JPH08153925A - 連続励起ｑスイッチレーザ発振方法及びその装置 - Google Patents
連続励起ｑスイッチレーザ発振方法及びその装置Info
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- JPH08153925A JPH08153925A JP6296603A JP29660394A JPH08153925A JP H08153925 A JPH08153925 A JP H08153925A JP 6296603 A JP6296603 A JP 6296603A JP 29660394 A JP29660394 A JP 29660394A JP H08153925 A JPH08153925 A JP H08153925A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、Ｑスイッチ素子の繰り返し数が変化
しても、一定のピーク強度に保持したレーザパルスを出
力する。 【構成】レーザパルス出力時に、Ｑスイッチ素子７に対
してＱスイッチ駆動回路１０から、Ｑスイッチ素子７の
繰り返し周波数に応じた微小な残留高周波電力を供給す
る。
しても、一定のピーク強度に保持したレーザパルスを出
力する。 【構成】レーザパルス出力時に、Ｑスイッチ素子７に対
してＱスイッチ駆動回路１０から、Ｑスイッチ素子７の
繰り返し周波数に応じた微小な残留高周波電力を供給す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、音響光学Ｑスイッチを
用いた連続励起Ｑスイッチレーザ発振方法及びその装置
に関する。
用いた連続励起Ｑスイッチレーザ発振方法及びその装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は連続励起Ｑスイッチレーザ発振装
置の構成図である。集光鏡１の内部には、Ｎｄ−ＹＡＧ
の固体レーザ媒質２が配置され、この固体レーザ媒質２
に対して励起ランプ３が並設されている。
置の構成図である。集光鏡１の内部には、Ｎｄ−ＹＡＧ
の固体レーザ媒質２が配置され、この固体レーザ媒質２
に対して励起ランプ３が並設されている。
【０００３】又、固体レーザ媒質２の長手方向側には、
レーザ共振器４を構成する高反射率ミラー５及び出力ミ
ラー６がそれぞれ配置されている。このレーザ共振器４
内、つまり高反射率ミラー５と出力ミラー６との間に
は、音響光学Ｑスイッチ７（以下、Ｑスイッチ素子と称
する）が配置されている。
レーザ共振器４を構成する高反射率ミラー５及び出力ミ
ラー６がそれぞれ配置されている。このレーザ共振器４
内、つまり高反射率ミラー５と出力ミラー６との間に
は、音響光学Ｑスイッチ７（以下、Ｑスイッチ素子と称
する）が配置されている。
【０００４】このＱスイッチ素子７は、Ｑスイッチ駆動
回路８から供給される任意の繰り返し周波数毎の高周波
数電力によりスイッチング動作するものとなっている。
なお、励起ランプ３は、励起用ランプ光源９からランプ
用電圧が印加される。
回路８から供給される任意の繰り返し周波数毎の高周波
数電力によりスイッチング動作するものとなっている。
なお、励起ランプ３は、励起用ランプ光源９からランプ
用電圧が印加される。
【０００５】かかる構成であれば、励起ランプ３が点灯
すると、固体レーザ媒質２は励起される。この励起によ
り固体レーザ媒質２からの放射光は、固体レーザ媒質２
内を透過して高反射率ミラー５と出力ミラー６との間で
往復し、レーザ発振が発生する。
すると、固体レーザ媒質２は励起される。この励起によ
り固体レーザ媒質２からの放射光は、固体レーザ媒質２
内を透過して高反射率ミラー５と出力ミラー６との間で
往復し、レーザ発振が発生する。
【０００６】この状態に、Ｑスイッチ駆動回路８からＱ
スイッチ素子７に対して図７に示すような高周波電力が
供給されると、この高周波電力供給の間、レーザ共振器
４内での光損失が大きくなり、レーザ発振は停止し、固
