JP2001053370A - レーザ光のアライメント方法及び装置 - Google Patents
レーザ光のアライメント方法及び装置Info
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- JP2001053370A JP2001053370A JP11227502A JP22750299A JP2001053370A JP 2001053370 A JP2001053370 A JP 2001053370A JP 11227502 A JP11227502 A JP 11227502A JP 22750299 A JP22750299 A JP 22750299A JP 2001053370 A JP2001053370 A JP 2001053370A
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- aperture
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ光の光軸を自動的且つ適切に調整す
る。 【解決手段】 レーザ媒質１の両側に位置してレーザ光
を絞るアパーチャ６と、レーザ光の光軸４上に位置して
レーザ媒質１とアパーチャ６を挟み込むよう対峙する共
振器ミラー９と、共振器ミラー９の角度を調節するアク
チュエータ１２と、アパーチャ６に取り付けられた複数
の温度センサ８と、複数の温度センサ８の温度からレー
ザ光の光軸４のズレを測定する温度監視装置１４と、温
度監視装置１４のデータから前記アクチュエータ１２を
制御する共振器ミラー角度制御装置１５とからなる。
る。 【解決手段】 レーザ媒質１の両側に位置してレーザ光
を絞るアパーチャ６と、レーザ光の光軸４上に位置して
レーザ媒質１とアパーチャ６を挟み込むよう対峙する共
振器ミラー９と、共振器ミラー９の角度を調節するアク
チュエータ１２と、アパーチャ６に取り付けられた複数
の温度センサ８と、複数の温度センサ８の温度からレー
ザ光の光軸４のズレを測定する温度監視装置１４と、温
度監視装置１４のデータから前記アクチュエータ１２を
制御する共振器ミラー角度制御装置１５とからなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光の光軸を
調節するレーザ光のアライメント方法及び装置に関する
ものである。
調節するレーザ光のアライメント方法及び装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的なレーザ共振器は、図４に示すご
とく、Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド等のレーザ媒質である
固体ロッド１と、固体ロッド１の両側に配置される励起
ランプ（図示せず）と、固体ロッド１の軸線上の両側に
配置されるアパーチャ２と、固体ロッド１の軸線上に固
体ロッド１とアパーチャ２を挟み込むよう対峙する共振
器ミラー３を備えている。
とく、Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド等のレーザ媒質である
固体ロッド１と、固体ロッド１の両側に配置される励起
ランプ（図示せず）と、固体ロッド１の軸線上の両側に
配置されるアパーチャ２と、固体ロッド１の軸線上に固
体ロッド１とアパーチャ２を挟み込むよう対峙する共振
器ミラー３を備えている。
【０００３】レーザ光を発振する際には、励起ランプに
より出射される励起光が固体ロッド１に入射し、励起光
の受光により固体ロッド１のレーザ媒質中に存在するネ
オジウム等のイオンが特定波長の光を放出し、特定波長
の光は固体ロッド１の軸線方向から出射される。
より出射される励起光が固体ロッド１に入射し、励起光
の受光により固体ロッド１のレーザ媒質中に存在するネ
オジウム等のイオンが特定波長の光を放出し、特定波長
の光は固体ロッド１の軸線方向から出射される。
【０００４】出射された特定波長の光は、ビーム品質を
高めるアパーチャ２の孔を通過して共振器ミラー３に入
射し、二つの共振器ミラー３の間で、固体ロッド１への
光の入射及び固体ロッド１からの光の出射が繰り返され
て、固体ロッド１中のイオンが新たに特定波長の光を放
出するように共振し、一方の共振器ミラー３から外部へ
レーザ光が発振される。
高めるアパーチャ２の孔を通過して共振器ミラー３に入
射し、二つの共振器ミラー３の間で、固体ロッド１への
光の入射及び固体ロッド１からの光の出射が繰り返され
て、固体ロッド１中のイオンが新たに特定波長の光を放
出するように共振し、一方の共振器ミラー３から外部へ
