DE4408671A1

DE4408671A1 - Dreiwegeventil, insbesondere Überlaufventil

Info

Publication number: DE4408671A1
Application number: DE4408671A
Authority: DE
Inventors: Kenzie Jeffrey J Mc
Original assignee: Fluoroware Inc
Current assignee: Fluoroware Inc
Priority date: 1993-03-10
Filing date: 1994-03-10
Publication date: 1994-09-15
Also published as: GB2275988B; FR2702535B1; GB2275988A; GB9404543D0; JPH074540A; ITTO940163A0; IT1268049B1; US5335696A; BE1008217A6; JP2796056B2; FR2702535A1; ITTO940163A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Dreiwegeventil nach dem Oberbe griff des Anspruches 1 bzw. ein Überlaufventil nach dem Oberbegriff des Anspruches 13.

Ein Überlaufventil ist ein Ventil mit einer nachgiebigen Membran, die mit einem Überlauf im Eingriff steht und verhindert, daß die Strömung über den Überlauf strömt. Überlaufventile weisen ausgezeichnete Dicht- und Isolations charakteristiken auf, um das zu steuernde Strömungsmittel wirksam zurückzuhalten und im wesentlichen eine Leckage oder ein Austreten des gesteuerten Strömungsmittels in den Ventilmechanismus oder aus dem Ventil heraus zu verhindern. Überlaufventile sind außerdem besser einsetzbar als herkömm liche Ventile in entsprechend gestalteten stromlinienförmi gen Strömungsmittelverläufen durch die Ventile.

In vielen Anwendungsfällen, insbesondere in der Halbleiter industrie, müssen ruhende Abschnitte oder Totstellen in dem Strömungsmittelverlauf vermieden werden, da diese zu einem Stillstand oder zu einem Absetzen von Bestandteilen oder gelösten Anteilen führen, die sich in den ruhigen oder toten Abschnitten ansammeln. Dieses kann zu beträchtlichen Problemen bei der Qualitätssteuerung führen.

Bei einigen Anwendungsfällen in der Halbleiterindustrie ist es notwendig, die Strömungsmittelströmung für einen bestimm ten Prozeß plötzlich zu verändern. Zusätzlich wird gefor dert, eine bestimmte Strömungsmittelströmung zwischen verschiedenen Verfahren und Ausrüstungen zu verändern bzw. zu wechseln. Diese Art der Strömungsmittelumschaltung kann mit zwei Zweiwegeventilen und einer äußeren T-Verbindung durchgeführt werden. Wenn jedoch zwei Ventile verwendet werden, treten die genannten Probleme der Strömungsmittelab setzung oder der Ausbildung von Absetzungen vermehrt auf.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Ventil der eingangs genannten Art, insbesondere ein Überlaufven til, das als Dreiwegeventil ausgebildet ist, zu schaffen, das die Vorteile eines Überlaufventiles aufweist, insbeson dere minimale Toträume oder beruhigte Bereiche innerhalb des Ventiles, gleichmäßige Strömungsmittelcharakteristiken und überragende Isolations- und Dichtcharakteristiken.

Diese Aufgabe wird grundsätzlich durch die Kennzeichen der Ansprüche 1 und 13 gelöst.

Die Erfindung schafft also ein Dreiwegeventil, dessen Gehäuse einen gemeinsamen Strömungsmittelkanal und zwei Strömungsmittelkanäle aufweist, die sämtlich mit äußeren Strömungsmittelleitungen verbindbar sind. Ein Überlauf mit zwei Ventilsitzen an einander gegenüberliegenden Seiten trennt den gemeinsamen Strömungsmittelkanal von den zwei Strömungsmittelkanälen. Zwei koaxiale Membranen sind so angeordnet, daß sie mit den Ventilsitzen in Eingriff gelan gen. Der gemeinsame Strömungsmittelkanal steht mit dem ersten Strömungsmittelkanal über eines der Überlaufventil sitze und mit dem zweiten Strömungsmittelkanal über den anderen Überlaufventilsitz in Verbindung. Die beiden Membra nen werden durch Kompressoren betätigt, die mit in pneuma tischen Zylindern angeordneten Kolben verbunden sind. Eine Luftleitung verbindet die beiden pneumatischen Zylinder. Eine Membran und ein Kompressor werden in Richtung auf den Eingriff mit einem Überlaufventilsitz vorgespannt, mit dem Ergebnis, daß sie sich normalerweise in Schließstellung befinden. Die andere Membran wird von dem Eingriff mit dem anderen Überlaufventilsitz weg vorgespannt, mit dem Ergeb nis, daß sie sich normalerweise in Offenstellung befindet. Die Betätigung der pneumatischen Zylinder bewegt jede Membran in eine Richtung entgegengesetzt zu der entsprechen den Membranvorspannung. Wenn Strömungsmittel zu dem Ventil in den gemeinsamen Strömungsmittelkanal und dann zu den Strömungsmittelkanälen strömt, überträgt die Betätigung der pneumatischen Zylinder das Strömungsmittel von einem Strö mungsmittelkanal auf den anderen.

Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, daß der Raum, der für das Dreiwegeventil erforderlich ist, beträchtlich im Vergleich mit zwei Zweiwege-Überlaufventilen zur Erzielung des gleichen Ventileffektes reduziert wird. Zusätzlich wird der Einsatz einer äußeren T-Verbindung, die bei Einsatz von zwei Zweiwegeventilen erforderlich ist, vermieden. Das Dreiwegeventil vermindert die Nebeninstallationen außerhalb des Ventiles und führt dementsprechend zu einer Herabset zung von toten Abschnitten oder beruhigten Bereichen des strömenden Strömungsmittels in den außenliegenden Installa tionen.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß die Strömungsmit telcharakteristiken der beiden Strömungsmittelkanäle über einstimmen.

Ein vorteilhaftes Merkmal der Erfindung besteht darin, daß eine einzige Druckübertragung beide Membranen gleichzeitig und in entgegengesetzter Weise betätigt, d. h. wenn eine geöffnet wird, wird die andere geschlossen. Ein weiteres Merkmal und ein entsprechender Vorteil der Erfindung ist darin zu sehen, daß die drei Strömungsmittelkanäle, da sie außerhalb des Ventilgehäuses liegen, sich alle in einer Ebene befinden und so den Einbau erleichtern. Ein weiteres Merkmal der Erfindung besteht darin, daß der gemeinsame Strömungskanal als gemeinsamer Einlaß oder als gemeinsamer Auslaß verwendet werden kann. Ein anderer Vorteil ist darin zu sehen, daß es die Gestaltung des Ventiles erlaubt, das Gerät vollständig durch Spritzgießen mit minimalen oder ganz ohne zusätzliche Bearbeitung nach dem Spritzgießen herzustellen.

Im folgenden wird die Erfindung unter Hinweis auf die Zeichnung anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläu tert.

Es zeigt

Fig. 1 einen Schnitt durch eine Ausführungsform eines Dreiwegeventiles nach der Erfindung;

Fig. 2 einen Schnitt gemäß der Linie 2-2 der Fig. 1;

Fig. 3 einen Schnitt gemäß der Linie 3-3 der Fig. 2; und

Fig. 4 einen Schnitt gemäß der Linie 4-4 der Fig. 2.

Fig. 1 zeigt ein Dreiwege-Überlaufventil 10 im Querschnitt. Das Ventil 10 besteht aus einem oberen Gehäuseabschnitt und einem unteren Gehäuseabschnitt 13. Zwischen diesen Abschnit ten befindet sich eine Innenkammer 14. In der Innenkammer 14 ist ein Überlauf 22 und eine Teilungsplatte 42 vorgesehen. Der Überlauf 22 ist mit einer ersten Kante 28 veran schaulicht, die einen ersten Ventilsitz bildet, und mit einer zweiten Kante 28, die einen zweiten Ventilsitz 30 bildet. Ein gemeinsamer Strömungsmittelkanal 16 führt in das Ventilgehäuse 12 zu dem Überlauf 22. Der erste Strö mungsmittelkanal 18 und der zweite Strömungsmittelkanal 20 sind in der Innenkammer 14 dem gemeinsamen Strömungsmittel kanal 16 relativ zu dem Überlauf 22 gegenüberliegend darge stellt. Die Teilungsplatte 42 trennt den ersten Strömungs mittelkanal 18 von dem zweiten Strömungsmittelkanal 20. Die obere Oberfläche 87 der Teilungsplatte 42 ist unterhalb der ersten Membran 34 dargestellt.

