JPH07176818A - レーザ測長機用光源 - Google Patents
レーザ測長機用光源Info
- Publication number
- JPH07176818A JPH07176818A JP31992293A JP31992293A JPH07176818A JP H07176818 A JPH07176818 A JP H07176818A JP 31992293 A JP31992293 A JP 31992293A JP 31992293 A JP31992293 A JP 31992293A JP H07176818 A JPH07176818 A JP H07176818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- temperature
- wavelength
- drive current
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】回路の追加を必要とせず、簡便な制御により、
広い使用温度範囲であっても、発振波長を安定化させる
ことができるレーザ測長機用光源を得る。 【構成】ハウジング内に半導体レーザ本体が収納され、
この半導体レーザ本体に電流を供給することにより、レ
ーザ光を射出する半導体レーザLD1と、該半導体レー
ザ本体に駆動電流を供給する半導体レーザ駆動電流制御
手段を構成する例えば一定電流制御部2と、LD1のハ
ウジング内の温度を検出する温度検出手段を構成する温
度検出器例えばサーミスタ1a(図2)と、サーミスタ
1aの検出温度によりLD1の発振波長を決定する発振
波長決定手段を構成する例えば波長補正部3からなって
いる。
広い使用温度範囲であっても、発振波長を安定化させる
ことができるレーザ測長機用光源を得る。 【構成】ハウジング内に半導体レーザ本体が収納され、
この半導体レーザ本体に電流を供給することにより、レ
ーザ光を射出する半導体レーザLD1と、該半導体レー
ザ本体に駆動電流を供給する半導体レーザ駆動電流制御
手段を構成する例えば一定電流制御部2と、LD1のハ
ウジング内の温度を検出する温度検出手段を構成する温
度検出器例えばサーミスタ1a(図2)と、サーミスタ
1aの検出温度によりLD1の発振波長を決定する発振
波長決定手段を構成する例えば波長補正部3からなって
いる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザの出射さ
れるレーザ光の波長を安定化させるか、又は正確に求め
て波長を基準として測長を行なうレーザ測長機に用いら
れる光源に関する。
れるレーザ光の波長を安定化させるか、又は正確に求め
て波長を基準として測長を行なうレーザ測長機に用いら
れる光源に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、レーザ光の干渉現象を利用し
て高精度の測長(長さの測定)を可能にするレーザ干渉
測長機が知られている。このレーザ干渉測長機の光源と
しては、一般的にHe−Neレーザ等が使用されてきた
が、近年測長機の小型化の要求に供い、半導体レーザを
光源として用いる試みもなされている。
て高精度の測長(長さの測定)を可能にするレーザ干渉
測長機が知られている。このレーザ干渉測長機の光源と
しては、一般的にHe−Neレーザ等が使用されてきた
が、近年測長機の小型化の要求に供い、半導体レーザを
光源として用いる試みもなされている。
【0003】半導体レーザ(以下LDと称する)として
は、図7の斜視図のように4本の端子P1,P2,P
5,P6を有するステムSにキャップCPを接合した形
状のものを用いる。
は、図7の斜視図のように4本の端子P1,P2,P
5,P6を有するステムSにキャップCPを接合した形
状のものを用いる。
【0004】図8はLDの回路図であり、端子P1,P
2,P5,P6のうち、P1,P2はLD用端子であ
り、P5,P6はLDの出射光量をモニタする為のフォ
トダイオード(以下PDと称する)用端子である。
2,P5,P6のうち、P1,P2はLD用端子であ
り、P5,P6はLDの出射光量をモニタする為のフォ
トダイオード(以下PDと称する)用端子である。
【0005】このような形状のLDは、キャップCPの
直径が3mm程度で、キャップCP上面からステムの下
端部までが4mm程度であるので、非常に小型であり、
従ってレーザ測長機全体を小型化する上で有効である。
直径が3mm程度で、キャップCP上面からステムの下
端部までが4mm程度であるので、非常に小型であり、
従ってレーザ測長機全体を小型化する上で有効である。
【0006】図9は、このような構成のLDを使用した
従来のレーザ測長機用光源の概略構成図を示している。
LD30のキャップ近傍に、温度検出器を構成する例え
ばサーミスタ31が配置されており、LD30の温度を
検出している。温度制御部32は、サーミスタ31の出
力に応じて加熱冷却手段を構成する例えばペルチェ素子
33を制御し、LD30の温度が常に一定温度に保たれ
るように動作する。
従来のレーザ測長機用光源の概略構成図を示している。
LD30のキャップ近傍に、温度検出器を構成する例え
ばサーミスタ31が配置されており、LD30の温度を
検出している。温度制御部32は、サーミスタ31の出
力に応じて加熱冷却手段を構成する例えばペルチェ素子
33を制御し、LD30の温度が常に一定温度に保たれ
るように動作する。
【0007】LD30から出射されたレーザ光は、ビー
ムスプリッタ34で分岐され、このレーザ光の一方は測
長のために利用される。また、該レーザ光の一方は、波
長弁別手段を構成するエタロン35に入射し、その透過
光量をPD36にて検出する。LD駆動電流制御部37
はPD36の出力に応じてLD30の駆動電流を制御
し、PD36の出力が常に同じ状態となるように動作す
る。
ムスプリッタ34で分岐され、このレーザ光の一方は測
長のために利用される。また、該レーザ光の一方は、波
長弁別手段を構成するエタロン35に入射し、その透過
光量をPD36にて検出する。LD駆動電流制御部37
はPD36の出力に応じてLD30の駆動電流を制御
し、PD36の出力が常に同じ状態となるように動作す
る。
【0008】LD30は、LD30自身の温度と駆動電
流により、出射光の発振波長が大きく変動する性質を持
っている。このため、図9の例では、LD30の温度が
極力一定温度になるように制御し、かつエタロン35の
透過光量が常に同じ状態(例えば最大値)となるように
駆動電流を制御することにより、LD30の出射光の発
振波長が安定化するように動作している。
流により、出射光の発振波長が大きく変動する性質を持
っている。このため、図9の例では、LD30の温度が