レーザ光が発振される。
【０００５】ここで、発振されるレーザ光は、図５に示
すごとくアパーチャ２に対して所定の光軸４の位置にな
るよう予め調節されており、図６に示すごとくズレたレ
ーザ光の光軸４を調節する際には、ビーム形状の目測に
より手動で共振器ミラー３の角度を変えてレーザ光の光
軸４を調節するか、もしくは図４に示すごとく、パワー
メータや反応の早い検出器等の出力検出器５を所定位置
に配置してレーザ光の出力量を検出し、手動で共振器ミ
ラー３の角度を変更してレーザ光の光軸４を調節するこ
とが行われていた。
すごとくアパーチャ２に対して所定の光軸４の位置にな
るよう予め調節されており、図６に示すごとくズレたレ
ーザ光の光軸４を調節する際には、ビーム形状の目測に
より手動で共振器ミラー３の角度を変えてレーザ光の光
軸４を調節するか、もしくは図４に示すごとく、パワー
メータや反応の早い検出器等の出力検出器５を所定位置
に配置してレーザ光の出力量を検出し、手動で共振器ミ
ラー３の角度を変更してレーザ光の光軸４を調節するこ
とが行われていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、目測に
より光軸４を調節する際には精度が悪く、パワーメータ
により光軸４を調節する際にはパワーメータの応答時間
の長さから敏感な反応を要する迅速な調整は困難であ
り、反応の早い検出器により光軸４を調節する際にはレ
ーザ光の出力量に対して直線性がないため大パワーのレ
ーザ光に対応できないという問題があった。
より光軸４を調節する際には精度が悪く、パワーメータ
により光軸４を調節する際にはパワーメータの応答時間
の長さから敏感な反応を要する迅速な調整は困難であ
り、反応の早い検出器により光軸４を調節する際にはレ
ーザ光の出力量に対して直線性がないため大パワーのレ
ーザ光に対応できないという問題があった。
【０００７】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、レーザ光の光軸を自動的且つ適切に調整することを
目的としている。
で、レーザ光の光軸を自動的且つ適切に調整することを
目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザ光のアラ
イメント方法は、レーザ光を絞るアパーチャの温度を温
度センサにより測定し、レーザ光の光軸のズレにより生
じたアパーチャの昇温から前記温度センサを介して温度
監視装置によりレーザ光の光軸がどの方向にどの位ズレ
ているか判断し、前記温度監視装置のデータから共振器
ミラーを制御してレーザ光の光軸のズレを補正するもの
である。
イメント方法は、レーザ光を絞るアパーチャの温度を温
度センサにより測定し、レーザ光の光軸のズレにより生
じたアパーチャの昇温から前記温度センサを介して温度
監視装置によりレーザ光の光軸がどの方向にどの位ズレ
ているか判断し、前記温度監視装置のデータから共振器
ミラーを制御してレーザ光の光軸のズレを補正するもの
である。
【０００９】本発明のレーザ光のアライメント装置は、
レーザ媒質の両側に位置してレーザ光を絞るアパーチャ
と、レーザ光の光軸上に位置してレーザ媒質とアパーチ
ャを挟み込むよう対峙する共振器ミラーと、該共振器ミ
ラーの角度を調節するアクチュエータと、前記アパーチ
ャに取り付けられた複数の温度センサと、複数の温度セ
ンサの温度からレーザ光の光軸のズレを測定する温度監
視装置と、該温度監視装置のデータから前記アクチュエ
ータを制御する共振器ミラー角度制御装置とからなるも
のである。
レーザ媒質の両側に位置してレーザ光を絞るアパーチャ
と、レーザ光の光軸上に位置してレーザ媒質とアパーチ
ャを挟み込むよう対峙する共振器ミラーと、該共振器ミ
ラーの角度を調節するアクチュエータと、前記アパーチ
ャに取り付けられた複数の温度センサと、複数の温度セ
ンサの温度からレーザ光の光軸のズレを測定する温度監
視装置と、該温度監視装置のデータから前記アクチュエ
ータを制御する共振器ミラー角度制御装置とからなるも
のである。
【００１０】又、本発明のレーザ光のアライメント装置
は、レーザ媒質の両側に位置してレーザ光を絞るアパー
チャと、レーザ光の光軸上に位置してレーザ媒質とアパ
ーチャを挟み込むよう対峙する共振器ミラーと、該共振
器ミラーの角度を調節するアクチュエータと、前記アパ
ーチャに取り付けられた複数の温度センサと、複数の温
度センサの温度からレーザ光の光軸のズレを測定する温
度監視装置と、該温度監視装置のデータから手動により
共振器ミラーを制御する手動制御装置とからなるもので
ある。
は、レーザ媒質の両側に位置してレーザ光を絞るアパー
