BE1008217A6 - Valve a deversoir a trois voies. - Google Patents

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BE1008217A6 BE9400268A BE9400268A BE1008217A6 BE 1008217 A6 BE1008217 A6 BE 1008217A6 BE 9400268 A BE9400268 A BE 9400268A BE 9400268 A BE9400268 A BE 9400268A BE 1008217 A6 BE1008217 A6 BE 1008217A6
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Jeffrey J Mckenzie
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Fluoroware Inc
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Abstract

Le corps (12) de valve comporte un conduit commun (16) d'écoulement et deux autres conduits (18,20) d'écoulement pouvant être raccordés à des conduites extérieures. Un déversoir (22) ayant deux sièges (26,30) de valve sépare le conduit commun des deux autres conduits. Deux diaphragmes coaxiaux (34,36) sont destinés à porter contre les sièges. Les deux diaphragmes sont reliés à des compresseurs (38,40) qui les commandent par l'intermédiaire de cylindres pneumatiques (54,56). Domaine d'application : fabrication de semi-conducteurs, etc.

Description

Valve à déversoir à trois voies.
La présente invention concerne les valves, et plus particulièrement des valves à déversoir.
Une valve à déversoir est une valve utilisant un diaphragme élastique qui porte contre un déversoir et empêche l'écoulement d'un fluide par-dessus le déversoir. Les valves à déversoir présentent d'excellentes caractéristiques d'étanchéité et d'isolement pour contenir efficacement le fluide commandé et elles éliminent sensiblement les fuites ou la migration du fluide commandé vers 1 ' intérieur des mécanismes de la valve ou vers l'extérieur de la valve. Les valves à déversoir sont également plus aptes que les valves classiques à concevoir des trajets d’écoulement de fluides profilés à travers les valves.
Dans de nombreuses applications, en particulier dans l'industrie des semiconducteurs, on doit éviter la formation de zones tranquilles ou mortes dans le trajet d'écoulement d'un fluide, car elles peuvent amener le fluide à stagner ou à se dégrader et permettent à des contaminants ou des solides en suspension de s'accumuler dans ces zones. L'une quelconque des ces causes peut poser des problèmes notables de contrôle de qualité.
Dans de nombreuses applications dans l'industrie des semiconducteurs, il est nécessaire de changer instantanément l'écoulement d'un fluide vers un processus particulier. De plus, la nécessité apparaît d'alterner un écoulement de fluide particulier entre différents processus ou équipements. Ce type de commutation de fluide peut être réalisé au moyen de deux valves à déversoir à deux voies et d'un raccordement extérieur en T. Cependant, lorsqu'on utilise deux valves, les problèmes mentionnés précédemment de dégradation du fluide ou d'accumulation de contaminants sont exacerbés.
L'invention concerne une valve à déversoir à trois voies. Le corps de la valve comporte un conduit d'écoulement commun et deux conduits d'écoulement pouvant tous être raccordés à des conduites extérieures d'écoulement.
Un déversoir à deux sièges de valve sur des côtés opposés sépare le conduit d'écoulement commun des deux conduits d'écoulement. Deux diaphragmes coaxiaux sont agencés pour porter contre les sièges de la valves à déversoir. Le conduit d'écoulement commun communique avec le premier conduit d'écoulement par-dessus l'un des sièges de la valve à déversoir et il communique avec le second conduit d'écoulement par-dessus l'autre siège de la valve à déversoir. Les deux diaphragmes sont actionnés par des compresseurs reliés à des pistons engagés dans des cylindres pneumatiques. Une conduite d'air est raccordée aux deux cylindres pneumatiques. Un diaphragme et un compresseur sont rappelés vers un engagement avec l'un des sièges de la valve à déversoir, aboutissant à une position normalement fermée. L'autre diaphragme est rappelé à l'écart de l'engagement avec l'autre siège de la valve à déversoir, donnant une position normalement ouverte. L'actionnement des cylindres pneumatiques déplace chaque diaphragme dans un sens opposé à celui de son rappel. Lorsqu'un fluide s'écoule vers la valve et pénètre dans le conduit commun d'écoulement puis arrive aux conduits d'écoulement, l'actionnement des cylindres pneumatiques transfère l'écoulement de fluide d'un conduit d'écoulement à 1'autre.
