DE60113998T2

DE60113998T2 - Elektrisch abgeschirmter verbinder

Info

Publication number: DE60113998T2
Application number: DE60113998T
Authority: DE
Inventors: W. Douglas SMITH
Original assignee: InTest IP Corp
Current assignee: InTest Corp
Priority date: 2000-06-19
Filing date: 2001-06-08
Publication date: 2006-06-22
Anticipated expiration: 2021-06-09
Also published as: US20040023556A1; US20050039331A1; DE60113998D1; KR20030036233A; CN1437781A; TW498577B; JP2003536235A; US6997762B2; US7155818B2; WO2001099232A3; MY123558A; CN1210847C; EP1293016B1; WO2001099232A2; ATE306726T1; EP1293016A2; AU2001268242A1

Description

GEBIET DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen elektrisch abgeschirmten Verbinder und insbesondere auf einen elektrisch abgeschirmten Verbinder, der für den Anschluss einer Prüfanlage nützlich ist. Genauer wird ein elektrisch abgeschirmter Verbinder offenbart, der eine gute spezifische elektrische Leitfähigkeit und eine gleichmäßige Impedanz schafft.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Um festzustellen, ob Halbleitervorrichtungen Fertigungsfehler besitzen, werden solche Vorrichtungen geprüft. Typischerweise wird ein automatisches Prüfsystem mit einem Prüfkopf verwendet, um geeignete Signale an die zu prüfende Vorrichtung (DUT, device under test) zu übertragen und von ihr zu empfangen. In Abhängigkeit von der Stufe des Fertigungszyklus können eine Vorrichtungshandhabungseinrichtung oder ein Wafer-Prober verwendet werden, um jede Vorrichtung automatisch in eine Prüfposition zu bringen. Der Prüfkopf ist an den Wafer-Prober oder an die Vorrichtungshandhabungseinrichtung angedockt, ferner ist eine Schnittstelleneinheit vorgesehen, die die Signale zwischen der DUT und dem Prüfkopf transportiert.
Bei der Ausführung solcher Prüfungen ist es üblich, dass der Prüfkopf Signale, die niedrige Signalpegel und hohe Frequenzen besitzen, sowohl sendet als auch empfängt. Ferner nimmt aufgrund der zunehmenden Komplexität der geprüften Vorrichtungen die Dichte der Signalverbindungen zwischen dem Prüfkopf und der DUT ebenfalls zu.
Somit wäre es zweckmäßig, eine Struktur zu schaffen, die eine ausreichende Abschirmung von Signalen, die zwischen dem Prüfkopf und der Vorrichtungshandhabungseinrichtung laufen, schafft.
Im Stand der Technik sind verschiedene Vorrichtungen bekannt, um eine Abschirmung zwischen dem Prüfkopf und der Vorrichtungshandhabungseinrichtung zu schaffen. Das US-Patent Nr. 6.037.787 (Corwith) offenbart eine Messfühler-Schnittstelle, die aus mehreren Metallrohren gebildet ist. Die Rohre sind zwischen isolierenden Halteeinrichtungen angeordnet. Ferner offenbart das US-Patent Nr. 4.724.180 (Kern) eine Schnittstellenvorrichtung, in der Kanäle ausgebildet sind, wobei die gesamte Vorrichtung mit einer Nickelbeschichtung beschichtet ist. Es ist wünschenswert, leitende Strukturen (wie etwa Pogo-Pin-Strukturen) in die in den jeweiligen Patenten offenbarten Kanäle einzusetzen. Es ist jedoch auch wünschenswert, dass bestimmte leitende Strukturen nicht mit den leitenden Schichten in Kontakt sind. Daher werden zusätzliche Fertigungsschritte ausgeführt. Genauer können isolierende Schichten (oder Abstandshalter) um die leitenden Strukturen erforderlich sein, um zu verhindern, dass sie mit leitenden Elementen in den Kanälen in Kontakt gelangen.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Ein elektrisch abgeschirmter Verbinder umfasst: einen Körper, der wenigstens teilweise mit einem leitenden Material bedeckt ist und wenigstens zwei Kanäle aufweist, die sich zwischen gegenüberliegenden Enden des Körpers erstrecken; und leitende Strukturen, die sich in den Kanälen befinden. Das leitende Material bedeckt eine äußere Oberfläche des Körpers und ist von einer der leitenden Strukturen beabstandet, um dazwischen eine elektrische Isolation zu schaffen. Wenigstens einer der Kanäle ist wenigstens teilweise mit leitendem Material bedeckt, während wenigstens ein weiterer der Kanäle in Bezug auf die äußere Oberfläche des Körpers nichtleitend ist. Ein Bereich aus einem oder mehreren nichtleitenden Materialien erstreckt sich von der leitenden Struktur in dem nichtleitenden Kanal zu dem leitenden Material, das die äußere Oberfläche des Körpers bedeckt.
In einem Verfahren zum Fertigen eines Verbinders wird ein Körper mit mehreren nichtleitenden Kanälen geschaffen. Einer der Kanäle wird verschlossen, während der andere der Kanäle offengehalten wird. Der Körper wird dem leitenden Material ausgesetzt, so dass der offene Kanal wenigstens teilweise mit dem leitenden Material bedeckt wird, während das leitende Material von dem verschlossenen Kanal ferngehalten wird. Dann werden in jeden der Kanäle leitende Strukturen eingesetzt.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine perspektivische Ansicht, die einen aufgeschnittenen Abschnitt enthält und eine beispielhafte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
2 ist eine vergrößerte Ansicht eines Abschnitts von 1.
3 ist eine perspektivische Ansicht einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung.
4 ist eine vergrößerte Ansicht eines Abschnitts von 3.
5–7 zeigen beispielhafte Stift/Signal-Konfigurationen.
8 ist eine Querschnittsansicht, die eine weitere beispielhafte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
GENAUE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
In 1 ist eine beispielhafte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. 1 ist eine perspektivische Ansicht, in der ein Abschnitt des dargestellten Gegenstandes aufgeschnitten ist, um den inneren Bereich zu zeigen. In der beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung enthält ein elektrisch abgeschirmter Verbinder 50 einen nichtleitenden Körper (d. h. einen Kunststoffkörper) 10. Dieser Kunststoffkörper kann aus einer oder mehreren Komponenten gebildet und beispielsweise durch Spritzguss hergestellt sein. Die Außenseite des Kunststoffkörpers 10 ist vorzugsweise mit einem leitenden Material bedeckt. Das leitende Material ist vorzugsweise Gold. Das Material kann beispielsweise durch Elektroplattierung aufgebracht werden. In dem Körper 10 sind wenigstens zwei hohle Kanäle 30, 32 ausgebildet. Die Kanäle 30 und 32 können sich beispielsweise zwischen gegenüberliegenden Enden des Körpers 10 erstrecken. In den Kanälen 30, 32 befinden sich mehrere leitende Strukturen. Diese leitenden Strukturen können Pogo-Pin-Strukturen sein, die dem Fachmann wohl bekannt sind. Wie gezeigt ist, kann in 1 beispielsweise die Pogo-Pin-Struktur 18 an einem Ende des Kanals 30 eingeschoben sein, während die Pogo-Pin-Struktur 19 am gegenüberliegenden Ende des Kanals 30 eingeschoben sein kann. Die Pogo-Pin-Strukturen 18 und 19 besitzen jeweils einen Pogo-Pin, der sich von einem entsprechenden Ende erstreckt. Ferner kann sich die Pogo-Pin-Struktur 20 über die gesamte Strecke zwischen gegenüberliegenden Enden des Kanals 32 erstrecken. Die Pogo-Pin-Struktur 20 kann zwei Pogo-Pins aufweisen, die sich von gegenüberliegenden Enden der Pogo-Pin-Struktur 20 erstrecken. Somit ist es, wie gezeigt ist, möglich, entweder zwei getrennte leitende Strukturen vorzusehen, die sich aus gegenüberliegenden Enden eines Kanals erstrecken (und nicht notwendig in direktem gegenseitigen mechanischen Kontakt sind), oder eine einzige leitende Struktur vorzusehen, die sich über die gesamte Länge zwischen gegenüberliegenden Öffnungen eines Kanals erstreckt.
Wie außerdem in 1 gezeigt ist, kann in jedes Ende des Körpers 10 eine Stufenschulter 10 gegossen sein, um die Montage mit einer Halterung zu erleichtern, falls dies gewünscht ist.
2 ist eine vergrößerte Ansicht eines Abschnitts von 1. Wie in 2 gezeigt ist, kann die Innenseite des Kanals 30 leitend plattiert sein (d. h. mit Gold). Daher kann in dem Kanal 30 eine Goldplattierung 12 vorhanden sein, so dass der Kanal 30 als Erdungsleiter verwendet werden kann. Die Innenseite des Kanals 32 kann entweder leitend plattiert sein (d. h. mit Gold) oder nichtleitend plattiert sein. Die Goldplattierung 12 kann sich längs des Endes des Körpers 10 erstrecken, um eine Goldplattierung 14 auf dem äußeren Ende des Körpers 10 zu bilden. Wenn der Körper 10 aus einer oder mehreren nichtleitenden Komponenten gebildet ist, erstreckt sich ein Bereich der nichtleitenden Komponenten von einer (oder jeder) Plattierung innerhalb ihres entsprechenden Kanals zu der Plattierung auf der Außenseite des Körpers 10.
In einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt, dass sich die Goldplattierung 12 durch den gesamten Kanal 30 erstreckt, so dass alle Querschnitte des Kanals 30 konsistent sind. Dies trägt zu der Erzeugung einer gleichmäßigen Impedanz bei. Weiterhin wird auch bevorzugt, eine einzige Pogo-Pin-Struktur statt zweier nicht verbundener Pogo-Pin-Hälften zu verwenden, weil die einzige Pogo-Pin-Struktur wiederum eine gleichmäßigere Impedanz schafft.
3 zeigt einen elektrisch abgeschirmten Verbinder 50 in einer perspektivischen Ansicht. 4 zeigt einen vergrößerten Abschnitt von 3. Wie in 4 gezeigt ist, ist eine goldplattierte Außenseite vorhanden. Ein Erdungs-Pogo-Pin 28 und ein Signal-Pogo-Pin 40 sind gezeigt. Der Erdungs-Pogo-Pin 28 transportiert das Erdungspotential, während der Signal-Pogo-Pin 40 ein Signal (z. B. ein Datensignal) transportiert. Sowohl der Erdungs-Pogo-Pin 28 als auch der Signal-Pogo-Pin 40 können Pogo-Pins sein, die sich von den Pogo-Pin-Strukturen 18 bzw. 20 erstrecken. Andere Typen von Signalkontakten können ebenfalls verwendet werden. Um die Pogo-Pin-Struktur 20 befindet sich ein Raum 22. Zwischen der Goldplattierung 14 und dem Signal-Pogo-Pin 40 ist eine elektrische Isolation vorhanden. In diesem Dokument wird "Erdung" in dem weiten Sinn einer leitenden Verbindung zu einem Bezugspotential und nicht notwendig einer Verbindung zu Erde verstanden.
Die 5–7 sind Stirnansichten, die andere mögliche Konfigurationen beispielhafter Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung zeigen. Selbstverständlich sind diese Konfigurationen lediglich beispielhaft, wobei die Verbindung nicht auf jene gezeigten Konfigurationen eingeschränkt ist. In 5 befindet sich ein Leistungsversorgungsstift 510 in der Mitte, während vier (oder weniger oder mehr) Erdungsstifte 520 um den in der Mitte vorhandenen Leistungsstift angeordnet sind. Der Zweck dieser Konfiguration besteht darin, viele Erdungsleiter vorzusehen. Dies kann beispielsweise das Erdungsprellen minimieren. Wie in 6 gezeigt ist, kann sich in einem isolierten Kanal ein Signalstift 610 befinden. Ein Schutzstift 620 kann sich ebenfalls in einem isolierten Kanal befinden. Ein Erdungsstift 630 kann sich in einem plattierten Kanal befinden.
In 7 ist eine Konfiguration gezeigt, die für doppelendige (differentielle) Signale wünschenswert sein könnte. Daher sind ein Erdungsstift 710, ein +Signal-Stift (nicht mit Erde gekoppelt) 720 und ein –Signal-Stift (ebenfalls nicht mit Erde gekoppelt) 730 vorhanden.
In einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung können die Kanten zwischen den Enden und den Seiten des Verbinders 50 abgerundet oder angefast sein. Dies trägt dazu bei, sicherzustellen, dass die Goldplattierungsschicht gleichmäßig ist und dass Übergänge von den Seiten des Verbinders 50 zu den Enden des Verbinders 50 vorhanden sind. Dies stellt wiederum eine gute Verbindungsfähigkeit sicher. Ähnlich können die Kanten zwischen dem Kanal 30 und den Enden des Verbinders 50 angefast oder abgerundet sein, was zur Sicherstellung der Leitungsfähigkeit beiträgt.
Möglicherweise könnte es schwierig sein, über die gesamte Länge des Kanals 30 eine gleichmäßige Plattierung zu schaffen. Um die gewünschte gleichmäßige charakteristische Impedanz des Signals, das sich längs der Pogo-Pin-Struktur 20 bewegt, zu erhalten, ist die leitende Schicht (d. h. die Goldplattierung) auf der Innenseite des Kanals 30 vorzugsweise über die gesamte Länge gleichmäßig. Daher ist es in einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zweckmäßig, eine Pogo-Pin-Struktur mit einem doppelendigen Pogo-Pin zu verwenden, dessen äußeres Rohr den Kanal 30 mit Leiter effektiv auskleidet. Es ist auch wünschenswert, am Ende des Kanals 30, wo er auf das Ende des Verbinders 50 trifft, ausreichend Plattierung vorzusehen, um eine gute elektrische Verbindung mit der Pogo-Pin-Struktur 18 und folglich mit dem Pogo-Pin 28 herzustellen. Die Pogo-Pin-Struktur 18 kann in den Kanal 30 mit Kraft oder mit Presssitz eingesetzt sein. Alternativ könnte die Pogo-Pin-Struktur 18 durch andere Rückhaltemittel wie etwa einen leitenden Klebstoff an ihrem Ort festgehalten werden.
In einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist zwischen der Plattierung 14 und dem Kanal 32 ein gewisser Raum vorgesehen. Dies trägt dazu bei, dass verhindert wird, dass die Signal-Pogo-Pin-Struktur 20 mit Erde einen Kurzschluss herstellt. Der Raum 22, der ein konzentrischer Kreis ist, stellt diesen Zwischenraum dar. Der Raum 22 muss nicht notwendig kreisförmig sein; er könnte jede beliebige Form haben, die sich als zweckmäßig erweist. Wenn der Verbinder 50 hergestellt wird, können beispielsweise die Enden 32 mit einem Kunststoffstopfen verschlossen werden, der eine Schulter besitzt, die einen Abschnitt der Stirnfläche des Verbinders 50 abdeckt, um zu verhindern, dass er plattiert wird. Somit bedeckt das leitende Material wenigstens einen Teil des offenen Kanals, wodurch das leitende Material von dem verschlossenen Kanal ferngehalten wird. Falls der Kanal 32 alternativ nicht verschlossen wird (so dass das leitende Material den Innenraum des Kanals 32 plattiert), ist es möglich, auf die Enden des Kanals 32 mit einem Kegelsenker oder einer Konterbohrung zu schlagen, um das Plattierungsmaterial zu entfernen. Alternativ können die beiden oben beschriebenen Verfahren verwendet werden.
In den Kanal 32 kann die Signal-Pogo-Pin-Struktur 20 beispielsweise mit Kraft oder mit Presssitz eingesetzt werden. Alternativ könnte sie durch andere Rückhaltemittel wie etwa einen nichtleitenden Klebstoff an ihrem Ort festgehalten werden.
Die Rohre der Pogo-Pin-Struktur können an einem oder an beiden Enden rückwärts vertieft sein. Das heißt, dass in der Nähe des Endes des Rohrs eine leichte Ausbauchung ausgebildet ist. Diese wird Aufweitung oder Ausbauchung genannt und bildet einen Steg mit einer Höhe von beispielsweise 1 bis 2 Millizoll. Dies kann bei der Montage hilfreich sein. Der Ausbauchungsabschnitt schafft einen Kraftsitz, was ermöglicht, dass der größte Teil des Rohrs einfach in den entsprechenden Kanal gleitet. Der Durchmesser des Kanals kann an einem Ende etwas kleiner als am anderen Ende ausgebildet sein. Dann gleitet die Pogo-Pin-Struktur nahezu auf dem gesamten Weg leicht hinein, um auf der letzten Einschubbewegungsstrecke in einen Kraftsitz einzurasten.
Die beispielhafte Ausführungsform ist mit Bezug auf eine Goldplattierung beschrieben worden. Selbstverständlich könnte ein anderes Material zum Plattieren verwendet werden, sofern es leitend ist. Außerdem könnte anstelle der Plattierung ein anderer Typ einer leitenden Struktur (d. h. des Rohrs der Struktur 18 oder eines anderen Rohrs) verwendet werden, um das Erdungssignal zwischen gegenüberliegenden Enden des Verbinders 50 zu transportieren.
Alternativ zu der Ausbildung hohler Kanäle in dem gegossenen Körper, in den die Pogo-Pin-Strukturen eingesetzt werden, können in den Körper leitende Rohre eingegossen werden. Das heißt, dass zunächst die Rohre in der Gießform angeordnet werden und dass der Kunststoff dann um sie gegossen wird. Solche Rohre könnten die äußeren Rohre von Pogo-Pin-Strukturen sein. Allgemeiner können Pogo-Pin- oder andere geeignete Kontaktbaugruppen in die Rohre eingesetzt werden. Es werden geeignete Schritte ausgeführt, um sicherzustellen, dass in dem nachfolgenden Plattierungsprozess eine gute elektrische Verbindung zwischen dem Rohr anstelle des Erdungskanals 30 und der Plattierung 14 auf der Außenseite des Kunststoffkörpers 10 geschaffen wird. Außerdem werden geeignete Schritte, beispielsweise durch die Verwendung von Stopfen oder durch die Ausführung von Bearbeitungsschritten wie oben beschrieben, ausgeführt, um sicherzustellen, dass zwischen der Plattierung 14 und dem Rohr anstelle des Signalkanals 32 keine elektrische Verbindung entsteht.
8 ist eine Querschnittansicht eines Verbinders gemäß einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In dieser alternativen Ausführungsform ist um die Pogo-Pin-Struktur 20 ein Raum 48 definiert. Der Ausdruck "Raum", der hier verwendet wird, bezieht sich auf einen Bereich in dem Kanal, d. h. zwischen der Innenwand des Kanals und der Außenwand der Pogo-Pin-Struktur 20. Somit kann der Raum 48 ein leerer Raum sein, der beispielsweise mit Luft gefüllt ist. Alternativ kann der Raum 48 mit einem anderen Gastyp, mit einer Flüssigkeit oder sogar mit einem Festkörperelement gefüllt sein.
Der Zweck des Raums 48 besteht darin, eine unterschiedliche charakteristische Impedanz gegenüber jener zu schaffen, die erhalten würde, wenn der Raum 48 nicht vorgesehen wäre. Wenn daher der Raum 48 nicht vorgesehen wäre, würden sich die Innenwände des Kanals 32 und die Außenwände der Pogo-Pin-Struktur 20 vollständig berühren, so dass sich dazwischen nichts befinden könnte.
Die Verwendung des Raums 48 kann folgendermaßen erläutert werden. Falls der Körper 10 ein nichtleitendes Material mit einer relativen Dielektrizitätskonstante größer als 1 enthält und falls der Raum 48 zwischen der Pogo-Pin-Struktur 20 und dem Körper 10 nicht vorhanden ist, würde eine resultierende charakteristische Impedanz Z₁ erhalten. Falls die obige Struktur so modifiziert wird, dass der Raum 48 vorhanden ist, grenzt die Pogo-Pin-Struktur 20 an ein Material (Gas wie etwa Luft, Flüssigkeit oder Festkörper) mit einer anderen relativen Dielektrizitätskonstante an. Die resultierende charakteristische Impedanz wird entsprechend geändert. Je größer der Abstand von der äußeren Oberfläche der Pogo-Pin-Struktur 20 zu der inneren Oberfläche des Kanals 32 ist, desto größer ist die Änderung der charakteristischen Impedanz.
In der beispielhaften Ausführungsform von 8 sind in dem Kanal 32 Keilnuten 45 ausgebildet worden, als der Körper gegossen wurde. Diese Keilnuten verlaufen beispielsweise über die gesamte Länge des Kanals. Wie gezeigt, dienen sie dazu, den Raum 48 zwischen der äußeren Oberfläche der Pogo-Pin-Struktur 20 und bestimmten inneren Oberflächen des Kanals 32 zu definieren.
Für den Fachmann auf dem Gebiet ist es klar, dass andere Techniken verwendet werden können, um den Raum 48 zu definieren. Beispielsweise könnten an verschiedenen Stellen im Kanal 32 Vertiefungen oder Höcker ausgebildet werden. An jedem Ende des Kanals 32 könnten Unterlegscheiben oder Halter verwendet werden, um die Verbinderstruktur wenigstens im Wesentlichen zentriert im Kanal 32 zu halten, dessen Öffnung größer ist als die Pogo-Pin-Struktur 20. Die Unterlegscheiben oder Halter könnten aus einem leitenden Material hergestellt sein, solange sie nicht mit der äußeren Plattierung 12 in Kontakt gelangen. Alternativ könnte in dem Raum 48 und um die Pogo-Pin-Struktur 20 eine Isolierhülse mit einer geeigneten Dielektrizitätskonstante angeordnet sein.
Der Verbinder 50 gemäß den obigen Ausführungsformen kann verwendet werden, um Datensignale beispielsweise zwischen einem Prüfkopf und einer zu prüfenden Vorrichtung zu senden und zu empfangen.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf diese Ausführungsformen eingeschränkt, vielmehr können verschiedene Änderungen und Abwandlungen vorgenommen werden, ohne vom Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen.

Claims

Elektrisch abgeschirmter Verbinder mit: einem Körper (10), der wenigstens teilweise mit einem leitenden Material bedeckt ist und einen inneren leitenden Kanal (30) und einen inneren nicht-leitenden Kanal (32) hat; mehreren leitenden Strukturen (18, 20), die gegeneinander isoliert sind und sich in dem leitenden Kanal bzw. dem nicht-leitenden Kanal befinden; und einem Bereich (22) aus einem oder mehreren nicht-leitenden Materialien, der sich von der leitenden Struktur in dem nicht-leitenden Kanal zu dem leitenden Material erstreckt, das den Körper bedeckt.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei die leitenden Strukturen (18, 20) eine kontinuierliche leitende Struktur (20) mit Kontakten (40) enthalten, die sich aus ihren beiden Enden heraus erstrecken.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei die leitenden Strukturen (18, 20) eine leitende Struktur mit einem Kontakt (40) enthalten, der sich nur aus seinem einen Ende heraus erstreckt.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei in dem Körper eine Stufenschulter ausgebildet ist.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei sich das leitende Material durch den gesamten Kanal erstreckt, der wenigstens teilweise mit leitendem Material bedeckt ist.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei das nicht-leitende Material eine nicht-leitende feste Schicht enthält.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei ein Ende eines der Kanäle mit einer Konter- bzw. Schulterbohrung versehen ist.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei das leitende Material im Abstand von der einen der leitenden Strukturen angeordnet ist, die sich in dem nicht-leitenden Kanal (32) befindet.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei eine der leitenden Strukturen (18) eine oder mehrere Pogostift (Pogopin)-Strukturen (28) ist.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei wenigstens einer der Kanäle einen Bereich (48) um eine der leitenden Strukturen definiert.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 10, wobei ein Abstandsstück (45) in dem Kanal in wenigstens einem Teil des Bereiches und im Kontakt mit einer der leitenden Strukturen angeordnet ist.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei das leitende Material eine äußere Oberfläche des Körpers bedeckt und im Abstand von einer der leitenden Strukturen weg angeordnet ist, um eine elektrische Isolierung dazwischen zu erzeugen.
Elektrisch abgeschirmter Verbinder nach Anspruch 1, wobei die leitenden Strukturen (18, 20) sich aus dem Körper (10) heraus erstrecken.