極力一定温度になるように制御し、かつエタロン35の
透過光量が常に同じ状態(例えば最大値)となるように
駆動電流を制御することにより、LD30の出射光の発
振波長が安定化するように動作している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図9に図示
するレーザ測長機用光源において、サーミスタ31はL
D30のキャップ近傍に配置されているため、キャップ
内部にあるLD本体の温度を正確に検出できていないと
いう不具合があった。具体的に言えば、サーミスタ31
の検出温度は、LD30のキャップ近傍温度を検出して
いるにすぎず、従って、周囲温度の影響を受けて実際の
LD本体部の温度よりも低く又は高く検出されてしま
う。温度制御部32が、正確に動作しLD30のキャッ
プ近傍温度は安定していても、LD本体部の温度は周囲
温度により変動する為、温度制御部32が正常に動作し
ているにもかかわらず、LD30の発振波長が変動して
しまい、結果的にレーザ測長機の使用環境温度が制限さ
れ、非常に不便であった。
するレーザ測長機用光源において、サーミスタ31はL
D30のキャップ近傍に配置されているため、キャップ
内部にあるLD本体の温度を正確に検出できていないと
いう不具合があった。具体的に言えば、サーミスタ31
の検出温度は、LD30のキャップ近傍温度を検出して
いるにすぎず、従って、周囲温度の影響を受けて実際の
LD本体部の温度よりも低く又は高く検出されてしま
う。温度制御部32が、正確に動作しLD30のキャッ
プ近傍温度は安定していても、LD本体部の温度は周囲
温度により変動する為、温度制御部32が正常に動作し
ているにもかかわらず、LD30の発振波長が変動して
しまい、結果的にレーザ測長機の使用環境温度が制限さ
れ、非常に不便であった。
【0010】本発明は前記問題点を解決するためなされ
たもので、比較的簡単な構成で、簡単な制御により、広
い使用環境温度であっても、発振波長を安定化させる
か、又は正確に求めることが可能で、小型化が可能なレ
ーザ測長機用光源を提供することを目的とする。
たもので、比較的簡単な構成で、簡単な制御により、広
い使用環境温度であっても、発振波長を安定化させる
か、又は正確に求めることが可能で、小型化が可能なレ
ーザ測長機用光源を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項1に対応する発明は、ハウジング内に半導体
レーザ本体が収納され、この半導体レーザ本体に電流を
供給することにより、レーザ光を射出する半導体レーザ
と、前記半導体レーザ本体に一定電流を供給する半導体
レーザ駆動電流制御手段と、前記半導体レーザのハウジ
ング内の温度を検出する温度検出手段と、この温度検出
手段の検出温度により前記半導体レーザの発振波長を決
定する発振波長決定手段を具備したレーザ測長機用光源
である。
め、請求項1に対応する発明は、ハウジング内に半導体
レーザ本体が収納され、この半導体レーザ本体に電流を
供給することにより、レーザ光を射出する半導体レーザ
と、前記半導体レーザ本体に一定電流を供給する半導体
レーザ駆動電流制御手段と、前記半導体レーザのハウジ
ング内の温度を検出する温度検出手段と、この温度検出
手段の検出温度により前記半導体レーザの発振波長を決
定する発振波長決定手段を具備したレーザ測長機用光源
である。
【0012】前記目的を達成するため、請求項2に対応
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザ本体に一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流制
御手段と、前記半導体レーザのハウジング内の温度を検
出する温度検出手段と、前記半導体レーザ本体の加熱又
は冷却を行なう加熱冷却手段と、前記温度検出手段の検
出温度が一定になるように前記加熱冷却手段を制御する
温度制御手段を具備したレーザ測長機用光源である。
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザ本体に一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流制
御手段と、前記半導体レーザのハウジング内の温度を検
出する温度検出手段と、前記半導体レーザ本体の加熱又
は冷却を行なう加熱冷却手段と、前記温度検出手段の検
出温度が一定になるように前記加熱冷却手段を制御する
温度制御手段を具備したレーザ測長機用光源である。
【0013】前記目的を達成するため、請求項3に対応
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、前記半導体レ
ーザの出射光の一部を透過又は反射により得られる光量
から波長を弁別し、複数の発振モードを有する波長弁別
手段と、この波長弁別手段の透過又は反射により得られ
る光量に応じて前記半導体レーザの駆動電流を制御する
半導体レーザ駆動電流制御手段を具備したレーザ測長機
用光源である。
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、前記半導体レ
ーザの出射光の一部を透過又は反射により得られる光量
から波長を弁別し、複数の発振モードを有する波長弁別
手段と、この波長弁別手段の透過又は反射により得られ
る光量に応じて前記半導体レーザの駆動電流を制御する
半導体レーザ駆動電流制御手段を具備したレーザ測長機
用光源である。
【0014】前記目的を達成するため、請求項4に対応
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、前記半導体レ
ーザの出射光の一部を透過又は反射により得られる光量
から波長を弁別する波長弁別手段と、この波長弁別手段
の透過又は反射により得られる光量および前記温度検出
手段の検出温度に応じて前記半導体レーザの駆動電流を
制御する半導体レーザ駆動電流制御手段を具備したレー
ザ測長機用光源である。
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、前記半導体レ
ーザの出射光の一部を透過又は反射により得られる光量
から波長を弁別する波長弁別手段と、この波長弁別手段
の透過又は反射により得られる光量および前記温度検出
手段の検出温度に応じて前記半導体レーザの駆動電流を
制御する半導体レーザ駆動電流制御手段を具備したレー
ザ測長機用光源である。
【0015】前記目的を達成するため、請求項5に対応
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、この半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