チャと、レーザ光の光軸上に位置してレーザ媒質とアパ
ーチャを挟み込むよう対峙する共振器ミラーと、該共振
器ミラーの角度を調節するアクチュエータと、前記アパ
ーチャに取り付けられた複数の温度センサと、複数の温
度センサの温度からレーザ光の光軸のズレを測定する温
度監視装置と、該温度監視装置のデータから手動により
共振器ミラーを制御する手動制御装置とからなるもので
ある。
【００１１】レーザ光の光軸がズレている場合にレーザ
光を発振すると、レーザ光はアパーチャに大きく当たっ
てレーザ光の当たった部分を速やかに昇温し、アパーチ
ャの昇温は温度センサにより検出されて昇温のデータと
して温度監視装置に送られ、温度監視装置はデータの昇
温からレーザ光の光軸がどの方向にどれ位ズレているの
か判断し、レーザ光の光軸のズレのデータは共振器ミラ
ー角度制御装置に送られ、共振器ミラー角度制御装置は
レーザ光の光軸のズレからアクチュエータを制御しレー
ザ光の光軸のズレを補正する。又、場合によっては、レ
ーザ光の光軸のズレのデータから手動制御装置を介して
手動によりレーザ光軸のズレを補正する。
光を発振すると、レーザ光はアパーチャに大きく当たっ
てレーザ光の当たった部分を速やかに昇温し、アパーチ
ャの昇温は温度センサにより検出されて昇温のデータと
して温度監視装置に送られ、温度監視装置はデータの昇
温からレーザ光の光軸がどの方向にどれ位ズレているの
か判断し、レーザ光の光軸のズレのデータは共振器ミラ
ー角度制御装置に送られ、共振器ミラー角度制御装置は
レーザ光の光軸のズレからアクチュエータを制御しレー
ザ光の光軸のズレを補正する。又、場合によっては、レ
ーザ光の光軸のズレのデータから手動制御装置を介して
手動によりレーザ光軸のズレを補正する。
【００１２】このように、レーザ光の光軸がズレている
場合には、温度センサがレーザ光の光軸のズレをアパー
チャの昇温として速やかに温度監視装置に伝え、且つ共
振器ミラー角度制御装置によりアクチュエータを駆動す
るか、もしくは手動制御装置を介して手動により共振器
ミラーを制御するので、レーザ光の光軸のズレに対して
正確且つ敏感に反応し、結果としてレーザ光の光軸を迅
速的且つ自動的に精度良く調節することができる。又、
レーザ光の出力量に対して直線性も備えている。
場合には、温度センサがレーザ光の光軸のズレをアパー
チャの昇温として速やかに温度監視装置に伝え、且つ共
振器ミラー角度制御装置によりアクチュエータを駆動す
るか、もしくは手動制御装置を介して手動により共振器
ミラーを制御するので、レーザ光の光軸のズレに対して
正確且つ敏感に反応し、結果としてレーザ光の光軸を迅
速的且つ自動的に精度良く調節することができる。又、
レーザ光の出力量に対して直線性も備えている。
【００１３】アパーチャを複数のアパーチャ部に分割
し、全てのアパーチャ部に温度センサを取り付けると、
レーザ光の光軸がズレている場合にはレーザ光が当たっ
たアパーチャ部のみを昇温するのでレーザ光の光軸のズ
レを確実に判断し、結果としてレーザ光の光軸を極めて
迅速的且つ自動的に精度良く調節することができる。
し、全てのアパーチャ部に温度センサを取り付けると、
レーザ光の光軸がズレている場合にはレーザ光が当たっ
たアパーチャ部のみを昇温するのでレーザ光の光軸のズ
レを確実に判断し、結果としてレーザ光の光軸を極めて
迅速的且つ自動的に精度良く調節することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
と共に説明する。
と共に説明する。
【００１５】図１〜図３は本発明のレーザ光のアライメ
ント方法及び装置の実施の形態の一例であり、図中、図
４〜図６と同一の符号を付した部分は同一物を表してい
る。
ント方法及び装置の実施の形態の一例であり、図中、図
４〜図６と同一の符号を付した部分は同一物を表してい
る。
【００１６】レーザ媒質の固体ロッド１の両側に配置さ
れるアパーチャ６は、径方向に複数のアパーチャ部７に
分割（図２では四つ）されており、アパーチャ部７には
熱電対の温度センサ８を夫々取り付けている。
れるアパーチャ６は、径方向に複数のアパーチャ部７に
分割（図２では四つ）されており、アパーチャ部７には
熱電対の温度センサ８を夫々取り付けている。
【００１７】固体ロッド１とアパーチャ６を挟み込むよ
うアパーチャ６の両側に位置する共振器ミラー９は夫々
レンズホルダ１０に保持されており、レンズホルダ１０
は四隅の一つに支点１１を設け、レンズホルダ１０の四
隅の残りの三つにはエピゾ素子、シリンダ等のアクチュ
エータ１２を接続している。
うアパーチャ６の両側に位置する共振器ミラー９は夫々
レンズホルダ１０に保持されており、レンズホルダ１０