体レーザ媒質２内の反転分布が大きくなる。
スイッチ素子７に対して図７に示すような高周波電力が
供給されると、この高周波電力供給の間、レーザ共振器
４内での光損失が大きくなり、レーザ発振は停止し、固
体レーザ媒質２内の反転分布が大きくなる。
【０００７】一方、Ｑスイッチ駆動回路８からＱスイッ
チ素子７に対する高周波電力の供給を完全に停止する
と、この停止の間、レーザ共振器４内での光損失がゼロ
となり、レーザ発振が起こる。
チ素子７に対する高周波電力の供給を完全に停止する
と、この停止の間、レーザ共振器４内での光損失がゼロ
となり、レーザ発振が起こる。
【０００８】このとき、出力ミラー６を透過して得られ
るレーザパルス出力は、大きな反転分布による誘導放出
が短時間に行われるので、高いピーク強度を有するパル
ス状のレーザ光となる。
るレーザパルス出力は、大きな反転分布による誘導放出
が短時間に行われるので、高いピーク強度を有するパル
ス状のレーザ光となる。
【０００９】このようにＱスイッチ素子７に対する高周
波電力を完全に停止させるＱスイッチング方式では、そ
のときの固体レーザ媒質２内の反転分布の大きさに応じ
てレーザパルスのピーク強度は変化する。
波電力を完全に停止させるＱスイッチング方式では、そ
のときの固体レーザ媒質２内の反転分布の大きさに応じ
てレーザパルスのピーク強度は変化する。
【００１０】このため、Ｑスイッチ素子７の繰り返し周
波数が変化すると、この繰り返し周波数に応じて固体レ
ーザ媒質２内の反転分布の大きさも変化することから、
Ｑスイッチ素子７の繰り返し周波数の変化に対してレー
ザパルスのピーク強度を一定値に保持することは困難で
ある。
波数が変化すると、この繰り返し周波数に応じて固体レ
ーザ媒質２内の反転分布の大きさも変化することから、
Ｑスイッチ素子７の繰り返し周波数の変化に対してレー
ザパルスのピーク強度を一定値に保持することは困難で
ある。
【００１１】ところで、高いピーク強度を持つ連続励起
Ｑスイッチレーザ発振装置は、マーキング等の加工に幅
広く適用されている。このマーキング加工では、Ｑスイ
ッチレーザ光をマーキングパターンに従ってスキャンす
る方式が主流であり、加工仕上がりという点から、次の
２点が非常に重要となっている。
Ｑスイッチレーザ発振装置は、マーキング等の加工に幅
広く適用されている。このマーキング加工では、Ｑスイ
ッチレーザ光をマーキングパターンに従ってスキャンす
る方式が主流であり、加工仕上がりという点から、次の
２点が非常に重要となっている。
【００１２】第１点は、加工物に照射されるレーザパル
スの数がマーキングするライン上で単位長さ当たり一定
値になること。第２点は、照射されるレーザパルスのピ
ーク強度が一定になることである。
スの数がマーキングするライン上で単位長さ当たり一定
値になること。第２点は、照射されるレーザパルスのピ
ーク強度が一定になることである。
【００１３】しかしながら、実際のマーキングでは、高
速スキャンを行うため、スキャン速度は変化する。そこ
で、単位長さ当たりのレーザパルス数を一定に保つため
に、スキャン速度に応じてＱスイッチ素子の繰り返し数
を可変しているが、繰り返し数を変化させると、上記の
通りレーザパルスのピーク強度まで変動してしまう。こ
のようにレーザパルスのピーク強度が変動すると、レー
ザ加工において良い仕上がりを得るのに大きな障害とな
ってしまう。
速スキャンを行うため、スキャン速度は変化する。そこ
で、単位長さ当たりのレーザパルス数を一定に保つため
に、スキャン速度に応じてＱスイッチ素子の繰り返し数
を可変しているが、繰り返し数を変化させると、上記の
通りレーザパルスのピーク強度まで変動してしまう。こ
のようにレーザパルスのピーク強度が変動すると、レー
ザ加工において良い仕上がりを得るのに大きな障害とな
ってしまう。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】以上のようにＱスイッ
チ素子の繰り返し数を変化させると、レーザパルスのピ
ーク強度も変動してしまう。そこで本発明は、Ｑスイッ
