DE2307926A1

DE2307926A1 - Membranbetaetigtes schieberventil

Info

Publication number: DE2307926A1
Application number: DE19732307926
Authority: DE
Inventors: George Jiri Janu; Urban Albert Weber
Original assignee: Johnson Service Co
Current assignee: Aqseptence Group Inc
Priority date: 1972-08-30
Filing date: 1973-02-17
Publication date: 1974-03-14
Also published as: AU5281273A; CA978442A; IT977449B; DE2307926C2; FR2198073B1; JPS4946069A; FR2198073A1; BR7306674D0; GB1408992A; AU469738B2; US3774637A; JPS5532921B2; ZA73739B

Description

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TEL. 30 7 1 29 UM) 30 4 1 13 TKLK(JK. KKIiBUiPiTKXT UAMBUIIU

JOHNSON SERVICE COMPANY müxciik.n 15 · mozartsth. 23

507 East Michigan Street
Milwaukee, Wisconsin 55201/USA

den 15. 2. 1973

Membranbetätigtes Schieberventil

Die Erfindung bezieht sich auf ein Dreiwege-bchieberventil, das als Strömungsflußverstärker in einer vakuumbetätigten Anlage benutzt werden kann.

Es kann ein Steuerventil vorhanden sein, das ein Hauptventil mit einem Betriebs- oder Bezugsdruck verbindet, der positiv oder negativ sein kann.

Das Steuerventil sollte zweckmäßig ein membranbetätigtes Steuerventil mit Schnappsehaltung sein, um die Druckverbindung schnell zu wechseln, und sollte bei niedrigen Drucksignalen betriebsfähig sein und sich für eine Herstellung in Massenproduktionsverfahren eignen.

Die Erfindung richtet sich insbesondere auf ein verbessertes Dreiwege-Schieberventil mit einer Membranbetätigung zur Be-

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wegung eines Schiebers konzentrisch zu zwei mit Abstand angeordneten ringförmigen Dichtungskörpern, welches einen Betrieb bei sehr geringen Signalstärken ermöglicht. Der Schieber und die Dichtungskörper sind so voneinander auf Abstand gehalten, daß eine Schaltung gegeben ist, bei der vorher Stellung eines Kontaktes einer Unterbrechung stattfindet ("break-before-make" switching). Im einzelnen ist der Schieber in einer Übertragungskammer gelagert und erstreckt sich nach unten durch zwei mit axialem Abstand angeordnete biegsame ringförmige Dichtungen, die eine mit Ventilen versehene Kammer mit einer Ausgangsverbindung bilden. Der Abstand der Dichtungen voneinander ist etwas geringer als die axiale Länge des Schiebers, und die oben erwähnte Schaltung mit Unterbrechung vor Herstellung eines Kontaktes zu ermöglichen. Die Eingangskammer der Membranbetätigung ist mit einer geeigneten Betriebsdruckquelle verbunden.

Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung verbindet eine Meßöffnung die Eingangskammer mit der Übertragungskammer, und die wirksame Fläche der Membran in der Eingangskammer ist größer als in der Übertragungskammer, um den Schieber mit der angrenzenden Dichtung auszurichten, und bei gleichem Druck in der Kammer von äußersten Dichtung auf Abstand gehalten. Dieses ermöglicht den Betrieb des Schiebers bei

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sehr geringen Eingangsdrücken und mit einer Schnappwirkung; es kann außerdem eine leichte Rückholfeder zugefügt werden. Das Ventil besteht außerdem vorzugsweise im wesentlichen ganz aus Plastik, um eine einfache und billige Dichtung mit geringer Reibung zu schaffen, die eine blasendichte Strömungsmitteldichtung bildet, ohne das es notwendig wäre, irgendwelche Teile mit Fräzisionsmaschinen zu bearbeiten. Infolgedessen eignet sich die Ventileinheit für vakuumbetatigte Anlagen, ohne das irgendwelche zusätzlichen Dichtungseinrichtungen nötig wären. Eine gänzlich aus Kunststoff/bestehende Konstruktion ist außerdem von sich aus korrosionsbeständig.

Die vorliegende Erfindung schafft ein sehr einfaches, zuverlässiges und billiges Dreiwege-Strömungsmittelventil, bei dem nur minimale Betätigungskräfte erforderlich sind, und welches sich insbesondere für vakuumbetriebene Anlagen eignet.

