JPH07176818A - レーザ測長機用光源 - Google Patents
レーザ測長機用光源Info
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- JPH07176818A JPH07176818A JP31992293A JP31992293A JPH07176818A JP H07176818 A JPH07176818 A JP H07176818A JP 31992293 A JP31992293 A JP 31992293A JP 31992293 A JP31992293 A JP 31992293A JP H07176818 A JPH07176818 A JP H07176818A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】回路の追加を必要とせず、簡便な制御により、
広い使用温度範囲であっても、発振波長を安定化させる
ことができるレーザ測長機用光源を得る。 【構成】ハウジング内に半導体レーザ本体が収納され、
この半導体レーザ本体に電流を供給することにより、レ
ーザ光を射出する半導体レーザＬＤ１と、該半導体レー
ザ本体に駆動電流を供給する半導体レーザ駆動電流制御
手段を構成する例えば一定電流制御部２と、ＬＤ１のハ
ウジング内の温度を検出する温度検出手段を構成する温
度検出器例えばサーミスタ１ａ（図２）と、サーミスタ
１ａの検出温度によりＬＤ１の発振波長を決定する発振
波長決定手段を構成する例えば波長補正部３からなって
いる。
広い使用温度範囲であっても、発振波長を安定化させる
ことができるレーザ測長機用光源を得る。 【構成】ハウジング内に半導体レーザ本体が収納され、
この半導体レーザ本体に電流を供給することにより、レ
ーザ光を射出する半導体レーザＬＤ１と、該半導体レー
ザ本体に駆動電流を供給する半導体レーザ駆動電流制御
手段を構成する例えば一定電流制御部２と、ＬＤ１のハ
ウジング内の温度を検出する温度検出手段を構成する温
度検出器例えばサーミスタ１ａ（図２）と、サーミスタ
１ａの検出温度によりＬＤ１の発振波長を決定する発振
波長決定手段を構成する例えば波長補正部３からなって
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザの出射さ
れるレーザ光の波長を安定化させるか、又は正確に求め
て波長を基準として測長を行なうレーザ測長機に用いら
れる光源に関する。
れるレーザ光の波長を安定化させるか、又は正確に求め
て波長を基準として測長を行なうレーザ測長機に用いら
れる光源に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、レーザ光の干渉現象を利用し
て高精度の測長（長さの測定）を可能にするレーザ干渉
測長機が知られている。このレーザ干渉測長機の光源と
しては、一般的にＨｅ−Ｎｅレーザ等が使用されてきた
が、近年測長機の小型化の要求に供い、半導体レーザを
光源として用いる試みもなされている。
て高精度の測長（長さの測定）を可能にするレーザ干渉
測長機が知られている。このレーザ干渉測長機の光源と
しては、一般的にＨｅ−Ｎｅレーザ等が使用されてきた
が、近年測長機の小型化の要求に供い、半導体レーザを
光源として用いる試みもなされている。
【０００３】半導体レーザ（以下ＬＤと称する）として
は、図７の斜視図のように４本の端子Ｐ１，Ｐ２，Ｐ
５，Ｐ６を有するステムＳにキャップＣＰを接合した形
状のものを用いる。
は、図７の斜視図のように４本の端子Ｐ１，Ｐ２，Ｐ
５，Ｐ６を有するステムＳにキャップＣＰを接合した形
状のものを用いる。
【０００４】図８はＬＤの回路図であり、端子Ｐ１，Ｐ
２，Ｐ５，Ｐ６のうち、Ｐ１，Ｐ２はＬＤ用端子であ
り、Ｐ５，Ｐ６はＬＤの出射光量をモニタする為のフォ
トダイオード（以下ＰＤと称する）用端子である。
２，Ｐ５，Ｐ６のうち、Ｐ１，Ｐ２はＬＤ用端子であ
り、Ｐ５，Ｐ６はＬＤの出射光量をモニタする為のフォ
トダイオード（以下ＰＤと称する）用端子である。
【０００５】このような形状のＬＤは、キャップＣＰの
直径が３ｍｍ程度で、キャップＣＰ上面からステムの下
端部までが４ｍｍ程度であるので、非常に小型であり、
従ってレーザ測長機全体を小型化する上で有効である。
直径が３ｍｍ程度で、キャップＣＰ上面からステムの下
端部までが４ｍｍ程度であるので、非常に小型であり、
従ってレーザ測長機全体を小型化する上で有効である。
【０００６】図９は、このような構成のＬＤを使用した
従来のレーザ測長機用光源の概略構成図を示している。
ＬＤ３０のキャップ近傍に、温度検出器を構成する例え
ばサーミスタ３１が配置されており、ＬＤ３０の温度を
検出している。温度制御部３２は、サーミスタ３１の出
力に応じて加熱冷却手段を構成する例えばペルチェ素子
３３を制御し、ＬＤ３０の温度が常に一定温度に保たれ
るように動作する。
従来のレーザ測長機用光源の概略構成図を示している。
ＬＤ３０のキャップ近傍に、温度検出器を構成する例え
ばサーミスタ３１が配置されており、ＬＤ３０の温度を
検出している。温度制御部３２は、サーミスタ３１の出
力に応じて加熱冷却手段を構成する例えばペルチェ素子
３３を制御し、ＬＤ３０の温度が常に一定温度に保たれ
るように動作する。
【０００７】ＬＤ３０から出射されたレーザ光は、ビー
ムスプリッタ３４で分岐され、このレーザ光の一方は測
長のために利用される。また、該レーザ光の一方は、波
長弁別手段を構成するエタロン３５に入射し、その透過
光量をＰＤ３６にて検出する。ＬＤ駆動電流制御部３７
はＰＤ３６の出力に応じてＬＤ３０の駆動電流を制御
し、ＰＤ３６の出力が常に同じ状態となるように動作す
る。
ムスプリッタ３４で分岐され、このレーザ光の一方は測
長のために利用される。また、該レーザ光の一方は、波
長弁別手段を構成するエタロン３５に入射し、その透過
光量をＰＤ３６にて検出する。ＬＤ駆動電流制御部３７
はＰＤ３６の出力に応じてＬＤ３０の駆動電流を制御
し、ＰＤ３６の出力が常に同じ状態となるように動作す
る。
【０００８】ＬＤ３０は、ＬＤ３０自身の温度と駆動電
流により、出射光の発振波長が大きく変動する性質を持