Un objet de l'invention est de procurer une valve à déversoir configurée en valve à trois voies et possédant les avantages propres aux valves à déversoir, à savoir un espace mort minimal ou des zones tranquilles minimales à l'intérieur de la valve, des caractéristiques nettes d'écoulement de fluide et des caractéristiques supérieures d'isolement et d'étanchéité.
Un avantage de l'invention est que l'espace nécessaire au montage de la valve à déversoir à trois voies est notablement réduit en comparaison avec deux valves à déversoir à deux voies combinées pour le même effet de distribution. De plus, un raccordement extérieur en T, qui serait nécessaire avec l'utilisation de deux valves à deux voies, est éliminé. La valve à trois voies réduit donc la tuyauterie auxiliaire extérieure de la valve et minimise de façon correspondante l'espace mort ou les zones de tranquillité du fluide d'écoulement dans la tuyauterie extérieure.
Un autre avantage de 1'invention est constitué par les caractéristiques d'écoulement sensiblement identiques des deux conduits d'écoulement.
Une autre particularité de l'invention telle que configurée est que 1 ' actionnement par une seule mise sous pression actionne les deux diaphragmes simultanément et d'une manière opposée, c'est-à-dire que, lorsque l'un est ouvert, l'autre est fermé.
Un autre objet et un autre avantage de l'invention telle que configurée sont que les trois conduits d'écoulement, à leur sortie du corps de la valve, sont tous dans le même plan, ce qui facilité la mise en place.
Une autre particularité de 1 ' invention est que le conduit commun d'écoulement peut être utilisé en tant qu'entrée commune ou que sortie commune.
Un autre avantage de 1 ' invention est que la configuration de la valve permet au dispositif d'être aisément fabriqué par moulage par injection, avec un usinage minimal ou aucun usinage après le moulage.
L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemple nullement limitatif et sur lesquels : la figure 1 est une vue en coupe axiale de la valve à déversoir à trois voies selon l'invention ; la figure 2 est une vue en coupe de la valve à déversoir suivant la ligne 2-2 de la figure 1 ; la figure 3 est une vue en coupe de la valve à déversoir à trois voies suivant la ligne 3-3 de la figure 2 ; et la figure 4 est une vue en coupe de la valve à déversoir à trois voies suivant la ligne 4-4 de la figure 2.
La figure 1 montre une vue en coupe de la valve à déversoir 10 à trois voies. La valve 10 comprend une partie de corps supérieure 11 et une partie de corps inférieure 13. Une chambre intérieure 14 est située entre les parties de corps. Un déversoir 22 et une plaque 42 de séparation sont situés dans la chambre intérieure 14. Comme représenté, une première partie de bord 28 du déversoir 22 constitue un premier siège 26 de valve et une seconde partie de bord 28 constitue le second siège 30 de la valve. Un conduit d'écoulement commun 16 est représenté pénétrant dans le corps 12 de la valve jusqu'au déversoir 22. Le premier conduit d'écoulement 18 et le second conduit d'écoulement 20 sont représentés dans la chambre intérieure 14, en opposition au conduit commun 16 d'écoulement par rapport au déversoir 22. La plaque 42 de séparation sépare le premier conduit d'écoulement 18 du second conduit d'écoulement 20. La surface supérieure 87 de la plaque 42 de séparation est représentée au-dessous du premier diaphragme 34.
Le premier diaphragme 34 est représenté engagé dans une position de fermeture avec le premier siège de valve 26 du déversoir 22. Le premier diaphragme 34 est relié au premier compresseur 38 au moyen d'un élément 44 de raccordement de diaphragme.