は四隅の一つに支点１１を設け、レンズホルダ１０の四
隅の残りの三つにはエピゾ素子、シリンダ等のアクチュ
エータ１２を接続している。
【００１８】アパーチャ部７に取り付けられた全ての温
度センサ８は、配線１３を介して温度監視装置１４に接
続されており、温度監視装置１４には複数の温度センサ
８の温度からレーザの光軸４がどの方向でどの程度ズレ
ているのか判別し得るプログラムが記憶されている。
度センサ８は、配線１３を介して温度監視装置１４に接
続されており、温度監視装置１４には複数の温度センサ
８の温度からレーザの光軸４がどの方向でどの程度ズレ
ているのか判別し得るプログラムが記憶されている。
【００１９】温度監視装置１４は共振器ミラー角度制御
装置１５に接続されており、共振器ミラー角度制御装置
１５には配線１６を介してレンズホルダ１０の各アクチ
ュエータ１２が接続されている。ここで、共振器ミラー
角度制御装置１５にはレーザ光の光軸４のズレに対応し
てアクチュエータ１２を所定量駆動するプログラムが記
憶されている。
装置１５に接続されており、共振器ミラー角度制御装置
１５には配線１６を介してレンズホルダ１０の各アクチ
ュエータ１２が接続されている。ここで、共振器ミラー
角度制御装置１５にはレーザ光の光軸４のズレに対応し
てアクチュエータ１２を所定量駆動するプログラムが記
憶されている。
【００２０】以下、本発明の実施の形態例の作用を説明
する。
する。
【００２１】レーザ光の光軸４がズレている場合にレー
ザ光を発振すると、レーザ光は一方のアパーチャ部７に
大きく当たって当該アパーチャ部７を速やかに昇温す
る。
ザ光を発振すると、レーザ光は一方のアパーチャ部７に
大きく当たって当該アパーチャ部７を速やかに昇温す
る。
【００２２】アパーチャ部７の温度は絶えず温度監視装
置１４に送られているので所定のアパーチャ部７の温度
が上昇すると、温度監視装置１４ではレーザ光の光軸４
がどの方向にどの程度ズレているのか判断し、共振器ミ
ラー角度制御装置１５にレーザ光の光軸４のズレのデー
タを送る。
置１４に送られているので所定のアパーチャ部７の温度
が上昇すると、温度監視装置１４ではレーザ光の光軸４
がどの方向にどの程度ズレているのか判断し、共振器ミ
ラー角度制御装置１５にレーザ光の光軸４のズレのデー
タを送る。
【００２３】共振器ミラー角度制御装置１５はレーザ光
の光軸４のズレに対してどの方向にどの程度共振器ミラ
ー９を傾ければよいか算出し、アクチュエータ１２を前
後に調節してレーザ光の光軸４のズレを補正する。
の光軸４のズレに対してどの方向にどの程度共振器ミラ
ー９を傾ければよいか算出し、アクチュエータ１２を前
後に調節してレーザ光の光軸４のズレを補正する。
【００２４】一方、レーザの光軸４が適切な場合には、
アパーチャ部７の温度上昇がないか、もしくはアパーチ
ャ部７が均等に昇温するので温度監視装置１４ではレー
ザ光の光軸４のズレはないと判断し共振器ミラー角度制
御装置１５にはデータを送らない。
アパーチャ部７の温度上昇がないか、もしくはアパーチ
ャ部７が均等に昇温するので温度監視装置１４ではレー
ザ光の光軸４のズレはないと判断し共振器ミラー角度制
御装置１５にはデータを送らない。
【００２５】このように、レーザ光の光軸４がズレてい
る場合には、温度センサ８がレーザ光の光軸４のズレを
アパーチャ６の昇温として速やかに温度監視装置１４に
伝え、且つ共振器ミラー角度制御装置１５により適確に
アクチュエータ１２を駆動して共振器ミラー９を制御す
るので、レーザ光の光軸４のズレに対して正確且つ敏感
に反応し、結果としてレーザ光の光軸４を迅速的且つ自
動的に精度良く調節することができる。又、レーザ光の
出力量に対して直線性も備えている。
る場合には、温度センサ８がレーザ光の光軸４のズレを
アパーチャ６の昇温として速やかに温度監視装置１４に
伝え、且つ共振器ミラー角度制御装置１５により適確に
アクチュエータ１２を駆動して共振器ミラー９を制御す
るので、レーザ光の光軸４のズレに対して正確且つ敏感
に反応し、結果としてレーザ光の光軸４を迅速的且つ自
動的に精度良く調節することができる。又、レーザ光の
出力量に対して直線性も備えている。
【００２６】アパーチャ６を複数のアパーチャ部７に分
割し、全てのアパーチャ部７に温度センサ８を取り付け
ると、レーザ光の光軸４がズレている場合にはレーザ光
が当たったアパーチャ部７のみを昇温するのでレーザ光
の光軸４のズレを確実に判断し、結果としてレーザ光の
光軸４を極めて迅速的且つ自動的に精度良く調節するこ
とができる。
割し、全てのアパーチャ部７に温度センサ８を取り付け
ると、レーザ光の光軸４がズレている場合にはレーザ光