っている。このため、図９の例では、ＬＤ３０の温度が
極力一定温度になるように制御し、かつエタロン３５の
透過光量が常に同じ状態（例えば最大値）となるように
駆動電流を制御することにより、ＬＤ３０の出射光の発
振波長が安定化するように動作している。
流により、出射光の発振波長が大きく変動する性質を持
っている。このため、図９の例では、ＬＤ３０の温度が
極力一定温度になるように制御し、かつエタロン３５の
透過光量が常に同じ状態（例えば最大値）となるように
駆動電流を制御することにより、ＬＤ３０の出射光の発
振波長が安定化するように動作している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図９に図示
するレーザ測長機用光源において、サーミスタ３１はＬ
Ｄ３０のキャップ近傍に配置されているため、キャップ
内部にあるＬＤ本体の温度を正確に検出できていないと
いう不具合があった。具体的に言えば、サーミスタ３１
の検出温度は、ＬＤ３０のキャップ近傍温度を検出して
いるにすぎず、従って、周囲温度の影響を受けて実際の
ＬＤ本体部の温度よりも低く又は高く検出されてしま
う。温度制御部３２が、正確に動作しＬＤ３０のキャッ
プ近傍温度は安定していても、ＬＤ本体部の温度は周囲
温度により変動する為、温度制御部３２が正常に動作し
ているにもかかわらず、ＬＤ３０の発振波長が変動して
しまい、結果的にレーザ測長機の使用環境温度が制限さ
れ、非常に不便であった。
するレーザ測長機用光源において、サーミスタ３１はＬ
Ｄ３０のキャップ近傍に配置されているため、キャップ
内部にあるＬＤ本体の温度を正確に検出できていないと
いう不具合があった。具体的に言えば、サーミスタ３１
の検出温度は、ＬＤ３０のキャップ近傍温度を検出して
いるにすぎず、従って、周囲温度の影響を受けて実際の
ＬＤ本体部の温度よりも低く又は高く検出されてしま
う。温度制御部３２が、正確に動作しＬＤ３０のキャッ
プ近傍温度は安定していても、ＬＤ本体部の温度は周囲
温度により変動する為、温度制御部３２が正常に動作し
ているにもかかわらず、ＬＤ３０の発振波長が変動して
しまい、結果的にレーザ測長機の使用環境温度が制限さ
れ、非常に不便であった。
【００１０】本発明は前記問題点を解決するためなされ
たもので、比較的簡単な構成で、簡単な制御により、広
い使用環境温度であっても、発振波長を安定化させる
か、又は正確に求めることが可能で、小型化が可能なレ
ーザ測長機用光源を提供することを目的とする。
たもので、比較的簡単な構成で、簡単な制御により、広
い使用環境温度であっても、発振波長を安定化させる
か、又は正確に求めることが可能で、小型化が可能なレ
ーザ測長機用光源を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１に対応する発明は、ハウジング内に半導体
レーザ本体が収納され、この半導体レーザ本体に電流を
供給することにより、レーザ光を射出する半導体レーザ
と、前記半導体レーザ本体に一定電流を供給する半導体
レーザ駆動電流制御手段と、前記半導体レーザのハウジ
ング内の温度を検出する温度検出手段と、この温度検出
手段の検出温度により前記半導体レーザの発振波長を決
定する発振波長決定手段を具備したレーザ測長機用光源
である。
め、請求項１に対応する発明は、ハウジング内に半導体
レーザ本体が収納され、この半導体レーザ本体に電流を
供給することにより、レーザ光を射出する半導体レーザ
と、前記半導体レーザ本体に一定電流を供給する半導体
レーザ駆動電流制御手段と、前記半導体レーザのハウジ
ング内の温度を検出する温度検出手段と、この温度検出
手段の検出温度により前記半導体レーザの発振波長を決
定する発振波長決定手段を具備したレーザ測長機用光源
である。
【００１２】前記目的を達成するため、請求項２に対応
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザ本体に一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流制
御手段と、前記半導体レーザのハウジング内の温度を検
出する温度検出手段と、前記半導体レーザ本体の加熱又
は冷却を行なう加熱冷却手段と、前記温度検出手段の検
出温度が一定になるように前記加熱冷却手段を制御する
温度制御手段を具備したレーザ測長機用光源である。
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザ本体に一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流制
御手段と、前記半導体レーザのハウジング内の温度を検
出する温度検出手段と、前記半導体レーザ本体の加熱又
は冷却を行なう加熱冷却手段と、前記温度検出手段の検
出温度が一定になるように前記加熱冷却手段を制御する
温度制御手段を具備したレーザ測長機用光源である。
【００１３】前記目的を達成するため、請求項３に対応
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、前記半導体レ
ーザの出射光の一部を透過又は反射により得られる光量
から波長を弁別し、複数の発振モードを有する波長弁別
手段と、この波長弁別手段の透過又は反射により得られ
る光量に応じて前記半導体レーザの駆動電流を制御する
半導体レーザ駆動電流制御手段を具備したレーザ測長機
用光源である。
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、前記半導体レ
ーザの出射光の一部を透過又は反射により得られる光量
から波長を弁別し、複数の発振モードを有する波長弁別
手段と、この波長弁別手段の透過又は反射により得られ
る光量に応じて前記半導体レーザの駆動電流を制御する
半導体レーザ駆動電流制御手段を具備したレーザ測長機
用光源である。
【００１４】前記目的を達成するため、請求項４に対応
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、前記半導体レ
ーザの出射光の一部を透過又は反射により得られる光量
から波長を弁別する波長弁別手段と、この波長弁別手段