Die erste Membran 34 steht in Schließstellung mit dem ersten Ventilsitz 26 des Überlaufs 22 im Eingriff. Die erste Membran 34 ist mit dem ersten Kompressor 38 über ein Membranverbindungsteil 44 verbunden.

Der obere Gehäuseabschnitt 11 nimmt den ersten Kompressor 38 auf, der mit dem ersten Kompressorschaft 50 und weiter hin mit dem ersten Kolben 55 verbunden ist. Ein Vorspann mittel, bestehend aus Federn 62, 64 drückt den ersten Kompressor 38 und die erste Membran 34 in Richtung auf den ersten Ventilsitz 26 des Überlaufs 22. Die erste Membran 34 wird durch einen Membranhaltering 72 gehalten. Weiterhin ist in dem oberen Gehäuseabschnitt 11 ein erster Zylinder 54 enthalten, in dem der erste Kolben 55 liegt und durch eine Dichtung 68 abgedichtet ist. Die erste Expansionskam mer 58 ist zwischen dem ersten Kolben 55 und dem Membran haltering 72 ausgebildet. Die erste Expansionskammer 58 steht über ein Lufteinlaßventil 80 mit einem Rohrverbinder 78 in Verbindung, der die Luftleitung 76 mit dem oberen Gehäuseabschnitt 11 verbindet.

Der untere Gehäuseabschnitt weist eine etwas andere Gestalt bezüglich der Vorspann- und Betätigungsmittel auf. Die zweite Membran 36 ist von dem zweiten Ventilsitz 30 des Überlaufs 22 entferntliegend dargestellt. Ein Haltering 74 hält die zweite Membran 36. Die zweite Membran 36 ist mit dem zweiten Kompressor 40 über ein Membranhalteteil 46 verbunden. Der zweite Kompressor 40 ist an dem zweiten Kompressorschaft 52 durch eine Gewindeverbindung oder ein anderes geeignetes Mittel angebracht. Der Kompressorschaft 52 ist mit dem zweiten Kolben 57 verbunden, der in dem zweiten Zylinder 56 hin- und herbewegbar ist und mit diesem über eine Dichtung 70 im Eingriff steht. Ein Vorspannmittel besteht aus einer Feder 66, die den zweiten Kolben 57 und damit den Kompressorschaft 52, den zweiten Kompressor 40 und die zweite Membran 36 nach unten in Richtung auf den Überlauf 22 drückt. Eine zweite Expansionskammer 60 ist zwischen dem Ventilgehäuse 12 und dem zweiten Kolben 57 angeordnet. Die zweite Expansionskammer 60 ist mit der Luftleitung 76 durch den Lufteinlaß 71 und den Rohrverbin der 79 verbunden. In Fig. 2 ist der gemeinsame Strömungska nal 16 rechtwinklig zu dem ersten Strömungskanal 18 und dem zweiten Strömungskanal 20 angeordnet. Der erste Strömungska nal 18 ist von dem zweiten Strömungskanal 20 durch die Teilungsplatte 42 getrennt, die einstückig mit der zweiten Fläche 29 des Überlaufs 22 ausgebildet ist. Der Überlauf 22 weist zwei Endabschnitte 23 auf. In Fig. 2 ist die untere Oberfläche 88 der Teilungsplatte 42 sichtbar. Der gemeinsa me Strömungskanal 16 ist von dem ersten und dem zweiten Strömungskanal 18, 20 durch den Überlauf 22 getrennt. Die erste Fläche 25 des Überlaufs 22 liegt dem gemeinsamen Strö mungskanal 16 gegenüber. Die zweite Fläche 29 befindet sich an der gegenüberliegenden Seite des Überlaufs 22. Die zweite Fläche 29 begrenzt den ersten und den zweiten Strö mungskanal 18 und 20.