が当たったアパーチャ部７のみを昇温するのでレーザ光
の光軸４のズレを確実に判断し、結果としてレーザ光の
光軸４を極めて迅速的且つ自動的に精度良く調節するこ
とができる。
【００２７】なお、本発明のレーザ光のアライメント方
法及び装置は上述した実施の形態のみに限定されるもの
ではなく、共振器ミラー角度制御装置及びアクチュエー
タを手動でレーザ光の光軸のズレを調節できる手動制御
装置としてもよいこと、レーザ光の光軸の調整は複数
回、もしくは絶えず調整を行なうようにしてもよいこ
と、温度センサを取り付けたアパーチャは片側のみでも
よいこと、アクチュエータを備えた共振器ミラーは片側
のみでもよいこと、その他、本発明の要旨を逸脱しない
範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
法及び装置は上述した実施の形態のみに限定されるもの
ではなく、共振器ミラー角度制御装置及びアクチュエー
タを手動でレーザ光の光軸のズレを調節できる手動制御
装置としてもよいこと、レーザ光の光軸の調整は複数
回、もしくは絶えず調整を行なうようにしてもよいこ
と、温度センサを取り付けたアパーチャは片側のみでも
よいこと、アクチュエータを備えた共振器ミラーは片側
のみでもよいこと、その他、本発明の要旨を逸脱しない
範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００２８】
【発明の効果】本発明のレーザ光のアライメント方法及
び装置によれば、下記のごとき種々の優れた効果を奏し
得る。
び装置によれば、下記のごとき種々の優れた効果を奏し
得る。
【００２９】Ｉ）レーザ光の光軸がズレている場合に
は、温度センサがレーザ光の光軸のズレをアパーチャの
昇温として速やかに温度監視装置に伝え、且つ共振器ミ
ラー角度制御装置によりアクチュエータを駆動するか、
もしくは手動制御装置を介して手動により共振器ミラー
を制御するので、レーザ光の光軸のズレに対して正確且
つ敏感に反応し、結果としてレーザ光の光軸を迅速的且
つ自動的に精度良く調節することができる。又、レーザ
光の出力量に対して直線性も備えている。
は、温度センサがレーザ光の光軸のズレをアパーチャの
昇温として速やかに温度監視装置に伝え、且つ共振器ミ
ラー角度制御装置によりアクチュエータを駆動するか、
もしくは手動制御装置を介して手動により共振器ミラー
を制御するので、レーザ光の光軸のズレに対して正確且
つ敏感に反応し、結果としてレーザ光の光軸を迅速的且
つ自動的に精度良く調節することができる。又、レーザ
光の出力量に対して直線性も備えている。
【００３０】ＩＩ）アパーチャを複数のアパーチャ部に
分割し、全てのアパーチャ部に温度センサを取り付ける
と、レーザ光の光軸がズレている場合にはレーザ光が当
たったアパーチャ部のみを昇温するのでレーザ光の光軸
のズレを確実に判断し、結果としてレーザ光の光軸を極
めて迅速的且つ自動的に精度良く調節することができ
る。
分割し、全てのアパーチャ部に温度センサを取り付ける
と、レーザ光の光軸がズレている場合にはレーザ光が当
たったアパーチャ部のみを昇温するのでレーザ光の光軸
のズレを確実に判断し、結果としてレーザ光の光軸を極
めて迅速的且つ自動的に精度良く調節することができ
る。
【図１】本発明のレーザ光のアライメント方法に用いる
レーザ光のアライメント装置の実施の形態の一例を示す
概略図である。
レーザ光のアライメント装置の実施の形態の一例を示す
概略図である。
【図２】アパーチャの正面概略図である。
【図３】レンズホルダーの正面概略図である。
【図４】従来のレーザ光のアライメント装置の一例を示
す概念図である。
す概念図である。
【図５】レーザ光がアパーチャに対して適切な位置にな
った状態を示す概略図である。
った状態を示す概略図である。
【図６】レーザ光がアパーチャに対してズレた状態を示
す概略図である。
す概略図である。
１ 固体ロッド（レーザ媒質） ４ 光軸 ６ アパーチャ ７ アパーチャ部 ８ 温度センサ ９ 共振器ミラー １２ アクチュエータ １４ 温度監視装置 １５ 共振器ミラー角度制御装置
フロントページの続き (72)発明者 山内 淑久 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 金澤 祐孝 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 福冨 誠二 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 Ｆターム(参考） 5F072 AB02 AK01 HH02 HH03 JJ05 KK06 KK09 YY06