前記半導体レーザ本体の加熱又は冷却を行なう加熱冷却
手段と、前記温度検出手段の検出温度が一定になるよう
に前記加熱冷却手段を制御する温度制御手段と、前記半
導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により得られ
る光量から波長を弁別する波長弁別手段と、この波長弁
別手段の透過又は反射により得られる光量に応じて前記
半導体レーザの駆動電流を制御する半導体レーザ駆動電
流制御手段を具備したレーザ測長機用光源である。
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、この半導体レ
ーザのハウジング内の温度を検出する温度検出手段と、
前記半導体レーザ本体の加熱又は冷却を行なう加熱冷却
手段と、前記温度検出手段の検出温度が一定になるよう
に前記加熱冷却手段を制御する温度制御手段と、前記半
導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により得られ
る光量から波長を弁別する波長弁別手段と、この波長弁
別手段の透過又は反射により得られる光量に応じて前記
半導体レーザの駆動電流を制御する半導体レーザ駆動電
流制御手段を具備したレーザ測長機用光源である。
【0016】前記目的を達成するため、請求項6に対応
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザ本体に一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流制
御手段と、前記半導体レーザのハウジング内の温度を検
出する温度検出手段と、前記半導体レーザ本体の加熱又
は冷却を行なう加熱冷却手段と、前記半導体レーザの出
射光の一部を透過又は反射により得られる光量から波長
を弁別する波長弁別手段と、この波長弁別手段の透過又
は反射により得られる光量と前記温度検出手段の出力に
応じて前記温度制御手段に入力して前記加熱冷却手段を
制御する温度制御手段を具備したレーザ測長機用光源で
ある。
する発明は、ハウジング内に半導体レーザ本体が収納さ
れ、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レ
ーザ本体に一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流制
御手段と、前記半導体レーザのハウジング内の温度を検
出する温度検出手段と、前記半導体レーザ本体の加熱又
は冷却を行なう加熱冷却手段と、前記半導体レーザの出
射光の一部を透過又は反射により得られる光量から波長
を弁別する波長弁別手段と、この波長弁別手段の透過又
は反射により得られる光量と前記温度検出手段の出力に
応じて前記温度制御手段に入力して前記加熱冷却手段を
制御する温度制御手段を具備したレーザ測長機用光源で
ある。
【0017】
【作用】請求項1に対応する発明によれば、半導体レー
ザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を一定
にするように制御し、温度検出手段が正確に半導体レー
ザの温度を検出し、この検出温度により半導体レーザの
発振波長を決定するように作用する。
ザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を一定
にするように制御し、温度検出手段が正確に半導体レー
ザの温度を検出し、この検出温度により半導体レーザの
発振波長を決定するように作用する。
【0018】請求項2に対応する発明によれば、半導体
レーザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を
一定にするように制御し、温度検出手段が正確に半導体
レーザの温度を検出し、この検出温度に応じて温度制御
手段が半導体レーザの温度を一定にするように加熱冷却
手段を制御して、半導体レーザの発振波長が安定化する
ように作用する。
レーザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を
一定にするように制御し、温度検出手段が正確に半導体
レーザの温度を検出し、この検出温度に応じて温度制御
手段が半導体レーザの温度を一定にするように加熱冷却
手段を制御して、半導体レーザの発振波長が安定化する
ように作用する。
【0019】請求項3に対応する発明によれば、半導体
レーザ駆動電流制御手段が波長弁別手段の出力に応じて
半導体レーザの駆動電流を制御するようにし、一方で温
度検出手段により、半導体レーザの温度を正確に検出
し、半導体レーザの発振波長を補正するように作用す
る。
レーザ駆動電流制御手段が波長弁別手段の出力に応じて
半導体レーザの駆動電流を制御するようにし、一方で温
度検出手段により、半導体レーザの温度を正確に検出
し、半導体レーザの発振波長を補正するように作用す
る。
【0020】請求項4に対応する発明によれば、半導体
レーザ駆動電流制御手段が、温度検出手段の検出温度と
波長弁別手段の出力に応じて半導体レーザの駆動電流を
制御して、半導体レーザの発振波長を決定するように作
用する。
レーザ駆動電流制御手段が、温度検出手段の検出温度と
波長弁別手段の出力に応じて半導体レーザの駆動電流を
制御して、半導体レーザの発振波長を決定するように作
用する。
【0021】請求項5に対応する発明によれば、半導体
レーザ駆動電流制御手段が波長弁別手段の出力に応じて
半導体レーザの駆動電流を制御するようにし、一方、温
度検出手段が、正確に半導体レーザの温度を検出し、こ
の検出温度に応じて、半導体レーザの温度を一定にする
よう加熱冷却手段を制御して、半導体レーザの発振波長
が安定化するように作用する。
レーザ駆動電流制御手段が波長弁別手段の出力に応じて
半導体レーザの駆動電流を制御するようにし、一方、温
度検出手段が、正確に半導体レーザの温度を検出し、こ
の検出温度に応じて、半導体レーザの温度を一定にする
よう加熱冷却手段を制御して、半導体レーザの発振波長
が安定化するように作用する。
【0022】請求項6に対応する発明によれば、半導体
レーザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を
一定にするように制御し、温度検出手段の検出温度と波
長弁別手段の出力に応じて温度検出手段が加熱冷却手段
を制御して、半導体レーザの発振波長を安定化するよう
に作用する。
レーザ駆動電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を
