この場合、一対のミラーにより光共振器が
構成される。レーザ媒質の両端面から出射される誘導放
出光が一対のミラーで多重反射することにより増幅され
てレーザ発振し、一部のレーザ光がミラーを透過して出
射される。Ｑスイッチの作動時にはレーザ光がパルス発
振し、Ｑスイッチが作動しないときにはレーザ光は連続
発振する。

【００３２】特に、受光手段がレーザ媒質のいずれか一
方の端面近傍から漏れ出た光源の光を受光するので、受
光手段を収納ケースの外部に配置することができる。し
たがって、受光手段の装着が容易となる。

【００３３】（７）第７の発明 第７の発明に係るＹＡＧレーザ発振器は、第１〜第６の
いずれかの発明に係るＹＡＧレーザ発振器の構成におい
て、レーザ媒質と受光手段との間に赤外線を遮断する赤
外線遮断手段が配設されたものである。

【００３４】この場合、赤外線遮断手段により赤外線が
遮断されるので、受光手段が熱の影響を受けることが防
止される。

【００３５】（８）第８の発明 第８の発明に係るＹＡＧレーザ発振器は、第１〜第７の
いずれかの発明に係るＹＡＧレーザ発振器の構成におい
て、受光手段は、可視光領域の光を検出する受光素子か
らなるものである。

【００３６】光源の光のスペクトル分布は光量により変
化しないので、受光素子により光源の光の中の可視光領
域の光をモニタした場合にも、光源の光の中の特定の波
長領域の励起光をモニタした場合と同等な結果が得られ
る。したがって、安価な受光素子を用いることができ
る。

【００３７】（９）第９の発明 第９の発明に係るレーザマーキング装置は、対象物にレ
ーザ光を照射して印字を行うレーザマーキング装置であ
って、第１〜第８のいずれかの発明に係るＹＡＧレーザ
発振器と、ＹＡＧレーザ発振器から出射されたレーザ光
を対象物に走査させる走査手段とを備えたものである。

【００３８】本発明に係るレーザマーキング装置におい
ては、第１〜第８のいずれかの発明に係るＹＡＧレーザ
発振器を備えているので、パルス発振時および連続発振
時にかかわらず、レーザ出力を正確にモニタすることが
可能となる。その結果、常に安定してレーザ出力の変動
を一定に補正することが可能となる。

【００３９】また、受光手段により光源の光の中の任意
の波長領域の光をモニタすることができるので、安価な
受光手段を用いることができる。

【００４０】さらに、光量の減衰量に基づいて光源が寿
命に達したかどうかを正確に判定することができる。

【００４１】これらの結果、常に安定して対象物に正確
に印字を行うことが可能で安価なレーザマーキング装置
が提供される。

【００４２】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例における
ＹＡＧレーザ発振器を備えたレーザマーキング装置の概
略図である。

【００４３】図１において、ＹＡＧレーザ発振器１から
出射されたレーザ光は、１対のガルバノミラー３ａ，３
ｂにより反射され、集光レンズ４により対象物１００に
照射される。制御装置２は、ＹＡＧレーザ発振器１およ
び１対のガルバノミラー３ａ，３ｂを制御する。

【００４４】各ガルバノミラー３ａ，３ｂは、駆動モー
タ３１の回転軸３２にミラー３３が取り付けられ、回転
軸３２の揺動に伴ってミラー３３が揺動するように構成
されている。一方のガルバノミラー３ａによりレーザ光
が主走査方向Ｘに走査され、他方のガルバノミラー３ｂ
によりレーザ光が副走査方向Ｙに走査される。なお、主
走査方向Ｘと副走査方向Ｙとは互いに直交する方向であ
る。それにより、対象物１００の表面に、文字、記号、
図形等のマークが印字される。対象物１００は、搬送装
置１０１により主走査方向Ｘと平行な方向に搬送され
る。

