JP2001053370A - レーザ光のアライメント方法及び装置 - Google Patents
レーザ光のアライメント方法及び装置Info
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- JP2001053370A JP2001053370A JP11227502A JP22750299A JP2001053370A JP 2001053370 A JP2001053370 A JP 2001053370A JP 11227502 A JP11227502 A JP 11227502A JP 22750299 A JP22750299 A JP 22750299A JP 2001053370 A JP2001053370 A JP 2001053370A
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Abstract
る。 【解決手段】 レーザ媒質1の両側に位置してレーザ光
を絞るアパーチャ6と、レーザ光の光軸4上に位置して
レーザ媒質1とアパーチャ6を挟み込むよう対峙する共
振器ミラー9と、共振器ミラー9の角度を調節するアク
チュエータ12と、アパーチャ6に取り付けられた複数
の温度センサ8と、複数の温度センサ8の温度からレー
ザ光の光軸4のズレを測定する温度監視装置14と、温
度監視装置14のデータから前記アクチュエータ12を
制御する共振器ミラー角度制御装置15とからなる。
Description
調節するレーザ光のアライメント方法及び装置に関する
ものである。
とく、Nd:YAGレーザロッド等のレーザ媒質である
固体ロッド1と、固体ロッド1の両側に配置される励起
ランプ(図示せず)と、固体ロッド1の軸線上の両側に
配置されるアパーチャ2と、固体ロッド1の軸線上に固
体ロッド1とアパーチャ2を挟み込むよう対峙する共振
器ミラー3を備えている。
より出射される励起光が固体ロッド1に入射し、励起光
の受光により固体ロッド1のレーザ媒質中に存在するネ
オジウム等のイオンが特定波長の光を放出し、特定波長
の光は固体ロッド1の軸線方向から出射される。
高めるアパーチャ2の孔を通過して共振器ミラー3に入
射し、二つの共振器ミラー3の間で、固体ロッド1への
光の入射及び固体ロッド1からの光の出射が繰り返され
て、固体ロッド1中のイオンが新たに特定波長の光を放
出するように共振し、一方の共振器ミラー3から外部へ
レーザ光が発振される。
すごとくアパーチャ2に対して所定の光軸4の位置にな
るよう予め調節されており、図6に示すごとくズレたレ
ーザ光の光軸4を調節する際には、ビーム形状の目測に
より手動で共振器ミラー3の角度を変えてレーザ光の光
軸4を調節するか、もしくは図4に示すごとく、パワー
メータや反応の早い検出器等の出力検出器5を所定位置
に配置してレーザ光の出力量を検出し、手動で共振器ミ
ラー3の角度を変更してレーザ光の光軸4を調節するこ
とが行われていた。
より光軸4を調節する際には精度が悪く、パワーメータ
により光軸4を調節する際にはパワーメータの応答時間
の長さから敏感な反応を要する迅速な調整は困難であ
り、反応の早い検出器により光軸4を調節する際にはレ
ーザ光の出力量に対して直線性がないため大パワーのレ
ーザ光に対応できないという問題があった。
で、レーザ光の光軸を自動的且つ適切に調整することを
目的としている。
イメント方法は、レーザ光を絞るアパーチャの温度を温
度センサにより測定し、レーザ光の光軸のズレにより生
じたアパーチャの昇温から前記温度センサを介して温度
監視装置によりレーザ光の光軸がどの方向にどの位ズレ
ているか判断し、前記温度監視装置のデータから共振器
ミラーを制御してレーザ光の光軸のズレを補正するもの
である。
レーザ媒質の両側に位置してレーザ光を絞るアパーチャ
と、レーザ光の光軸上に位置してレーザ媒質とアパーチ
ャを挟み込むよう対峙する共振器ミラーと、該共振器ミ
ラーの角度を調節するアクチュエータと、前記アパーチ
ャに取り付けられた複数の温度センサと、複数の温度セ
ンサの温度からレーザ光の光軸のズレを測定する温度監
視装置と、該温度監視装置のデータから前記アクチュエ
ータを制御する共振器ミラー角度制御装置とからなるも
のである。
は、レーザ媒質の両側に位置してレーザ光を絞るアパー
チャと、レーザ光の光軸上に位置してレーザ媒質とアパ
ーチャを挟み込むよう対峙する共振器ミラーと、該共振
器ミラーの角度を調節するアクチュエータと、前記アパ
ーチャに取り付けられた複数の温度センサと、複数の温
度センサの温度からレーザ光の光軸のズレを測定する温
度監視装置と、該温度監視装置のデータから手動により
共振器ミラーを制御する手動制御装置とからなるもので
ある。
光を発振すると、レーザ光はアパーチャに大きく当たっ
てレーザ光の当たった部分を速やかに昇温し、アパーチ
ャの昇温は温度センサにより検出されて昇温のデータと
して温度監視装置に送られ、温度監視装置はデータの昇
温からレーザ光の光軸がどの方向にどれ位ズレているの