一定にするように制御し、温度検出手段の検出温度と波
長弁別手段の出力に応じて温度検出手段が加熱冷却手段
を制御して、半導体レーザの発振波長を安定化するよう
に作用する。
【0023】従って、請求項1〜6に対応する発明によ
れば、比較的簡単な構成で、簡単な制御により、広い使
用環境温度であっても、発振波長を安定化させる、又は
正確に求めることが可能で、小型化が可能なレーザ測長
機用光源を提供できる。
れば、比較的簡単な構成で、簡単な制御により、広い使
用環境温度であっても、発振波長を安定化させる、又は
正確に求めることが可能で、小型化が可能なレーザ測長
機用光源を提供できる。
【0024】
(第1実施例)以下本発明の実施例について、図面を参
照して説明する。図1は本発明の波長安定化装置の第1
実施例の概略構成図であり、これは以下のように構成さ
れている。図2(b)に示すキャップCP1内にLD本
体部1bが収納され、このLD本体部1bに電流を供給
することにより、レーザ光を射出するLD1と、該LD
本体部1bに一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流
制御手段を構成する例えば一定電流制御部2と、LD1
のハウジング内の温度を検出する温度検出手段を構成す
る温度検出器例えばサーミスタ1a(図2(a) )と、サ
ーミスタ1aの検出温度(サーミスタ出力)によりLD
1の発振波長を決定する発振波長決定手段を構成する例
えば波長補正部3からなっている。
照して説明する。図1は本発明の波長安定化装置の第1
実施例の概略構成図であり、これは以下のように構成さ
れている。図2(b)に示すキャップCP1内にLD本
体部1bが収納され、このLD本体部1bに電流を供給
することにより、レーザ光を射出するLD1と、該LD
本体部1bに一定電流を供給する半導体レーザ駆動電流
制御手段を構成する例えば一定電流制御部2と、LD1
のハウジング内の温度を検出する温度検出手段を構成す
る温度検出器例えばサーミスタ1a(図2(a) )と、サ
ーミスタ1aの検出温度(サーミスタ出力)によりLD
1の発振波長を決定する発振波長決定手段を構成する例
えば波長補正部3からなっている。
【0025】LD1は、図2(b)のような円筒形状で
あり、ステムS1の4本の端子P1,P2,P3,P4
は、図2(a)に示すごとく前記LD用端子P1,P2
と、サーミスタ用端子P3,P4で構成される。サーミ
スタ1aは、LD1のハウジングに内蔵されたLD本体
部1bの極く近傍に配置され、例えば、図2(b)のよ
うにLD本体部1bがボンディングされている金属部に
対しボンディングされている。さらに、金属部が基板1
cへ、基板1cがステムS1にボンディングされてい
る。
あり、ステムS1の4本の端子P1,P2,P3,P4
は、図2(a)に示すごとく前記LD用端子P1,P2
と、サーミスタ用端子P3,P4で構成される。サーミ
スタ1aは、LD1のハウジングに内蔵されたLD本体
部1bの極く近傍に配置され、例えば、図2(b)のよ
うにLD本体部1bがボンディングされている金属部に
対しボンディングされている。さらに、金属部が基板1
cへ、基板1cがステムS1にボンディングされてい
る。
【0026】そしてLD1に対し、一定電流制御部2
は、LD1の端子P1,P2へ予め定められた値の電流
を供給するように働く。一方、LD1の端子P3,P4
からは、LD1内のLD本体部1bの温度が正確に検出
される。従って、予め定められた駆動電流の値と現在の
LD本体部の温度とから、現在の発振波長を高精度に求
めることができる。例えば、図1のように波長補正部3
にある電流値でのLD1の温度に対する発振波長を記憶
させておき、サーミスタ1aの検出温度を入力し、波長
補正部3で演算して波長を補正し、現在の発振波長デー
タを求めるように構成されている。これにより、環境温
度が変わってもそれに応じた発振波長による測長がで
き、また、従来のようにLD1の温度が安定化するまで
長い時間待つ必要もない。
は、LD1の端子P1,P2へ予め定められた値の電流
を供給するように働く。一方、LD1の端子P3,P4
からは、LD1内のLD本体部1bの温度が正確に検出
される。従って、予め定められた駆動電流の値と現在の
LD本体部の温度とから、現在の発振波長を高精度に求
めることができる。例えば、図1のように波長補正部3
にある電流値でのLD1の温度に対する発振波長を記憶
させておき、サーミスタ1aの検出温度を入力し、波長
補正部3で演算して波長を補正し、現在の発振波長デー
タを求めるように構成されている。これにより、環境温
度が変わってもそれに応じた発振波長による測長がで
き、また、従来のようにLD1の温度が安定化するまで
長い時間待つ必要もない。
【0027】以上述べた第1実施例によれば、LD1の
キャップ近傍の温度ではなく、正確なLD本体部1bの
温度を検出することができ、これにより現在の波長を精
度よく求めることが可能となる。
キャップ近傍の温度ではなく、正確なLD本体部1bの
温度を検出することができ、これにより現在の波長を精
度よく求めることが可能となる。
【0028】さらに、第1実施例によれば、本出願人が
先に出願した先願明細書(特願平4−338223号明
細書)のように、LDの周囲温度を検出するために、図
1のサーミスタ1aとは別のもう1つのサーミスタを設
ける必要もなく、非常に小型な装置とすることが可能と
なる。先願明細書では、LDの周囲温度をもう1つのサ
ーミスタで検知し、この検出温度に応じてLDの制御温
度を変更することにより、より高精度な波長安定化を行
なっているので、サーミスタ検出用の回路を追加する必
要があり、また、LDの制御温度を波長安定化の動作の
途中で変更する為制御が複雑になるという欠点があっ
た。
先に出願した先願明細書(特願平4−338223号明
細書)のように、LDの周囲温度を検出するために、図
1のサーミスタ1aとは別のもう1つのサーミスタを設
ける必要もなく、非常に小型な装置とすることが可能と
なる。先願明細書では、LDの周囲温度をもう1つのサ
ーミスタで検知し、この検出温度に応じてLDの制御温
度を変更することにより、より高精度な波長安定化を行
なっているので、サーミスタ検出用の回路を追加する必
要があり、また、LDの制御温度を波長安定化の動作の
途中で変更する為制御が複雑になるという欠点があっ
た。
【0029】(第2実施例)図3は、本発明の波長安定
化装置の第2実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のように構成されている。図2(b)に示すように
LD本体部1bがハウジング内にLD本体部1bに電流
を供給することにより、レーザ光を射出するLD4と、