【００４５】図２は図１のレーザマーキング装置の主要
部の構成を示すブロック図である。ＹＡＧレーザ発振器
１において、収納ケース（レーザチャンバ）１０内に、
ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）の
棒状結晶体からなるＹＡＧロッド１１およびそのＹＡＧ
ロッド１１を励起するためのランプ１２が内蔵されてい
る。ＹＡＧロッド１１の両端面は、収納ケース１０から
外部に露出している。ＹＡＧロッド１１の一方の端面の
前方に出力ミラー１３が配置され、ＹＡＧロッド１１の
他方の端面の後方に全反射ミラー１４が配置されてい
る。また、ＹＡＧロッド１１と全反射ミラー１４との間
にＱスイッチ１５が配置されている。

【００４６】ＹＡＧロッド１１の前端面の近傍でレーザ
光の光路に干渉しない位置に赤外線カットフィルタ１
６、およびフォトダイオード等の受光素子１７が配設さ
れている。

【００４７】制御装置２は、ランプ電源２０、ＣＰＵ
（中央演算処理装置）２１、ガルバノミラー制御部２
２、表示・入力装置２３、メモリ２４およびＱスイッチ
制御部２５を含む。

【００４８】ランプ電源２０は、ＹＡＧレーザ発振器１
のランプ１２に電流を供給する。ガルバノミラー制御部
２２は、図１のガルバノミラー３ａ，３ｂの駆動モータ
３１を制御する。表示・入力装置２３は、使用者により
入力された各種データおよび各種指令をＣＰＵ２１に与
えるとともに、ＣＰＵ２１からの指令に基づいて各種表
示を行う。Ｑスイッチ制御部２５は、ＹＡＧレーザ発振
器１のＱスイッチ１５を制御する。

【００４９】受光素子１７の出力信号は、増幅器１８を
介してＣＰＵ２１に与えられる。ＣＰＵ２１は、ランプ
電源２０にランプ１２の点灯を指令するランプオン信号
ＯＮおよびランプ電源２０からランプ１２に供給する電
流（ランプ電流）を制御するランプ電流制御信号ＣＮを
与える。また、ＣＰＵ２１は、ガルバノミラー制御部２
２、表示・入力装置２３およびＱスイッチ制御部２５に
指令を与えるとともに、表示・入力装置２３により入力
された各種データをメモリ２４に格納する。

【００５０】なお、メモリ２４には、予め測定された基
準ランプの光量を示す基準データおよびランプ１２の交
換直後の光量を示す光量データが記憶される。

【００５１】本実施例では、ランプ１２が光源に相当
し、ＹＡＧロッド１１がレーザ媒質に相当し、受光素子
１７が受光手段に相当する。また、赤外線カットフィル
タ１６が赤外線遮断手段に相当する。さらに、ＣＰＵ２
１、ランプ電源２０および表示・入力装置２３が制御手
段を構成し、ガルバノミラー３ａ，３ｂおよびガルバノ
ミラー制御部２２が走査手段を構成する。

【００５２】使用者が表示・入力装置２３によりランプ
１２の点灯を指令すると、ＣＰＵ２１はランプ電源２０
にランプオン信号ＯＮを与える。それにより、ランプ電
源２０からランプ１２に電流が供給され、ランプ１２が
点灯する。

【００５３】ランプ光がＹＡＧロッド１１に照射される
と、ランプ光の中の特定の波長領域の光でＹＡＧロッド
１１が励起され、誘導放出光を発生する。ＹＡＧロッド
１１の端面から発生した誘導放出光は、出力ミラー１３
と全反射ミラー１４との間で多重反射することにより増
幅されてレーザ発振し、一部のレーザ光が出力ミラー１
３を透過して出射される。

【００５４】パルス発振時には、Ｑスイッチ１５がＱス
イッチングによりレーザ光をパルス発振させることによ
り、高出力でかつ時間幅の短いレーザ出力が得られる。
Ｑスイッチ１５が作動しないときには、レーザ光は連続
発振する。

【００５５】使用者が表示・入力装置２３により印字を
指令すると、ＣＰＵ２１からの指令によりガルバノミラ
ー制御部２２が図１の一対のガルバノミラー３ａ，３ｂ
を制御する。それにより、レーザ光が主走査方向Ｘおよ
び副走査方向Ｙに走査され、対象物１００にマークが印
字される。