In Fig. 3 ist die erste Membran 34 im Eingriff mit dem Überlauf 22 dargestellt. Die zweite Membran 36 befindet sich außerhalb des Eingriffs mit dem zweiten Ventilsitz 30 des Überlaufs 22, der dem gemeinsamen Strömungskanal 16 unmittelbar unter dem Überlauf gegebüberliegt. Die Tei lungsplatte 42 verläuft diagonal quer über den Überlauf von dem ersten Ventilsitz 26 und an einem Überlaufendabschnitt 23 nach unten zu dem zweiten Ventilsitz 30 und dem anderen Endabschnitt 23. Die Teilungsplatte 42 trennt den ersten Strömungskanal 18 von dem zweiten Strömungskanal 20.

Der in Fig. 4 dargestellte Schnitt entsprechend der Linie 4-4 geht durch die Mitte des Überlaufs 22, der im Eingriff mit der ersten Membran 34 dargestellt ist. Da diese Darstel lung von der entgegengesetzten Richtung derjenigen der Fig. 3 erfolgt, verläuft die Teilungsplatte 42 diagonal in einem entgegengesetzten Winkel zu demjenigen der Fig. 3, und die zweite Strömungsmittelleitung 86 ist auf der rechten Seite und die erste Strömungsmittelleitung 84 ist auf der linken Seite dargestellt.

Das Ventil arbeitet unter Hinweis auf die Fig. 1 wie folgt: Es wird angenommen, daß Strömungsmittel in das Ventil 10 durch den gemeinsamen Strömungsmittelkanal 16 eintritt und dann zu dem ersten und dem zweiten Strömungsmittelkanal 18, 20 strömt. Es ist aber zu bemerken, daß das Ventil 10 auch derart eingesetzt werden kann, daß das Strömungsmittel in das Ventil durch den ersten und den zweiten Strömungsmit telkanal 18, 20 ein- und aus dem Ventil durch den gemeinsa men Strömungsmittelkanal 16 austritt. Das in Fig. 1 darge stellte Ventil 10 befindet sich im nichtbetätigten Zustand, in dem die erste Membran 34 und der erste Kompressor 38 mit dem ersten Ventilsitz 26 im Eingriff stehen und so eine Strömung in dem ersten Strömungskanal verhindern. Die Strömung wird über den Überlauf zwischen dem zweiten Ventil sitz 30 und der zweiten Membran 36 in den zweiten Strömungs mittelkanal 20 geleitet. Bezugnehmend auf Fig. 3 wird die Strömung dann in den Abschnitt 21 des zweiten Strömungsmit telkanals 20 zu dem Ausgang des Ventiles 10 geleitet.

Das Ventil ist, wie gesagt, im nichtbetätigten Zustand dargestellt, d. h. die erste Membran 34 steht mit dem ersten Ventilsitz 26 im Eingriff, befindet sich also in Schließ stellung auf dem Ventilsitz 26 durch Wirkung des Vorspann mittels, gebildet durch die Federn 62, 64, die gegen den ersten Kolben 55 wirken, der mit dem ersten Kompressor schaft 55, dem ersten Kompressor 38 und der ersten Membran 34 verbunden ist. Die zweite Membran 36 steht nicht mit dem zweiten Ventilsitz 30 im Eingriff, wobei diese Stellung durch das Vorspannmittel, gebildet durch die Feder 66, aufrechterhalten wird, die den zweiten Kolben 57, den zweiten Kompressorschaft 52, den zweiten Kompressor 40 und die zweite Membran 36 von dem zweiten Ventilsitz 30 weg drückt.

Wiederum bezugnehmend auf die Fig. 1, erfolgt die Betäti gung des Ventiles 10 durch Druckbeaufschlagung der Luftlei tungen 76, die sich durch die Rohrverbinder 78 und 79 und die Lufteinlässe 80 und 81 fortsetzt. Die Druckbeaufschla gung der ersten Expansionskammer 58 drückt den ersten Kolben 55 in den Zylinder 54 unter Überwindung der Vorspan nung der Federn 62 und 64 nach oben. Die nach oben gerichte te Bewegung des Kolbens 55 zieht den ersten Kompressor schaft 50, den ersten Kompressor 38 und die erste Membran 34 von dem ersten Ventilsitz 26 des Überlaufs 22 ab. Das Dreiwegeventil 10 erlaubt nach dieser Betätigung, daß das Strömungsmittel zwischen dem ersten Ventilsitz 26 und der ersten Membran 34 hindurch in den ersten Strömungskanal 18 nach unten zu der oberen Oberfläche 87 der Teilungsplatte 42 und aus dem Abschnitt 19 des ersten Strömungskanales 18 aus dem Ventil 10 herausströmt.

