DE4228274A1 - Verfahren zur Kontaktierung von auf einem Träger angeordneten elektronischen oder optoelektronischen Bauelementen - Google Patents

Verfahren zur Kontaktierung von auf einem Träger angeordneten elektronischen oder optoelektronischen Bauelementen

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Description

Verfahren zur Kontaktierung von auf einem Träger angeord­ neten elektronischen oder optoelektronischen Bauelementen.
Die elektrische Kontaktierung von auf einem gemeinsamen Träger montierten elektronischen oder optoelektronischen Bauelementen wird in der Regel durch Bonden vorgenommen, wobei die feinen Bonddrähtchen sich zwischen Anschluß­ flächen der elektronischen oder optoelektronischen Bau­ elemente und zugeordneten Anschlußflächen des Trägers erstrecken. Bei dem gemeinsamen Träger kann es sich auch um einen Si-Chip handeln, auf welchem beispielsweise LEDs angeordnet sind. Der Si-Chip dient dabei als Ansteuerungs­ schaltung für die LEDs. Derartige LED-Anordnungen werden beispielsweise bei Zeichengeneratoren für nichtmechani­ sche Drucker (IBM Technical Disclosure Bulletin, Bd. 25, Nr. 7A, Dezember 1982, S. 3368-3370 oder DE-A-38 08 636) oder bei LED-Tafelanzeigen (DE-A-34 47 452) eingesetzt.
Mit zunehmender Dichte der Anschlußflächen und/oder mit zunehmender Anzahl von elektrisch leitenden Verbindungen stößt die Bondtechnik zur elektrischen Kontaktierung von auf einem Träger angeordneten elektronischen oder opto­ elektronischen Bauelementen jedoch an ihre Grenzen. Andererseits sind bei verschiedenen Materialien der elek­ tronischen oder optoelektronischen Bauelemente und der Träger starre Verbindungen zwischen den zugeordneten An­ schlußflächen aufgrund der unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten nicht möglich.
Der im Anspruch 1, angegebenen Erfindung liegt das Problem zugrunde, ein Verfahren zur Kontaktierung von auf einem Träger angeordneten elektronischen oder optoelektronischen Bauelementen zu schaffen, das gegenüber der Bondtechnik eine höhere Dichte der Anschlußflächen und/oder eine höhere Anzahl von Verbindungen ermöglicht.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbe­ sondere darin, daß bei der Herstellung der elektrisch leitenden Verbindungen in Form von Durchkontaktierungen und Leiterbahnen auf Techniken zurückgegriffen werden kann, die eine äußerst dichte Anordnung der Verbindungen ermöglichen und sich in der Leiterplattentechnik bereits seit langer Zeit bewährt haben. Als weiterer entschei­ dender Vorteil ist die Tatsache zu nennen, daß die elek­ trisch isolierende Kunststoffschicht einen Ausgleich verschiedener thermischer Ausdehnungen von Bauelementen und Träger gewährleistet.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 bis 10 angegeben.
Die Weiterbildung nach Anspruch 2 ermöglicht ein besonders einfaches Aufbringen der Kunststoffschicht in Form einer Folie. Die Stärke dieser Folie beträgt dann gemäß Anspruch 3 vorzugsweise zwischen 10 und 100 µm.
Die Verwendung einer Polyimidfolie gemäß Anspruch 4 ge­ währleistet einerseits hervorragende elektrische Isola­ tionseigenschaften und andererseits eine sehr gute Bear­ beitbarkeit mittels Laserstrahlung.
Wird die Folie gemäß Anspruch 5 unter Anwendung von Druck und Wärme aufgebracht, so ergibt sich eine besonders gute Haftung auf dem Träger und eine gute Anpassung der Folie an die Form der Bauelemente.
Für das Einbringen der Kontaktlöcher haben sich gemäß den Ansprüchen 6 und 7 Excimer-Laser bzw. Nd:YAG-Laser mit zwei Frequenzverdopplern als besonders geeignet erwiesen. Sofern die Anschlußflächen von Träger und Bauelementen stark genug sind, endet bei Verwendung dieser Laserarten der Laserabtragsprozeß selbsttätig an den Anschlußflächen.
Für die Herstellung von Durchkontaktierungen und Leiter­ bahnen kommen grundsätzlich die Subtraktivtechnik, die Additivtechnik und die Semiadditivtechnik in Frage. Gemäß Anspruch 8 wird jedoch die Anwendung der Subtraktivtechnik bevorzugt, wobei die Durchkontaktierungen und Leiterbahnen durch ganzflächige Metallabscheidung und nachfolgende ätz­ technische Strukturierung hergestellt werden. Die Ausge­ staltung nach Anspruch 9 bietet die Möglichkeit, empfind­ liche Bereiche der Bauelemente wirksam zu schützen. Gemäß Anspruch 10 können dann die derart geschützten optischen Austrittsfenster von LEDs mittels eines Laserabtragspro­ zesses auf einfache Weise ohne Schädigung freigelegt werden.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.
Die Fig. 1 bis 7 zeigen verschiedene Verfahrensstadien bei der Herstellung von LED-Zeilen für den Zeichengenera­ tor eines Hochgeschwindigkeitsdruckers.
Fig. 1 zeigt einen Querschnitt durch einen Träger T, auf welchem eine Vielzahl von sich senkrecht zur Zeichnungs­ ebene in Zeilenform erstreckenden optoelektronischen Bau­ elementen B aufgebracht ist. Bei dem Träger T handelt es sich um eine in Siliziumtechnik ausgeführte Ansteuerungs­ schaltung für die darauf angeordneten optoelektronischen Bauelemente B. Bei den optoelektronischen Bauelementen B handelt es sich um LEDs, beispielsweise um GaAs-Dioden. Die Montage der optoelektronischen Bauelemente B auf dem Träger T erfolgt in bekannter Weise durch Löten oder durch die Verwendung eines elektrisch leitenden Klebers.
Aus Fig. 1 ist auch noch ein Metallstreifen Ms ersicht­ lich, der sich senkrecht zur Zeichnungsebene erstreckt und auf die optoelektronischen Bauelemente B im Bereich der nicht näher erkennbaren optischen Austrittsfenster dieser Bauelemente B aufgelegt ist. Der Metallstreifen Ms, dessen Zweck an späterer Stelle näher erläutert wird, besteht beispielsweise aus Kupfer.
Gemäß Fig. 2 wird auf die in Fig. 1 dargestellte Anord­ nung von oben her ganz flächig eine elektrisch isolierende Kunststoffschicht Ks aufgebracht. Im dargestellten Ausfüh­ rungsbeispiel handelt es sich bei der Kunststoffschicht Ks um eine Folie, die unter Anwendung von Druck und Wärme aufgebracht wird. Sofern es sich um eine nicht selbstkle­ bende Folie handelt, trägt diese auf ihrer dem Träger T zugewandten Seite eine Klebeschicht. Als elektrisch iso­ lierende Kunststoffschicht Ks wird vorzugsweise eine Polyimidfolie verwendet, die beispielsweise eine Stärke von 50 µm aufweist. Nach dem in Fig. 2 dargestellten Auf­ bringen der elektrisch isolierenden Kunststoffschicht Ks werden in diese mittels Laserstrahlung Ls Kontaktlöcher Kl eingebracht, die in Form von Sacklöchern jeweils exakt an den mit A bezeichneten Anschlußflächen des Trägers T und der optoelektronischen Bauelemente B enden. Die Konfigu­ ration der Kontaktlöcher Kl der gesamten Anordnung ist durch eine in Fig. 3 nicht erkennbare metallische Maske vorgegeben, die auf oder oberhalb der Kunststoffschicht Ks angeordnet wird. Durch eine Relativbewegung zwischen der in Fig. 3 dargestellten Anordnung einschließlich der Maske und dem Laserstrahl Ls werden dann die Kontaktlö­ cher Kl durch einen Laserabtragsprozeß erzeugt. Falls die Anschlußflächen A nicht zu dünn ausgeführt sind, ist der Laserabtragsprozeß jeweils an den Anschlußflächen A selbstendend. Für die Erzeugung der Kontaktlöcher Kl ist ein Excimer-Laser, der beispielsweise eine Emissions­ wellenlänge von 248 nm und eine Energiedichte von 750 mJ/cm2 aufweist, besonders gut geeignet. Die Verwendung eines Nd:YAG-Lasers mit zwei Frequenzverdopplern und einer Emissionswellenlänge von beispielsweise 266 nm ist eben­ falls möglich. Nähere Einzelheiten zur Erzeugung von Sacklöchern mittels Laserstrahlung gehen beispielsweise aus der US-A-4644130 hervor.
Nach der Herstellung der Kontaktlöcher Kl erfolgt gemäß Fig. 4 eine mit M bezeichnete ganzflächige Metallab­ scheidung, welche auch die Kontaktlöcher Kl ausfüllt und dadurch zu den Anschlußflächen A führende Durchkontak­ tierungen D bildet. Die ganzflächige Metallabscheidung M erfolgt nach einer aus der Leiterplattentechnik bekannten Methode durch Bekeimung der Kunststoffschicht Ks und anschließende stromlose und galvanische Metallabscheidung. Nach der Bekeimung der Kunststoffschicht Ks wird bei­ spielsweise durch stromlose Kupferabscheidung eine sehr dünne Kupferschicht erzeugt, die anschließend durch gal­ vanische Kupferabscheidung bis zu einer Stärke von bei­ spielsweise 30 µm verstärkt wird.
Nach der ganzflächigen Metallabscheidung M erfolgt in dem aus Fig. 5 ersichtlichen Schritt deren Strukturierung. Nach diesem Strukturierungsschritt verbleiben auf der Oberfläche der Kunststoffschicht Ks Leiterbahnen L, die zusammen mit entsprechenden Durchkontaktierungen D elek­ trisch leitende Verbindungen zwischen einander zugeordne­ ten Anschlußflächen A von optoelektronischen Bauelementen B und Träger T bilden. Bei der Herstellung der Leiterbah­ nen L wird auch der oberhalb des Metallstreifens Ms lie­ gende Bereich der Metallisierung M entfernt. Die Struktu­ rierung der ganzflächigen Metallabscheidung M erfolgt vorzugsweise auf photolitographischem Wege durch Aufbrin­ gen eines Ätzresists, welches die späteren Leiterbahnen L vor dem Angriff eines nachfolgenden Ätzprozesses schützt, so daß nur das Kupfer zwischen den gewünschten Leiterbah­ nen L beseitigt wird.
Nach der Strukturierung der Metallisierung M werden gemäß Fig. 6 die über den optischen Fenstern der optoelektro­ nischen Bauelemente B liegenden Bereiche der Kunststoff­ schicht Ks mittels Laserstrahlung Ls entfernt. Dabei wird wie bei der Herstellung der Kontaktlöcher Kl vorgegangen, wobei der Laserabtragsprozeß an den beispielsweise aus Kupfer bestehenden Metallstreifen Ms selbstendend ist. Der Metallstreifen Ms gewährleistet außerdem einen sicheren Schutz der optischen Austrittsfenster der optoelektroni­ schen Bauelemente B vor der Einwirkung der Laserstrahlung Ls.
Die Fertigstellung der LED-Zeile erfolgt dann gemäß Fig. 7 durch Entfernung des Metallstreifens Ms. Vor Entfernung des Metallstreifens Ms können gegebenenfalls noch uner­ wünschte Bereiche der Kunststoffschicht Ks mittels Laser­ strahlung entfernt werden.
Der vorstehend geschilderte Verfahrensablauf kann in mehr­ facher Hinsicht abgewandelt werden. So müssen die opto­ elektronischen Bauelemente B oder beliebige andere elek­ tronische Bauelemente nicht unmittelbar auf den Träger T montiert werden. Es ist auch möglich, die Bauelemente zunächst auf einem Zwischenträger anzuordnen, gegebenen­ falls auszurichten und dann diesen Zwischenträger auf den Träger T zu montieren. Anstelle der im Ausführungsbeispiel beschriebenen Bildung einer LED-Zeile aus aneinanderge­ reihten Einzeldioden kann die Zeile auch durch eine An­ einanderreihung von Diodenarrays hergestellt werden. Für die Kunststoffschicht Ks kommen außer der geschilderten Polyimidfolie auch beliebige andere Kunststoffe in Frage, sofern diese gute elektrische Isolationseigenschaften aufweisen, einem Laserabtragsprozeß zugänglich sind und außerdem auch noch unterschiedliche Wärmedehnungen von Bauelementen B und Träger T ausgleichen können. Für die Herstellung von Leiterbahnen L und Durchkontaktierungen D kommen neben der geschilderten Subtraktivtechnik auch die Additivtechnik und die Semiadditivtechnik in Frage. Bei der Additivtechnik wird das Leitermaterial nur dort aus stromlosen Metallabscheidungsbädern aufgebracht, wo Leiterbahnen L und Durchkontaktierungen D benötigt werden. Bei der Semiadditivtechnik werden auf einer stromlos ab­ geschiedenen dünnen Grundschicht die Leiterbahnen L und Durchkontaktierungen D durch galvanische Metallabscheidung aufgebaut, worauf die restliche Grundschicht durch Ätzen entfernt wird.

Claims (10)

1. Verfahren zur Kontaktierung von auf einem Träger (T) angeordneten elektronischen oder optoelektronischen Bauelementen (B), insbesondere von auf einer Ansteue­ rungsschaltung angeordneten LEDs, bei welchem
  • - auf den Träger (T) und die darauf angeordneten Baue­ lemente (B) eine elektrisch isolierende Kunststoff­ schicht (Ks) aufgebracht wird,
  • - im Bereich von Anschlußflächen (A) des Trägers (T) und der Bauelemente (B) mittels Laserstrahlung (Ls) Kontaktlöcher (Kl) in die Kunststoffschicht (Ks) eingebracht werden und
  • - elektrisch leitende Verbindungen zwischen einander zugeordneten Anschlußflächen (A) von Träger (T) und Bauelementen (B) in Form von Durchkontaktierungen (D) in den Kontaktlöchern (Kl) und von Leiterbahnen (L) auf der Oberfläche der Kunststoffschicht (Ks) hergestellt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Kunststoffschicht (Ks) eine Folie aufgebracht wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch die Verwendung einer 10 bis 100 µm starken Folie.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Polyimidfolie.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die als Kunststoffschicht (Ks) verwendete Folie unter Anwendung von Druck und Wärme aufgebracht wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktlöcher (Kl) mit Hilfe eines Excimer- Lasers in die Kunststoffschicht (Ks) eingebracht werden.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktlöcher (Kl) mit Hilfe eines Nd:YAG- Lasers mit zwei Frequenzverdopplern in die Kunststoff­ schicht (Ks) eingebracht werden.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchkontaktierungen (D) und die Leiterbahnen (L) durch ganzflächige Metallabscheidung (M) und nachfolgende ätztechnische Strukturierung hergestellt werden.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß empfindliche Bereiche der Bauelemente (B), insbe­ sondere optische Austrittsfenster von LEDs, vor dem Aufbringen der Kunststoffschicht (Ks) durch aufgelegte Metallstreifen (Ms) geschützt werden.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Austrittsfenster von LEDs durch Abtragen der über dem zugeordneten Metallstreifen (Ms) liegenden Kunststoffschicht (Ks) mittels Laserstrahlung (Ls) freigelegt werden.
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