【００５６】ＹＡＧレーザ発振器１のＹＡＧロッド１１
の端面近傍から収納ケース１０の外部に漏れ出たランプ
光は赤外線カットフィルタ１６を通して受光素子１７に
より受光される。赤外線カットフィルタ１６は熱の影響
を除去する。受光素子１７の出力信号は増幅器１８によ
り増幅され、光量の測定値としてＣＰＵ２１に与えられ
る。

【００５７】ＣＰＵ２１は、受光素子１７の出力信号に
基づいてランプ電流制御信号ＣＮをランプ電源２０に与
える。ランプ電源２０は、ランプ電流制御信号ＣＮに応
答してランプ１２に供給する電流の値を制御する。

【００５８】レーザ出力（レーザパワー）は、ランプ光
の中の特定の波長領域の光（励起光）の強さに依存す
る。一方、ランプ光のスペクトル分布は光量により変化
しない。そのため、受光素子１７によりランプ光の中の
可視光領域の光をモニタした場合にも、ランプ光の中の
特定の波長領域の励起光をモニタした場合と同等な結果
が得られる。

【００５９】したがって、レーザ光を直接モニタするこ
となく、ＹＡＧロッド１１の端面近傍から漏れ出るラン
プ光の可視光領域の光を受光素子１７でモニタすること
により、パルス発振時および連続発振時にかかわらず、
レーザ出力を正確にモニタすることが可能となる。その
結果、常に安定してレーザ出力の変動を一定に補正する
ことが可能となる。

【００６０】特に、ランプ光の中の可視光領域の波長の
光を受光素子１７でモニタしているので、安価な受光素
子１７を用いることが可能となる。

【００６１】図３は図２のＹＡＧレーザ発振器における
レーザ出力の補正処理を示すフローチャートである。

【００６２】まず、ＣＰＵ２１は、使用者がランプ１２
を交換したかどうかを判別する（ステップＳ１）。ラン
プ１２を交換した場合には、ランプ１２の交換直後の受
光素子１７の出力信号を光量データとしてメモリ２４に
記憶する（ステップＳ２）。

【００６３】その後、ランプ１２の点灯時に、１ｍｓｅ
ｃごとに受光素子１７により光量を測定し、１００回分
の測定値の平均値を算出する（ステップＳ３）。そし
て、算出された平均値がメモリ２４に記憶された基準デ
ータと等しいかどうかを判定する（ステップＳ４）。

【００６４】平均値が基準データと等しくない場合に
は、ランプ電源２０からランプ１２に供給する電流の値
を補正した後（ステップＳ５）、ステップＳ３に戻る。

【００６５】ステップＳ４で平均値が基準データと等し
い場合には、受光素子１７により１ｍｓｅｃごとに光量
を測定し、１０００回分の測定値の平均値を算出する
（ステップＳ６）。そして、算出された平均値がメモリ
２４に記憶されたランプ１２交換直後の光量データの７
０％よりも低いかどうかを判定する（ステップＳ７）。

【００６６】算出された平均値がランプ１２の交換直後
の光量データの７０％以上の場合には、算出された平均
値が基準データと等しいかどうかを判定する（ステップ
Ｓ８）。算出された平均値が基準データと等しくない場
合には、ランプ電源２１からランプ１２に供給する電流
の値を補正した後（ステップＳ９）、ステップＳ６に戻
る。ステップＳ８で算出された平均値が基準データと等
しい場合にはステップＳ６に戻る。

【００６７】ステップＳ７で、算出された平均値がラン
プ１２の交換直後の光量データの７０％よりも低い場合
には、表示・入力装置２３によりランプ交換の警告を表
示する（ステップＳ１０）。

【００６８】上記のレーザ出力の補正処理によれば、ラ
ンプ１２の光量が基準ランプの光量と等しくなるように
ランプ１２の光量が補正される。それにより、個々のラ
ンプ１２の初期の光量のばらつきによるレーザ出力のば
らつきおよびランプ１２の光量の変動によるレーザ出力
の変動が一定値に補正される。

【００６９】また、ランプ１２の交換時の光量からの減
衰量に基づいてランプ１２の寿命が判定される。それに
より、個々のランプ１２が寿命に達したかどうかを正確
に判定することができる。その結果、ランプ１２をその
寿命まで使用することができる。