チ素子の繰り返し数が変化しても、一定のピーク強度に
保持したレーザパルスを出力できる連続励起Ｑスイッチ
レーザ発振方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
チ素子の繰り返し数を変化させると、レーザパルスのピ
ーク強度も変動してしまう。そこで本発明は、Ｑスイッ
チ素子の繰り返し数が変化しても、一定のピーク強度に
保持したレーザパルスを出力できる連続励起Ｑスイッチ
レーザ発振方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
【００１５】
【課題を解決するための手段】請求項１によれば、レー
ザ共振器内でレーザ発振を発生させるとともにレーザ共
振器内に配置されたＱスイッチ素子を繰り返し動作させ
て高いピーク強度を有するレーザパルスを出力する連続
励起Ｑスイッチレーザ発振方法において、Ｑスイッチ素
子の繰り返し動作に応動してＱスイッチ素子に供給する
高周波電力を制御して上記目的を達成しようとする連続
励起Ｑスイッチレーザ発振方法である。
ザ共振器内でレーザ発振を発生させるとともにレーザ共
振器内に配置されたＱスイッチ素子を繰り返し動作させ
て高いピーク強度を有するレーザパルスを出力する連続
励起Ｑスイッチレーザ発振方法において、Ｑスイッチ素
子の繰り返し動作に応動してＱスイッチ素子に供給する
高周波電力を制御して上記目的を達成しようとする連続
励起Ｑスイッチレーザ発振方法である。
【００１６】請求項２によれば、Ｑスイッチ素子の繰り
返し動作によるレーザパルス出力時に、Ｑスイッチ素子
に対して繰り返し周波数に応じた微小な高周波電力を供
給する。
返し動作によるレーザパルス出力時に、Ｑスイッチ素子
に対して繰り返し周波数に応じた微小な高周波電力を供
給する。
【００１７】請求項３によれば、固体レーザ媒質と、こ
の固体レーザ媒質を励起する励起ランプと、固体レーザ
媒質からの放射光を固体レーザ媒質中に往復させてレー
ザ発振を発生するレーザ発振器と、このレーザ発振器中
に配置されたＱスイッチ素子と、このＱスイッチ素子を
任意の繰り返し周波数によりスイッチング動作させるＱ
スイッチ駆動手段と、このＱスイッチ駆動手段からＱス
イッチ素子に供給する高周波数電力を、Ｑスイッチ素子
の繰り返し動作に応動して制御する光損失制御手段と、
を備えて上記目的を達成しようとする連続励起Ｑスイッ
チレーザ発振装置である。
の固体レーザ媒質を励起する励起ランプと、固体レーザ
媒質からの放射光を固体レーザ媒質中に往復させてレー
ザ発振を発生するレーザ発振器と、このレーザ発振器中
に配置されたＱスイッチ素子と、このＱスイッチ素子を
任意の繰り返し周波数によりスイッチング動作させるＱ
スイッチ駆動手段と、このＱスイッチ駆動手段からＱス
イッチ素子に供給する高周波数電力を、Ｑスイッチ素子
の繰り返し動作に応動して制御する光損失制御手段と、
を備えて上記目的を達成しようとする連続励起Ｑスイッ
チレーザ発振装置である。
【００１８】請求項４によれば、光損失制御手段は、レ
ーザパルス出力時に、Ｑスイッチ駆動手段によりＱスイ
ッチ素子に供給される電力を、繰り返し周波数に応じた
微小な高周波電力に制御する。
ーザパルス出力時に、Ｑスイッチ駆動手段によりＱスイ
ッチ素子に供給される電力を、繰り返し周波数に応じた
微小な高周波電力に制御する。
【００１９】請求項５によれば、Ｑスイッチ駆動手段
は、Ｑスイッチ素子の繰り返し周波数信号を受け、この
繰り返し周波数に対応した残留高周波電力を繰り返し周
波数と残留高周波電力との対応関係から求め、レーザパ
ルスの出力時に、この残留高周波電力をＱスイッチ素子
に供給する機能を有する。
は、Ｑスイッチ素子の繰り返し周波数信号を受け、この
繰り返し周波数に対応した残留高周波電力を繰り返し周
波数と残留高周波電力との対応関係から求め、レーザパ
ルスの出力時に、この残留高周波電力をＱスイッチ素子
に供給する機能を有する。
【００２０】
【作用】請求項１によれば、レーザ共振器内でレーザ発
振を発生させるとともにレーザ共振器内に配置されたＱ
スイッチ素子を繰り返し動作させる場合、このＱスイッ
チ素子の繰り返し動作に応動してＱスイッチ素子に供給
する高周波電力を制御し、Ｑスイッチ素子の繰り返し数
が変化しても、一定のピーク強度のレーザパルスを出力
する。
振を発生させるとともにレーザ共振器内に配置されたＱ
スイッチ素子を繰り返し動作させる場合、このＱスイッ
チ素子の繰り返し動作に応動してＱスイッチ素子に供給
する高周波電力を制御し、Ｑスイッチ素子の繰り返し数
が変化しても、一定のピーク強度のレーザパルスを出力
する。
【００２１】請求項２によれば、レーザパルス出力時
に、Ｑスイッチ素子に対して繰り返し周波数に応じた微
小な高周波電力を供給することによりレーザ共振器内の
光損失が調整され、一定ピーク強度のレーザパルスが出
力される。
に、Ｑスイッチ素子に対して繰り返し周波数に応じた微
小な高周波電力を供給することによりレーザ共振器内の
光損失が調整され、一定ピーク強度のレーザパルスが出
力される。
【００２２】請求項３によれば、励起ランプの点灯より
励起された固体レーザ媒質からの放射光をレーザ発振器
により固体レーザ媒質中に往復させてレーザ発振を発生
させ、このレーザ発振器中に配置されたＱスイッチ素子
を任意の繰り返し周波数によりスイッチング動作させる
ことにより高いピーク強度のレーザパルスを出力する場
合、Ｑスイッチ駆動手段からＱスイッチ素子に供給する
高周波数電力をＱスイッチ素子の繰り返し動作に応動し
て制御し、レーザパルスのピーク強度を一定にする。
励起された固体レーザ媒質からの放射光をレーザ発振器
により固体レーザ媒質中に往復させてレーザ発振を発生
させ、このレーザ発振器中に配置されたＱスイッチ素子
を任意の繰り返し周波数によりスイッチング動作させる
ことにより高いピーク強度のレーザパルスを出力する場
合、Ｑスイッチ駆動手段からＱスイッチ素子に供給する
高周波数電力をＱスイッチ素子の繰り返し動作に応動し
て制御し、レーザパルスのピーク強度を一定にする。
【００２３】請求項４によれば、レーザパルス出力時
に、Ｑスイッチ駆動手段によりＱスイッチ素子に供給さ
れる電力を、繰り返し周波数に応じた微小な高周波電力
に制御する。
に、Ｑスイッチ駆動手段によりＱスイッチ素子に供給さ
れる電力を、繰り返し周波数に応じた微小な高周波電力
に制御する。
【００２４】請求項５によれば、Ｑスイッチ素子の繰り
返し周波数信号に対応した残留高周波電力を残留高周波
電力との対応関係から求め、レーザパルスの出力時に、
この残留高周波電力をＱスイッチ素子に供給する。
返し周波数信号に対応した残留高周波電力を残留高周波
電力との対応関係から求め、レーザパルスの出力時に、
この残留高周波電力をＱスイッチ素子に供給する。
【００２５】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。なお、図６と同一部分には同一符号を付
してその詳しい説明は省略する。図１は連続励起Ｑスイ
ッチレーザ発振装置の構成図である。
して説明する。なお、図６と同一部分には同一符号を付
してその詳しい説明は省略する。図１は連続励起Ｑスイ
ッチレーザ発振装置の構成図である。
【００２６】Ｑスイッチ素子７には、Ｑスイッチ駆動回
路１０が接続されている。このＱスイッチ駆動回路１０
は、光損失制御回路１１からのＱスイッチ素子７の繰り
返し周波数信号を受け、レーザパルスの出力時に、この
繰り返し周波数に対応した微小な高周波電力（以下、残
留高周波電力と称する）をＱスイッチ素子７に供給する
機能を有している。
路１０が接続されている。このＱスイッチ駆動回路１０
は、光損失制御回路１１からのＱスイッチ素子７の繰り
返し周波数信号を受け、レーザパルスの出力時に、この
繰り返し周波数に対応した微小な高周波電力（以下、残
留高周波電力と称する）をＱスイッチ素子７に供給する
機能を有している。
【００２７】ここで、残留高周波数電力値の算出過程に
ついて説明する。Ｑスイッチ素子７の繰り返し周波数と
残留高周波電力との対応関係は、次のような方法で実験
的に求めた。
ついて説明する。Ｑスイッチ素子７の繰り返し周波数と
残留高周波電力との対応関係は、次のような方法で実験
的に求めた。
【００２８】Ｑスイッチ素子７の繰り返し周波数と、レ
ーザパルス出力時にＱスイッチ駆動回路１０から供給す
る残留高周波電力をパラメータとし、出力されるレーザ
パルス波形をオシロスコープにより観察する。
ーザパルス出力時にＱスイッチ駆動回路１０から供給す
る残留高周波電力をパラメータとし、出力されるレーザ
パルス波形をオシロスコープにより観察する。
【００２９】この観察波形からレーザパルスのピーク強
度を読取り、その結果を図２に示す。すなわち、残留高
周波電力に対するレーザパルスのピーク強度が、各繰り
返し周波数２０ｋＨｚ、１０ｋＨｚ、５ｋＨｚ、２ｋＨ
ｚ、１ｋＨｚごとのピーク強度曲線Ａ〜Ｅとして示され
ている。
度を読取り、その結果を図２に示す。すなわち、残留高
周波電力に対するレーザパルスのピーク強度が、各繰り
返し周波数２０ｋＨｚ、１０ｋＨｚ、５ｋＨｚ、２ｋＨ
ｚ、１ｋＨｚごとのピーク強度曲線Ａ〜Ｅとして示され
ている。
【００３０】このレーザパルスのピーク強度の結果か
ら、レーザパルスのピーク強度ｉの値に保持する場合、
Ｑスイッチ素子７の繰り返し周波数と残留高周波電力と
の間に満たすべき対応関係は、ピーク強度ｉと各ピーク
強度曲線Ａ〜Ｅとの交点をとることによって求められ
る。この繰り返し周波数と残留高周波電力との対応関係
を図３に示す。
ら、レーザパルスのピーク強度ｉの値に保持する場合、
Ｑスイッチ素子７の繰り返し周波数と残留高周波電力と
の間に満たすべき対応関係は、ピーク強度ｉと各ピーク
強度曲線Ａ〜Ｅとの交点をとることによって求められ
る。この繰り返し周波数と残留高周波電力との対応関係
を図３に示す。
【００３１】従って、Ｑスイッチ駆動回路１０は、光損
失制御回路１１からのＱスイッチ素子７の繰り返し周波
数信号を受け、この繰り返し周波数に対応した残留高周
波電力を図３に示す繰り返し周波数と残留高周波電力と
の対応関係から求め、レーザパルスの出力時に、この残
留高周波電力をＱスイッチ素子７に供給する機能を有し
ている。
失制御回路１１からのＱスイッチ素子７の繰り返し周波
数信号を受け、この繰り返し周波数に対応した残留高周
波電力を図３に示す繰り返し周波数と残留高周波電力と
の対応関係から求め、レーザパルスの出力時に、この残
留高周波電力をＱスイッチ素子７に供給する機能を有し
ている。
【００３２】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。励起ランプ３が点灯すると、固体レーザ
媒質２は励起される。この励起により固体レーザ媒質２
からの放射光は、固体レーザ媒質２内を透過して高反射
率ミラー５と出力ミラー６との間で往復し、レーザ発振
が発生する。
いて説明する。励起ランプ３が点灯すると、固体レーザ
媒質２は励起される。この励起により固体レーザ媒質２
からの放射光は、固体レーザ媒質２内を透過して高反射
率ミラー５と出力ミラー６との間で往復し、レーザ発振
が発生する。
【００３３】この状態に、Ｑスイッチ駆動回路８からＱ
スイッチ素子７に対して、図４に示すように例えば７０
Ｗの高周波電力が供給されると、この高周波電力供給の
間、レーザ共振器４内での光損失が大きくなり、レーザ
発振は停止し、固体レーザ媒質２内の反転分布が大きく
なる。
スイッチ素子７に対して、図４に示すように例えば７０
Ｗの高周波電力が供給されると、この高周波電力供給の
間、レーザ共振器４内での光損失が大きくなり、レーザ
発振は停止し、固体レーザ媒質２内の反転分布が大きく
なる。
【００３４】一方、光損失制御回路１１は、Ｑスイッチ
素子７の繰り返し周波数信号をＱスイッチ駆動回路１０
に対して送出している。従って、次の周期にＱスイッチ
駆動回路８は、光損失制御回路１１からの繰り返し周波
数信号を受け、この繰り返し周波数に対応する残留高周
波電力を図３に示す対応関係から求め、この残留高周波
電力をＱスイッチ素子７に供給する。
素子７の繰り返し周波数信号をＱスイッチ駆動回路１０
に対して送出している。従って、次の周期にＱスイッチ
駆動回路８は、光損失制御回路１１からの繰り返し周波
数信号を受け、この繰り返し周波数に対応する残留高周
波電力を図３に示す対応関係から求め、この残留高周波
電力をＱスイッチ素子７に供給する。
【００３５】すなわち、Ｑスイッチ素子７に供給される
電力は、７０Ｗの高い高周波電力から繰り返し周波数に
対応する微小な残留高周波電力に切り替わる。このよう
にＱスイッチ素子７に供給される電力が残留高周波電力
に切り替わると、レーザ共振器４内の光損失は低下し、
レーザ発振状態になる。
電力は、７０Ｗの高い高周波電力から繰り返し周波数に
対応する微小な残留高周波電力に切り替わる。このよう
にＱスイッチ素子７に供給される電力が残留高周波電力
に切り替わると、レーザ共振器４内の光損失は低下し、
レーザ発振状態になる。
【００３６】従って、レーザ共振器４からレーザパルス
が出力される。このときの残留高周波電力は、Ｑスイッ
チ素子７の繰り返し周波数に応じた電力量に制御されて
いるので、出力されるレーザパルスのピーク強度は、Ｑ
スイッチ素子７の繰り返し周波数の変化にかかわらず一
定値となる。
が出力される。このときの残留高周波電力は、Ｑスイッ
チ素子７の繰り返し周波数に応じた電力量に制御されて
いるので、出力されるレーザパルスのピーク強度は、Ｑ
スイッチ素子７の繰り返し周波数の変化にかかわらず一
定値となる。
【００３７】図５(a) 〜(c) はＱスイッチ素子７の繰り
返し周波数１ｋＨｚ、５ｋＨｚ、１０ｋＨｚの場合の１
レーザパルスのパルス波形を示している。これらパルス
波形からＱスイッチ素子７の繰り返し周波数が変化して
も、レーザパルスのピーク強度は一定値に保持されるこ
とが分かる。
返し周波数１ｋＨｚ、５ｋＨｚ、１０ｋＨｚの場合の１
レーザパルスのパルス波形を示している。これらパルス
波形からＱスイッチ素子７の繰り返し周波数が変化して
も、レーザパルスのピーク強度は一定値に保持されるこ
とが分かる。
【００３８】このように上記一実施例においては、レー
ザパルス出力時に、Ｑスイッチ素子７に対して繰り返し
周波数に応じた微小な残留高周波電力を供給するように
したので、レーザ共振器内の光損失が調整され、Ｑスイ
ッチ素子７の繰り返し周波数が変化しても一定ピーク強
度のレーザパルスを出力できる。
ザパルス出力時に、Ｑスイッチ素子７に対して繰り返し
周波数に応じた微小な残留高周波電力を供給するように
したので、レーザ共振器内の光損失が調整され、Ｑスイ
ッチ素子７の繰り返し周波数が変化しても一定ピーク強
度のレーザパルスを出力できる。
【００３９】このレーザパルスのピーク強度の変更は、
図２に示すように所望のレーザパルスのピーク強度ｉと
各ピーク強度曲線Ａ〜Ｅとの交点をとることによって図
３に示すＱスイッチ素子７の繰り返し周波数と残留高周
波電力との対応関係を求め、この対応関係をＱスイッチ
駆動回路１０に保持させれば容易に実現できる。
図２に示すように所望のレーザパルスのピーク強度ｉと
各ピーク強度曲線Ａ〜Ｅとの交点をとることによって図
３に示すＱスイッチ素子７の繰り返し周波数と残留高周
波電力との対応関係を求め、この対応関係をＱスイッチ
駆動回路１０に保持させれば容易に実現できる。
【００４０】従って、Ｑスイッチ素子７の繰り返し周波
数が変化しても一定ピーク強度のレーザパルスを出力で
きるので、レーザ加工において、良い加工仕上がりを得
る重要な２点、つまり、第１点は、加工物に照射される
レーザパルスの数がマーキングするライン上で単位長さ
当たり一定値になること、第２点は、照射されるレーザ
パルスのピーク強度が一定になること、を満足できる。
数が変化しても一定ピーク強度のレーザパルスを出力で
きるので、レーザ加工において、良い加工仕上がりを得
る重要な２点、つまり、第１点は、加工物に照射される
レーザパルスの数がマーキングするライン上で単位長さ
当たり一定値になること、第２点は、照射されるレーザ
パルスのピーク強度が一定になること、を満足できる。
【００４１】なお、本発明は、上記一実施例に限定され
るものでなく次の通りに変形してもよい。例えば、Ｑス
イッチ７に供給する高周波電力は、出力されるレーザパ
ルスのピーク強度を検出し、このピーク強度が一定値に
保持されるようにフィードバック制御してもよい。
るものでなく次の通りに変形してもよい。例えば、Ｑス
イッチ７に供給する高周波電力は、出力されるレーザパ
ルスのピーク強度を検出し、このピーク強度が一定値に
保持されるようにフィードバック制御してもよい。
【００４２】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、Ｑ
スイッチ素子の繰り返し数が変化しても、一定のピーク
強度に保持したレーザパルスを出力できる連続励起Ｑス
イッチレーザ発振方法及びその装置を提供できる。
スイッチ素子の繰り返し数が変化しても、一定のピーク
強度に保持したレーザパルスを出力できる連続励起Ｑス
イッチレーザ発振方法及びその装置を提供できる。
【図１】本発明に係わる連続励起Ｑスイッチレーザ発振
装置の一実施例を示す構成図。
装置の一実施例を示す構成図。
【図２】Ｑスイッチ素子に供給する残留高周波電力に対
するパルスピーク強度の関係を示す図。
するパルスピーク強度の関係を示す図。
【図３】Ｑスイッチ素子の繰り返し周波数に対する残留
高周波電力の関係を示す図。
高周波電力の関係を示す図。
【図４】Ｑスイッチ素子に供給する残留高周波電力を示
す図。
す図。
【図５】一定ピーク強度のレーザパルス波形を示す図。
【図６】従来装置の構成図。
【図７】Ｑスイッチ素子に供給する高周波電力を示す
図。
図。
２…固体レーザ媒質、３…励起ランプ、４…レーザ共振
器、５…高反射率ミラー、６…出力ミラー、７…音響光
学Ｑスイッチ、１０…Ｑスイッチ駆動回路、１１…光損
失制御回路。
器、５…高反射率ミラー、６…出力ミラー、７…音響光
学Ｑスイッチ、１０…Ｑスイッチ駆動回路、１１…光損
失制御回路。
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザ共振器内でレーザ発振を発生させ
るとともに前記レーザ共振器内に配置されたＱスイッチ
素子を繰り返し動作させて高いピーク強度を有するレー
ザパルスを出力する連続励起Ｑスイッチレーザ発振方法
において、 前記Ｑスイッチ素子の繰り返し動作に応動して前記Ｑス
イッチ素子に供給する高周波電力を制御することを特徴
とする連続励起Ｑスイッチレーザ発振方法。 - 【請求項２】 Ｑスイッチ素子の繰り返し動作によるレ
ーザパルス出力時に、前記Ｑスイッチ素子に対して前記
繰り返し周波数に応じた微小な高周波電力を供給するこ
とを特徴とする請求項１記載の連続励起Ｑスイッチレー
ザ発振方法。 - 【請求項３】 固体レーザ媒質と、 この固体レーザ媒質を励起する励起ランプと、 前記固体レーザ媒質からの放射光を前記固体レーザ媒質
中に往復させてレーザ発振を発生するレーザ発振器と、 このレーザ発振器中に配置されたＱスイッチ素子と、 このＱスイッチ素子を任意の繰り返し周波数によりスイ
ッチング動作させるＱスイッチ駆動手段と、 このＱスイッチ駆動手段から前記Ｑスイッチ素子に供給
する高周波数電力を、前記Ｑスイッチ素子の繰り返し動
作に応動して制御する光損失制御手段と、を具備したこ
とを特徴とする連続励起Ｑスイッチレーザ発振装置。 - 【請求項４】 光損失制御手段は、レーザパルス出力時
に、Ｑスイッチ駆動手段により前記Ｑスイッチ素子に供
給される電力を、繰り返し周波数に応じた微小な高周波
電力に制御することを特徴とする請求項３記載の連続励
起Ｑスイッチレーザ発振装置。 - 【請求項５】 Ｑスイッチ駆動手段は、Ｑスイッチ素子
の繰り返し周波数信号を受け、この繰り返し周波数に対
応した残留高周波電力を繰り返し周波数と残留高周波電
力との対応関係から求め、レーザパルスの出力時に、こ
の残留高周波電力をＱスイッチ素子に供給する機能を有
することを特徴とする請求項３記載の連続励起Ｑスイッ
チレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29660394A JP3445390B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | マーキング加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29660394A JP3445390B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | マーキング加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08153925A true JPH08153925A (ja) | 1996-06-11 |
| JP3445390B2 JP3445390B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=17835694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29660394A Expired - Fee Related JP3445390B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | マーキング加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3445390B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0989640A2 (en) * | 1998-09-21 | 2000-03-29 | Miyachi Technos Corporation | Q-switched laser apparatus |
| JP2002151777A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-24 | Keyence Corp | レーザー発振器およびそのレーザーパルス制御方法 |
| WO2007138884A1 (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Cyber Laser Inc. | レーザパルス発生装置及び方法並びにレーザ加工装置及び方法 |
-
1994
- 1994-11-30 JP JP29660394A patent/JP3445390B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0989640A2 (en) * | 1998-09-21 | 2000-03-29 | Miyachi Technos Corporation | Q-switched laser apparatus |
| EP0989640A3 (en) * | 1998-09-21 | 2001-08-22 | Miyachi Technos Corporation | Q-switched laser apparatus |
| JP2002151777A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-24 | Keyence Corp | レーザー発振器およびそのレーザーパルス制御方法 |
| WO2007138884A1 (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Cyber Laser Inc. | レーザパルス発生装置及び方法並びにレーザ加工装置及び方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3445390B2 (ja) | 2003-09-08 |
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