Es zeigen:

Pig. 1 eine Ansicht des Ventils von unten bei Verbindung mit einer vakuumbetätigten Steueranlage,

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Fig. 2 einen vergrößerten senkrechten Schnitt allgemein nach Linie 2-2 der Fig. 1,

Fig. 3 einen senkrechten Teilschnitt allgemein nach der Linie 3-3 der Fig. 1,

Fig. 4 einen waagerechten Schnitt allgemein nach der Linie 4-4 der Fig. 2,

Fig. 5 eine vergrößerte Teilansicht ähnlich derjenigen der Fig. 3 nach der Linie 5-5 der Fig. 1 und

Fig. 6 einen vergrößerten Teilschnitt nach der Linie 6-6 der Fig. 2.

In den Fig. 1 und 2 verbindet ein vakuumbetätigtes Steuerschieberventil t gemäß der Erfindung ein pneumatisch betätigtes Lastventil 2, wie es beispielsweise in einer vakuumbetätigten Abwasseranlage zur Anwendung kommt, mit einer Vakuumquelle 3 zum wahlweisen Öffnen des Ventils 2 oder mit einem Bezugswert 4, der als Atmosphäre gezeigt ist, um die Wechselstellung oder die geschlossene Stellung herbeizuführen. Gemäß Fig. 2 enthält ein Schieberventil 1 einen zylindrischen Schieber 5, der an einem Ende mit einer Membranbetätigungseinheit 6 verbunden ist, welche eine Eingangskammer 7 mit Eingangsöffnung 8 aufweist, die so angeschlossen

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ist, daß sie einen Steuerdruck innerhalb der Kammer erzeugt, beispielsweise mittels einer Drosselung 9. Das Strömungsmittelrelais 10, beispielsweise nach dem US-Patent 3 662 779 ist mit der leitung zwischen der Drosselung 9 und der Öffnung 8 verbunden. Das Relais 10 enthält eine aufgerollte Membran 11, die eine Ausgangskammer 12 begrenzt, welche über eine Leitung 13 mit der Atmosphäre und mit einer Düse 14 verbunden ist. Die Membran öffnet und schließt die Düse zur Herstellung eines atmosphärischen Druckes oder eines Vakuumdruckes in der Kammer 7. Die Lage der Membran 11 wird gesteuert durch den Druck innerhalb einer Steuerkammer 16, die an eine Signalleitung

17 angeschlossen ist.

Das gezeigte Ventil 1 enthält drei aufeinander gestapelte scheibenartige Platten 18, 19 und 20 mit einer äußeren Membranabdeckung 21 von umgekehrt becherförmiger Gestalt, die so angeordnet ist, daß sie die oberste Platte 20 überlagert. Die Einheit 6 ist zwischen der Abdeckung 21 und der Platte 20 festgeklemmt (siehe Pig. 2), um die Eingangskammer 7 und die Übertragungs- oder Steuerkammer 22 zu bilden. Die Gehäuseplatten 18, 19 und 20 enthalten eine fluchtende Bohrung 23, die von der Kammer 22 nach unten führt, wobei zwischen den entsprechenden Gehäuseplatten 19 und 20 und

18 und 19 o^ewei.l^s eine Dichtung eines Dichtungspaares 24,

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25 eingeklemmt ist, um wahlweise eine Di chtungs verbindung mit dem Umfang des Schiebers 5 zu ermöglichen. Zwischen dem Schieber 5 und dem Gehäuseabschnitt 18 kann eine Be-

aufschlagungsfeder 26 wirksam sein, um den Schieber 5 und die Membranbetätigung 6 zu beaufschlagen.

Die Gehäuseplatten sind allgemein scheibenförmige Platten, mit flachen Bndoberflächen, die die Dichtungen 24 und 25 in festem Klemmeingriff erfassen. Die inneren Ecken der Platten 18 und 19 neben der Bohrung 23 sind mit einer versetzten inneren Kerbe 27 und einem Vorsprung 28 versehen, die eine Strömungsmitteldichte Verbindung bilden. Die Dichtung 25 steht von da¹ nach innen vor, um eine gefederte Dichtungslippe 29 zu bilden, die so ausgebildet ist, daß sie von der Kammer 22 fort leicht herabhängt.

Durch in den Körpern 18 und 19 gebildete Öffnungen 31 erstrecken sich drei mit gleichen Umfangsabständen angeordnete Befestigungsschrauben 30 nach oben hindurch und werden in mit passenden Gewinden versehene Öffnungen 32 in dem Gehäuse 20 eingeschraubt. Die untere Dichtung 25 bildete somit eine untere Bezugskammer 33, die über eine seitwärts verlaufende Öffnung oder einen Kanal 34 angeschlossen iat, der eine in geeigneter V/eise gebohrte oder gegossene radiale Öffnung in der Seite der Gehäuseplatte 18 darstellt,

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Das äußere Ende des Kanals 34 ist durch einen passenden Stöpsel 35 abgedichtet. Mit dem Boden der Platte 18 ist ein rohrförmiger Verbinder 36 einstückig ausgebildet und stellt eine geeignete Verbindung zum Kanal 34 her, um eine Verbindung mit der Atmosphäre oder einem anderen geeigneten Bezugswert zu ermöglichen.

Nach der Darstellung in Pig. 5 bildet die Dichtung 24 eine innere ringförmige Dichtungslippe 37, die mit der lippe 29 eine Zwischenkammer 38 bildet, welche durch einen seitlichen Kanal mit dem Lastanschlußrohr oder der Öffnung verbunden ist. Die Länge oder Tiefe des mittleren Gehäuseabschnitts 19 ist geringer als die axiale Länge des Schiebers 5, so daß der Abstand der Dichtungslippen 29 und voneinander geringer ist als die Länge des Schiebers 5. Hierdurch wird ein Betrieb gewährleistet, bei dem voyfierstellung eines Kontaktes eine Unterbrechung erfolgt ("breakbe fore -make" type operation).

Nach einem bedeutenden Merkmal der Erfindung ist der Schieber 5 ein zylindrischer Körper mit einer glatten Wand, dessen Seitenwand durch abgerundete oder gekrümmte Ecken 39a mit den gegenüberliegenden Endwänden verbunden ist. Die Dichtungslippen 29 und 37 sind aus geeignetem biegsamen Material hergestellt und werden durch den Schieber ge-

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streckt. Die gekrümmten Wandverbindungen bilden einen glatten, fortschreitenden Eingriff für den Schieber mit den Dichtungen, um die Dichtungen entsprechend in eine Dichtverbindung hineinzustrecken. Diese Konstruktion hat zur Verwendung eines Dichtungsmaterials mit geringer Reibung, wie z.B. Kunststoff, beigetragen und ist besonders zweckmäßig bei der Herstellung eines Ventils, das bei einem niedrigen Eingangsdruck betriebsfähig ist.

Der Gehäuseabschnitt 20 ist mit einer Ausnehmung versehen, die durch die Membranbetätigung 6 verschlossen wird und die Übertragungskammer 22 bildet. Durch entsprechende Öffnungen in den Gehäuseabschnitten 18 und 19 erstreckt sich ein einstückig ausgebildetes Verbinderrohr 40 hindurch nach unten, um eine Verbindung zur Vakuumquelle 3 herzustellen» Der Vakuumdruck wird somit in die Kammer 22 eingeführt und wahlweise über die Bohrung 23 auf die Kammer 37 zur Einwirkung gebracht, um auf die Last 2 übertragen zu werden, wenn das obere Ende des Schiebers sich unterhalb der Dichtungsstücke 37 befindet.

Der in den Zeichnungen gezeigte Schieber 5 enthält eine Federführungswelle 41, die in die Beaufschlagungsfeder 46 hinein vorsteht und mit einem Anschlag 41a zur Zusammenwirkung gebracht werden kann, um die Abwärtsbewegung zu begrenzen.