LD本体部1bに一定電流を供給する半導体レーザ駆動
電流制御手段を構成する例えば一定電流制御部5と、半
導体レーザLD4のハウジング内の温度を検出する温度
検出手段例えば図2(b)に示すサーミスタ1aと、L
D本体部1bの加熱又は冷却を行なう加熱冷却手段を構
成する例えばペルチェ素子7と、サーミスタ1aの検出
温度が一定になるようにペルチェ素子7の電流を制御す
る温度制御手段例えば温度制御部6とからなっている。
化装置の第2実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のように構成されている。図2(b)に示すように
LD本体部1bがハウジング内にLD本体部1bに電流
を供給することにより、レーザ光を射出するLD4と、
LD本体部1bに一定電流を供給する半導体レーザ駆動
電流制御手段を構成する例えば一定電流制御部5と、半
導体レーザLD4のハウジング内の温度を検出する温度
検出手段例えば図2(b)に示すサーミスタ1aと、L
D本体部1bの加熱又は冷却を行なう加熱冷却手段を構
成する例えばペルチェ素子7と、サーミスタ1aの検出
温度が一定になるようにペルチェ素子7の電流を制御す
る温度制御手段例えば温度制御部6とからなっている。
【0030】以下これについて詳細に説明する。すなわ
ち、LD4は第1実施例と同じく構成されている。一定
電流制御部5は、LD4の駆動電流が常に一定となるよ
うに働く。
ち、LD4は第1実施例と同じく構成されている。一定
電流制御部5は、LD4の駆動電流が常に一定となるよ
うに働く。
【0031】一方、LD4の端子P3,P4よりLD本
体部の温度が正確に検出される。温度制御部6は、サー
ミスタ1aによる検出温度を入力し、これが常に一定と
なるようにペルチェ素子7の電流を制御する。
体部の温度が正確に検出される。温度制御部6は、サー
ミスタ1aによる検出温度を入力し、これが常に一定と
なるようにペルチェ素子7の電流を制御する。
【0032】ここにおいて、該検出温度は、周囲温度に
よって変動することはなく正確にLD本体部1bの温度
であるので、温度制御部6の動作により常にLD本体部
1bの温度が安定化されることになる。
よって変動することはなく正確にLD本体部1bの温度
であるので、温度制御部6の動作により常にLD本体部
1bの温度が安定化されることになる。
【0033】従って、図3に示す実施例によれば、非常
に小型で簡単な構成及び制御によって、LD4の発振波
長を常に安定化することができ、広い使用環境温度内で
図示していないLD保持部の形状又は熱電導率等の熱的
特性が異なる場合でも高精度な測長を行なうことが可能
となる。
に小型で簡単な構成及び制御によって、LD4の発振波
長を常に安定化することができ、広い使用環境温度内で
図示していないLD保持部の形状又は熱電導率等の熱的
特性が異なる場合でも高精度な測長を行なうことが可能
となる。
【0034】(第3実施例)図4は、本発明の波長安定
化装置の第3実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のようになっている。図2(b)に示すように、L
D本体部1bがハウジング内に収納され、このLD本体
部1bに電流を供給することにより、レーザ光を射出す
るLD8と、半導体レーザLD8のハウジング内の温度
を検出する温度検出手段例えばサーミスタ1aと、この
サーミスタ1aの検出温度によりLD8の発振波長を決
定する発振波長決定手段例えば波長演算部13と、LD
8の出射光の一部を透過又は反射により得られる光量か
ら波長を弁別する波長弁別手段例えばエタロン10と、
このエタロン10の透過又は反射により得られる光量に
応じてLD8の駆動電流を制御する半導体レーザ駆動電
流制御手段例えばLD駆動電流制御部12とからなって
いる。
化装置の第3実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のようになっている。図2(b)に示すように、L
D本体部1bがハウジング内に収納され、このLD本体
部1bに電流を供給することにより、レーザ光を射出す
るLD8と、半導体レーザLD8のハウジング内の温度
を検出する温度検出手段例えばサーミスタ1aと、この
サーミスタ1aの検出温度によりLD8の発振波長を決
定する発振波長決定手段例えば波長演算部13と、LD
8の出射光の一部を透過又は反射により得られる光量か
ら波長を弁別する波長弁別手段例えばエタロン10と、
このエタロン10の透過又は反射により得られる光量に
応じてLD8の駆動電流を制御する半導体レーザ駆動電
流制御手段例えばLD駆動電流制御部12とからなって
いる。
【0035】LD8は図2に示すものと同一構成であ
る。LD8の出射光はビームスプリッタ9で分岐され、
一部をエタロン10へ入射する。エタロン10は図5に
示すように、周期的な波長により透過率がピークとなる
透過率曲線を示す性質を持つ。
る。LD8の出射光はビームスプリッタ9で分岐され、
一部をエタロン10へ入射する。エタロン10は図5に
示すように、周期的な波長により透過率がピークとなる
透過率曲線を示す性質を持つ。
【0036】ここで、PD11で検出されるエタロン1
0の透過光量が、例えば常にピークとなるように、LD
駆動電流制御部12がLD駆動電流を制御する。LD本
体部の温度が一定であれば、例えば図5に示す波長λ1
に常にモードロックできるが、LD本体部1bの温度が
変化すると、図5に示す波長λ0 やλ2 のように波長λ
1 とは異なる波長へモードロックする。
0の透過光量が、例えば常にピークとなるように、LD
駆動電流制御部12がLD駆動電流を制御する。LD本
体部の温度が一定であれば、例えば図5に示す波長λ1
に常にモードロックできるが、LD本体部1bの温度が
変化すると、図5に示す波長λ0 やλ2 のように波長λ
1 とは異なる波長へモードロックする。
【0037】そこで、波長演算部13は、エタロン10
の透過率特性を記憶しておき、LD8の端子P3,P4
から出力される正確なLD本体部1bの温度を入力し
て、この温度と現在のLD駆動電流値とからモードを決
定し現在のLD8の発振波長を求めている。
の透過率特性を記憶しておき、LD8の端子P3,P4
から出力される正確なLD本体部1bの温度を入力し
て、この温度と現在のLD駆動電流値とからモードを決
定し現在のLD8の発振波長を求めている。
【0038】ここにおいて、モードロックする波長はた
だ1つの波長である必要はなく、例えば図5におけるλ
0 ,λ1 ,λ2 のどの波長でもよい。従って、LD8の
駆動電流の掃引中は小さくてもよく、掃引中に最も近い
モードへロックすればよいので、従来のようにエタロン
