DE4439142C2 - Verfahren zur Innenreinigung von Gasflaschen - Google Patents
Verfahren zur Innenreinigung von GasflaschenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Innenreinigung von Gasflaschen nach
dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Aus der DE-PS 733 470 ist bekannt, daß Verunreinigungen und Oxidschichten
von Metalloberflächen entfernt werden können, wenn ein Metall in Wasser
eingetaucht und der Einwirkung von Ultraschall ausgesetzt wird.
In der DE-OS 21 20 251 wird die Reinigung von hohlen Objekten wie Ampullen oder
Fläschchen mittels Ultraschall beschrieben, wobei in die mit Flüssigkeit befüllten
Objekte ein nadelförmiger Fortsatz eines Ultraschallschwingers eingeführt wird,
so daß der abgestrahlte Schall unmittelbar auf die Flüssigkeit einwirkt.
Die DE 41 29 927 A1 beschreibt ein Verfahren zur Beseitigung von
Ablagerungen wie Rost oder Kalkablagerungen in einem wassergefüllten
Rohrleitungssystem unter Verwendung von Ultraschall.
In der DE 38 10 137 A1 wird ein Verfahren zum Reinigen von Hohlkörpern wie
Filter, Katalysatoren u. ä., unter Anwendung von Ultraschall beschrieben. Dabei
wird Reinigungsflüssigkeit in einem Pumpenkreislauf geführt und der zu
reinigende Hohlkörper mit seinem Gehäuse als die Reinigungsflüssigkeit leitender
Teil des Kreislaufsystems eingesetzt. Ein in den Hohlkörper hineinragender
Ultraschall-Schwinger sorgt für eine direkte Beschallung der in dem Hohlkörper
befindlichen und strömenden Reinigungsflüssigkeit.
In der US 3 421 939 und US 3 409 031 werden Vorrichtungen für die Reinigung
von Rohren mit Ultraschall beschrieben.
Die DE 35 34 898 A1 und DE 33 26 851 A1 beschreiben ein Ultraschall-
Reinigungsgerät mit einem Flüssigkeitsbad.
An die Reinheit von Gasflaschen, die für die Lagerung
und den Transport von Reinstgasen, Reaktionsgasen
und hochpräzisen Gasgemischen verwendet werden, werden
höchste Anforderungen an deren Innenoberfläche ge
stellt. So darf die Innenoberfläche einer solchen Gas
flasche weder mit Verunreinigungen, die auf Reaktions
produkte, zum Beispiel auf Korrosion oder Reaktion mit
dem Reaktivgas einer vorherigen Befüllung zurückzu
führen sind, noch mit adsorbierten Fremdgasmolekülen
oder gar mit Partikeln kontaminiert sein. Gasflaschen,
an deren Reinheit derart hohe Anforderungen gestellt
werden, werden daher vor ihrer Erstbefüllung aufwendi
gen Reinigungsmethoden unterzogen. So werden die
Innenoberflächen in einer Grundbehandlung je nach
Anforderungen und Werkstoffeigenschaft chemisch, elek
trochemisch oder mechanisch vorbehandelt. Beispielswei
se werden die Flaschen häufig elektropoliert, gebeizt
oder sandgestrahlt. Aus der DE 35 31 697 C2 ist ein
Verfahren zur Reinigung des Innenraumes von Gasflaschen
bekannt, bei dem der Innenraum der Gasflasche mit einem
mit hohem Druck beaufschlagten Wasserstrahl gereinigt
wird. Mit dem in der DE 35 31 697 C2 gezeigten Ver
fahren werden zwar sehr gute Ergebnisse erzielt, je
doch sind die Anforderungen an die Reinheit der Gase
und somit der Gasflascheninnenräume immer größer gewor
den; dies gilt beispielsweise für den Bereich der
Elektronikindustrie. Daher werden die Gasflaschen, die
nach Verbrauch ihrer Erstbefüllung wiederverwendet
werden, bei solch extremen Anforderungen erneut der
Grundbehandlung unterzogen, die auch vor der Erst
befüllung erfolgt.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein
Verfahren zu schaffen, mit dem
eine Verbesserung des Reinigungsergebnisses erzielt
wird und eine immerwiederkehrende häufige Grundbe
handlung der Innenoberfläche entfallen kann.