か判断し、レーザ光の光軸のズレのデータは共振器ミラ
ー角度制御装置に送られ、共振器ミラー角度制御装置は
レーザ光の光軸のズレからアクチュエータを制御しレー
ザ光の光軸のズレを補正する。又、場合によっては、レ
ーザ光の光軸のズレのデータから手動制御装置を介して
手動によりレーザ光軸のズレを補正する。
場合には、温度センサがレーザ光の光軸のズレをアパー
チャの昇温として速やかに温度監視装置に伝え、且つ共
振器ミラー角度制御装置によりアクチュエータを駆動す
るか、もしくは手動制御装置を介して手動により共振器
ミラーを制御するので、レーザ光の光軸のズレに対して
正確且つ敏感に反応し、結果としてレーザ光の光軸を迅
速的且つ自動的に精度良く調節することができる。又、
レーザ光の出力量に対して直線性も備えている。
し、全てのアパーチャ部に温度センサを取り付けると、
レーザ光の光軸がズレている場合にはレーザ光が当たっ
たアパーチャ部のみを昇温するのでレーザ光の光軸のズ
レを確実に判断し、結果としてレーザ光の光軸を極めて
迅速的且つ自動的に精度良く調節することができる。
と共に説明する。
ント方法及び装置の実施の形態の一例であり、図中、図
4〜図6と同一の符号を付した部分は同一物を表してい
る。
れるアパーチャ6は、径方向に複数のアパーチャ部7に
分割(図2では四つ)されており、アパーチャ部7には
熱電対の温度センサ8を夫々取り付けている。
うアパーチャ6の両側に位置する共振器ミラー9は夫々
レンズホルダ10に保持されており、レンズホルダ10
は四隅の一つに支点11を設け、レンズホルダ10の四
隅の残りの三つにはエピゾ素子、シリンダ等のアクチュ
エータ12を接続している。
度センサ8は、配線13を介して温度監視装置14に接
続されており、温度監視装置14には複数の温度センサ
8の温度からレーザの光軸4がどの方向でどの程度ズレ
ているのか判別し得るプログラムが記憶されている。
装置15に接続されており、共振器ミラー角度制御装置
15には配線16を介してレンズホルダ10の各アクチ
ュエータ12が接続されている。ここで、共振器ミラー
角度制御装置15にはレーザ光の光軸4のズレに対応し
てアクチュエータ12を所定量駆動するプログラムが記
憶されている。
する。
ザ光を発振すると、レーザ光は一方のアパーチャ部7に
大きく当たって当該アパーチャ部7を速やかに昇温す
る。
置14に送られているので所定のアパーチャ部7の温度
が上昇すると、温度監視装置14ではレーザ光の光軸4
がどの方向にどの程度ズレているのか判断し、共振器ミ
ラー角度制御装置15にレーザ光の光軸4のズレのデー
タを送る。
の光軸4のズレに対してどの方向にどの程度共振器ミラ
ー9を傾ければよいか算出し、アクチュエータ12を前
後に調節してレーザ光の光軸4のズレを補正する。
アパーチャ部7の温度上昇がないか、もしくはアパーチ
ャ部7が均等に昇温するので温度監視装置14ではレー
ザ光の光軸4のズレはないと判断し共振器ミラー角度制
御装置15にはデータを送らない。
る場合には、温度センサ8がレーザ光の光軸4のズレを
アパーチャ6の昇温として速やかに温度監視装置14に
伝え、且つ共振器ミラー角度制御装置15により適確に
アクチュエータ12を駆動して共振器ミラー9を制御す
るので、レーザ光の光軸4のズレに対して正確且つ敏感
に反応し、結果としてレーザ光の光軸4を迅速的且つ自
動的に精度良く調節することができる。又、レーザ光の
出力量に対して直線性も備えている。
割し、全てのアパーチャ部7に温度センサ8を取り付け
ると、レーザ光の光軸4がズレている場合にはレーザ光
が当たったアパーチャ部7のみを昇温するのでレーザ光
の光軸4のズレを確実に判断し、結果としてレーザ光の
光軸4を極めて迅速的且つ自動的に精度良く調節するこ
とができる。
法及び装置は上述した実施の形態のみに限定されるもの
ではなく、共振器ミラー角度制御装置及びアクチュエー
タを手動でレーザ光の光軸のズレを調節できる手動制御
装置としてもよいこと、レーザ光の光軸の調整は複数
回、もしくは絶えず調整を行なうようにしてもよいこ
と、温度センサを取り付けたアパーチャは片側のみでも
よいこと、アクチュエータを備えた共振器ミラーは片側
のみでもよいこと、その他、本発明の要旨を逸脱しない
範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
び装置によれば、下記のごとき種々の優れた効果を奏し
得る。
は、温度センサがレーザ光の光軸のズレをアパーチャの
昇温として速やかに温度監視装置に伝え、且つ共振器ミ
ラー角度制御装置によりアクチュエータを駆動するか、
もしくは手動制御装置を介して手動により共振器ミラー
を制御するので、レーザ光の光軸のズレに対して正確且
つ敏感に反応し、結果としてレーザ光の光軸を迅速的且
つ自動的に精度良く調節することができる。又、レーザ
光の出力量に対して直線性も備えている。
分割し、全てのアパーチャ部に温度センサを取り付ける
と、レーザ光の光軸がズレている場合にはレーザ光が当
たったアパーチャ部のみを昇温するのでレーザ光の光軸