10の所望のモードにロックする為に温度が安定するま
で長い時間待つ必要はない。
だ1つの波長である必要はなく、例えば図5におけるλ
0 ,λ1 ,λ2 のどの波長でもよい。従って、LD8の
駆動電流の掃引中は小さくてもよく、掃引中に最も近い
モードへロックすればよいので、従来のようにエタロン
10の所望のモードにロックする為に温度が安定するま
で長い時間待つ必要はない。
【0039】また前述のように、周囲温度の変動によら
ずLD本体部1bの正確な温度が検知できるので、高精
度な波長補正が可能である。図4において、波長演算部
13は温度と電流値から波長を補正しているが、LD本
体部1bの現在の温度から、所望のモード(例えば波長
λ1 )にロックする為に必要なLD駆動電流値を演算す
ることにより常に波長λ1 へロックすることも可能であ
る。ここで、波長演算部13はLD駆動電流値の増減の
方向のみを判別するようにしてもよい。このようにすれ
ば、エタロン10に限らず例えば吸収セル等の波長弁別
手段に対しても、容易に波長安定化が行える。
ずLD本体部1bの正確な温度が検知できるので、高精
度な波長補正が可能である。図4において、波長演算部
13は温度と電流値から波長を補正しているが、LD本
体部1bの現在の温度から、所望のモード(例えば波長
λ1 )にロックする為に必要なLD駆動電流値を演算す
ることにより常に波長λ1 へロックすることも可能であ
る。ここで、波長演算部13はLD駆動電流値の増減の
方向のみを判別するようにしてもよい。このようにすれ
ば、エタロン10に限らず例えば吸収セル等の波長弁別
手段に対しても、容易に波長安定化が行える。
【0040】(第4実施例)図6は、本発明の波長安定
化装置の第4実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のようになっている。図2(b)に示すようにLD
本体部1bがハウジング内に収納され、このLD本体部
1bに電流を供給することにより、所定波長のレーザ光
を射出する半導体レーザLD14と、この半導体レーザ
LD14のハウジング内の温度を検出する温度検出手段
例えばサーミスタ1aと、LD本体部1bの加熱又は冷
却を行なう加熱冷却手段例えばペルチェ素子16と、サ
ーミスタ1aの検出温度が一定になるようにペルチェ素
子16の電流を制御する温度制御手段例えば温度制御部
15と、LD14の出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別する波長弁別手段例えばエ
タロン18と、このエタロン18の透過又は反射により
得られる光量に応じてLD14の駆動電流を制御する半
導体レーザ駆動電流制御手段例えばLD駆動電流制御部
20とからなっている。
化装置の第4実施例の概略構成を示す図であり、これは
以下のようになっている。図2(b)に示すようにLD
本体部1bがハウジング内に収納され、このLD本体部
1bに電流を供給することにより、所定波長のレーザ光
を射出する半導体レーザLD14と、この半導体レーザ
LD14のハウジング内の温度を検出する温度検出手段
例えばサーミスタ1aと、LD本体部1bの加熱又は冷
却を行なう加熱冷却手段例えばペルチェ素子16と、サ
ーミスタ1aの検出温度が一定になるようにペルチェ素
子16の電流を制御する温度制御手段例えば温度制御部
15と、LD14の出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別する波長弁別手段例えばエ
タロン18と、このエタロン18の透過又は反射により
得られる光量に応じてLD14の駆動電流を制御する半
導体レーザ駆動電流制御手段例えばLD駆動電流制御部
20とからなっている。
【0041】LD14は、第1実施例と同じく図2に示
すものである。LD14の内部にあるサーミスタ1a
は、正確にLD本体部1bの温度を検出し、このサーミ
スタ出力により温度制御部15がペルチェ素子16を制
御し、常にLD本体部1bが一定温度となるように動作
する。LD14の出射光はビームスプリッタ17で分岐
され、一部をエタロン18に入射する。前述のように、
エタロン18は図4のような透過率曲線を示すものであ
る。このようなエタロン18を透過した光量をPD19
で検出し、これをLD駆動電流制御部20に入力する。
LD駆動電流制御部20は、エタロン透過光量が、例え
ば、常にピークになるように駆動電流の制御を行なう。
すものである。LD14の内部にあるサーミスタ1a
は、正確にLD本体部1bの温度を検出し、このサーミ
スタ出力により温度制御部15がペルチェ素子16を制
御し、常にLD本体部1bが一定温度となるように動作
する。LD14の出射光はビームスプリッタ17で分岐
され、一部をエタロン18に入射する。前述のように、
エタロン18は図4のような透過率曲線を示すものであ
る。このようなエタロン18を透過した光量をPD19
で検出し、これをLD駆動電流制御部20に入力する。
LD駆動電流制御部20は、エタロン透過光量が、例え
ば、常にピークになるように駆動電流の制御を行なう。
【0042】上記実施例においては、LD本体部1bの
温度が正確に検出できる為、温度制御部15の動作によ
り周囲温度の変動にかかわらず常にLD本体部1bの温
度を一定に保つことができ、さらにLD駆動電流制御部
20の動作によりエタロン18の所望のモードに常にロ
ックすることができる。
温度が正確に検出できる為、温度制御部15の動作によ
り周囲温度の変動にかかわらず常にLD本体部1bの温
度を一定に保つことができ、さらにLD駆動電流制御部
20の動作によりエタロン18の所望のモードに常にロ
ックすることができる。
【0043】従って、広い温度範囲内で、図示していな
いLD保持部の形状又は熱伝導率等熱的特性が異なる場
合でも高精度な波長安定化が、特別な回路の追加や制御
の複雑化を伴わずに可能となる。さらに、本実施例にお
いては、常にLD本体部の温度は一定でLD駆動電流も
微小幅での変動であるから、LD14の出射光パワーは
周囲温度にかかわらずほぼ一定であり、いつも同じ状態
での測長が再現できる。
いLD保持部の形状又は熱伝導率等熱的特性が異なる場
合でも高精度な波長安定化が、特別な回路の追加や制御
の複雑化を伴わずに可能となる。さらに、本実施例にお
いては、常にLD本体部の温度は一定でLD駆動電流も
微小幅での変動であるから、LD14の出射光パワーは
周囲温度にかかわらずほぼ一定であり、いつも同じ状態
での測長が再現できる。
【0044】また、図6の実施例において、駆動電流を
一定電流に制御し、エタロン透過光量を温度制御部15
に入力して、透過光量に応じてペルチェ素子16を制御
するようにしても同様の効果が得られることは言うまで