Ausgehend von dem in Oberbegriff des Anspruchs 1 be
rücksichtigten Stand der Techmik ist die Aufgabe
erfindungsgemäß gelöst mit den Merkmalen
des Anspruchs 1.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
ist es nunmehr gelungen, eine Reinigungsmethode
für den Innenraum von Gasflaschen zur Verfügung zu
stellen, die zu wesentlich besseren Reinigungsergebnis
sen gegenüber dem Stand der Technik führt und mit deren
Hilfe die Anzahl der Grundbehandlungen vor deren
Wiederbefüllung deutlich reduziert wird. Eine Behand
lung mit dem erfindungsgemäßen Verfahren vor der Erst
befüllung führt zusätzlich zu einer reineren Oberfläche
gegenüber der alleinigen Grundbehandlung. Zusätzlich
ist das erfindungsgemäße Verfahren reinraumtauglich.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind im Unteran
spruch angegeben.
Die Zeichnung zeigt eine Vorrichtung zur Durchführung
des erfindungsgemäßen Verfahrens in schematischer Form.
Es zeigt:
Fig. 1 eine für das Verfahren geeignete
Vorrichtung.
Fig. 2 eine für die Reinigung ausgerüstete
Gasflasche.
In Fig. 1 ist eine für die Durchführung des Verfahrens
geeignete Vorrichtung wiedergegeben. Die Gasflaschen 1
sind in Spannbacken 2 arretiert und befinden sich in
einem Gerüst 3, an dem Leitungen 4 zur Befüllung der
Gasflaschen 1 mit einer Flüssigkeit angebracht sind.
Die arretierten Gasflaschen 1 sind durch eine Dreh
achse 5 um 180° vertikal schwenkbar. Das Gerüst 3 trägt
über eine Schiene 6 eine Halterung 7 mit einer an ei
nem Hubmotor 8 befestigten Ultraschallquelle 9, die als
Reinigungselement dient. Der Hubmotor 8 ist horizontal
und vertikal verfahrbar. An dem Gerüst 3 ist eine wei
tere Halterung 10 mit einem Hubmotor 11 angebracht,
der eine Lanze 12 zum Eintrag eines Inertisierungsgases
in eine bereits gereinigte Gasflasche 13 in vertikaler
Richtung bewegen kann. Die Lanze 12 ist mit einem Heiz
körper 14 verbunden, der das Inertisierungsgas auf
heizt. Der Vorrichtung ist eine Flüssigkeitsaufberei
tungsanlage 15 zugeordnet, die nur schematisch darge
stellt ist.
Fig. 2 zeigt eine Gasflasche 1 mit einer stabförmigen
Ultraschallquelle 9, die über einen Schwinggenerator 16
angeregt wird, der durch ein Hochfrequenzkabel 17 mit
Energie versorgt wird.
Bei Betrieb werden nun die Gasflaschen 1 in dem Gerüst
3 mit Spannbacken 2 arretiert und durch die Leitung 4
mit der Flüssigkeit aufgefüllt. Vorzugsweise wird als
Flüssigkeit deionisiertes Wasser eingesetzt, welches
aus einer Flüssigkeitsaufbereitungsanlage 15 bezogen
wird. Die Flüssigkeitsaufbereitungsanlage 15 beinhaltet
eine Entsalzungsstufe, eine Umkehrosmose, einen Ionen
austauscher und einen Filter. Das so aufbereitete
Wasser hat den Vorteil, daß es zum einen höchste Rein
heit besitzt und zum anderen selber chemisch nicht
agressiv ist. Dem Wasser werden vorzugsweise Tenside
und insbesondere im Falle der Behandlung von Edel
stahlfaschen Komplexbildner zugegeben, die die reini
gende Wirkung des Ultraschalls unterstützen, indem sie
die in der wässrigen Phase befindlichen Verunreinigung
en dem Adsorptionsgleichgewicht an der Innenoberfläche
entziehen. Die Verunreinigungen der Innenoberfläche der
Gasflasche können je nach vorheriger Gasbefüllung, die
auch aus mehreren Komponenten bestehen kann, verschie
den sein. So kommen als Verunreinigungen Verbindungen
in Frage, die durch Adsorption, chemische Reaktion
(Korrosion) oder katalytische Wechselwirkung ent
standen sind. Auch Desorptionsprozesse können zur Ver
änderung der Innenoberfläche führen. Weiterhin kommen
als Verunreinigungen Beizrückstände oder Rückstände
von Waschlösungen aus der Grundbehandlung in Frage.