【００７０】さらに、ランプ１２の交換時に、使用者が
誤って古いランプまたは不良のランプを装着した場合
に、表示・入力装置２３にランプ交換の警告が表示され
る。

【００７１】また、使用者が表示・入力装置２３により
ランプ１２の点灯を指令した際に、ＣＰＵ２１からラン
プ電源２０にランプオン信号ＯＮが与えられ、受光素子
１６によりランプ光がモニタされる。それにより、ラン
プ１２の点灯確認を行うこともできる。

【００７２】なお、上記実施例では、赤外線カットフィ
ルタ１６および受光素子１７を収納ケース１０の外部に
配設しているが、赤外線カットフィルタ１６および受光
素子１７を収納ケース１０の内部に配置することが可能
であれば、それらを収納ケース１０の内部でランプ光を
受光可能な位置に配設してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるＹＡＧレーザ発振器
を備えたレーザマーキング装置の概略図である。

【図２】図１のレーザマーキング装置における主要部の
構成を示すブロック図である。

【図３】図２のレーザ発振器のレーザ出力の補正処理を
示すフローチャートである。

【図４】従来のＹＡＧレーザ発振器の構成を示すブロッ
ク図である。

【符号の説明】

１ ＹＡＧレーザ発振器 ２ 制御部 １０ 収納ケース １１ ＹＡＧロッド １２ ランプ １３ 出力ミラー １４ 反射ミラー １５ Ｑスイッチ １６ 赤外線カットフィルタ １７ 受光素子 ２０ ランプ電源 ２１ ＣＰＵ ２２ ガルバノミラー制御部 ２３ 表示・入力装置 ２４ メモリ ２５ Ｑスイッチ制御部

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源の光により励起されるレーザ媒質を
   有し、レーザ光を出射するＹＡＧレーザ発振器におい
   て、前記光源の光を受光する受光手段を備えたことを特
   徴とするＹＡＧレーザ発振器。
2. 【請求項２】 前記レーザ媒質はイットリウム、アルミ
   ニウムおよびガーネットを含む棒状結晶体からなり、前
   記受光手段が前記棒状結晶体の端面近傍でレーザ光の光
   路に干渉しない位置に配設されたことを特徴とする請求
   項１記載のＹＡＧレーザ発振器。
3. 【請求項３】 前記受光手段の出力信号に基づいて前記
   光源に供給する電流を制御する制御手段をさらに備えた
   ことを特徴とする請求項１または２記載のＹＡＧレーザ
   発振器。
4. 【請求項４】 前記制御手段は、前記受光手段の出力信
   号が所定の基準値と等しくなるように前記光源に供給す
   る電流を制御することを特徴とする請求項３記載のＹＡ
   Ｇレーザ発振器。
5. 【請求項５】 前記制御手段は、前記受光手段の出力信
   号に基づいて前記光源の光量の初期値からの減衰量を検
   出し、前記減衰量に基づいて警告を出力することを特徴
   とする請求項３または４記載のＹＡＧレーザ発振器。
6. 【請求項６】 前記レーザ媒質は両端面が外部に露出す
   るように前記光源とともに収納ケース内に収納され、前
   記収納ケースから露出した前記レーザ媒質の両端面に対
   向するように一対のミラーが配置され、前記レーザ媒質
   の一方の端面と一方のミラーとの間にＱスイッチが配置
   され、前記受光手段が前記レーザ媒質のいずれか一方の
   端面近傍から漏れ出た前記光源の光を受光するように配
   置されたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記
   載のＹＡＧレーザ発振器。
7. 【請求項７】 前記レーザ媒質と前記受光手段との間に
   赤外線を遮断する赤外線遮断手段が配設されたことを特
   徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のＹＡＧレーザ
   発振器。
8. 【請求項８】 前記受光手段は、可視光領域の光を検出
   する受光素子からなることを特徴とする請求項１〜７の
   いずれかに記載のＹＡＧレーザ発振器。
9. 【請求項９】 対象物にレーザ光を照射して印字を行う
   レーザマーキング装置であって、 請求項１〜８のいずれかに記載のＹＡＧレーザ発振器
   と、 前記ＹＡＧレーザ発振器から出射されたレーザ光を前記
   対象物に走査させる走査手段とを備えたことを特徴とす
   るレーザマーキング装置。