La partie de corps supérieure 11, comme représenté, loge le premier compresseur 38 raccordé à la première tige 50 de compresseur et en outre relié au premier piston 55. Un moyen de rappel constitué de ressorts 62, 64, comme montré, sollicite le premier compresseur 38 et le premier diaphragme 34 vers le premier siège 26 du déversoir 22. Le premier diaphragme 34 est retenu par une bague 72 de retenue de diaphragme. Un premier cylindre 54, qui est engagé par le premier piston 55 par l'intermédiaire d'un joint d'étanchéité 68, est également contenu dans la partie de corps supérieure 11. Une première chambre 58 d'expansion est représentée entre le premier piston 55 et la bague 72 de retenue du diaphragme. La première chambre 58 d'expansion communique au moyen d'une entrée d'air 80 avec le raccord 78 qui relie la conduite d'air 76 à la partie de corps supérieure 11.
Comme représenté, la partie de corps inférieure présente une configuration légèrement différente en ce qui concerne le moyen de rappel et le moyen d'actionnement. Le second diaphragme 36 est représenté séparé du second siège de valve 30 du déversoir 22. Une bague 74 de retenue retient le second diaphragme 36. Ce dernier est relié au second compresseur 40 au moyen de l'élément 46 de raccordement du diaphragme. Le second compresseur 40 est relié à la tige 52 du second compresseur par une liaison filetée ou un autre moyen approprié. La tige 52 du compresseur est reliée au second piston 57 qui est engagé de façon coulissante dans le second cylindre 56 par l'intermédiaire d'un joint d'étanchéité 70. Un moyen de rappel comprenant un ressort 66 est représenté sollicitant le second piston 57 et donc la tige 52 du compresseur, le second compresseur 40 et le second diaphragme 36 vers le bas, à l'écart du déversoir 22. On voit une seconde chambre d'expansion 60 placée entre le corps 12 de valve et le second piston 57. La seconde chambre 60 d'expansion est raccordée à la conduite d'air 76 par l'intermédiaire de l'entrée d'air 81 et du raccord 79.
La figure 2 montre une coupe de la valve à déversoir à trois voies 10 suivant la ligne 2-2 de la figure 1. La figure montre le conduit commun d'écoulement 16 orienté à angle droit avec le premier conduit d'écoulement 18 et le second conduit d'écoulement 20. Le premier conduit d'écoulement 18 est séparé du second conduit d'écoulement 20 par la plaque 42 de séparation qui est réalisée d'une seule pièce avec la seconde face 29 du déversoir 22. Le déversoir 22 comporte deux parties extrêmes 23. La surface inférieure 88 de la plaque 42 de séparation est visible sur la vue de la figure 2. Le conduit commun d'écoulement 16 est séparé des premier et second conduits d'écoulement 18, 20 au moyen du diaphragme 22. La première face 25 du diaphragme 22 fait face au conduit commun d'écoulement 16. La seconde face 29 se trouve sur le côté opposé du déversoir 22. La seconde face 29 est contiguë au premier conduit d'écoulement 18 et au second conduit d'écoulement 20.
La figure 3 est une vue en coupe suivant la ligne crénelée 3-3 de la figure 2. Le premier diaphragme 34 est représenté engagé avec le déversoir 22. Le second diaphragme 36 est représenté dégagé du second siège 30 de valve du déversoir 22, mettant à découvert le conduit commun d'écoulement 16 immédiatement au-dessous du déversoir. La plaque 42 de séparation est représentée s'étendant en diagonale à travers le déversoir depuis le premier siège 26 de valve et une première partie extrême 23 du déversoir en descendant vers le second siège 30 de valve et l'autre partie extrême 23. La plaque 42 de séparation sépare le premier conduit d'écoulement 18 du second conduit d'écoulement 20.
La figure 4 est une vue en coupe suivant la ligne 4-4 de la figure 2. La ligne de coupe passe par le centre du déversoir 22 qui est représenté engagé par le premier diaphragme 34. Etant donné que cette vue est dans la direction opposée à celle de la figure 3, la plaque 42 de séparation est représentée s'étendant en diagonale sous un angle inverse de celui montré sur la figure 3 et le second conduit 86 d'écoulement est représenté sur le côté de droite, et le premier conduit d'écoulement 84 est représenté sur le côté de gauche.