のズレを確実に判断し、結果としてレーザ光の光軸を極
めて迅速的且つ自動的に精度良く調節することができ
る。
レーザ光のアライメント装置の実施の形態の一例を示す
概略図である。
す概念図である。
った状態を示す概略図である。
す概略図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 レーザ光を絞るアパーチャの温度を温度
センサにより測定し、レーザ光の光軸のズレにより生じ
たアパーチャの昇温から前記温度センサを介して温度監
視装置によりレーザ光の光軸がどの方向にどの位ズレて
いるか判断し、前記温度監視装置のデータから共振器ミ
ラーを制御してレーザ光の光軸のズレを補正することを
特徴とするレーザ光のアライメント方法。 - 【請求項2】 レーザ媒質の両側に位置してレーザ光を
絞るアパーチャと、レーザ光の光軸上に位置してレーザ
媒質とアパーチャを挟み込むよう対峙する共振器ミラー
と、該共振器ミラーの角度を調節するアクチュエータ
と、前記アパーチャに取り付けられた複数の温度センサ
と、複数の温度センサの温度からレーザ光の光軸のズレ
を測定する温度監視装置と、該温度監視装置のデータか
ら前記アクチュエータを制御する共振器ミラー角度制御
装置とからなることを特徴とするレーザ光のアライメン
ト装置。 - 【請求項3】 レーザ媒質の両側に位置してレーザ光を
絞るアパーチャと、レーザ光の光軸上に位置してレーザ
媒質とアパーチャを挟み込むよう対峙する共振器ミラー
と、該共振器ミラーの角度を調節するアクチュエータ
と、前記アパーチャに取り付けられた複数の温度センサ
と、複数の温度センサの温度からレーザ光の光軸のズレ
を測定する温度監視装置と、該温度監視装置のデータか
ら手動により共振器ミラーを制御する手動制御装置とか
らなることを特徴とするレーザ光のアライメント装置。 - 【請求項4】 アパーチャを複数のアパーチャ部に分割
し、全てのアパーチャ部に温度センサを取り付けた請求
項2又は3に記載のレーザ光のアライメント装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11227502A JP2001053370A (ja) | 1999-08-11 | 1999-08-11 | レーザ光のアライメント方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11227502A JP2001053370A (ja) | 1999-08-11 | 1999-08-11 | レーザ光のアライメント方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001053370A true JP2001053370A (ja) | 2001-02-23 |
Family
ID=16861910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11227502A Pending JP2001053370A (ja) | 1999-08-11 | 1999-08-11 | レーザ光のアライメント方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001053370A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112925106A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-06-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种激光光轴可视化器件、系统及光轴对接方法 |
WO2022054180A1 (ja) * | 2020-09-09 | 2022-03-17 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
-
1999
- 1999-08-11 JP JP11227502A patent/JP2001053370A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022054180A1 (ja) * | 2020-09-09 | 2022-03-17 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
CN112925106A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-06-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种激光光轴可视化器件、系统及光轴对接方法 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090707 |
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100302 |