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ光を絞るアパーチャの温度を温度
センサにより測定し、レーザ光の光軸のズレにより生じ
たアパーチャの昇温から前記温度センサを介して温度監
視装置によりレーザ光の光軸がどの方向にどの位ズレて
いるか判断し、前記温度監視装置のデータから共振器ミ
ラーを制御してレーザ光の光軸のズレを補正することを
特徴とするレーザ光のアライメント方法。 - 【請求項２】 レーザ媒質の両側に位置してレーザ光を
絞るアパーチャと、レーザ光の光軸上に位置してレーザ
媒質とアパーチャを挟み込むよう対峙する共振器ミラー
と、該共振器ミラーの角度を調節するアクチュエータ
と、前記アパーチャに取り付けられた複数の温度センサ
と、複数の温度センサの温度からレーザ光の光軸のズレ
を測定する温度監視装置と、該温度監視装置のデータか
ら前記アクチュエータを制御する共振器ミラー角度制御
装置とからなることを特徴とするレーザ光のアライメン
ト装置。 - 【請求項３】 レーザ媒質の両側に位置してレーザ光を
絞るアパーチャと、レーザ光の光軸上に位置してレーザ
媒質とアパーチャを挟み込むよう対峙する共振器ミラー
と、該共振器ミラーの角度を調節するアクチュエータ
と、前記アパーチャに取り付けられた複数の温度センサ
と、複数の温度センサの温度からレーザ光の光軸のズレ
を測定する温度監視装置と、該温度監視装置のデータか
ら手動により共振器ミラーを制御する手動制御装置とか
らなることを特徴とするレーザ光のアライメント装置。 - 【請求項４】 アパーチャを複数のアパーチャ部に分割
し、全てのアパーチャ部に温度センサを取り付けた請求
項２又は３に記載のレーザ光のアライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11227502A JP2001053370A (ja) | 1999-08-11 | 1999-08-11 | レーザ光のアライメント方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11227502A JP2001053370A (ja) | 1999-08-11 | 1999-08-11 | レーザ光のアライメント方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001053370A true JP2001053370A (ja) | 2001-02-23 |
Family
ID=16861910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11227502A Pending JP2001053370A (ja) | 1999-08-11 | 1999-08-11 | レーザ光のアライメント方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001053370A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112925106A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-06-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种激光光轴可视化器件、系统及光轴对接方法 |
| WO2022054180A1 (ja) * | 2020-09-09 | 2022-03-17 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
-
1999
- 1999-08-11 JP JP11227502A patent/JP2001053370A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022054180A1 (ja) * | 2020-09-09 | 2022-03-17 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
| CN112925106A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-06-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种激光光轴可视化器件、系统及光轴对接方法 |
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