DE4236601A1 - Projection lens system - has lens dispersing indices determined by formula taking indices of refraction into account - Google Patents
Projection lens system - has lens dispersing indices determined by formula taking indices of refraction into accountInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein
Projektionslinsensystem, welches hauptsächlich bei der
Plattenherstellung für das Projizieren und Duplizieren von
Mustern eingesetzt werden soll.
Ein bekanntes Plattenherstellungs-Projektionslinsensystem
der Art, die auch der vorliegenden Erfindung
zugrundeliegt, ist in der japanischen
Patentveröffentlichung Nr. Sho 56-53 728 beschrieben. Das
in der Veröffentlichung beschriebene
Projektionslinsensystem zeigt zufriedenstellende
Abbildungsleistungen bei natürlicher Größe und bei
Vergrößerungen in deren Nähe und weist eine kompakte
Linsengeometrie auf.
Allerdings tritt bei dem voranstehend beschriebenen
Projektionslinsensystem nach dem Stand der Technik die
Schwierigkeit auf, daß chromatische Aberrationen nicht
vollständig korrigiert werden, und daß dann, wenn es als
Teleobjektiv verwendet wird, ein Kontrastabfall auftritt,
wodurch es unmöglich wird, eine zufriedenstellende
Leistung sicherzustellen.
Die vorliegende Erfindung wurde angesichts dieser beim
Stand der Technik bestehenden Probleme entwickelt und die
der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht in der
Bereitstellung eines Projektionslinsensystems, welches so
ausgelegt ist, daß es einen kleineren Betrag an restlichen
chromatischen Aberrationen erzeugt und daher eine
zufriedenstellende Leistung zeigt, auch wenn es als
Teleobjektiv verwendet wird.
Die voranstehenden und weiteren Ziele der vorliegenden
Erfindung können durch ein Projektionslinsensystem
erreicht werden, welches aus einer Vordergruppe und einer
Hintergruppe besteht, wobei die Vordergruppe in der
Reihenfolge von der Objektseite aus ein positives erstes
Linsenelement, ein positives zweites Linsenelement und ein
negatives drittes Linsenelement aufweist, wobei die
hintere Gruppe ein negatives viertes Linesenelement
aufweist, ein positives fünftes Linsenelement und ein
positives sechstes Linsenelement, wobei das Linsensystem
die folgenden Bedingungen erfüllt:
-0,0015 < (R2 - R3)/(ν2 - ν3) < 0 (1)
-0,0015 < (R5 - R4)/(ν5 - ν4) < 0 (1′)
wobei R2 und ν2 den Dispersionsindex des zweiten
Linsenelements bezeichnen, R3 und ν 3 den Dispersionsindex
der dritten Linsengruppe, R4 und ν 4 den Dispersionsindex
des vierten Linsenelements und R5 und ν 5 den
Dispersionsindex des fünften Linsenelements, und R und ν
definiert sind durch:
R = (ng - nF)/(nF - nC)
ν = (nd -1)/(nF - nC)
wobei ng, nF, nC und nd den Brechungsindex eines
Linsenelementes an der g-, F-, C- und d-Linie bezeichnet.
Gemäß einer weiteren Zielrichtung der Erfindung wird ein
Projektionslinsensystem zur Verfügung gestellt, welches
aus einer Vordergruppe und einer Hintergruppe besteht,
wobei die Vordergruppe in der Reihenfolge von der
Objektseite aus ein positives erstes Linsenelement umfaßt,
ein negatives zweites Linsenelement und ein positives
drittes Linsenelement, wobei die hintere Gruppe ein
positives viertes Linsenelement umfaßt, ein negatives
fünftes Linsenelement und ein positives sechstes
Linsenelement und das Linsensystem die folgenden
Bedingungen erfüllt:
-0,0012 < (R1 - R2)/(ν1 - ν2) < 0 (1A)
-0,0012 < (R6 - R5)/(ν6 - ν5) < 0 (1A′)
wobei R1 und ν 1 den Dispersionsindex des zweiten
Linsenelementes bezeichnen, R2 und ν 2 den
Dispersionsindex der dritten Linsengruppe, R5 und ν 5 den
Dispersionsindex des vierten Linsenelements, und R6 und
ν6 den Dispersionsindex des fünften Linsenelements, und R
und ν definiert sind durch:
R = (ng - nF)/(nF - nC)
ν = (nd -1)/(nF - nC)
wobei ng, nF, nC und nd den Brechungsindex eines
Linsenelements an der g-, F-, C- und d-Linie bezeichnet.
Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch
dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus
welchen weitere Vorteile und Merkmale hervorgehen. Es
zeigt:
Fig. 1 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiel 1;
Fig. 2 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgetragen sind, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 1 erhalten
wurden;
Fig. 3 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiel 2;
Fig. 4 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgetragen sind, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 2 erhalten
werden;
Fig. 5 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiel 3;
Fig. 6 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgetragen sind, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 3 erhalten
werden;
Fig. 7 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiel 4;
Fig. 8 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgetragen sind, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 4 erhalten
werden;
Fig. 9 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiel 5;
Fig. 10 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgetragen sind, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 5 erhalten
werden;
Fig. 11 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiel 6;
Fig. 12 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgetragen werden, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 6 erhalten
werden;
Fig. 13 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiel 7;
Fig. 14 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgetragen sind, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 7 erhalten
werden;
Fig. 15 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiel 8;
Fig. 16 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgetragen sind, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 8 erhalten
werden;
Fig. 17 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiel 9;
Fig. 18 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgezeichnet sind, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 9 erhalten
werden;
Fig. 19 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiei 10,
Fig. 20 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgetragen sind, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 10 erhalten
werden;
Fig. 21 eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung des Projektionslinsensystems von
Beispiel 11; und
Fig. 22 eine Kurvenschar, bei welcher die
Aberrationskurven aufgetragen sind, die mit dem
Projektionslinsensystem von Beispiel 11 erhalten
werden.
Nachstehend werden Beispiele für das
Projektionslinsensystem gemäß der vorliegenden Erfindung
beschrieben.
Wie typischerweise in Fig. 1 gezeigt ist, besteht jedes
der Linsensysteme gemäß den Beispielen aus sechs
Elementen, die zwischen einer Vordergruppe und einer
Hintergruppe aufgeteilt sind, wobei die Vordergruppe in
der Reihenfolge von der Objektseite aus ein positives, ein
positives und ein negatives Linsenelement aufweist, die
Hintergruppe ein negatives viertes Linsenelement aufweist,
ein positives fünftes Linsenelement und ein positives
sechstes Linsenelement und jedes Linsensystem die
voranstehend angegebenen Bedingungen (1) und (1′) erfüllt.
Wenn diese Bedingung erfüllt ist, so kann die verbleibende
Aberration auf einen ausreichend niedrigen Pegel
heruntergedrückt werden, um ein scharfes Bild herzustellen.
Um die Ebenheit für die Bildebene sicherzustellen, erfüllt
das Projektionslinsensystem gemäß der vorliegenden
Erfindung vorzugsweise die nachstehenden Bedingungen:
0,25 < f2/f < 0,40 (2)
0,25 < f5/f < 0,40 (2′)
-0,30 < f3/f < -0,20 (3)
-0,30 < f4/f < -0,20 (3′)
0,03 < (nF1 + nF2)/2 - nF3 (4)
0,03 < (nF6 + nF5)/2 - nF4 (4′)
0,15 < L/f < 0,25 (5)
wobei f die Brennweite des Gesamtsystems bezeichnet, fi
die Brennweite des i′ten Linsenelements, nFi den
Brechungsindex des i′ten Linsenelements an der F-Linie,
und L die gesamte Linsenlänge.
Die Bedingungen (2), (2′), (3) und (3′) legen die
Verteilung der Brechkraft zwischen den zweiten und dritten
Linsenelementen bzw. den vierten und fünften
Linsenelementen fest. Wird die Obergrenze einer dieser
Bedingungen überschritten, so erfolgt eine Überkorrektur
der sphärischen Aberration und der Feldkrümmung. Wird die
Untergrenze keiner der Bedingungen erreicht, so werden
diese beiden Arten der Aberration unterkorrigiert.
Die Bedingungen (4) und (4′) legen die Petzval-Summe fest.
Werden diese Bedingungen nicht erfüllt, so steigt die
Petzval-Summe an und ruft eine stärkere Krümmung des
Feldes sowie einen Astigmatismus hervor.
Die Bedingung (5) legt die Gesamtlinsenlänge fest. Wird
die Obergrenze dieser Bedingung überschritten, so wird die
Gesamtlinsenlänge übermäßig groß. Wird die Untergrenze
dieser Bedingung nicht erreicht, so steigt die
Feldkrümmung an.
Wenn die Bedingungen (2) bis (5) sowie (2′) bis (4′)
erfüllt sind, so ist die Ebenheit der Bildebene
sichergestellt, und innerhalb eines
Halbbetrachtungs-Winkelbereichs von 12° kann eine
gleichförmige und hohe Auflösung erzielt werden, um ein
Bild herzustellen, welches keine Dichteschwankungen
aufweist.
Um die sphärische Aberration und die Feldkrümmung zu
unterdrücken, sollte darüber hinaus vorzugsweise das
Projektionslinsensystem gemäß der vorliegenden Erfindung
die nachstehenden Bedingungen erfüllen:
3,5 < f · {(nF3 - 1)/r6} < 5,5 (6)
3,5 < f · {(nF4 - 1)/r7} < 5,5 (6′)
5,0 < f · {(nF1 - 1)/r1 + (nF2 - 1)/r3} < 10,0 (7)
5,0 < f · {(nF6 - 1)/r12 + (nF5 - 1)/r10} < 10,0 (7′)
0,07 < d6/f < 0,15 (8)
wobei ri den Krümmungsradius der i′ten Oberfläche
bezeichnet, gezählt von der Objektseite aus, und d6 den
Raum zwischen der Vordergruppe und der Hintergruppe.
Die Bedingungen (6), (6′), (7) und (7′) legen die Balance
zwischen den Brechungsindex und dem Krümmungsradius für
verschiedene Linsenelemente fest. Wird die Obergrenze der
Bedingungen (6) und (6′) überschritten, so erfolgt eine
Überkorrektur der sphärischen Aberration und der
Feldkrümmung. Wird die Untergrenze dieser Bedingungen
nicht erreicht, so werden diese Arten der Aberration
unterkorrigiert. Wird die Obergrenze der Bedingungen (7)
und (7′) überschritten, so erfolgt eine Unterkorrektur der
sphärischen Aberration und der Feldkrümmung. Wird die
Untergrenze dieser Bedingungen nicht erreicht, so werden
diese Arten der Aberration überkorrigiert.
Die Bedingung (8) legt den Raum zwischen der Vorder- und
der Hintergruppe fest. Wird die Obergrenze dieser
Bedingung überschritten, so erfolgt nicht nur eine
Unterkorrektur der Feldkrümmung, sondern auch eine
Erhöhung der Gesamtlinsenlänge. Wird die Untergrenze der
Bedingung (8) nicht erreicht, so tritt eine Überkorrektur
der Feldkrümmung auf.
Wie typischerweise in Fig. 15 gezeigt ist, besteht gemäß
einer weiteren Zielrichtung der Erfindung jedes der
Linsensysteme gemäß den Beispielen aus sechs Elementen,
die zwischen einer Vordergruppe und einer Hintergruppe
aufgeteilt sind, wobei die Vordergruppe in der Reihenfolge
von der Objektseite aus ein positives, ein negatives und
ein positives Linsenelement aufweist, die Hintergruppe ein
positives viertes Linsenelement, ein negatives fünftes
Linsenelement und ein p0sitives sechstes Linsenelement
aufweist, die Hintergruppe vollständig symmetrisch zur
Vordergruppe in bezug auf eine Blende angeordnet ist, und
jedes Linsensystem die voranstehend angegebenen
Bedingungen (1A) und (1A′) erfüllt. Wenn diese Bedingung
erfüllt ist, so kann die übrigbleibende Aberration auf ein
ausreichend niedriges Niveau herabgedrückt werden, um ein
scharfes Bild zu erzeugen.
Um die Ebenheit der Bildebene sicherzustellen, erfüllt das
Projektionslinsensystem gemäß der vorliegenden Erfindung
vorzugsweise die nachstehenden Bedingungen:
0,25 < f1/f < 0,40 (2A)
0,25 < f6/f < 0,40 (2A′)
-0,40 < f2/f < -0,30 (3A)
-0,40 < f5/f < -0,30 (3A′)
0,04 < (nF1 + nF3)/2 - nF2 (4A)
0,04 < (nF6 + nF4)/2 - nF5 (4A′)
0,15 < L/f < 0,25 (5)
Die Bedingungen (2A), (2A′), (3A) und (3A′) legen die
Verteilung der Brechkraft zwischen den zweiten und dritten
Linsenelementen bzw. den vierten und fünften Linselementen
fest. Wird die Obergrenze einer der Bedingungen
überschritten, so erfolgt eine Überkorrektur der
sphärischen Aberration und der Feldkrümmung. Wird die
Untergrenze keiner der Bedingungen erreicht, so werden die
beiden Arten der Aberration unterkorrigiert.
Die Bedingungen (4A) und (4A′) legen die Petzval-Summe
fest. Werden diese Bedingungen nicht erfüllt, so steigt
die Petzval-Summe an und ruft so eine stärkere Krümmung
des Feldes sowie einen Astigmatismus hervor.
Werden die Bedingungen (2A) bis (5) und (2A′) bis (4A′)
erfüllt, so wird die Ebenheit der Bildebene
sichergestellt, und innerhalb eines
Halbbetrachtungs-Winkelbereichs von 12° kann eine
gleichförmige und hohe Auflösung erzielt werden, um ein
Bild zu erzeugen, welches keine Dichteschwankungen
aufweist.
Zur Unterdrückung sphärischer Aberrationen und der
Feldkrümmung sollte weiterhin das Projektionslinsensystem
gemäß der vorliegenden Erfindung vorzugsweise die
nachstehenden Bedingungen erfüllen:
3,5 < f · {(nF2 - 1)/r4} < 5,5 (6A)
3,5 < f · {(nF5 - 1)/r9} < 5,5 (6A′)
7,0 < f · {(nF1 - 1)/r1 + (nF3 - 1)/r5} < 10,0 (7A)
7,0 < f · {(nF6 - 1)/r12 + (nF4 - 1)/r8} < 10,0 (7A′)
0,05 < d6/f < 0,9 (8A)
wobei ri den Krümmungsradius der i′ten Oberfläche
bezeichnet, gezählt von der Objektseite aus, und d6 den
Raum zwischen der Vordergruppe und der Hintergruppe.
Die Bedingungen (6A), (6A′), (7A) und (7A′) legen die
Balance zwischen dem Brechungsindex und dem
Krümmungsradius für verschiedene Linsenelemente fest. Wird
die Obergrenze der Bedingungen (6) und (6A′)
überschritten, so erfolgt eine Überkorrektur der
sphärischen Aberration und der Feldkrümmung. Wird die
Untergrenze dieser Bedingungen nicht erreicht, so erfolgt
eine Unterkorrektur dieser Arten von Aberrationen. Wird
die Obergrenze der Bedingungen (7) und (7A′)
überschritten, so erfolgt eine Unterkorrektur der
sphärischen Aberration und der Feldkrümmung. Wird die
Untergrenze dieser Bedingungen nicht erreicht, so tritt
eine Überkorrektur dieser Arten der Aberration auf.
Die Bedingung (8A) legt den Raum zwischen der Vordergruppe
und der Hintergruppe fest. Wird die Obergrenze dieser
Bedingung überschritten, so erfolgt nicht nur eine
Unterkorrektur der Feldkrümmung, sondern auch eine
Erhöhung der Gesamtlinsenlänge. Wenn die Untergrenze der
Bedingung (8A) nicht erreicht wird, erfolgt eine
Überkorrektur der Feldkrümmung.
Fig. 1 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung eines Projektionslinsensystems gemäß
Beispiel 1 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten
für dieses Beispiel sind in Tabelle 1 angegeben, wobei f
die Brennweite an der F-Linie (486 nm) angibt, m die
Vergrößerung, fB den hinteren Brennpunkt, FNo. die F-Zahl
(Blendenzahl), r den Krümmungsradius, d die Linsendicke
oder den Luftraum, nF, ng, nC und nd den Brechungsindex an
der F-, g-, C- und d-Linie, und ν die Abbe-Zahl.
Fig. 2 ist eine Kurvenschar, bei welcher die Kurven
verschiedener Aberrationen aufgetragen sind, die bei dem
Projektionslinsensystem gemäß Beispiel 1 erhalten werden,
also die sphärische Aberration SA, die Sinusbedingung SC,
chromatische Aberrationen, die durch sphärische
Aberrationen an der F-, g-, e-, h- und d-Linie
repräsentiert werden, Astigmetismus (S: sagittel; M:
meridional), und Verzerrung.
Fig. 3 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung eines Projektionslinsensystems gemäß Beispiel
2 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten für dieses
Beispiel sind in Tabelle 2 angegeben. Fig. 4 ist eine
Kurvenschar, bei welcher die Aberrationskurven aufgetragen
sind, die mit dem Projektionslinsensystem von Beispiel 2
erhalten werden.
Fig. 5 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung eines Projektionslinsensystems gemäß Beispiel
3 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten für dieses
Beispiel sind in Tabelle 3 angegeben. Fig. 6 ist eine
Kurvenschar, bei welcher die Aberrationskurven aufgetragen
sind, die mit dem Projektionslinsensystem von Beispiel 3
erhalten werden.
Fig. 7 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung eines Projektionslinsensystems gemäß Beispiel
4 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten für dieses
Beispiel sind in Tabelle 4 angegeben. Fig. 8 ist eine
Kurvenschar, bei welcher die Aberrationskurven aufgetragen
sind, die mit dem Projektionslinsensystem von Beispiel 4
erhalten werden.
Fig. 9 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit einer
Darstellung eines Projektionslinsensystems gemäß Beispiel
5 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten für dieses
Beispiel sind in Tabelle 5 angegeben. Fig. 10 ist eine
Kurvenschar, bei welcher die Aberrationskurven aufgetragen
sind, die mit dem Projektionslinsensystem von Beispiel 5
erhalten werden.
Fig. 11 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit
einer Darstellung eines Projektionslinsensystems gemäß
Beispiel 6 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten
für dieses Beispiel sind in Tabelle 6 angegeben. Fig. 12
ist eine Kurvenschar, bei welcher die Aberrationskurven
aufgetragen sind, die mit dem Projektionslinsensystem von
Beispiel 6 erhalten werden.
Fig. 13 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit
einer Darstellung eines Projektionslinsensystems gemäß
Beispiel 7 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten
für dieses Beispiel sind in Tabelle 7 angegeben. Fig. 14
ist eine Kurvenschar, bei welcher die Aberrationskurven
aufgetragen sind, die mit dem Projektionslinsensystem von
Beispiel 7 erhalten werden.
Fig. 15 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit
einer Darstellung eines Projektionslinsensystems gemäß
Beispiel 8 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten
für dieses Beispiel sind in Tabelle 8 angegeben. Fig. 16
ist eine Kurvenschar, bei welcher die Aberrationskurven
aufgetragen sind, die mit dem Projektionslinsensystem von
Beispiel 8 erhalten werden.
Fig. 17 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit
einer Darstellung eines Projektionslinsensystems gemäß
Beispiel 9 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten
für dieses Beispiel sind in Tabelle 9 angegeben. Fig. 18
ist eine Kurvenschar, bei welcher die Aberrationskurven
aufgetragen sind, die mit dem Projektionslinsensystem von
Beispiel 9 erhalten werden.
Fig. 19 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit
einer Darstellung eines Projektionslinsensystems gemäß
Beispiel 10 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten
für dieses Beispiel sind in Tabelle 10 angegeben. Fig. 20
ist eine Kurvenschar, bei welcher die Aberrationskurven
aufgetragen sind, die mit dem Projektionslinsensystem von
Beispiel 10 erhalten werden.
Fig. 21 ist eine vereinfachte Querschnittsansicht mit
einer eines Projektionslinsensystems gemäß
Beispiel 11 der vorliegenden Erfindung. Spezifische Daten
für dieses Beispiel sind in Tabelle 11 angegeben. Fig. 22
ist eine Kurvenschar, bei welcher die Aberrationskurven
aufgetragen sind, die mit dem Projektionslinsensystem von
Beispiel 11 erhalten werden.
Die nachstehende Tabelle 15 zeigt, wie die Bedingungen (1)
bis (8) und (1A) bis (8), die voranstehend diskutiert
wurden, in den Beispielen 1 bis 11 erfüllt sind. Die mit
"′" bezeichneten Bedingungen, z. B. (1′), (2′), . . ., (1A′),
(2A′), . . . weisen die gleichen berechneten Werte auf, wie
voranstehend angegeben.
Die Projektionslinsensysteme in den Beispielen weisen eine
F-Zahl (Blendenzahl) auf, die einen derartig hohen Wert
wie 1 : 11 hat, und die Schärfentiefe kann ausreichend
vergrößert werden, um einen Abfall der Bildauflösung zu
verhindern, selbst wenn eine Variation der
Umgebungstemperatur oder der Dicke des zu projizierenden
Objektes auftritt. Wenn diese Linsensysteme daher als
Projektionslinsen in einer Plattenherstellungseinrichtung
verwendet werden, so ist es nicht erforderlich, infolge
von Änderungen der Umgebungstemperatur und anderer
Parameter Nacheinstellungen vorzunehmen, und dies
verringert die Belastung der Bedienungspersonen bei der
Plattenherstellung.
Wie auf den voranstehenden Seiten beschrieben, ruft das
Projektionslinsensystem gemäß der vorliegenden Erfindung
ein geringeres Ausmaß restlicher chromatischer
Aberrationen hervor und kann daher ein kontrastreiches
Bild erzeugen, selbst wenn es als Teleobjektiv verwendet
wird. Durch Erfüllung angegebener Bedingungen kann das
Linsensystem zusätzlich eine ebene Bildebene und ein
gleichförmiges Bild ohne irgendwelche Dichteschwankungen
erzeugen.
Claims (6)
1. Projektionslinsensystem, gekennzeichnet durch eine
Vordergruppe und eine Hintergruppe, wobei die
Vordergruppe in der Reihenfolge von der Objektseite
aus ein positives erstes Linsenelement, ein positives
zweites Linsenelement und ein negatives drittes
Linsenelement aufweist, die Hintergruppe ein negatives
viertes Linsenelement, ein positives fünftes
Linsenelement und ein positives sechstes Linsenelement
aufweist und das Linsensystem die folgende Bedingung
erfüllt:
-0,0015 < (R2 - R3)/(ν2 - ν3) < 0-0,0015 < (R5 - R4)/(ν5 - ν4) < 0wobei R2 und ν2 den Dispersionsindex des zweiten
Linsenelementes bezeichnen, R3 und ν3 den
Dispersionsindex der dritten Linsengruppe, R4 und ν4
den Dispersionsindex des vierten Linsenelements, und
R5 und ν5 den Dispersionsindex des fünften
Linsenelements, wobei R und ν definiert sind durch:R = (ng - nF)/(nF - nC)ν = (nd -1)/(nF - nC)wobei ng, nF, nC und nd den Brechungsindex eines
Linsenelementes an der g-, F-, C- und d-Linie
bezeichnen.
2. Projektionslinsensystem nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das System weiterhin die
nachstehenden Bedingungen erfüllt:
0,25 < f2/f < 0,400,25 < f5/f < 0,40-0,30 < f3/f < -0,20-0,30 < f4/f < -0,200,03 < (nF1 + nF2)/2 - nF30,03 < (nF6 + nF5)/2 - nF40,15 < L/f < 0,25wobei f die Brennweite des Gesamtsystems bezeichnet,
fi die Brennweite des i′ten Linsenelements, nFi den
Brechungsindex des i′ten Linsenelements an der
F-Linie, und L die Gesamtlinsenlänge.
3. Projektionslinsensystem nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß das System weiterhin die
nachstehenden Bedingungen erfüllt:
3,5 < f · {(nF3 - 1)/r6} < 5,53,5 < f · {(nF4 - 1)/r7} < 5,55,0 < f · {(nF1 - 1)/r1 + (nF2 - 1)/r3} < 10,05,0 < f · {(nF6 - 1)/r12 + (nF5 - 1)/r10} < 10,00,7 < d6/f < 0,15 (8)wobei ri den Krümmungsradius der i′ten Oberfläche
bezeichnet, gezählt von der Objektseite aus, und d6
den Raum zwischen der Vordergruppe und Hintergruppe.
4. Projekti0nslinsensystem, dadurch gekennzeichnet, daß
das System aus einer Vordergruppe und einer
Hintergruppe besteht, wobei die Vordergruppe in der
Reihenfolge von der Objektseite aus ein positives
erstes Linsenelement, ein negatives zweites
Linsenelement und ein positives drittes Linsenelement
aufweist, die Hintergruppe ein positives viertes
Linsenelement aufweist, ein negatives fünftes
Linsenelement und ein positives sechstes Linsenelement
und das Linsensystem die folgenden Bedingungen erfüllt:
-0,0012 < (R1 - R2)/(ν1 - ν2) < 0-0,0012 < (R6 - R5)/(ν6 - ν5) < 0wobei R1 und ν1 den Dispersionsindex des zweiten
Linsenelements bezeichnen, R2 und ν2 den
Dispersionsindex der dritten Linsengruppe, R5 und ν5
den Dispersionsindex des vierten Linsenelements, und
R6 und ν6 den Dispersionsindex des fünften
Linsenelements, wobei R und ν definiert sind durch:R = (ng - nF)/(nF - nC)ν = (nd -1)/(nF - nC)wobei ng, nF, nC und nd den Brechungsindex eines
Linsenelements an der g-, F-, C- bzw. d-Linie
bezeichnen.
5. Projektionslinsensystem nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, daß das System weiterhin die folgenden
Bedingungen erfüllt:
0,25 < f1/f < 0,400,25 < f6/f < 0,40-0,40 < f2/f < -0,30-0,40 < f5/f < -0,300,04 < (nF1 + nF3)/2 - nF20,03 < (nF6 + nF4)/2 - nF50,15 < L/f < 0,25wobei f die Brennweite des Gesamtsystems bezeichnet,
fi die Brennweite des i′ten Linsenelements, nFi den
Brechungsindex des i′ten Linsenelements an der
F-Linie, und L die Gesamtlinsenlänge.
6. Projektionslinsensystem nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß das System weiterhin die folgenden
Bedingungen erfüllt:
3,5 < f · {(nF2 - 1)/r4} < 5,53,5 < f · {(nF5 - 1)/r9} < 5,57,0 < f · {(nF1 - 1)/r1 + (nF3 - 1)/r5} < 10,07,0 < f · {(nF6 - 1)/r12 + (nF4 - 1)/r8} < 10,0 0,5 < d6/f < 0,9wobei ri den Krümmungsradius der i′ten Oberfläche
bezeichnet, gezählt von der Objektseite aus, und d6
den Raum zwischen der Vordergruppe und der
Hintergruppe.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34759491 | 1991-10-29 | ||
| JP34759591 | 1991-10-29 |
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|---|---|
| DE4236601A1 true DE4236601A1 (en) | 1993-05-06 |
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ID=26578554
Family Applications (1)
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