Le dispositif fonctionne de la manière suivante (se référer à la figure 1 pour les explications) . Un écoulement de fluide est supposé entrer dans la valve 10 au moyen du conduit commun 16 d'écoulement puis arrive au premier et second conduits d'écoulement 18, 20. La valve 10 est également conçue notamment pour être utilisée avec un écoulement de fluide entrant dans cette valve 10 par les premier et second conduits d'écoulement 18, 20 et sortant de la valve 10 par le conduit commun 16 d'écoulement. La valve 10 montrée sur la figure 1 est dans le mode non actionné, le premier diaphragme 34 et le premier compresseur 38 étant engagés contre le premier siège 26 de la valve et s'opposant à tout écoulement entrant dans le premier conduit d'écoulement 18. L'écoulement est dirigé par-dessus le déversoir 22 entre le second siège de valve 30 et le second diaphragme 36 jusque dans le second conduit d'écoulement 20. En référence à la figure 3, l'écoulement se dirige ensuite dans la partie distale 21 du second conduit d'écoulement 20 pour sortir de la valve 10.
La valve telle que représentée est dans le mode non actionné, c'est-à-dire avec le premier diaphragme 34 portant contre le premier siège 26 de valve dans la position de fermeture dans laquelle le diaphragme est maintenu contre le siège 26 par le moyen de rappel comprenant les ressorts 62, 64 qui agissent contre le premier piston 55 relié à la première tige 50 du compresseur, le premier compresseur 38 et le premier diaphragme 34. Le second diaphragme 36 est dégagé du second siège 30 de valve et est maintenu dans cette position par le moyen de rappel comprenant le ressort 66 qui sollicite le second piston 57, la tige 52 du second compresseur, le second compresseur 40 et le second diaphragme 36 à l'écart du second siège 30 de valve.
En référence de nouveau à la figure 1, la valve 10 est actionnée par la mise sous pression de conduites d'air 76 qui pénètrent dans la valve par des raccords 78 et 79 et des arrivées d'air 80 et 81. La mise sous pression de la première chambre 58 d'expansion sollicite le premier piston 55 vers le haut dans le cylindre 54 en surmontant la force de rappel vers le bas produite par les ressorts 62, 64. Le mouvement de montée du piston 55 tire la tige 50 du premier compresseur, le premier compresseur 38 et le premier dia- phragme 34 à l'écart du premier siège 26 de valve du déversoir 22. La valve à déversoir 10 à trois voies dans le mode actionné permet à l'écoulement de fluide de passer entre le premier siège 26 de valve et le premier diaphragme 34 pour pénétrer dans le premier conduit d'écoulement 18, descendre sur la surface supérieure 87 de la plaque 42 de séparation et sortir vers la partie distale 19 du premier conduit d'écoulement 18 et de la valve 10.
En même temps que la première chambre 58 d'expansion est mise sous pression et est expansée, la seconde chambre 60 d'expansion dans la partie de corps inférieure 13 est également mise sous pression et expansée. Par conséquent, le second piston 57 engagé avec le second cylindre 56 au moyen du joint d'étanchéité 70 est déplacé à force vers le haut, surmontant la force de rappel du ressort 66. Pendant que le second piston 57 monte, de manière correspondante, la tige reliée 52 du second compresseur, le second compresseur 40 et le second diaphragme 36 se déplacent jusque dans la position de fermeture en portant contre le second siège 30 de valve du déversoir 22. Par conséquent, l'écoulement entre le déversoir 22 et le second diaphragme 36 est arrêté.
Dans la forme de réalisation représentée, la valve 10 travaille de façon à ouvrir un diaphragme tout en déplaçant l'autre diaphragme jusque dans la position de fermeture. La valve à déversoir 10 à trois voies peut être agencée de manière que les diaphragmes fonctionnent en s'ouvrant et se fermant tous deux simultanément ou indépendamment . D'autres moyens de commande pour engager et dégager les diaphragmes sont connus et prévus tels que des moyens hydrauliques, des moyens manuels ou des moyens électromécaniques.
Le corps 12 de valve peut être formé dans l'une quelconque d'un certain nombre de matières comprenant, à titre non limitatif, une résine perfluoroalkoxy (PFA), du polyfluorure de vinylidène (PVDF), du polychlorure de vinyle (PVC), du polypropylène (PP) ou de l'acier inoxydable. Le diaphragme 30 peut être formé de Viton ou d'un fluorélasto-mère analogue à du caoutchouc et il peut avoir une surface inférieure en une matière différente pour entrer en contact avec le fluide, par exemple du polytétrafluoréthylène (PTFE) .
La configuration simple de la valve l'a rendue particulièrement apte à un moulage par injection en ne nécessitant gue peu ou aucun usinage supplémentaire.
Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées à la valve décrite et représentée sans sortir du cadre de l'invention.

Claims (22)

1. Valve à déversoir à trois voies à utiliser avec des conduites d'écoulement extérieures, caractérisée en ce qu'elle comporte un corps (12) de valve présentant un espace intérieur ouvert qui comprend un conduit d'écoulement commun (16), un premier conduit d'écoulement (18) et un second conduit d'écoulement (20) pouvant être raccordés chacun à une conduite d'écoulement extérieure ? un déversoir (22) traversant l'espace intérieur ouvert et séparant le conduit d'écoulement commun du premier conduit d'écoulement, et séparant aussi le conduit d'écoulement commun du second conduit d'écoulement, le déversoir ayant une première partie de bord (28) et une seconde partie de bord opposée (28) qui définissent respectivement un premier siège (26) de valve et un second siège (30) de valve ; une plaque (42) de séparation traversant 1 ' espace intérieur ouvert entre le premier conduit d'écoulement et le second conduit d'écoulement ; un premier diaphragme (34) opposé au premier siège de valve et monté à l'intérieur du corps de façon à pouvoir être amené dans une position de fermeture et écarté de cette position de fermeture avec le siège de valve, un moyen de commande étant prévu pour ledit diaphragme ; un second diaphragme (36) opposé au second siège de valve et pouvant être amené dans une position de fermeture et écarté de cette position de fermeture avec le siège de valve, un moyen de commande étant prévu pour ce diaphragme ; et le conduit commun d'écoulement communiquant avec le premier conduit d'écoulement entre le premier siège de valve et le premier diaphragme, le conduit d'écoulement communiquant aussi avec le second conduit d'écoulement entre le second siège de valve et le second diaphragme, de manière qu'un mouvement amenant le premier diaphragme dans la position de fermeture avec le premier siège de valve ferme la communication entre le conduit commun d'écoulement et le premier conduit d'écoulement, et qu'un mouvement amenant le second diaphragme dans la position de fermeture avec le second siège de valve ferme la communication entre le conduit commun d'écoulement et le second conduit d'écoulement.
2. Valve selon la revendication 1, caractérisée en ce que le déversoir présente des faces opposées (25, 29), le conduit commun d'écoulement étant contigu à une face (25) du déversoir et les premier et second conduits d'écoulement étant contigus à l'autre face (29) du déversoir, étant allongés et ayant des parties distales (19, 21) qui sont sensiblement alignées entre elles.
3. Valve selon la revendication 2, caractérisée en ce que le déversoir comporte des parties extrêmes opposées (23) respectivement adjacentes aux premier et second conduits d'écoulement, les premier et second sièges de valve étant allongés et s'étendant sensiblement jusqu'aux deux parties extrêmes du déversoir, les premier et second diaphragmes s'étendant sensiblement sur les sièges de valve allongés entre les deux parties extrêmes du déversoir.
4. Valve selon la revendication 3, caractérisée en ce que la plaque de séparation s'étend sensiblement en diagonale d'une partie extrême du déversoir et du premier siège de valve jusqu'à l'autre partie extrême du déversoir et du second siège de valve.
5. Valve selon la revendication 1, caractérisée en ce que le moyen de commande pour le premier diaphragme comporte un premier compresseur (38) engageant le premier diaphragme opposé au premier siège de valve, le compresseur pouvant être rapproché et éloigné du premier siège de valve, en ce que le moyen de commande pour le second diaphragme comporte un second compresseur (40) engageant le second diaphragme opposé au second siège de valve, le second compresseur pouvant être rapproché et éloigné du second siège de valve, de manière que le mouvement des compresseurs les rapprochant et les éloignant des sièges de valve amène les diaphragmes respectifs dans la position de fermeture et les éloigne de cette position avec les sièges de valve respectifs.
6. Valve selon la revendication 5, caractérisée en ce que le moyen de commande pour le premier diaphragme comprend un moyen de rappel (62, 64) sollicitant le premier compresseur et le premier diaphragme vers une position non actionnée, et un moyen d'actionnement qui sollicite le premier compresseur et le premier diaphragme de la position non actionnée vers une position actionnée, et en ce que le moyen de commande pour le second diaphragme comporte en outre un moyen de rappel (66) sollicitant le second compresseur et le second diaphragme vers une position non actionnée, et un moyen d1actionnement qui sollicite le second compresseur et le second diaphragme de la position non actionnée vers une position actionnée.
7. Valve selon la revendication 6, caractérisée en ce que le premier diaphragme, dans la position de fermeture avec le premier siège de valve, définit la position actionnée pour le premier diaphragme, et le second diaphragme, dans la position de fermeture avec le second siège de valve, définit la position non actionnée pour le second diaphragme, et en ce que le moyen de commande pour le premier diaphragme est relié au moyen de commande pour le second diaphragme de manière que 1'actionnement des moyens de commande écarte le premier diaphragme de la position de fermeture et amène le second diaphragme dans la position de fermeture.
8. Valve selon la revendication 7, caractérisée en ce que le conduit commun d'écoulement, le premier conduit d'écoulement et le second conduit d'écoulement ont tous des parties distales, les parties distales (19, 21) du premier conduit d'écoulement et du second conduit d'écoulement sont coaxiales et la partie distale du conduit commun d'écoulement est positionnée à angle droit par rapport aux premier et second conduits d'écoulement.
9. Valve selon la revendication 1, caractérisée en ce que le moyen de commande pour le premier diaphragme comporte en outre une première tige de compresseur (50) réalisée d'une seule pièce avec le compresseur, un premier cylindre (54) à l'intérieur du corps de valve, un premier piston (55) relié à la tige du compresseur et engagé de façon coulissante dans le premier cylindre, le premier piston et le premier cylindre formant une première chambre (58) d'expansion, en ce que le moyen d ' actionnement pour le premier diaphragme comporte un moyen pour mettre sous pression la première chambre d'expansion, en ce que le moyen de commande pour le second diaphragme comporte en outre une second tige (52) de compresseur réalisée d'une seule pièce avec le compresseur, un second cylindre (56) à l'intérieur du corps de valve, un second piston (57) relié à la tige du compresseur et engagé de façon coulissante dans le second cylindre, le second piston dans le second cylindre formant une second chambre (60) d'expansion, et en ce que le moyen d'actionnement pour le second diaphragme comporte un moyen pour mettre sous pression la seconde chambre d'expansion.
10. Valve selon la revendication 9, caractérisée en ce que la position actionnée pour le premier diaphragme est définie par le premier diaphragme dans la position de fermeture avec le premier siège de valve et la position non actionnée pour le second diaphragme est définie par le second diaphragme dans la position de fermeture avec le second siège de valve, et la première chambre d'expansion est raccordée à la seconde chambre d'expansion de manière que la mise sous pression des chambres d'expansion éloigne le premier diaphragme de la position de fermeture et amène le second diaphragme dans la position de fermeture.
11. Valve selon la revendication 10, caractérisée en ce que le moyen de mise sous pression des chambres d'expansion est pneumatique.
12. Valve selon la revendication 10, caractérisée en ce que le moyen de mise sous pression des chambres d'expansion est hydraulique.
13. Valve à déversoir à utiliser avec des conduites d'écoulement extérieures, caractérisée en ce qu'elle comporte un corps (12) de valve présentant un espace intérieur ouvert qui comprend un conduit d'écoulement commun (16), un premier conduit d'écoulement (18) et un second conduit d'écoulement (20) pouvant être raccordés chacun à une conduite d'écoulement extérieure (76) ; un déversoir (22) traversant 1'espace intérieur ouvert et ayant une première partie de bord (28) et une seconde partie de bord (28) définissant un premier siège de valve (26) et un second siège de valve (30), une première face (25) étant contiguë à un conduit commun d'écoulement ; un premier diaphragme (34) opposé au premier siège de valve et monté à 1'intérieur du corps afin de pouvoir être amené dans une position de fermeture et écarté de cette position de fermeture avec le siège de valve, un moyen de commande étant prévu pour ce diaphragme ; un second diaphragme (36) opposé au second siège de valve, monté à l'intérieur du corps et pouvant être amené dans une position de fermeture avec le siège de valve et écarté de cette position de fermeture, un moyen de commande étant prévu pour ce diaphragme ; le conduit commun d'écoulement communiquant avec le premier conduit d'écoulement entre le premier siège de valve et le premier diaphragme, le conduit commun d'écoulement communiquant avec le second conduit d'écoulement entre le second siège de valve et le second diaphragme, de manière qu'un mouvement amenant le premier diaphragme dans la position de fermeture avec le premier siège de valve ferme la communication entre le conduit commun d'écoulement et le premier conduit d'écoulement et qu'un mouvement amenant le second diaphragme dans la position de fermeture avec le second siège de valve ferme la communication entre le conduit commun d'écoulement et le second conduit d'écoulement.
14. Valve selon la revendication 13, caractérisée en ce que le premier siège de valve et le second siège de valve sont opposés l'un à l'autre.
15. Valve selon la revendication 14, caractérisée en ce que le déversoir présente une seconde face (29) opposée à la première face et contiguë au premier conduit d'écoulement et au second conduit d'écoulement.
16. Valve selon la revendication 15, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre une plaque (42) de séparation traversant l'espace intérieur ouvert entre le déversoir et le corps de valve, s'étendant à travers la seconde face du déversoir et séparant le premier conduit d'écoulement du second conduit d'écoulement.
17. Valve selon la revendication 16, caractérisée en ce que le déversoir comporte deux parties extremes opposées (23) et la plaque de séparation traverse diagonale— ment la seconde face du déversoir du premier siège de valve et d'une première partie extrême jusqu'au second siège de valve et à l'autre partie extrême.
18. Valve selon la revendication 17, caractérisée en ce que le conduit commun d'écoulement, le premier conduit d'écoulement et le second conduit d'écoulement comportent tous des parties distales, les parties distales (19, 21) des premier et second conduits d'écoulement sont coaxiales et la partie distale du conduit commun d'écoulement est orientée à angle droit avec les parties distales des premier et second conduits d'écoulement.
19 Valve selon la revendication 18, caractérisée en ce que le moyen de commande pour le premier diaphragme comporte un premier compresseur (38) engageant le premier diaphragme opposé au premier siège de valve, le compresseur pouvant être rapproché et éloigné du premier siège de valve, le moyen de commande pour le second diaphragme comporte un second compresseur (40) engageant le second diaphragme opposé au second siège de valve, le second compresseur pouvant être rapproché et éloigné du second siège de valve, de manière que le mouvement des compresseurs les rapprochant et les éloignant des sièges de valve amène les diaphragmes respectifs dans la position de fermeture avec les sièges de valve respectifs et les écarte de cette position.
20. Valve selon la revendication 19, caractérisée en ce que les moyens de commande pour le premier diaphragme et le second diaphragme sont pneumatiques.
21. Valve selon la revendication 19, caractérisée en ce que les moyens de commande pour le premier diaphragme et le second diaphragme sont hydrauliques.
22. Valve selon la revendication 19, caractérisée en ce que les moyens de commande pour le premier diaphragme et le second diaphragme comprennent des moyens électromécaniques.
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