Gleichzeitig mit der Druckbeaufschlagung und Ausdehnung der ersten Expansionskammer 58 wird die zweite Expansionskammer 60 in dem unteren Gehäuseabschnitt 13 druckbeaufschlagt, so daß auch hier eine Ausdehnung erfolgt. Hierdurch bedingt, wird der zweite Kolben 57, der mit dem zweiten Zylinder 56 durch die Dichtung 70 im Eingriff steht, unter Überwindung der Feder 66 nach oben gedrückt. Da der zweite Kolben 57 sich nach oben bewegt und entsprechend der mit diesem verbundene zweite Kompressorschaft 52, der zweite Kompres sor 40 und die zweite Membran 36 ebenfalls bewegt werden, und zwar dadurch in Schließstellung, daß die zweite Membran 36 mit dem zweiten Ventilsitz 30 des Überlaufs 22 in Ein griff gelangt. Hierdurch bedingt, wird die Strömung zwi schen dem Überlauf 22 und er zweiten Membran 36 unterbro chen.

In der dargestellten Ausführungsform arbeitet das Ventil 10 so, daß beim Öffnen der einen Membran die andere Membran in Schließstellung bewegt wird. Das Dreiwege-Überlaufventil 10 kann auch so ausgebildet und gesteuert sein, daß die Mem branen derart betätigt werden, daß diese gleichzeitig oder unabhängig öffnen und schließen. Andere Betätigungsmittel zum Eingriff und Nichteingriff der Membranen sind bekannt. Zu diesen gehören hydraulische Mittel, von Hand betätigte oder elektromechanische Mittel.

Das Ventilgehäuse 12 kann aus unterschiedlichen Materialien hergestellt sein, zu denen ohne Beschränkung Perfluoral koxyharz (PFA), Polyvinylfluorid (PVDF), Polyvinylchlorid (PVC), Polypropylen (PP), oder Edelstahl gehören. Die Membran 30 kann aus Viton oder einem gummiähnlichen Fluor elastomer hergestellt sein und eine untere Oberfläche aus einem anderen Material aufweisen, die dann in Berührung mit dem Strömungsmittel gelangt, wobei es sich um Polytetra fluorethylen (PTFE) handeln kann.

Es sei noch bemerkt, daß die einfache Gestaltung des Venti les es ermöglicht, dieses durch Spritzgießen herzustellen, wobei nur geringe oder gar keine weiteren Bearbeitungen erforderlich sind.

Claims

1. Dreiwege-Überlaufventil zur Verwendung mit außenliegenden Strömungsleitungen, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
a. ein Ventilgehäuse (11, 13) mit einer offenen Innenkam mer (14);
b. die offene Innenkammer ist mit einem gemeinsamen Strömungskanal (16), einem ersten Strömungskanal (18) und einem zweiten Strömungskanal (20) verbunden, von denen wiederum jeder mit einer von außen kommenden Strömungslei tung verbindbar ist;
c. ein Überlauf (22), der quer über die Innenkammer (14) verläuft und den gemeinsamen Strömungskanal (16) von dem ersten Strömungskanal (18) und von dem zweiten Strö mungskanal (20) trennt, wobei der Überlauf erste Kanten (28) und einander gegenüberliegende zweite Kanten (28) aufweist, die einen ersten Ventilsitz (26) bzw. einen zweiten Ventilsitz (30) bilden;
d. eine Teilungsplatte (42), die quer über die offene Innenkammer (14) zwischen dem ersten und dem zweiten Strö mungskanal (18, 20) verläuft;
e. eine erste Membran (34), die dem ersten Ventilsitz (26) gegenüberliegt und in dem Gehäuse in und aus einer Schließstellung mit dem Ventilsitz bewegbar ist, wobei Betätigungsmittel für die Membran vorgesehen sind;
f. eine zweite Membran (36), die dem zweiten Ventilsitz (30) gegenüberliegt und in und aus einer Schließstellung mit dem Ventilsitz bewegbar ist, wobei Betätigungsmittel für die Membran vorgesehen sind; und
g. der gemeinsame Strömungskanal (16) steht mit dem ersten Strömungskanal (18) zwischen dem ersten Ventilsitz (26) und der ersten Membran (34) und mit dem zweiten Strö mungskanal (20) zwischen dem zweiten Ventilsitz (30) und der zweiten Membran (36) in Verbindung, wodurch bei Bewe gung der ersten Membran in Schließstellung mit dem ersten Ventilsitz die Verbindung zwischen dem gemeinsamen Strö mungskanal und dem ersten Strömungskanal unterbrochen wird, und bei Bewegung der zweiten Membran in Schließstellung mit dem zweiten Ventilsitz die Verbindung mit dem gemeinsamen Strömungskanal und dem zweiten Strömungskanal unterbrochen wird.

2. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß der Überlauf (22) einander gegenüberliegende Flächen aufweist,
daß der gemeinsame Strömungskanal (16) an die eine Fläche des Überlaufs angrenzt,
daß der erste und zweite Strömungskanal (18, 20) an die andere Fläche des Überlaufs angrenzt,
daß der erste und der zweite Überlauf langgestreckt ausge bildet sind, und Verbindungsabschnitte (19, 21) aufweisen, und
daß die Verbindungsabschnitte (19, 21) des ersten und des zweiten Strömungsmittelkanals im wesentlichen miteinander ausgerichtet sind.

3. Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich net, daß der Überlauf (22) einander gegenüberliegende Endabschnitte (23) angrenzend an den ersten und zweiten Strömungskanal (18, 20) aufweist,
daß der erste und der zweite Ventilsitz (26,30) langge streckt ausgebildet ist und im wesentlichen zu beiden Endabschnitten des Überlaufs verläuft, und
daß die erste und zweite Membran (34,36) im wesentlichen die langgestreckten Ventilsitze zwischen den beiden Endab schnitten des Überlaufs überspannt.

4. Ventil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeich net, daß die Teilungsplatte (42) im wesentlichen diagonal von dem einen Endabschnitt (23) des Überlaufs (22) und dem ersten Ventilsitz (26) zu dem anderen Endabschnitt (23) des Überlaufs (22) und dem zweiten Ventilsitz (30) verläuft.

5. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß die Betätigungsmittel für die erste Membran (34) aus einem ersten Kompressor (38) bestehen, der mit der dem ersten Ventilsitz gegenüberliegenden ersten Membran im Eingriff steht und in Richtung auf den ersten Ventilsitz und von diesem weg bewegbar ist, und
daß die Betätigungsmittel für die zweite Membran (36) aus einem zweiten Kompressor (40) bestehen, der mit der dem zweiten Ventilsitz gegenüberliegenden zweiten Membran in Eingriff steht, und in Richtung auf den zweiten Ventilsitz und von diesem wegbewegbar ist, wobei die Bewegung der Kompressoren in Richtung auf die Ventilsitze und von diesen weg zu einer Bewegung der entsprechenden Membranen in und aus der Schließstellung mit dem entsprechenden Ventilsitz führt.

6. Ventil nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich net, daß das erste Betätigungsmittel für die erste Membran (34) aus einem Vorspannmittel, das den ersten Kompressor (38) und die erste Membran (34) in Richtung auf eine Nicht betätigungsstellung drückt und einem Mittel besteht, das den ersten Kompressor und die erste Membran aus der Nichtbe tätigungsstellung in eine Betätigungsstellung drückt, und
daß das Betätigungsmittel für die zweite Membran (36) weiterhin aus einem Vorspannmittel, das den zweiten Kompres sor (40) und die zweite Membran (36) in Richtung auf eine Nichtbetätigungsstellung drücken, und aus einem Mittel bestehen, das den zweiten Kompressor und die zweite Membran aus der Nichtbetätigungsstellung in eine Betätigungsstel lung drücken.

7. Ventil nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich net, daß die erste Membran (34) in der Schließstellung mit dem ersten Ventilsitz (26) die Betätigungsstellung für die erste Membran definiert, und daß die zweite Membran (36) in der Schließstellung mit dem zweiten Ventilsitz (30) die Nichtbetätigungsstellung für die zweite Membran definiert, wobei die Betätigungsmittel für die erste Membran mit den Betätigungsmitteln für die zweite Membran verbunden sind, wodurch die Betätigung der Betätigungsmittel die erste Membran aus der Schließstellung und die zweite Membran in die Schließstellung bewegen.

8. Ventil nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich net, daß der gemeinsame Strömungskanal (16), der erste Strömungskanal (18) und der zweite Strömungskanal (19) je einen Verbindungs- oder Anschlußabschnitt (19, 21) aufwei sen, wobei die Anschlußabschnitte (19, 21) für den ersten und den zweiten Strömungskanal (18, 20) koaxial zueinander liegen und der Verbindungsabschnitt des gemeinsamen Strö mungskanals rechtwinklig zu dem ersten und dem zweiten Strömungskanal angeordnet ist.

9. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß die Betätigungsmittel für die erste Membran (34) aus einem einstückig mit dem Kompressor (38) ausgebildeten ersten Kompressorschaft (50), einem ersten Zylinder (54) innerhalb des Ventilgehäuses und einem ersten Kolben (55) bestehen, der mit dem Kompressorschaft verbunden und in dem ersten Zylinder hin- und herbewegbar ist, sowie mit dem ersten Zylinder eine erste ausdehnbare Kammer (58) bildet,
daß die Betätigungsmittel für die erste Membran (34) Mittel zur Druckbeaufschlagung der ersten ausdehnbaren Kammer (58) aufweisen,
daß die Betätigungsmittel für die zweite Membran (38) einen zweiten, mit dem Kompressor einstückig ausgebildeten zwei ten Kompressorschaft (55), einen zweiten Zylinder (56) innerhalb des Ventilgehäuses, einen zweiten Kolben (57) aufweisen, der mit dem Kompressorschaft verbunden und in dem zweiten Zylinder hin- und herbewegbar ist, sowie mit dem zweiten Zylinder eine ausdehnbare Kammer (60) bildet, und
daß die Betätigungsmittel für die zweite Membran (36) aus Mitteln zur Druckbeaufschlagung der zweiten ausdehnbaren Kammer bestehen.

10. Ventil nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich net, daß die Betätigungsstellung für die erste Membran (34) durch die Schließstellung mit dem ersten Ventilsitz (26) definiert ist, und
daß die Nichtbetätigungsstellung der zweiten Membran (38) durch die zweite Membran in der Schließstellung mit dem zweiten Ventilsitz (30) definiert ist, in der die erste ausdehnbare Kammer (58) mit der zweiten ausdehnbaren Kammer (60) verbunden ist, wobei die Druckbeaufschlagung der ausdehnbaren Kammern die erste Membran aus der Schließstel lung heraus und die zweite Membran in die Schließstellung bewegt.

11. Ventil nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich net, daß die Mittel zur Druckbeaufschlagung der ausdehnba ren Kammern (58, 60) pneumatisch sind.

12. Ventil nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich net, daß die Mittel zur Druckbeaufschlagung der ausdehnba ren Kammern (58, 60) hydraulisch sind.

13. Überlaufventil zur Verwendung mit außenliegen den Strömungsleitungen, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
a. ein Ventilgehäuse (11, 13) mit einer offenen Innenkam mer (14);
b. die offene Innenkammer ist mit einem gemeinsamen Strömungskanal (16), einem ersten Strömungskanal (18) und einem zweiten Strömungskanal (20) verbunden, von denen wiederum jeder mit einer von außen kommenden Strömungslei tung verbindbar ist;
c. ein Überlauf (22), der quer über die offene Innenkam mer verläuft und erste und zweite Kanten (28) aufweist, die erste und zweite Ventilsitze (26, 30) bilden, und eine Fläche aufweisen, die an den gemeinsamen Strömungskanal (16) anschließt.
d. eine erste Membran (34), die dem ersten Ventilsitz (26) gegenüberliegt und in dem Gehäuse in und aus einer Schließstellung mit dem Ventilsitz bewegbar ist, wobei Betätigungsmittel für die Membran vorgesehen sind;
e. eine zweite Membran (36), die dem zweiten Ventilsitz (30) gegenüberliegt und in und aus einer Schließstellung mit dem Ventilsitz bewegbar ist, wobei Betätigungsmittel für die Membran vorgesehen sind; und
f. der gemeinsame Strömungskanal (16) steht mit dem ersten Strömungskanal (18) zwischen dem ersten Ventilsitz (26) und der ersten Membran (34) und mit dem zweiten Strö mungskanal (20) zwischen dem zweiten Ventilsitz (30) und der zweiten Membran (36) in Verbindung, wodurch bei Bewe gung der ersten Membran in Schließstellung mit dem ersten Ventilsitz die Verbindung zwischen dem gemeinsamen Strö mungskanal und dem ersten Strömungskanal unterbrochen wird, und bei Bewegung der zweiten Membran in Schließstellung mit dem zweiten Ventilsitz die Verbindung mit dem gemeinsamen Strömungskanal und dem zweiten Strömungskanal unterbrochen wird.

14. Ventil nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich net, daß der erste Ventilsitz (26) und der zweite Ventil sitz (30) einander gegenüberliegen.

15. Ventil nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich net, daß der Überlauf (22) eine zweite Fläche aufweist, die der ersten Fläche gegenüberliegt und an den ersten und zweiten Strömungskanal (18, 20) anschließt.

16. Ventil nach Anspruch 15, dadurch gekennzeich net, daß eine Teilungsplatte (42) über die offene Innenkam mer (14) zwischen dem Überlauf (22) und dem Ventilgehäuse verläuft und sich quer über die zweite Fläche des Überlaufs erstreckt und den ersten Strömungskanal (18) von dem zwei ten Strömungskanal (20) trennt.

17. Ventil nach Anspruch 16, dadurch gekennzeich net, daß der Überlauf (22) zwei einander gegenüberliegende Endabschnitte (23) aufweist, und daß die Teilungsplatte (42) diagonal über die zweite Fläche des Überlaufs (22) von dem ersten Ventilsitz (26) und dem einen Endabschnitt zu dem zweiten Ventilsitz (30) und dem anderen Endabschnitt verläuft.

18. Ventil nach Anspruch 17, dadurch gekennzeich net, daß der gemeinsame Strömungskanal (16), der erste Strömungskanal (18) und der zweite Strömungskanal (20) jeweils Verbindungs- oder Anschlußabschnitte (19, 21) aufwei sen, daß die Anschlußabschnitte (19, 21) des ersten und des zweiten Strömungskanals koaxial zueinander und der Verbin dungs- oder Anschlußabschnitt des gemeinsamen Strömungska nals rechtwinklig zu den Verbindungs- oder Anschlußabschnit ten (19, 21) des ersten und des zweiten Strömungskanals verläuft.

19. Ventil nach Anspruch 18, dadurch gekennzeich net, daß die Betätigungsmittel für die erste Membran (34) aus einem ersten Kompressor (38) bestehen, der mit der dem ersten Ventilsitz (26) gegenüberliegenden ersten Membran im Eingriff steht und in Richtung auf den ersten Ventilsitz und von diesem weg bewegbar ist,
daß die Betätigungsmittel für die zweite Membran (36) aus einem zweiten Kompressor (40) bestehen, der mit der dem zweiten Ventilsitz (30) gegenüberliegenden zweiten Membran im Eingriff steht, und in Richtung auf den zweiten Ventil sitz und von diesem weg bewegbar ist, und
daß die Bewegung der Kompressoren in Richtung auf die Ventilsitze und von diesem weg zu einer entsprechenden Bewegung der Membranen in und aus der Schließstellung mit den zugehörigen Ventilsitzen führt.

20. Ventil nach Anspruch 19, dadurch gekennzeich net, daß die Betätigungsmittel für die erste Membran (34) und die zweite Membran (36) pneumatisch sind.

21. Ventil nach Anspruch 19, dadurch gekennzeich net, daß die Betätigungsmittel für die erste Membran (34) und die zweite Membran (36) hydraulisch sind.

22. Ventil nach Anspruch 19, dadurch gekennzeich net, daß die Betätigungsmittel für die erste Membran (34) und die zweite Membran (36) aus elektromechanischen Mitteln bestehen.