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Das obere Ende des Schiebers 5 enthält einen Verbindungsstößel 42, der nach oben vorsteht, wobei sich das obere Ende von vermindertem Querschnitt durch die Membranbetätigung 6 hindurcherstreckte Der Stößel 42 ist mit Gewinde versehen, um einen Klemmbolzen 45 mit darauf aufgeschraubter Kiemmutter 44 zu bilden und den Schieber 5 fest mit der Membraneinheit 6 zu verbinden. die Membraneinheit 6 enthält eine aufgerollte Membran 45 mit einem äußeren TJmfangsklemmabschnitt, der in einer Ausnehmung im oberen Ende des Gehäuseabschnitts 20 festgelegt ist, wobei die becherförmige Abdeakung 21 teleskopartig nach unten in die Ausnehmung hineingeschoben und mittels eines Lösungsmittels darin festgeschweißt oder anderweitig darin befestigt ist, um die Membran in ihrer Stellung festzuklemmen und eine Strömungsmitteldichte Abdichtung an der Verbindung herzustellen« Über dem Stößel 42 sind zwei Zwischenlegscheiben 46 angeordnet, und zwar jeweils eine auf dem gegenüberliegenden Seiten der Membran, um den Steuerabschnitt der Membran zu stützen«,

Der mit Gewinde versehene Stößelabschnitt 45, der sich durch die Membran 45 hindurcherstreckt, ist mit einem axialen Kanal 47 versehen, der durch einen Seitenkanal 48 im äußersten Ende der Stößelöffnung 49 in dem Kanal 47 mit der Kammer 7 verbunden ist, so daß ein gedrosselter Durchgang entsteht, der durch einen Seitenkanal 50 mit der

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Kammer 22 verbunden ist. Die Übertragungskammer 22 ist durch den Schieber in den Abdichtungen 37 bzw. 29 abgedichtet, und die V/irkfläche der Membran in der Kammer 7 ist größer als die Wirkfläche in der Kammer 22, und zwar um den Querschnitt des Schiebers 5. Bei geschlossener öff— nung 8 oder Verbindung derselben mit derselben v-elletändi— gen wuelle wie die Kammer 22, so daß die Drücke in den Kammern 7 und 22 im Gleichgewicht sind, wird die Membranbetätigung 6 in Folge der Differentialfläche bis in die in vollausgezogenen Linien gezeigte Stellung nach oben beaufschlagt, Mit dieser Konstruktion erzeugt die Membranbetätigung ein Ansprechen in Form einer Schnappwirkung, und die Feder 26 kann in Fortfall kommen oder als eine sehr schwache Feder ausgebildet sein.

Während der Abwärtsbewegung erfasst der Schieber 5 zunächst die Dichtung 25, um die Verbindung des Lastvertinders 39 mit dem Auslaßverbinder oder der öffnung 36 zu unterbrechen, und löst erst danach die Dichtung 24 zum Öffnen der Verbindung zwischen dem Verbinder 40 und dem Lastverbinder 39. Infolgedessen wird die Einpangsöffnung 40 niemals unmittelbar mit der Ausgangsöffnung 36 verbunden, was bei anderen bekannten Steuerventilarten bei der möglichen Fehlfunktion eintreten kann. Schon eine kurzzeitige Verbindung des Eingangs und des Ausgangs oder der Bezugsöffnungen kann zu ei—

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ner sehr erheblichen Abnahme in den Wert der auf die Membran einwirkenden Vakuumkraft führen, was ein Versagen des Steuerventils mit sich bringt, weil die Membran und der Schieber nicht ihre tiefste Stellung erreichten.

Außerdem ist bei Lage ded Schiebers 5 in seiner unteren Stellung in Fig. 2 die Kammer 7 über die Düse 14 und den Durchgang 13 des Relais 10 mit der Atmosphäre verbunden. Die Luft entweicht durch die Öffnung 49 und durch die öffnung 9 bei einem sehr starken Druckabfall, so daß der Druck in der Steuerkammer 7 praktisch gleich der Atmosphäre ist und den Schieber in seiner unteren Lage hält. Wenn sich das Relais 10 schließt, dann wird die Kammer 7 abgetrennt und der Strom durch den Verbindungskanal in der Öffnung 49 und durch die öffnung 9 läßt nach, oder vermindert sich allmählich bis auf einen Punkt, wo in der Kammer 7 ein Vakuum gleich dem Vakuum in der Kammer 22 und im wesentlichen gleich der vollen Vakuumquelle gebildet wird. Die auf die Membran 45 einwirkende resultierende Kraft ist jedoch nicht gleich, und zwar infolge der unterschiedlichen V/irkflächen. In der Kammer 7 herrscht eine leicht größere reine Vakuumkraft als in der Kammer 22; der Unterschied ist proportional zu dem wuerschnitt des Schiebers 5. Hierdurch wird eine reine negative Hebekraft mit Wirkung auf die Membraneinheit 6 erzeugt, die sich in der gezeigten Ausführungsform mit der Kraft der Druckfeder 26 addiert und eine schnelle Auf-

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wärtsbewegung des Schiebers 5 in die in Pig. 2 gezeigte Höchststellung verursacht, und zwar bei einer Schaltweise, bei der vor Herstellung einer Verbindung eine Unterbrechung erfolgt (treak-before-make" Schaltung)· Somit erfasst der Schieber 5 zunächst die Dichtung 24, um den Lastverbinder 39 von der Kammer 22 abzudichten, und löst erst danach die Dichtung 25 zum Öffnen der Verbindung des Lastverbinders 59 mit dem Abgabe- oder Bezugswertverbinder 36.

In einer bevorzugten Konstruktion reicht die auf die Membran 45 übertragene reine Lifferentialkraft aus, um die Reibung zwischen dem Schieber und den Dichtungen 24 und 25 zu überwinden und die Membraneinheit schnell in die Trennstellung zu bewegen. Die Druckfeder 26 kann unter solchen Umständen vollständig in Fortfall kommen, oder die Kraft kann sehr gering sein. Der volle Hub des Schiebers 5 wird praktisch ohne irgendeine Veränderung in der auf die Membran-einheit 6 wirksamen Steuerkraft erzielt und erzeugt dadurch eine äußerst wünschenswerte Schnappschaltwirkung.

Gegebenenfalls kann anstelle des Relais 10 auch eine Schaltkomponente vom Nichtrelaistyp benutzt werden. Beispielsweise kann eine Deckeleinheit 51 (Fig. 2) den Durchfluß durch die Steueröffnung wahlweise öffnen und sperren und

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dadurch den in der Kammer 7 erzeugten Zustand ändern.

Das Steuerventil gemäß der Erfindung kann daher verschiedene Arten von Meßsteuereinheiten und dergleichen enthalten und kann für verschiedene Zwecke benutzt werden. Die Anmelder haben festgestellt, daß das Steuerventil gemäß der Erfindung leicht bei Vakuumsteueranlagen Verwendung finden kann, mit nur den beiden relativ einfachen ringförmigen Dichtungen 24 und 25. Somit ist das in den Zeichnungen gezeigte Ventil mit einem im Spritzgußverfahren aus Polysulfon hergestellten Gehäuseabschnitt versehen; die Schieberdichtungen 24 und 25 sind aus einem Polyäthylen geringer Dichte hergestellt, und die Steuermembran ist in ähnlicher '«eise aus Polyäthylen in einem Vakuumformverfahren hergestellt worden. Die verschiedenen Teile wurden durch ein Lösungsmittel miteinander verschweißt und mit Hilfe von Spannschrauben entsprechend der Darstellung zusammengebaut. Das Ventil arbeitete zufriedenstellend bei einem Vakuumdruck zwischen 2 und 30 Zoll Quersilbersäule und ließ sich leicht durch ein Vakuumsignal von etwa dem halben Eingangsdruck, wie auch durch einen mechanischen Deckelverschluß der Steueröffnung steuern· Die Kunststoffkonstruktion führt nicht nur zu einer Einheit die relativ leicht bei geringen Kosten in großen Massen hergestellt werden kann, sondern gewährleistet auch die äußerst wünschenswerte, ihr eigene Korrosionsbeständigkeit.

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Claims

Patentansprüche:

1.^Dreiwege-Schieberventil mit einem hin- und herbeweglichen zylindrischen Schieber, der mit einer Membranbetätigung verbunden ist, welche eine Eingangskammer aufweist, gekennzeichnet durch eine erste ringförmige biegsame Dichtung, eine entsprechende zweite ringförmige biegsame Dichtung, die konzentrisch zu der ersten Dichtung mit einem axialen Abstand angeordnet ist, der geringer ist als die Länge des Schiebers, und deren Durchmesser geringer ist als der des Schiebers, und die eine mit Ventilen versehene Kammer dazwischen begrenzt, wobei der Schieber hin- und herbeweglich koaxial mit den Dichtungen gelagert und durch sie hindurchbeweglich ist, und wobei die Membranbetätigung eine Membraneinheit einschließt, die eine durch den ersten Dichtunsskörper mit der ersten Ventilkammer verbundene Übertragungskammer begrenzt, um mit den Dichtungskörpern eine äußere Dichtung geringer Reibung zu bilden.

2. Dreiwege-bchieberventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die biegsamen Dientunsskörper ähnliche biegsame kreisförmige Körper mit inneren, im Winkel ausgerichteten Dichtungslippen sind, wobei eine

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Anzahl von drei Ventilplatten in Form eines St^apela untereinander verbunden sind und von den Dichtungskör— pern jeweils einer zwischen den Grenzflächen dieser Platten eingespannt ist, wobei die Platten miteinander fluchtende Mittelöffnungen aufweisen, in welche hinein die Dichtungslippen vorstehen, und der Schieber in dieser Bohrung gelagert ist.

3. Dreiwege-Schieberventil nach jedem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtungs— körper aus biegsamem Kunststoff hergestellt sind und die Außenwand aus einem Kunststoff besteht, der bei Zusammenwirkung mit dem Schieber mit einem Mindestmaß an Reibung eine feste Strömungsmittelverbindung bildet,

4. Dreiwege-Schieberventil nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß dieser Schieber abgerundete Ecken zur Zusammenwirkung mit den Dichtungen hat.

5. Dreiwege-Schieberventil nach jedem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Membranbetätigung einen eingeschnürten Kanal aufweist, der die Übertragungskammer und die Eingangskammer miteinander verbindet, wodurch das Schließen der Eingangskammer zu einem Druckausgleich in diesen Kammern führt, wobei die

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Membraneinheit in der Eingangskammer eine größere Wirkfläche aufweist als in der Übertragungskammer·

6. Dreiwege-Schieberventil nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch eine Beaufschlagungsfeder, die mit der Membraneinheit und dem Schieber verbunden ist, um den Schieber und die Einheit entsprechend in eine Richtung entgegengesetzt zu der durch den positiven Druck in der Eingangskammer erzeugten zu drücken.

7. Dreiwege-Schieberventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste Endplatte eine die Bohrung umgebende Ausnehmung aufweist und die Membranbetätigung mit der ersten Endplatte verbunden ist, wobei diese Ausnehmung die Übertragungskammer begrenzt, die Membranbe— tätigung eine Deckplatte aufweist, die an der ersten Endplatte befestigt ist, um die Eingangskammer zu bilden, wobei diese Betätigungseinrichtung einen Verbindungsstößel besitzt, der an dem Schieber befestigt ist und sich zwischen den Kammern erstreckt und einen eingeschnürten Durchgang aufweist, der die Übertragungskammer und die Eingangskammer miteinander verbindet, wodurch das Schließen der Eingangskammer zu einem Druckausgleich in den Kammern führt, und wobei die Membrananordnung in der Eingangskammer eine größere Wirkfläche aufweist als in der Übertragungskammer.

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8· Dreiwege-Schieberventil nach jedem der Ansprüche 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die biegsamen Dichtungskörper an einem Gehäuse mit einer axialen Bohrung befestigt sind, wobei die Abdichtungskörper mit axialem Abstand innerhalb der Bohrung angeordnet sind, um eine mit Ventilen versehene Kammer dazwischen zu bilden, und das die Membranbetätigung an einem Ende des Gehäuses befestigt ist und eine Membran zu Bildung einer Übertrag ungskammer in Verbindung mit der Bohrung aufweist, während das gegenüberliegende Ende der Bohrung eine Bezugswertkammer bildet, wobei die Membran normal zu der Bohrung angeordnet ist und sich der Schieber mit einem Stößel durch die Übertragungskammer hindurcherstreckt und sich mit einem verjüngten Abschnitt durch die Membran in die Eingangskammer hineinerstreckt, wobei diese Eingangskammer in Abhängigkeit von einer gewählten Bewegung der Membran mit einer Außenwand mit dem Stößel zusammenwirkt und der Stößel einen Durchgang mit einer öffnung enthält, welche die Übertragungskammer mit der Eingangskammer verbindet wobei die Membran einen ringförmigen Wickelkörper einschließt, um eine Federspannung von einem Wert im wesentlichen gleich Null zu bilden·

9. Dreiwege-Schieberventil nach jedem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Übertragungskammer eine Vakuumquelle verbunden ist und die Bezugswertkammer an die Atmosphäre angeschlossen ist.

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