Daher kann in manchen Fällen eine Verwendung von Säuren
oder Basen als Flüssigkeit zu einem effektiveren Er
gebnis führen. Natürlich können auch andere Flüssigkei
ten, wie organische Lösungsmittel oder Flüssigkeiten,
mit reinigenden Zusätzen verwendet werden. Die Behand
lung mit Wasser ist jedoch am schonendsten für die zu
reinigende Oberfläche. Nach der Befüllung wird nun die
Ultraschallquelle 9 in die Gasflasche eingeführt und
der Innenraum 5 Minuten lang einer Beschallung unterzo
gen. Aufgrund der hohen, mechanischen Kräfteeinwirkung
und Energie des Ultraschalles werden selbst schwer zu
gängliche, komplizierte Mikrostrukturen in der Innen
oberfläche, wie Kavernen, Lunker oder freigelegte Ein
schlüsse, sehr effektiv gereinigt. Diese Reinigungs
leistung kann von anderen Verfahren nicht erbracht
werden, insbesondere auch deswegen nicht, weil der
Öffnungsquerschnitt der Gasflaschen sehr gering ist und
übliche Reinigungsverfahren nur geringe Reinigungs
leistungen an die Innenoberfläche bringen. Um eine
möglichst gleichförmige Beschallung zu bewirken ist die
Ultraschallquelle 9 vorzugsweise stabförmig ausgebil
det, so daß eine in Bezug auf die Rotationsachse der
Gasflasche radialsymmetrische Beschallung erfolgt. Es
ist aber natürlich auch eine Ausführungsform denkbar,
die von dieser Geometrie abweicht, wie beispielsweise
eine punktförmige Ultraschallquelle. Um weitere Konta
minationen des Innenraumes der Gasflasche 1 zu verhin
dern, ist die Ultraschallquelle 9 mit ihrer Anschluß
stelle für den Flaschenhals besonders gut angepaßt.
Nach der Beschallung einer Gasflasche 1 wird die Ultra
schallquelle 9 aus der Gasflasche entfernt und durch
die Schiene 6 und den Hubmotor 8 in die nächste Gas
flasche eingeführt. Im Anschluß an diese Beschallung
werden die Gasflaschen durch eine Drehung um die Dreh
achse 5 entleert und das Wasser der Flüssigkeitsaufbe
reitungsanlage 15 wieder zugeführt. In der Regel wird
man eine solche Behandlung zweimal durchführen.
Natürlich ist auch eine Vorrichtung denkbar, bei der
mehrere Ultraschallquellen 9 gleichzeitig in Betrieb
sind, so daß mehrere Flaschen in einer Charge gereinigt
werden können. Aus Kostengründen wird aber eine Aus
führungsform mit nur einer Ultraschallquelle 9 bevor
zugt. Die auf diese Weise gereinigten Gasflaschen 1
werden unter die Lanze 12 gebracht, mit der ein Reaktivgas als Inerti
sierungsgas zur Trocknung eingeblasen wird, welches
durch den Heizkörper 14 auf ca. 40 bis 250°C aufgeheizt
ist.
So ist insbesondere
bei Edelstahlflaschen ein Ozon-Stickstoff-Gemisch von
Vorteil, da hier eine für die Oberfläche passivierende
Wirkung eintritt. Das Gas übernimmt hierbei die Funk
tion eines Wärmeträgers, der zur Trocknung eingesetzt
wird und der in Verbindung mit seiner chemischen Reak
tivität die Oberfläche des Gasflascheninnenraumes
zusätzlich beeinflußt. Natürlich können auch andere Reaktiv
gase eingesetzt werden. Nachdem
die Trocknung durchgeführt ist kann die Gasflasche 1
mit den üblichen Reinstgas- oder Reaktivgasarmaturen
verschlossen werden.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es möglich,
Gasflaschen aus Aluminium, Edelstahl, oder vergütetem
Kohlenstoffstahl, deren Innenoberflächen auch beschich
tet sein können, zu reinigen, ohne die aus der werk
stoffspezifischen Oberflächenbehandlung resultierende
Innenoberfläche zu zerstören.
Dünnwandige Flaschen aus Metallen wie Nickel, die zur
mechanischen Stabilisierung mit Werkstoffen wie GFK,
Composit oder Kohlefaser umhüllt sind, werden bei der
Behandlung mit Ultraschall mechanisch nicht beeinträch
tigt, wie es beispielsweise beim Sandstrahlverfahren
der Fall ist. Die Dauer der Behandlung hängt von der
Art der Verunreinigung und des Flaschenmaterials ab.
Auf eine erneute Grundbehandlung der Innenoberfläche
der Gasflaschen 1 vor der Nachbefüllung kann weitest
gehend verzichtet werden. Natürlich können mit dem
erfindungsgemäßen Verfahren auch andere Behälter
gereinigt werden.
Claims (2)
1. Verfahren zur Innenreinigung von Gasflaschen (1) aus Aluminium, Edelstahl oder beispielsweise vergütetem Kohlenstoffstahl, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Flüssigkeit und eine Ultraschallquelle (9) in die Gasflasche (1) eingebracht
werden, das Innere der Gasflasche (1) einer Behandlung mit Ultraschall unterzogen
wird, so daß die Innenoberfläche auch von Korrosionsprodukten gereinigt wird, danach die
Gasflasche (1) geleert und mit einem auf 40 bis 250°C aufgeheizten Reaktivgas wie ein Ozon-Stickstoff-Gasgemisch
getrocknet wird, das in die Gasflasche (1) eingeblasen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Flüssigkeit Wasser
eingesetzt wird und der Flüssigkeit eine Säure, eine Base, ein Tensid oder ein
Komplexbildner zugesetzt wird.
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ID=6532311
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030015223A1 (en) * | 2001-07-17 | 2003-01-23 | American Air Liquide, Inc. | Methods of cleaning containers using ozone compositions |
GB0218417D0 (en) * | 2002-08-08 | 2002-09-18 | Seagate Technology Llc | Combined atomic layer deposition and damascene processing for definition of narrow trenches |
CN102076435B (zh) * | 2008-05-08 | 2015-07-22 | 卡维特斯私人有限公司 | 用于超声波清洗的方法和装置 |
DE102022201307A1 (de) | 2022-02-08 | 2023-01-05 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Lokale ultraschallgestützte reinigung von komplexen geometrien |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE733470C (de) * | 1939-07-05 | 1943-03-26 | Walter Heimberger Dr Ing | Verfahren zum Reinigen von Metalloberflaechen |
US3409031A (en) * | 1966-11-18 | 1968-11-05 | Fletcher A. Benbow | Sonic cleaning apparatus for pipes |
US3421939A (en) * | 1965-12-27 | 1969-01-14 | Branson Instr | Method and apparatus for cleaning a pipe with sonic energy |
DE2120251A1 (de) * | 1971-04-26 | 1972-11-09 | H. Strunck + Co Maschinenfabrik, 5000 Köln-Ehrenfeld | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von hohlen Objekten |
DE3326851A1 (de) * | 1981-08-07 | 1985-02-14 | Edward A. Cresskill N.J. Pedziwiatr | Ultraschall-reinigungsgeraet |
DE3534898A1 (de) * | 1985-09-30 | 1987-04-09 | Duerr Dental Gmbh Co Kg | Ultraschallreinigungsgeraet |
DE3531697C2 (de) * | 1985-09-05 | 1989-01-26 | Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt, De | |
DE3810137A1 (de) * | 1988-03-25 | 1989-10-05 | Iss Gradewald Ind Schiffs Serv | Verfahren zum reinigen von hohlkoerpern und einrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
DE4129927A1 (de) * | 1991-09-10 | 1993-03-18 | Peter Maschek | Verfahren und vorrichtung zur beseitigung von ablagerungen, vorzugsweise metalloxid- (z.b. rost) oder kalkablagerungen in einem rohrleitungssystem sowie verwendung von ultraschall zur reinigung eines installierten rohrleitungssystems |
-
1994
- 1994-11-03 DE DE19944439142 patent/DE4439142C2/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE733470C (de) * | 1939-07-05 | 1943-03-26 | Walter Heimberger Dr Ing | Verfahren zum Reinigen von Metalloberflaechen |
US3421939A (en) * | 1965-12-27 | 1969-01-14 | Branson Instr | Method and apparatus for cleaning a pipe with sonic energy |
US3409031A (en) * | 1966-11-18 | 1968-11-05 | Fletcher A. Benbow | Sonic cleaning apparatus for pipes |
DE2120251A1 (de) * | 1971-04-26 | 1972-11-09 | H. Strunck + Co Maschinenfabrik, 5000 Köln-Ehrenfeld | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von hohlen Objekten |
DE3326851A1 (de) * | 1981-08-07 | 1985-02-14 | Edward A. Cresskill N.J. Pedziwiatr | Ultraschall-reinigungsgeraet |
DE3531697C2 (de) * | 1985-09-05 | 1989-01-26 | Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt, De | |
DE3534898A1 (de) * | 1985-09-30 | 1987-04-09 | Duerr Dental Gmbh Co Kg | Ultraschallreinigungsgeraet |
DE3810137A1 (de) * | 1988-03-25 | 1989-10-05 | Iss Gradewald Ind Schiffs Serv | Verfahren zum reinigen von hohlkoerpern und einrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
DE4129927A1 (de) * | 1991-09-10 | 1993-03-18 | Peter Maschek | Verfahren und vorrichtung zur beseitigung von ablagerungen, vorzugsweise metalloxid- (z.b. rost) oder kalkablagerungen in einem rohrleitungssystem sowie verwendung von ultraschall zur reinigung eines installierten rohrleitungssystems |
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Publication number | Publication date |
---|---|
DE4439142A1 (de) | 1996-05-09 |
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