もない。
一定電流に制御し、エタロン透過光量を温度制御部15
に入力して、透過光量に応じてペルチェ素子16を制御
するようにしても同様の効果が得られることは言うまで
もない。
【0045】
【発明の効果】本発明によれば回路の追加を必要とせ
ず、簡便な制御により、広い使用温度範囲であっても、
発振波長を安定化させる、又は正確に求めることができ
るレーザ測長機用光源を提供できる。
ず、簡便な制御により、広い使用温度範囲であっても、
発振波長を安定化させる、又は正確に求めることができ
るレーザ測長機用光源を提供できる。
【図1】本発明によるレーザ測長機用光源の第1実施例
の概略構成図。
の概略構成図。
【図2】(a)は図1のレーザダイオードの回路図、
(b)は図1のレーザダイオードの構成を示す分解斜視
図。
(b)は図1のレーザダイオードの構成を示す分解斜視
図。
【図3】本発明によるレーザ測長機用光源波長安定化装
置の第2実施例の概略構成図。
置の第2実施例の概略構成図。
【図4】本発明によるレーザ測長機用光源波長安定化装
置の第3実施例の概略構成図。
置の第3実施例の概略構成図。
【図5】図4のエタロンの透過率曲線を示す図。
【図6】本発明によるレーザ測長機用光源波長安定化装
置の第4実施例の概略構成図。
置の第4実施例の概略構成図。
【図7】従来のレーザ測長機用光源に用いる半導体レー
ザを示す斜視図。
ザを示す斜視図。
【図8】図7の半導体レーザの回路図。
【図9】従来のレーザ測長機用光源の一例を示す概略構
成図。
成図。
Claims (6)
- 【請求項1】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 前記半導体レーザ本体に一定電流を供給する半導体レー
ザ駆動電流制御手段と、 前記半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、 を具備したことを特徴とするレーザ測長機用光源。 - 【請求項2】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 前記半導体レーザ本体に一定電流を供給する半導体レー
ザ駆動電流制御手段と、 前記半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 前記半導体レーザ本体の加熱又は冷却を行なう加熱冷却
手段と、 前記温度検出手段の検出温度が一定になるように前記加
熱冷却手段を制御する温度制御手段と、 を具備し、前記半導体レーザの駆動電流と前記半導体レ
ーザの温度を安定化することにより前記半導体レーザの
共振波長を安定化することを特徴とするレーザ測長機用
光源。 - 【請求項3】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 この半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、 前記半導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別し、複数の発振モードを有
する波長弁別手段と、 この波長弁別手段の透過又は反射により得られる光量に
応じて前記半導体レーザの駆動電流を制御する半導体レ
ーザ駆動電流制御手段と、 を具備し、前記発振波長決定手段が、前記温度検出手段
の検出温度によって、前記半導体レーザの発振波長が前
記波長弁別手段のいずれのモードかを決定することを特
徴とするレーザ測長機用光源。 - 【請求項4】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 この半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 この温度検出手段の検出温度により前記半導体レーザの
発振波長を決定する発振波長決定手段と、 前記半導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別する波長弁別手段と、 この波長弁別手段の透過又は反射により得られる光量お
よび前記温度検出手段の検出温度に応じて前記半導体レ
ーザの駆動電流を制御する半導体レーザ駆動電流制御手
段と、 を具備し、前記温度検出手段の検出温度により、前記半
導体レーザの発振波長と前記波長弁別手段の所定の発振
モードとのずれ又はずれの方向を求め、これにより前記
半導体レーザの駆動電流を制御して発振波長を安定化す
ることを特徴とするレーザ測長機用光源。 - 【請求項5】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 この半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 前記半導体レーザ本体の加熱又は冷却を行なう加熱冷却
手段と、 前記温度検出手段の検出温度が一定になるように前記加
熱冷却手段を制御する温度制御手段と、 前記半導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別する波長弁別手段と、 この波長弁別手段の透過又は反射により得られる光量に
応じて前記半導体レーザの駆動電流を制御する半導体レ
ーザ駆動電流制御手段と、 を具備し、前記半導体レーザの温度を安定化し、前記半
導体レーザの駆動電流を前記波長弁別手段の出力に応じ
て制御することにより発振波長を安定化することを特徴
とするレーザ測長機用光源。 - 【請求項6】 ハウジング内に半導体レーザ本体が収納
され、この半導体レーザ本体に電流を供給することによ
り、レーザ光を射出する半導体レーザと、 前記半導体レーザ本体に一定電流を供給する半導体レー
ザ駆動電流制御手段と、 前記半導体レーザのハウジング内の温度を検出する温度
検出手段と、 前記半導体レーザ本体の加熱又は冷却を行なう加熱冷却
手段と、 前記半導体レーザの出射光の一部を透過又は反射により
得られる光量から波長を弁別する波長弁別手段と、 この波長弁別手段の透過又は反射により得られる光量と
前記温度検出手段の出力に応じて前記加熱冷却手段を制
御する温度制御手段と、 を具備し、前記半導体レーザの駆動電流を安定化し、前
記半導体レーザの温度を前記波長弁別手段の出力に応じ
て制御して発振波長を安定化することを特徴とするレー
ザ測長機用光源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31992293A JPH07176818A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | レーザ測長機用光源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31992293A JPH07176818A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | レーザ測長機用光源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07176818A true JPH07176818A (ja) | 1995-07-14 |
Family
ID=18115734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31992293A Withdrawn JPH07176818A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | レーザ測長機用光源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07176818A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005064483A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-03-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 発光モジュール |
JP2010245209A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Anritsu Corp | 半導体レーザモジュール,およびこれを備えたラマン増幅器 |
-
1993
- 1993-12-20 JP JP31992293A patent/JPH07176818A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005064483A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-03-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 発光モジュール |
JP2010245209A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Anritsu Corp | 半導体レーザモジュール,およびこれを備えたラマン増幅器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6804278B2 (en) | Evaluation and adjustment of laser losses according to voltage across gain medium | |
US7701984B2 (en) | Laser module and method of controlling wavelength of external cavity laser | |
US7929581B2 (en) | Testing method of wavelength-tunable laser, controlling method of wavelength-tunable laser and laser device | |
US5015099A (en) | Differential absorption laser radar gas detection apparatus having tunable wavelength single mode semiconductor laser source | |
US20160329681A1 (en) | Packaged laser thermal control system | |
US7978737B2 (en) | Laser device, control device of laser device, method of controlling laser device, method of tuning wavelength of laser device and control data of laser device | |
JP2002503036A (ja) | レーザーの動作点を最適化する方法およびこの方法を実行するための装置 | |
WO1994015388A1 (en) | Apparatus for stabilizing wavelength | |
JPH01251681A (ja) | 半導体レーザーの発振周波数・発振出力安定化装置 | |
JP2000502841A (ja) | 光ファイバジャイロスコープの光源波長制御 | |
JP7175264B2 (ja) | 光送信機 | |
US5177566A (en) | Interferometer with environment sensitive static etalon | |
JPH0818145A (ja) | 波長安定化装置 | |
US5124994A (en) | Light generating device | |
JPH05126639A (ja) | 光源の空中波長を確定し且つ固定する方法及び装置 | |
US11050218B2 (en) | Method to tune emission wavelength of laser apparatus | |
JPH07176818A (ja) | レーザ測長機用光源 | |
JPH0897516A (ja) | 波長安定化外部共振器型ld光源 | |
US20040033022A1 (en) | Laser module for optical transmission systems and method for stabilizing an output wavelength of a laser module | |
US20030185259A1 (en) | Frequency identification with frequency locker | |
US6850688B2 (en) | Variable-wavelength light source unit | |
JP4178188B2 (ja) | 固体レーザ装置 | |
WO2022123705A1 (ja) | 光センサ | |
US8290007B2 (en) | Apparatus and method for stabilizing frequency of laser | |
JP4260306B2 (ja) | 固体レーザ装置および固体レーザ装置の制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |