JP2000340862A - レーザ光の光強度検出方法及びその装置 - Google Patents
レーザ光の光強度検出方法及びその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 反射ミラーの温度の変化により反射ミラーの
透過率が変化した場合でも、レーザ発振部から発振され
るレーザ光の光強度を正確に検出できるようにする。 【解決手段】 レーザ発振部１から発振されたレーザ光
１２のうち、反射ミラー４を透過したレーザ光１９の光
強度ＰＬ’を検出すると共に反射ミラー４の温度Ｔを検
出し、光強度ＰＬ’及び温度Ｔに対応した透過率から、
レーザ発振部１より発振されるレーザ光１２の実際の光
強度ＰＯを検出する。
透過率が変化した場合でも、レーザ発振部から発振され
るレーザ光の光強度を正確に検出できるようにする。 【解決手段】 レーザ発振部１から発振されたレーザ光
１２のうち、反射ミラー４を透過したレーザ光１９の光
強度ＰＬ’を検出すると共に反射ミラー４の温度Ｔを検
出し、光強度ＰＬ’及び温度Ｔに対応した透過率から、
レーザ発振部１より発振されるレーザ光１２の実際の光
強度ＰＯを検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光の光強度
検出方法及びその装置に関するものである。
検出方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来からレーザは物品の加工、医療等種
々の用途に使用されており、レーザ装置の一例は図４に
示されている。
々の用途に使用されており、レーザ装置の一例は図４に
示されている。
【０００３】図４中、１はレーザ発振部、２はレーザ電
源部、３はレーザ制御部、４は反射ミラー、５はレーザ
出射部、６はモニタ用の光センサ、７は表示部、８は商
用交流電源である。
源部、３はレーザ制御部、４は反射ミラー、５はレーザ
出射部、６はモニタ用の光センサ、７は表示部、８は商
用交流電源である。
【０００４】レーザ発振部１は、例えばＹＡＧからなる
固体レーザ媒体９と、この固体レーザ媒体９に励起光１
０を照射（供給）するレーザ励起光源１１と、固体レー
ザ媒体９より発生されるレーザ光を共振増幅して高レベ
ルとなったレーザ光１２を取り出す一対の共振器ミラー
１３，１４とを備えている。
固体レーザ媒体９と、この固体レーザ媒体９に励起光１
０を照射（供給）するレーザ励起光源１１と、固体レー
ザ媒体９より発生されるレーザ光を共振増幅して高レベ
ルとなったレーザ光１２を取り出す一対の共振器ミラー
１３，１４とを備えている。
【０００５】レーザ発振部１より発振出力されたレーザ
光１２は、大部分が全反射ミラーである反射ミラー４で
反射され、反射されたレーザ光１５はレーザ出射部５へ
送られ、レーザ出射部５より被加工物、例えば被溶接物
１６，１７に集光照射されるようになっている。
光１２は、大部分が全反射ミラーである反射ミラー４で
反射され、反射されたレーザ光１５はレーザ出射部５へ
送られ、レーザ出射部５より被加工物、例えば被溶接物
１６，１７に集光照射されるようになっている。
【０００６】レーザ電源部２は、レーザ発振部１のレー
ザ励起光源１１にレーザ発振用の電力を供給するもの
で、レーザ制御部３の制御のもとに、商用交流電源８か
らの商用交流電力をレーザ励起光源１１に適応した形式
の電力（電圧、電流）に変換してレーザ励起光源１１を
点灯駆動し得るようになっている。
ザ励起光源１１にレーザ発振用の電力を供給するもの
で、レーザ制御部３の制御のもとに、商用交流電源８か
らの商用交流電力をレーザ励起光源１１に適応した形式
の電力（電圧、電流）に変換してレーザ励起光源１１を
点灯駆動し得るようになっている。
【０００７】レーザ制御部３は、例えばマイクロコンピ
ュータにより構成されており、レーザ発振部１より所望
のレーザ光１２が発振出力されるようレーザ電源部２を
制御し得るようになっている。
ュータにより構成されており、レーザ発振部１より所望
のレーザ光１２が発振出力されるようレーザ電源部２を
制御し得るようになっている。
【０００８】レーザ制御部３へは、キーボードやマウス
等からなる入力部１８によって設定データを入力し得る
ようになっており、又表示部７にはレーザ制御部３から
出力された種々のデータを表示し得るようになってい
る。
等からなる入力部１８によって設定データを入力し得る
ようになっており、又表示部７にはレーザ制御部３から
出力された種々のデータを表示し得るようになってい
る。
【０００９】光センサ６は、例えばフォトダイオードか
らなり、反射ミラー４を透過したごく僅か（例えば０．
１％）のレーザ光１９を受光して、レーザ光１９の光強
度に対応した電流としてレーザ制御部３へ与え得るよう
になっている。
らなり、反射ミラー４を透過したごく僅か（例えば０．
１％）のレーザ光１９を受光して、レーザ光１９の光強
度に対応した電流としてレーザ制御部３へ与え得るよう
になっている。
【００１０】上述のレーザ装置では、レーザ制御部３か
らレーザ電源部２へ与えられた指令をもととして、レー
ザ電源部２からは、商用交流電源８からの所定のレベル
の商用交流電力がレーザ発振部１のレーザ励起光源１１
へ与えられ、レーザ励起光源１１が点灯、駆動される。
らレーザ電源部２へ与えられた指令をもととして、レー
ザ電源部２からは、商用交流電源８からの所定のレベル
の商用交流電力がレーザ発振部１のレーザ励起光源１１
へ与えられ、レーザ励起光源１１が点灯、駆動される。
【００１１】このため、固体レーザ媒体９から発生した
レーザ光は、共振器ミラー１３，１４間で共振、増幅さ
れ、高い光強度のレーザ光１２となってレーザ発振部１
から取り出され、取り出されたレーザ光１２は、大部分
が反射ミラー４で反射されて向きを９０度変え、レーザ
出射部５から被溶接物１６，１７に照射され、被溶接物
１６，１７の溶接が行われる。
レーザ光は、共振器ミラー１３，１４間で共振、増幅さ
れ、高い光強度のレーザ光１２となってレーザ発振部１
から取り出され、取り出されたレーザ光１２は、大部分
が反射ミラー４で反射されて向きを９０度変え、レーザ
出射部５から被溶接物１６，１７に照射され、被溶接物
１６，１７の溶接が行われる。
【００１２】又、レーザ光１２の一部のごく僅かは、一
定の透過率で反射ミラー４を透過し、透過したレーザ光
１９は参照レーザ光として光センサ６で検出されてレー
ザ光１９の光強度に対応した電流としてレーザ制御部３
へ与えられる。
定の透過率で反射ミラー４を透過し、透過したレーザ光
１９は参照レーザ光として光センサ６で検出されてレー
ザ光１９の光強度に対応した電流としてレーザ制御部３
へ与えられる。
【００１３】而して、レーザ発振部１から発振されるレ
ーザ光１２の光強度をＰＯ、反射ミラー４の透過率を既
知のτ、反射ミラー４を透過したレーザ光１９の光強度
をＰＬとすると、ＰＬ＝ＰＯ・τの関係があるため、レ
ーザ発振部１から発振されるレーザ光１２の光強度ＰＯ
は、反射ミラー４を透過するレーザ光１９の光強度ＰＬ
を測定することにより、ＰＯ＝ＰＬ／τにより求めるこ
とができる。
ーザ光１２の光強度をＰＯ、反射ミラー４の透過率を既
知のτ、反射ミラー４を透過したレーザ光１９の光強度
をＰＬとすると、ＰＬ＝ＰＯ・τの関係があるため、レ
ーザ発振部１から発振されるレーザ光１２の光強度ＰＯ
は、反射ミラー４を透過するレーザ光１９の光強度ＰＬ
を測定することにより、ＰＯ＝ＰＬ／τにより求めるこ
とができる。
【００１４】又反射ミラー４で反射して被溶接物１６，
１７へ照射されるレーザ光１５の光強度をＰＲとする
と、ＰＲ＝ＰＯ−ＰＬの関係があるため、レーザ発振部
１から発振されるレーザ光１２の光強度ＰＯを求めるこ
とにより、被溶接物１６，１７へ照射される光強度ＰＲ
を求めることができる。
１７へ照射されるレーザ光１５の光強度をＰＲとする
と、ＰＲ＝ＰＯ−ＰＬの関係があるため、レーザ発振部
１から発振されるレーザ光１２の光強度ＰＯを求めるこ
とにより、被溶接物１６，１７へ照射される光強度ＰＲ
を求めることができる。
【００１５】従来のレーザ装置の他の例は、図５に示さ
れている。而して、本例においては、全反射共振器ミラ
ーである共振器ミラー１３を透過したレーザ光（参照レ
ーザ光）１９の光強度ＰＬをもとに、図４に示す従来の
装置と同様にして、ＰＯ＝ＰＬ／τによりレーザ発振部
１から照射されるレーザ光１２の光強度ＰＯを求めるこ
とができる。
れている。而して、本例においては、全反射共振器ミラ
ーである共振器ミラー１３を透過したレーザ光（参照レ
ーザ光）１９の光強度ＰＬをもとに、図４に示す従来の
装置と同様にして、ＰＯ＝ＰＬ／τによりレーザ発振部
１から照射されるレーザ光１２の光強度ＰＯを求めるこ
とができる。
【００１６】なお、図５中、図４に示すものと同一のも
のには同一の符号が付してある。
のには同一の符号が付してある。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】上述の図４、５に示す
レーザ装置では、反射ミラー４及び共振器ミラー１３か
らのレーザ光１９と透過率τをもととして、レーザ発振
部１から照射されるレーザ光１２の光強度ＰＯを求める
ようにしており、又図４に示す装置では、求めた光強度
ＰＯとレーザ光１９の光強度ＰＬとから、被溶接物１
６，１７に照射されるレーザ光１５の光強度ＰＲを求め
るようにしている。
レーザ装置では、反射ミラー４及び共振器ミラー１３か
らのレーザ光１９と透過率τをもととして、レーザ発振
部１から照射されるレーザ光１２の光強度ＰＯを求める
ようにしており、又図４に示す装置では、求めた光強度
ＰＯとレーザ光１９の光強度ＰＬとから、被溶接物１
６，１７に照射されるレーザ光１５の光強度ＰＲを求め
るようにしている。
【００１８】ところで、上述のレーザ装置においては、
反射ミラー４及び共振器ミラー１３のレーザ光が当たる
面には大部分のレーザ光の反射が行われるように、反射
コーティングが蒸着等により付してある。
反射ミラー４及び共振器ミラー１３のレーザ光が当たる
面には大部分のレーザ光の反射が行われるように、反射
コーティングが蒸着等により付してある。
【００１９】しかるに、レーザ装置が大出力レーザの場
合には、反射ミラー４或いは共振器ミラー１３において
吸収される僅かなレーザ光（図示せず）により反射ミラ
ー４或いは共振器ミラー１３が温度上昇し、このため、
反射ミラー４や共振器ミラー１３の反射コーティングの
透過率τが変化するが、前述の演算は反射ミラー４や共
振器ミラー１３は透過率τ（反射率）が一定であること
を前提として演算を行っているため、上述のごとく、反
射ミラー４や共振器ミラー１３の透過率τが基準値から
ずれると、反射ミラー４や共振器ミラー１３を透過する
レーザ光１９の光強度ＰＬと反射ミラー４や共振器ミラ
ー１３で反射するレーザ光１２光強度ＰＯとの比率が変
化してしまい、その結果、レーザ発振部１から照射され
るレーザ光１２の光強度ＰＯを正確に検出することがで
きないという問題があった。
合には、反射ミラー４或いは共振器ミラー１３において
吸収される僅かなレーザ光（図示せず）により反射ミラ
ー４或いは共振器ミラー１３が温度上昇し、このため、
反射ミラー４や共振器ミラー１３の反射コーティングの
透過率τが変化するが、前述の演算は反射ミラー４や共
振器ミラー１３は透過率τ（反射率）が一定であること
を前提として演算を行っているため、上述のごとく、反
射ミラー４や共振器ミラー１３の透過率τが基準値から
ずれると、反射ミラー４や共振器ミラー１３を透過する
レーザ光１９の光強度ＰＬと反射ミラー４や共振器ミラ
ー１３で反射するレーザ光１２光強度ＰＯとの比率が変
化してしまい、その結果、レーザ発振部１から照射され
るレーザ光１２の光強度ＰＯを正確に検出することがで
きないという問題があった。
【００２０】本発明は前述の実情に鑑み、反射ミラーや
共振器ミラーが温度上昇して透過率が変化したような場
合にも、レーザ発振部から発振されるレーザ光の光強度
を正確に検出し得るようにしたレーザ光の光強度検出方
法及びその装置を提供することを目的としてなしたもの
である。
共振器ミラーが温度上昇して透過率が変化したような場
合にも、レーザ発振部から発振されるレーザ光の光強度
を正確に検出し得るようにしたレーザ光の光強度検出方
法及びその装置を提供することを目的としてなしたもの
である。
【００２１】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、レー
ザ発振部から発振されたレーザ光のうち全反射ミラーを
透過したレーザの光強度を検出すると共に前記全反射ミ
ラーの温度を検出し、検出した光強度及び検出した温度
に対応した前記反射ミラーの透過率から、レーザ発振部
より発振されるレーザ光の実際の光強度を求めるもので
ある。
ザ発振部から発振されたレーザ光のうち全反射ミラーを
透過したレーザの光強度を検出すると共に前記全反射ミ
ラーの温度を検出し、検出した光強度及び検出した温度
に対応した前記反射ミラーの透過率から、レーザ発振部
より発振されるレーザ光の実際の光強度を求めるもので
ある。
【００２２】請求項２の発明は、レーザ発振部における
全反射共振器ミラーを透過したレーザ光の光強度を検出
すると共に前記全共振器ミラーの温度を検出し、検出し
た光強度及び検出した温度に対応した前記共振器ミラー
の透過率から、レーザ発振部より発振されるレーザ光の
実際の光強度を求めるものである。
全反射共振器ミラーを透過したレーザ光の光強度を検出
すると共に前記全共振器ミラーの温度を検出し、検出し
た光強度及び検出した温度に対応した前記共振器ミラー
の透過率から、レーザ発振部より発振されるレーザ光の
実際の光強度を求めるものである。
【００２３】請求項３の発明は、透過したレーザ光の光
強度を検出した温度に対応した透過率により除算するも
のである。
強度を検出した温度に対応した透過率により除算するも
のである。
【００２４】請求項４の発明は、レーザ発振部から発振
されたレーザ光のうち全反射ミラーを透過したレーザ光
の光強度を検出する光センサと、前記全反射ミラーの温
度を検出する温度センサと、前記光センサで検出した光
強度及び前記温度センサで検出した温度に対応した光透
過率からレーザ発振部より発振されるレーザ光の実際の
光強度を求める制御部とを備えたものである。
されたレーザ光のうち全反射ミラーを透過したレーザ光
の光強度を検出する光センサと、前記全反射ミラーの温
度を検出する温度センサと、前記光センサで検出した光
強度及び前記温度センサで検出した温度に対応した光透
過率からレーザ発振部より発振されるレーザ光の実際の
光強度を求める制御部とを備えたものである。
【００２５】請求項５の発明は、レーザ発振部における
全反射共振器ミラーを透過したレーザ光の光強度を検出
する光センサと、前記全反射共振器ミラーの温度を検出
する温度センサと、前記光センサで検出した光強度及び
前記温度センサで検出した温度に対応した透過率からレ
ーザ発振部より発振されるレーザ光の実際の光強度を求
める制御部とを備えたものである。
全反射共振器ミラーを透過したレーザ光の光強度を検出
する光センサと、前記全反射共振器ミラーの温度を検出
する温度センサと、前記光センサで検出した光強度及び
前記温度センサで検出した温度に対応した透過率からレ
ーザ発振部より発振されるレーザ光の実際の光強度を求
める制御部とを備えたものである。
【００２６】請求項６の発明は、制御部は、透過したレ
ーザ光の光強度と検出した温度に対応した透過率により
除算し得るよう構成したものである。
ーザ光の光強度と検出した温度に対応した透過率により
除算し得るよう構成したものである。
【００２７】本発明においては、何れの発明において
も、レーザ発振部から発振されるレーザ光の光強度を検
出することができ、又請求項１、３の場合には被加工物
へ照射されるレーザ光の光強度をも検出することができ
る。
も、レーザ発振部から発振されるレーザ光の光強度を検
出することができ、又請求項１、３の場合には被加工物
へ照射されるレーザ光の光強度をも検出することができ
る。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照しつつ説明する。
図面を参照しつつ説明する。
【００２９】図１は、本発明の実施の形態の一例であ
り、図中、図４に示すものと同一のものには、同一の符
号が付してある。
り、図中、図４に示すものと同一のものには、同一の符
号が付してある。
【００３０】図１中、２０は反射ミラー４に設けた温度
センサであり、温度センサ２０により検出した反射ミラ
ー４の部分の温度Ｔは、レーザ制御部３へ与え得るよう
になっている。
センサであり、温度センサ２０により検出した反射ミラ
ー４の部分の温度Ｔは、レーザ制御部３へ与え得るよう
になっている。
【００３１】又、反射ミラー４の温度Ｔと透過率τとの
関係は、予め分光器で測定してレーザ制御部３へ入力し
てあるが、その関係は例えば図２及び表１に示すように
なる。
関係は、予め分光器で測定してレーザ制御部３へ入力し
てあるが、その関係は例えば図２及び表１に示すように
なる。
【００３２】
【表１】
【００３３】次に、本発明の実施の形態の作用について
説明する。
説明する。
【００３４】本実施の形態においては、基本的な作用は
図４に示すものと同じである。而して、本実施の形態に
おいては、反射ミラー４を透過したレーザ光１９の光強
度ＰＬ’は光センサ６により検出されてレーザ制御部３
へ与えられると共に、反射ミラー４の温度Ｔは温度セン
サ２０により検出されてレーザ制御部３へ与えられ、レ
ーザ制御部３では、温度Ｔに対応する反射ミラー４の透
過率τ（図２、表１参照）が選定される。
図４に示すものと同じである。而して、本実施の形態に
おいては、反射ミラー４を透過したレーザ光１９の光強
度ＰＬ’は光センサ６により検出されてレーザ制御部３
へ与えられると共に、反射ミラー４の温度Ｔは温度セン
サ２０により検出されてレーザ制御部３へ与えられ、レ
ーザ制御部３では、温度Ｔに対応する反射ミラー４の透
過率τ（図２、表１参照）が選定される。
【００３５】反射ミラー４に入射するレーザ光１２の光
強度ＰＯと反射ミラー４を透過するレーザ光１９の光強
度ＰＬ’との間には、ＰＬ’＝ＰＯ・τの関係が成立す
るため、レーザ制御部３ではＰＯ＝ＰＬ’/τが演算さ
れてレーザ光１２の実際の光強度ＰＯが検出される。
強度ＰＯと反射ミラー４を透過するレーザ光１９の光強
度ＰＬ’との間には、ＰＬ’＝ＰＯ・τの関係が成立す
るため、レーザ制御部３ではＰＯ＝ＰＬ’/τが演算さ
れてレーザ光１２の実際の光強度ＰＯが検出される。
【００３６】又、被溶接物１６，１７へ照射されるレー
ザ光１５の光強度ＰＲはＰＲ＝ＰＯ−ＰＬ’であるた
め、この関係から被溶接物１６，１７へ実際に照射され
ているレーザ光１５の光強度ＰＲを検出することができ
る。
ザ光１５の光強度ＰＲはＰＲ＝ＰＯ−ＰＬ’であるた
め、この関係から被溶接物１６，１７へ実際に照射され
ているレーザ光１５の光強度ＰＲを検出することができ
る。
【００３７】図３は本発明の実施の形態の他の例であ
り、図３中、図５に示すものと同一のものには同一の符
号が付してある。
り、図３中、図５に示すものと同一のものには同一の符
号が付してある。
【００３８】本実施の形態例においては、共振器ミラー
１３から透過するレーザ光１９の光強度ＰＬ’と温度セ
ンサ２０により検出した温度Ｔに対応する透過率τとの
関係から、前述の実施の形態の場合と同様にして、レー
ザ光１２の実際の光強度ＰＯを検出することができる。
温度Ｔと透過率τとの間係は、図２及び表１に示すごと
くになるが、図２及び表１における「反射ミラー４の透
過率τ」は「共振器ミラー１３の透過率τ」となる。
１３から透過するレーザ光１９の光強度ＰＬ’と温度セ
ンサ２０により検出した温度Ｔに対応する透過率τとの
関係から、前述の実施の形態の場合と同様にして、レー
ザ光１２の実際の光強度ＰＯを検出することができる。
温度Ｔと透過率τとの間係は、図２及び表１に示すごと
くになるが、図２及び表１における「反射ミラー４の透
過率τ」は「共振器ミラー１３の透過率τ」となる。
【００３９】本発明の前述の２つの実施の形態において
は、反射ミラー４や共振器ミラー１３の透過率τが、反
射ミラー４や共振器ミラー１３の温度の変化により変っ
た場合にも、レーザ発振部１から発振されるレーザ光１
２の光強度ＰＯを正確に検出することができ、又図１に
示す実施の形態の場合は更に被溶接物１６，１７に照射
されるレーザ光１５の光強度ＰＲをも正確に検出するこ
とができる。
は、反射ミラー４や共振器ミラー１３の透過率τが、反
射ミラー４や共振器ミラー１３の温度の変化により変っ
た場合にも、レーザ発振部１から発振されるレーザ光１
２の光強度ＰＯを正確に検出することができ、又図１に
示す実施の形態の場合は更に被溶接物１６，１７に照射
されるレーザ光１５の光強度ＰＲをも正確に検出するこ
とができる。
【００４０】なお、本発明は前述の実施の形態例に限定
されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内
で種々変更を加え得ることは勿論である。
されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内
で種々変更を加え得ることは勿論である。
【００４１】
【発明の効果】本発明のレーザ光の光強度検出方法及び
その装置によれば、請求項１〜６の何れにおいても反射
ミラーや共振器ミラーの温度が変化して反射ミラーや共
振器ミラーの透過率が変化した場合でもレーザ発振部か
ら出力されるレーザ光の光強度を正確に検出することが
でき、又請求項１、３の場合には、被加工物に照射され
るレーザ光の光強度をも正確に検出することができる。
その装置によれば、請求項１〜６の何れにおいても反射
ミラーや共振器ミラーの温度が変化して反射ミラーや共
振器ミラーの透過率が変化した場合でもレーザ発振部か
ら出力されるレーザ光の光強度を正確に検出することが
でき、又請求項１、３の場合には、被加工物に照射され
るレーザ光の光強度をも正確に検出することができる。
【図１】本発明のレーザ光の光強度検出方法及びその装
置の実施の形態の一例を示すブロック図である。
置の実施の形態の一例を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態において用いる反射ミラー
の温度と透過率との関係を示すグラフである。
の温度と透過率との関係を示すグラフである。
【図３】本発明のレーザ光の光強度検出方法及びその装
置の実施の形態の他の例を示すブロック図である。
置の実施の形態の他の例を示すブロック図である。
【図４】従来のレーザ装置の一例のブロック図である。
【図５】従来のレーザ装置の他の例のブロック図であ
る。
る。
１ レーザ発振部 ３ レーザ制御部（制御部） ４ 反射ミラー（全反射ミラー） ６ 光センサ １２ レーザ光 １３ 共振器ミラー（全反射共振器ミラー） １９ レーザ光 ２０ 温度センサ ＰＬ’ 光強度 ＰＯ 光強度 Ｔ 温度 τ 透過率
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 克司 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 (72)発明者 福冨 誠二 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 Ｆターム(参考） 4E068 CA02 CC01 CC03 CD11 CK01 5F072 AB01 HH02 HH04 JJ05 KK06 RR01 YY01 YY06
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザ発振部から発振されたレーザ光の
うち全反射ミラーを透過したレーザの光強度を検出する
と共に前記全反射ミラーの温度を検出し、検出した光強
度及び検出した温度に対応した前記反射ミラーの透過率
から、レーザ発振部より発振されるレーザ光の実際の光
強度を求めることを特徴とするレーザ光の光強度検出方
法。 - 【請求項２】 レーザ発振部における全反射共振器ミラ
ーを透過したレーザ光の光強度を検出すると共に前記全
共振器ミラーの温度を検出し、検出した光強度及び検出
した温度に対応した前記共振器ミラーの透過率から、レ
ーザ発振部より発振されるレーザ光の実際の光強度を求
めることを特徴とするレーザ光の光強度検出方法。 - 【請求項３】 透過したレーザ光の光強度を検出した温
度に対応した透過率により除算する請求項１又は２に記
載のレーザ光の光強度検出方法。 - 【請求項４】 レーザ発振部から発振されたレーザ光の
うち全反射ミラーを透過したレーザ光の光強度を検出す
る光センサと、前記全反射ミラーの温度を検出する温度
センサと、前記光センサで検出した光強度及び前記温度
センサで検出した温度に対応した光透過率からレーザ発
振部より発振されるレーザ光の実際の光強度を求める制
御部とを備えたことを特徴とするレーザ光の光強度検出
装置。 - 【請求項５】 レーザ発振部における全反射共振器ミラ
ーを透過したレーザ光の光強度を検出する光センサと、
前記全反射共振器ミラーの温度を検出する温度センサ
と、前記光センサで検出した光強度及び前記温度センサ
で検出した温度に対応した透過率からレーザ発振部より
発振されるレーザ光の実際の光強度を求める制御部とを
備えたことを特徴とするレーザ光の光強度検出装置。 - 【請求項６】 制御部は、透過したレーザ光の光強度と
検出した温度に対応した透過率により除算し得るよう構
成した請求項４又は５に記載のレーザ光の光強度検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11148065A JP2000340862A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | レーザ光の光強度検出方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11148065A JP2000340862A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | レーザ光の光強度検出方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000340862A true JP2000340862A (ja) | 2000-12-08 |
Family
ID=15444424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11148065A Pending JP2000340862A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | レーザ光の光強度検出方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000340862A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008142736A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2021089383A (ja) * | 2019-12-05 | 2021-06-10 | 株式会社ディスコ | レーザービーム調整機構およびレーザー加工装置 |
-
1999
- 1999-05-27 JP JP11148065A patent/JP2000340862A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008142736A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2021089383A (ja) * | 2019-12-05 | 2021-06-10 | 株式会社ディスコ | レーザービーム調整機構およびレーザー加工装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060426 |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080730 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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