の透過又は反射により得られる光量および前記温度検出
手段の検出温度に応じて前記半導体レーザの駆動電流を
制御する半導体レーザ駆動電流制御手段を具備したレー
ザ測長機用光源である。
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、前記半導体レ
ーザの出射光の一部を透過又は反射により得られる光量
から波長を弁別する波長弁別手段と、この波長弁別手段
の透過又は反射により得られる光量および前記温度検出
手段の検出温度に応じて前記半導体レーザの駆動電流を
制御する半導体レーザ駆動電流制御手段を具備したレー
ザ測長機用光源である。
【００１５】前記目的を達成するため、請求項５に対応
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、この半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
前記半導体レーザ本体の加熱又は冷却を行なう加熱冷却
手段と、前記温度検出手段の検出温度が一定になるよう
に前記加熱冷却手段を制御する温度制御手段と、前記半
導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により得られ
る光量から波長を弁別する波長弁別手段と、この波長弁
別手段の透過又は反射により得られる光量に応じて前記
半導体レーザの駆動電流を制御する半導体レーザ駆動電
流制御手段を具備したレーザ測長機用光源である。
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、この半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
前記半導体レーザ本体の加熱又は冷却を行なう加熱冷却
手段と、前記温度検出手段の検出温度が一定になるよう
に前記加熱冷却手段を制御する温度制御手段と、前記半
導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により得られ
る光量から波長を弁別する波長弁別手段と、この波長弁
別手段の透過又は反射により得られる光量に応じて前記
半導体レーザの駆動電流を制御する半導体レーザ駆動電
流制御手段を具備したレーザ測長機用光源である。
【００１６】前記目的を達成するため、請求項６に対応
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザ本体に一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流制
御手段と、前記半導体レーザのハウジング内の温度を検
出する温度検出手段と、前記半導体レーザ本体の加熱又
は冷却を行なう加熱冷却手段と、前記半導体レーザの出
射光の一部を透過又は反射により得られる光量から波長
を弁別する波長弁別手段と、この波長弁別手段の透過又
は反射により得られる光量と前記温度検出手段の出力に
応じて前記温度制御手段に入力して前記加熱冷却手段を
制御する温度制御手段を具備したレーザ測長機用光源で
ある。
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザ本体に一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流制
御手段と、前記半導体レーザのハウジング内の温度を検
出する温度検出手段と、前記半導体レーザ本体の加熱又
は冷却を行なう加熱冷却手段と、前記半導体レーザの出
射光の一部を透過又は反射により得られる光量から波長
を弁別する波長弁別手段と、この波長弁別手段の透過又
は反射により得られる光量と前記温度検出手段の出力に
応じて前記温度制御手段に入力して前記加熱冷却手段を
制御する温度制御手段を具備したレーザ測長機用光源で
ある。
【００１７】
【作用】請求項１に対応する発明によれば、半導体レー
ザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を一定
にするように制御し、温度検出手段が正確に半導体レー
ザの温度を検出し、この検出温度により半導体レーザの
発振波長を決定するように作用する。
ザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を一定
にするように制御し、温度検出手段が正確に半導体レー
ザの温度を検出し、この検出温度により半導体レーザの
発振波長を決定するように作用する。
【００１８】請求項２に対応する発明によれば、半導体
レーザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を
一定にするように制御し、温度検出手段が正確に半導体
レーザの温度を検出し、この検出温度に応じて温度制御
手段が半導体レーザの温度を一定にするように加熱冷却
手段を制御して、半導体レーザの発振波長が安定化する
ように作用する。
レーザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を
一定にするように制御し、温度検出手段が正確に半導体
レーザの温度を検出し、この検出温度に応じて温度制御
手段が半導体レーザの温度を一定にするように加熱冷却
手段を制御して、半導体レーザの発振波長が安定化する
ように作用する。
【００１９】請求項３に対応する発明によれば、半導体
レーザ駆動電流制御手段が波長弁別手段の出力に応じて
半導体レーザの駆動電流を制御するようにし、一方で温
度検出手段により、半導体レーザの温度を正確に検出
し、半導体レーザの発振波長を補正するように作用す
る。
レーザ駆動電流制御手段が波長弁別手段の出力に応じて
半導体レーザの駆動電流を制御するようにし、一方で温
度検出手段により、半導体レーザの温度を正確に検出
し、半導体レーザの発振波長を補正するように作用す
る。
【００２０】請求項４に対応する発明によれば、半導体
レーザ駆動電流制御手段が、温度検出手段の検出温度と
波長弁別手段の出力に応じて半導体レーザの駆動電流を
制御して、半導体レーザの発振波長を決定するように作
用する。
レーザ駆動電流制御手段が、温度検出手段の検出温度と
波長弁別手段の出力に応じて半導体レーザの駆動電流を
制御して、半導体レーザの発振波長を決定するように作
用する。
【００２１】請求項５に対応する発明によれば、半導体
レーザ駆動電流制御手段が波長弁別手段の出力に応じて
半導体レーザの駆動電流を制御するようにし、一方、温
度検出手段が、正確に半導体レーザの温度を検出し、こ
の検出温度に応じて、半導体レーザの温度を一定にする
よう加熱冷却手段を制御して、半導体レーザの発振波長
が安定化するように作用する。
レーザ駆動電流制御手段が波長弁別手段の出力に応じて
半導体レーザの駆動電流を制御するようにし、一方、温
度検出手段が、正確に半導体レーザの温度を検出し、こ
の検出温度に応じて、半導体レーザの温度を一定にする
よう加熱冷却手段を制御して、半導体レーザの発振波長
が安定化するように作用する。
【００２２】請求項６に対応する発明によれば、半導体
レーザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を
一定にするように制御し、温度検出手段の検出温度と波
長弁別手段の出力に応じて温度検出手段が加熱冷却手段
を制御して、半導体レーザの発振波長を安定化するよう
に作用する。
レーザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を
一定にするように制御し、温度検出手段の検出温度と波
長弁別手段の出力に応じて温度検出手段が加熱冷却手段
を制御して、半導体レーザの発振波長を安定化するよう
に作用する。
【００２３】従って、請求項１〜６に対応する発明によ
れば、比較的簡単な構成で、簡単な制御により、広い使
用環境温度であっても、発振波長を安定化させる、又は
正確に求めることが可能で、小型化が可能なレーザ測長
機用光源を提供できる。
れば、比較的簡単な構成で、簡単な制御により、広い使
用環境温度であっても、発振波長を安定化させる、又は
正確に求めることが可能で、小型化が可能なレーザ測長
機用光源を提供できる。
【００２４】
（第１実施例）以下本発明の実施例について、図面を参
照して説明する。図１は本発明の波長安定化装置の第１
実施例の概略構成図であり、これは以下のように構成さ
れている。図２（ｂ）に示すキャップＣＰ１内にＬＤ本
体部１ｂが収納され、このＬＤ本体部１ｂに電流を供給
することにより、レーザ光を射出するＬＤ１と、該ＬＤ
本体部１ｂに一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流
制御手段を構成する例えば一定電流制御部２と、ＬＤ１
のハウジング内の温度を検出する温度検出手段を構成す
る温度検出器例えばサーミスタ１ａ（図２(a) ）と、サ
ーミスタ１ａの検出温度（サーミスタ出力）によりＬＤ
１の発振波長を決定する発振波長決定手段を構成する例
えば波長補正部３からなっている。
照して説明する。図１は本発明の波長安定化装置の第１
実施例の概略構成図であり、これは以下のように構成さ
れている。図２（ｂ）に示すキャップＣＰ１内にＬＤ本
体部１ｂが収納され、このＬＤ本体部１ｂに電流を供給
することにより、レーザ光を射出するＬＤ１と、該ＬＤ
本体部１ｂに一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流
制御手段を構成する例えば一定電流制御部２と、ＬＤ１
のハウジング内の温度を検出する温度検出手段を構成す
る温度検出器例えばサーミスタ１ａ（図２(a) ）と、サ
ーミスタ１ａの検出温度（サーミスタ出力）によりＬＤ
１の発振波長を決定する発振波長決定手段を構成する例
えば波長補正部３からなっている。
【００２５】ＬＤ１は、図２（ｂ）のような円筒形状で
あり、ステムＳ１の４本の端子Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４
は、図２（ａ）に示すごとく前記ＬＤ用端子Ｐ１，Ｐ２
と、サーミスタ用端子Ｐ３，Ｐ４で構成される。サーミ
スタ１ａは、ＬＤ１のハウジングに内蔵されたＬＤ本体
部１ｂの極く近傍に配置され、例えば、図２（ｂ）のよ
うにＬＤ本体部１ｂがボンディングされている金属部に
対しボンディングされている。さらに、金属部が基板１
ｃへ、基板１ｃがステムＳ１にボンディングされてい
る。
あり、ステムＳ１の４本の端子Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４
は、図２（ａ）に示すごとく前記ＬＤ用端子Ｐ１，Ｐ２
と、サーミスタ用端子Ｐ３，Ｐ４で構成される。サーミ
スタ１ａは、ＬＤ１のハウジングに内蔵されたＬＤ本体
部１ｂの極く近傍に配置され、例えば、図２（ｂ）のよ
うにＬＤ本体部１ｂがボンディングされている金属部に
対しボンディングされている。さらに、金属部が基板１
ｃへ、基板１ｃがステムＳ１にボンディングされてい
る。
【００２６】そしてＬＤ１に対し、一定電流制御部２
は、ＬＤ１の端子Ｐ１，Ｐ２へ予め定められた値の電流
を供給するように働く。一方、ＬＤ１の端子Ｐ３，Ｐ４
からは、ＬＤ１内のＬＤ本体部１ｂの温度が正確に検出
される。従って、予め定められた駆動電流の値と現在の
ＬＤ本体部の温度とから、現在の発振波長を高精度に求
めることができる。例えば、図１のように波長補正部３
にある電流値でのＬＤ１の温度に対する発振波長を記憶
させておき、サーミスタ１ａの検出温度を入力し、波長
補正部３で演算して波長を補正し、現在の発振波長デー
タを求めるように構成されている。これにより、環境温
度が変わってもそれに応じた発振波長による測長がで
き、また、従来のようにＬＤ１の温度が安定化するまで
長い時間待つ必要もない。
は、ＬＤ１の端子Ｐ１，Ｐ２へ予め定められた値の電流
を供給するように働く。一方、ＬＤ１の端子Ｐ３，Ｐ４
からは、ＬＤ１内のＬＤ本体部１ｂの温度が正確に検出
される。従って、予め定められた駆動電流の値と現在の
ＬＤ本体部の温度とから、現在の発振波長を高精度に求
めることができる。例えば、図１のように波長補正部３
にある電流値でのＬＤ１の温度に対する発振波長を記憶
させておき、サーミスタ１ａの検出温度を入力し、波長
補正部３で演算して波長を補正し、現在の発振波長デー
タを求めるように構成されている。これにより、環境温
度が変わってもそれに応じた発振波長による測長がで
き、また、従来のようにＬＤ１の温度が安定化するまで
長い時間待つ必要もない。
【００２７】以上述べた第１実施例によれば、ＬＤ１の
キャップ近傍の温度ではなく、正確なＬＤ本体部１ｂの
温度を検出することができ、これにより現在の波長を精
度よく求めることが可能となる。
キャップ近傍の温度ではなく、正確なＬＤ本体部１ｂの
温度を検出することができ、これにより現在の波長を精
度よく求めることが可能となる。
【００２８】さらに、第１実施例によれば、本出願人が
先に出願した先願明細書（特願平４−３３８２２３号明
細書）のように、ＬＤの周囲温度を検出するために、図
１のサーミスタ１ａとは別のもう１つのサーミスタを設
ける必要もなく、非常に小型な装置とすることが可能と
なる。先願明細書では、ＬＤの周囲温度をもう１つのサ
ーミスタで検知し、この検出温度に応じてＬＤの制御温
度を変更することにより、より高精度な波長安定化を行
なっているので、サーミスタ検出用の回路を追加する必
要があり、また、ＬＤの制御温度を波長安定化の動作の
途中で変更する為制御が複雑になるという欠点があっ
た。
先に出願した先願明細書（特願平４−３３８２２３号明
細書）のように、ＬＤの周囲温度を検出するために、図
１のサーミスタ１ａとは別のもう１つのサーミスタを設
ける必要もなく、非常に小型な装置とすることが可能と
なる。先願明細書では、ＬＤの周囲温度をもう１つのサ
ーミスタで検知し、この検出温度に応じてＬＤの制御温
度を変更することにより、より高精度な波長安定化を行
なっているので、サーミスタ検出用の回路を追加する必
要があり、また、ＬＤの制御温度を波長安定化の動作の
途中で変更する為制御が複雑になるという欠点があっ
た。
【００２９】（第２実施例）図３は、本発明の波長安定
化装置の第２実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のように構成されている。図２（ｂ）に示すように
ＬＤ本体部１ｂがハウジング内にＬＤ本体部１ｂに電流
を供給することにより、レーザ光を射出するＬＤ４と、
ＬＤ本体部１ｂに一定電流を供給する半導体レーザ駆動
電流制御手段を構成する例えば一定電流制御部５と、半
導体レーザＬＤ４のハウジング内の温度を検出する温度
検出手段例えば図２（ｂ）に示すサーミスタ１ａと、Ｌ
Ｄ本体部１ｂの加熱又は冷却を行なう加熱冷却手段を構
成する例えばペルチェ素子７と、サーミスタ１ａの検出
温度が一定になるようにペルチェ素子７の電流を制御す
る温度制御手段例えば温度制御部６とからなっている。
化装置の第２実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のように構成されている。図２（ｂ）に示すように
ＬＤ本体部１ｂがハウジング内にＬＤ本体部１ｂに電流
を供給することにより、レーザ光を射出するＬＤ４と、
ＬＤ本体部１ｂに一定電流を供給する半導体レーザ駆動
電流制御手段を構成する例えば一定電流制御部５と、半
導体レーザＬＤ４のハウジング内の温度を検出する温度
検出手段例えば図２（ｂ）に示すサーミスタ１ａと、Ｌ
Ｄ本体部１ｂの加熱又は冷却を行なう加熱冷却手段を構
成する例えばペルチェ素子７と、サーミスタ１ａの検出
温度が一定になるようにペルチェ素子７の電流を制御す
る温度制御手段例えば温度制御部６とからなっている。
【００３０】以下これについて詳細に説明する。すなわ
ち、ＬＤ４は第１実施例と同じく構成されている。一定
電流制御部５は、ＬＤ４の駆動電流が常に一定となるよ
うに働く。
ち、ＬＤ４は第１実施例と同じく構成されている。一定
電流制御部５は、ＬＤ４の駆動電流が常に一定となるよ
うに働く。
【００３１】一方、ＬＤ４の端子Ｐ３，Ｐ４よりＬＤ本
体部の温度が正確に検出される。温度制御部６は、サー
ミスタ１ａによる検出温度を入力し、これが常に一定と
なるようにペルチェ素子７の電流を制御する。
体部の温度が正確に検出される。温度制御部６は、サー
ミスタ１ａによる検出温度を入力し、これが常に一定と
なるようにペルチェ素子７の電流を制御する。
【００３２】ここにおいて、該検出温度は、周囲温度に
よって変動することはなく正確にＬＤ本体部１ｂの温度
であるので、温度制御部６の動作により常にＬＤ本体部
１ｂの温度が安定化されることになる。
よって変動することはなく正確にＬＤ本体部１ｂの温度
であるので、温度制御部６の動作により常にＬＤ本体部
１ｂの温度が安定化されることになる。
【００３３】従って、図３に示す実施例によれば、非常
に小型で簡単な構成及び制御によって、ＬＤ４の発振波
長を常に安定化することができ、広い使用環境温度内で
図示していないＬＤ保持部の形状又は熱電導率等の熱的
特性が異なる場合でも高精度な測長を行なうことが可能
となる。
に小型で簡単な構成及び制御によって、ＬＤ４の発振波
長を常に安定化することができ、広い使用環境温度内で
図示していないＬＤ保持部の形状又は熱電導率等の熱的
特性が異なる場合でも高精度な測長を行なうことが可能
となる。
【００３４】（第３実施例）図４は、本発明の波長安定
化装置の第３実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のようになっている。図２（ｂ）に示すように、Ｌ
Ｄ本体部１ｂがハウジング内に収納され、このＬＤ本体
部１ｂに電流を供給することにより、レーザ光を射出す
るＬＤ８と、半導体レーザＬＤ８のハウジング内の温度
を検出する温度検出手段例えばサーミスタ１ａと、この
サーミスタ１ａの検出温度によりＬＤ８の発振波長を決
定する発振波長決定手段例えば波長演算部１３と、ＬＤ
８の出射光の一部を透過又は反射により得られる光量か
ら波長を弁別する波長弁別手段例えばエタロン１０と、
このエタロン１０の透過又は反射により得られる光量に
応じてＬＤ８の駆動電流を制御する半導体レーザ駆動電
流制御手段例えばＬＤ駆動電流制御部１２とからなって
いる。
化装置の第３実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のようになっている。図２（ｂ）に示すように、Ｌ
Ｄ本体部１ｂがハウジング内に収納され、このＬＤ本体
部１ｂに電流を供給することにより、レーザ光を射出す
るＬＤ８と、半導体レーザＬＤ８のハウジング内の温度
を検出する温度検出手段例えばサーミスタ１ａと、この
サーミスタ１ａの検出温度によりＬＤ８の発振波長を決
定する発振波長決定手段例えば波長演算部１３と、ＬＤ
８の出射光の一部を透過又は反射により得られる光量か
ら波長を弁別する波長弁別手段例えばエタロン１０と、
このエタロン１０の透過又は反射により得られる光量に
応じてＬＤ８の駆動電流を制御する半導体レーザ駆動電
流制御手段例えばＬＤ駆動電流制御部１２とからなって
いる。
【００３５】ＬＤ８は図２に示すものと同一構成であ
る。ＬＤ８の出射光はビームスプリッタ９で分岐され、
一部をエタロン１０へ入射する。エタロン１０は図５に
示すように、周期的な波長により透過率がピークとなる
透過率曲線を示す性質を持つ。
る。ＬＤ８の出射光はビームスプリッタ９で分岐され、
一部をエタロン１０へ入射する。エタロン１０は図５に
示すように、周期的な波長により透過率がピークとなる
透過率曲線を示す性質を持つ。
【００３６】ここで、ＰＤ１１で検出されるエタロン１
０の透過光量が、例えば常にピークとなるように、ＬＤ
駆動電流制御部１２がＬＤ駆動電流を制御する。ＬＤ本
体部の温度が一定であれば、例えば図５に示す波長λ1
に常にモードロックできるが、ＬＤ本体部１ｂの温度が
変化すると、図５に示す波長λ0 やλ2 のように波長λ
1 とは異なる波長へモードロックする。
０の透過光量が、例えば常にピークとなるように、ＬＤ
駆動電流制御部１２がＬＤ駆動電流を制御する。ＬＤ本
体部の温度が一定であれば、例えば図５に示す波長λ1
に常にモードロックできるが、ＬＤ本体部１ｂの温度が
変化すると、図５に示す波長λ0 やλ2 のように波長λ
1 とは異なる波長へモードロックする。
【００３７】そこで、波長演算部１３は、エタロン１０
の透過率特性を記憶しておき、ＬＤ８の端子Ｐ３，Ｐ４
から出力される正確なＬＤ本体部１ｂの温度を入力し
て、この温度と現在のＬＤ駆動電流値とからモードを決
定し現在のＬＤ８の発振波長を求めている。
の透過率特性を記憶しておき、ＬＤ８の端子Ｐ３，Ｐ４
から出力される正確なＬＤ本体部１ｂの温度を入力し
て、この温度と現在のＬＤ駆動電流値とからモードを決
定し現在のＬＤ８の発振波長を求めている。
【００３８】ここにおいて、モードロックする波長はた
だ１つの波長である必要はなく、例えば図５におけるλ
0 ，λ1 ，λ2 のどの波長でもよい。従って、ＬＤ８の
駆動電流の掃引中は小さくてもよく、掃引中に最も近い
モードへロックすればよいので、従来のようにエタロン
１０の所望のモードにロックする為に温度が安定するま
で長い時間待つ必要はない。
だ１つの波長である必要はなく、例えば図５におけるλ
0 ，λ1 ，λ2 のどの波長でもよい。従って、ＬＤ８の
駆動電流の掃引中は小さくてもよく、掃引中に最も近い
モードへロックすればよいので、従来のようにエタロン
１０の所望のモードにロックする為に温度が安定するま
で長い時間待つ必要はない。
【００３９】また前述のように、周囲温度の変動によら
ずＬＤ本体部１ｂの正確な温度が検知できるので、高精
度な波長補正が可能である。図４において、波長演算部
１３は温度と電流値から波長を補正しているが、ＬＤ本
体部１ｂの現在の温度から、所望のモード（例えば波長
λ1 ）にロックする為に必要なＬＤ駆動電流値を演算す
ることにより常に波長λ1 へロックすることも可能であ
る。ここで、波長演算部１３はＬＤ駆動電流値の増減の
方向のみを判別するようにしてもよい。このようにすれ
ば、エタロン１０に限らず例えば吸収セル等の波長弁別
手段に対しても、容易に波長安定化が行える。
ずＬＤ本体部１ｂの正確な温度が検知できるので、高精
度な波長補正が可能である。図４において、波長演算部
１３は温度と電流値から波長を補正しているが、ＬＤ本
体部１ｂの現在の温度から、所望のモード（例えば波長
λ1 ）にロックする為に必要なＬＤ駆動電流値を演算す
ることにより常に波長λ1 へロックすることも可能であ
る。ここで、波長演算部１３はＬＤ駆動電流値の増減の
方向のみを判別するようにしてもよい。このようにすれ
ば、エタロン１０に限らず例えば吸収セル等の波長弁別
手段に対しても、容易に波長安定化が行える。
【００４０】（第４実施例）図６は、本発明の波長安定
化装置の第４実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のようになっている。図２（ｂ）に示すようにＬＤ
本体部１ｂがハウジング内に収納され、このＬＤ本体部
１ｂに電流を供給することにより、所定波長のレーザ光
を射出する半導体レーザＬＤ１４と、この半導体レーザ
ＬＤ１４のハウジング内の温度を検出する温度検出手段
例えばサーミスタ１ａと、ＬＤ本体部１ｂの加熱又は冷
却を行なう加熱冷却手段例えばペルチェ素子１６と、サ
ーミスタ１ａの検出温度が一定になるようにペルチェ素
子１６の電流を制御する温度制御手段例えば温度制御部
１５と、ＬＤ１４の出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別する波長弁別手段例えばエ
タロン１８と、このエタロン１８の透過又は反射により
得られる光量に応じてＬＤ１４の駆動電流を制御する半
導体レーザ駆動電流制御手段例えばＬＤ駆動電流制御部
２０とからなっている。
化装置の第４実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のようになっている。図２（ｂ）に示すようにＬＤ
本体部１ｂがハウジング内に収納され、このＬＤ本体部
１ｂに電流を供給することにより、所定波長のレーザ光
を射出する半導体レーザＬＤ１４と、この半導体レーザ
ＬＤ１４のハウジング内の温度を検出する温度検出手段
例えばサーミスタ１ａと、ＬＤ本体部１ｂの加熱又は冷
却を行なう加熱冷却手段例えばペルチェ素子１６と、サ
ーミスタ１ａの検出温度が一定になるようにペルチェ素
子１６の電流を制御する温度制御手段例えば温度制御部
１５と、ＬＤ１４の出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別する波長弁別手段例えばエ
タロン１８と、このエタロン１８の透過又は反射により
得られる光量に応じてＬＤ１４の駆動電流を制御する半
導体レーザ駆動電流制御手段例えばＬＤ駆動電流制御部
２０とからなっている。
【００４１】ＬＤ１４は、第１実施例と同じく図２に示
すものである。ＬＤ１４の内部にあるサーミスタ１ａ
は、正確にＬＤ本体部１ｂの温度を検出し、このサーミ
スタ出力により温度制御部１５がペルチェ素子１６を制
御し、常にＬＤ本体部１ｂが一定温度となるように動作
する。ＬＤ１４の出射光はビームスプリッタ１７で分岐
され、一部をエタロン１８に入射する。前述のように、
エタロン１８は図４のような透過率曲線を示すものであ
る。このようなエタロン１８を透過した光量をＰＤ１９
で検出し、これをＬＤ駆動電流制御部２０に入力する。
ＬＤ駆動電流制御部２０は、エタロン透過光量が、例え
ば、常にピークになるように駆動電流の制御を行なう。
すものである。ＬＤ１４の内部にあるサーミスタ１ａ
は、正確にＬＤ本体部１ｂの温度を検出し、このサーミ
スタ出力により温度制御部１５がペルチェ素子１６を制
御し、常にＬＤ本体部１ｂが一定温度となるように動作
する。ＬＤ１４の出射光はビームスプリッタ１７で分岐
され、一部をエタロン１８に入射する。前述のように、
エタロン１８は図４のような透過率曲線を示すものであ
る。このようなエタロン１８を透過した光量をＰＤ１９
で検出し、これをＬＤ駆動電流制御部２０に入力する。
ＬＤ駆動電流制御部２０は、エタロン透過光量が、例え
ば、常にピークになるように駆動電流の制御を行なう。
【００４２】上記実施例においては、ＬＤ本体部１ｂの
温度が正確に検出できる為、温度制御部１５の動作によ
り周囲温度の変動にかかわらず常にＬＤ本体部１ｂの温
度を一定に保つことができ、さらにＬＤ駆動電流制御部
２０の動作によりエタロン１８の所望のモードに常にロ
ックすることができる。
温度が正確に検出できる為、温度制御部１５の動作によ
り周囲温度の変動にかかわらず常にＬＤ本体部１ｂの温
度を一定に保つことができ、さらにＬＤ駆動電流制御部
２０の動作によりエタロン１８の所望のモードに常にロ
ックすることができる。
【００４３】従って、広い温度範囲内で、図示していな
いＬＤ保持部の形状又は熱伝導率等熱的特性が異なる場
合でも高精度な波長安定化が、特別な回路の追加や制御
の複雑化を伴わずに可能となる。さらに、本実施例にお
いては、常にＬＤ本体部の温度は一定でＬＤ駆動電流も
微小幅での変動であるから、ＬＤ１４の出射光パワーは
周囲温度にかかわらずほぼ一定であり、いつも同じ状態
での測長が再現できる。
いＬＤ保持部の形状又は熱伝導率等熱的特性が異なる場
合でも高精度な波長安定化が、特別な回路の追加や制御
の複雑化を伴わずに可能となる。さらに、本実施例にお
いては、常にＬＤ本体部の温度は一定でＬＤ駆動電流も
微小幅での変動であるから、ＬＤ１４の出射光パワーは
周囲温度にかかわらずほぼ一定であり、いつも同じ状態
での測長が再現できる。
【００４４】また、図６の実施例において、駆動電流を
一定電流に制御し、エタロン透過光量を温度制御部１５
に入力して、透過光量に応じてペルチェ素子１６を制御
するようにしても同様の効果が得られることは言うまで
もない。
一定電流に制御し、エタロン透過光量を温度制御部１５
に入力して、透過光量に応じてペルチェ素子１６を制御
するようにしても同様の効果が得られることは言うまで
もない。
【００４５】
【発明の効果】本発明によれば回路の追加を必要とせ
ず、簡便な制御により、広い使用温度範囲であっても、
発振波長を安定化させる、又は正確に求めることができ
るレーザ測長機用光源を提供できる。
ず、簡便な制御により、広い使用温度範囲であっても、
発振波長を安定化させる、又は正確に求めることができ
るレーザ測長機用光源を提供できる。
【図１】本発明によるレーザ測長機用光源の第１実施例
の概略構成図。
の概略構成図。
【図２】（ａ）は図１のレーザダイオードの回路図、
（ｂ）は図１のレーザダイオードの構成を示す分解斜視
図。
（ｂ）は図１のレーザダイオードの構成を示す分解斜視
図。
【図３】本発明によるレーザ測長機用光源波長安定化装
置の第２実施例の概略構成図。
置の第２実施例の概略構成図。
【図４】本発明によるレーザ測長機用光源波長安定化装
置の第３実施例の概略構成図。
置の第３実施例の概略構成図。
【図５】図４のエタロンの透過率曲線を示す図。
【図６】本発明によるレーザ測長機用光源波長安定化装
置の第４実施例の概略構成図。
置の第４実施例の概略構成図。
【図７】従来のレーザ測長機用光源に用いる半導体レー
ザを示す斜視図。
ザを示す斜視図。
【図８】図７の半導体レーザの回路図。
【図９】従来のレーザ測長機用光源の一例を示す概略構
成図。
成図。
Claims (6)
- 【請求項１】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 前記半導体レーザ本体に一定電流を供給する半導体レー
ザ駆動電流制御手段と、 前記半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、 を具備したことを特徴とするレーザ測長機用光源。 - 【請求項２】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 前記半導体レーザ本体に一定電流を供給する半導体レー
ザ駆動電流制御手段と、 前記半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 前記半導体レーザ本体の加熱又は冷却を行なう加熱冷却
手段と、 前記温度検出手段の検出温度が一定になるように前記加
熱冷却手段を制御する温度制御手段と、 を具備し、前記半導体レーザの駆動電流と前記半導体レ
ーザの温度を安定化することにより前記半導体レーザの
共振波長を安定化することを特徴とするレーザ測長機用
光源。 - 【請求項３】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 この半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、 前記半導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別し、複数の発振モードを有
する波長弁別手段と、 この波長弁別手段の透過又は反射により得られる光量に
応じて前記半導体レーザの駆動電流を制御する半導体レ
ーザ駆動電流制御手段と、 を具備し、前記発振波長決定手段が、前記温度検出手段
の検出温度によって、前記半導体レーザの発振波長が前
記波長弁別手段のいずれのモードかを決定することを特
徴とするレーザ測長機用光源。 - 【請求項４】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 この半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、 前記半導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別する波長弁別手段と、 この波長弁別手段の透過又は反射により得られる光量お
よび前記温度検出手段の検出温度に応じて前記半導体レ
ーザの駆動電流を制御する半導体レーザ駆動電流制御手
段と、 を具備し、前記温度検出手段の検出温度により、前記半
導体レーザの発振波長と前記波長弁別手段の所定の発振
モードとのずれ又はずれの方向を求め、これにより前記
半導体レーザの駆動電流を制御して発振波長を安定化す
ることを特徴とするレーザ測長機用光源。 - 【請求項５】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 この半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 前記半導体レーザ本体の加熱又は冷却を行なう加熱冷却
手段と、 前記温度検出手段の検出温度が一定になるように前記加
熱冷却手段を制御する温度制御手段と、 前記半導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別する波長弁別手段と、 この波長弁別手段の透過又は反射により得られる光量に
応じて前記半導体レーザの駆動電流を制御する半導体レ
ーザ駆動電流制御手段と、 を具備し、前記半導体レーザの温度を安定化し、前記半
導体レーザの駆動電流を前記波長弁別手段の出力に応じ
て制御することにより発振波長を安定化することを特徴
とするレーザ測長機用光源。 - 【請求項６】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 前記半導体レーザ本体に一定電流を供給する半導体レー
ザ駆動電流制御手段と、 前記半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 前記半導体レーザ本体の加熱又は冷却を行なう加熱冷却
手段と、 前記半導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別する波長弁別手段と、 この波長弁別手段の透過又は反射により得られる光量と
前記温度検出手段の出力に応じて前記加熱冷却手段を制
御する温度制御手段と、 を具備し、前記半導体レーザの駆動電流を安定化し、前
記半導体レーザの温度を前記波長弁別手段の出力に応じ
て制御して発振波長を安定化することを特徴とするレー
ザ測長機用光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31992293A JPH07176818A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | レーザ測長機用光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31992293A JPH07176818A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | レーザ測長機用光源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07176818A true JPH07176818A (ja) | 1995-07-14 |
Family
ID=18115734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31992293A Withdrawn JPH07176818A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | レーザ測長機用光源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07176818A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005064483A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-03-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 発光モジュール |
| JP2010245209A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Anritsu Corp | 半導体レーザモジュール，およびこれを備えたラマン増幅器 |
-
1993
- 1993-12-20 JP JP31992293A patent/JPH07176818A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005064483A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-03-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 発光モジュール |
| JP2010245209A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Anritsu Corp | 半導体レーザモジュール，およびこれを備えたラマン増幅器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |