DE4204406A1 - Verfahren zur herstellung eines homogenen, schlierenfreien koerpers aus quarzglas - Google Patents
Verfahren zur herstellung eines homogenen, schlierenfreien koerpers aus quarzglasInfo
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Description
Verfahren zur Herstellung eines homogenen, schlierenfreien Körpers aus Quarz
glas oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas durch Umformen eines im we
sentlichen stabförmigen Ausgangskörpers, wobei in einem Umformschritt der
Ausgangskörper unter Bildung eines, eine schichtweise radial homogenisierte,
axiale Schichtung aufweisenden Drillkörpers, um seine Längsachse verdrillt
wird.
Ein derartiges Verfahren ist aus der DE-PS 567 863 bekannt. Bei dem bekannten
Verfahren wird ein Quarzglas-Zylinder in einem Heizraum zwischen zwei, an den
Zylinderenden angeschmolzenen Stäben gehalten und durch Relativbewegungen
dieser Stäbe zueinander um seine Längsachse verdrillt. Durch das Verdrillen
des Zylinders wird die Glasmasse in radialer Richtung durchmischt und vorhan
dene Inhomogenitäten, die beispielsweise optisch als Schlieren erfaßbar sind,
werden dabei im wesentlichen entfernt. In Richtung der Zylinderachse
gesehen, findet beim Verdrillen jedoch keine Durchmischung statt, so daß Inho
mogenitäten längs der Zylinderachse erhalten bleiben. Durch ein derartiges
Verdrillen wird im Zylinder daher eine Art Schichtstruktur von Schlieren er
zeugt, wobei die Schichten senkrecht zur Zylinderachse verlaufen und je nach
Richtung der Beanspruchung des Zylinders optische Störungen hervorrufen. Zur
vollständigen Homogenisierung der Glasmasse wird bei dem bekannten Verfahren
ein Kneten und Rühren mittels der angeschmolzenen Stäbe, bis zur praktischen
Schlierenfreiheit vorgeschlagen.
Mittels dieses Verfahrens sind homogene Körper aus Quarzglas mit einem Gewicht
bis etwa 8 kg herstellbar. Mit zunehmendem Gewicht der Glasmasse machen sich
jedoch auch zunehmend Probleme hinsichtlich der Halterung der Glasmasse mit
tels der Stäbe sowie einer ausreichend gleichmäßigen Erwärmung des Körpers
über seinen gesamten Querschnitt bemerkbar. Insbesondere sind mit schweren
Glasmassen starke Misch- und Umformbewegungen, wie sie beispielsweise beim
Rühren und Kneten auftreten, aufgrund der mechanischen Beanspruchung der An
schmelzstellen an die Glasmasse nicht durchführbar.
Ein Verfahren zur Herstellung von Stangen aus blasenfreiem Quarzglas in einem
einstufigen Prozeß ist aus der DE-OS 32 01 777 bekannt. Bei diesem Verfahren
wird aus einem an einem Ende erhitzten Quarzglaszylinder kontinuierlich eine
Stange abgezogen, wobei der Zylinder und die Stange gegenläufig um ihre Längs
achse rotiert werden und die Glasmasse in der Erhitzungszone verdrillt wird.
Aufgrund der fehlenden Durchmischung in Längsachsenrichtung ist die Herstellung
von Quarzglas-Körpern, die in allen Raumrichtungen homogen und schlierenfrei
sind mit diesem Verfahren jedoch nicht möglich.
In der US-PS 43 58 306 ist ein Verfahren zum Formen eines Quarzglas-Blocks
beschrieben, bei dem ein Ausgangsblock in einer Graphitform erhitzt, mittels
eines in die Graphitform absenkbaren Druckstempels verformt und anschließend
langsam abgekühlt wird. Dabei soll der Abkühlvorgang die Entstehung von
Schlieren oder Rissen verhindern. Aufgrund der fehlenden intensiven Durchmi
schung der Quarzglasmasse ist mit diesem Verfahren ein vollständig homogener,
insbesondere über längere Strecken schlierenfreier Körper jedoch nicht her
stellbar.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein kostengünstiges
Verfahren für die Herstellung homogener, großvolumiger Körper aus Quarzglas
oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas bereitzustellen.
Ausgehend von dem eingangs angegebenen Verfahren, wird die Aufgabe erfindungs
gemäß dadurch gelöst, daß die Bildung eines Glasstabes, dessen Längsachse im
wesentlichen senkrecht zu der Schichtung verläuft, einen Umformschritt umfaßt,
bei dem der Drillkörper in einer aufheizbaren Form erweicht und unter einer in
Achsrichtung wirkenden Kraft, in einer Richtung quer zur Achsrichtung in die
Form zu einem Glaskörper verformt wird, und daß der Glasstab um seine Längs
achse verdrillt wird.
Nach dem Umformschritt, bei dem der Ausgangskörper um seine Längsachse ver
drillt wird, liegt ein im wesentlichen zylinderförmiger Drillkörper vor, bei
dem keine oder nur eine unwesentliche Durchmischung der Glasmasse in Längsach
senrichtung stattgefunden hat. Der Drillkörper ist daher in Längsachsenrich
tung gesehen inhomogen, wobei die Inhomogenitäten beispielsweise als Schlieren
sichtbar sind und in der Glasmasse als senkrecht zur Achse des Drillkörpers
verlaufende Inhomogenitäts-Schichten bzw. als in Längsachsenrichtung verlau
fende Schichtung auftreten. Dabei soll der Ausdruck "Schicht" eine flächen
mäßige Ausdehnung einer Inhomogenität, "Schichtung" hingegen die Anordnung
bzw. Abfolge der einzelnen Schichten, in Richtung senkrecht zu den Schichten,
bezeichnen. Durch die Bildung eines Glasstabes, dessen Längsachse im wesent
lichen senkrecht zu der Schichtung verläuft, wird erreicht, daß die Inhomo
genitäts-Schichten durch einfaches Verdrillen des Glasstabes um seine Längs
achse durchmischt und dabei im wesentlichen entfernt werden könnnen. Das Ver
drillen kann auch bei großvolumigen Glasstäben auf die bekannte Weise durch
gegenläufige Rotation von an den Enden des erweichten Glasstabes angeschmol
zenen Stäben erfolgen.
Da die Bildung des Glasstabes einen Umformschritt umfaßt, bei dem der Drill
körper in einer aufheizbaren Form erweicht wird, ist eine Umformung auch sehr
schwerer Massen möglich, wobei die in die Form eingebrachte Glasmasse nach der
Umformung den unteren Teil der Form ausfüllt. Dabei kann die Viskosität der
Glasmasse auch niedriger eingestellt werden als dies bei dem bekannten Verfah
ren zur Homogenisierung der Glasmasse mittels angeschmolzener Stangen möglich
wäre, so daß eine leichtere Durchmischung der gesamten Glasmasse und damit
eine bessere Homogenisierung erzielt wird. Die Verwendung einer aufheizbaren
Form für das Erweichen der umzuformenden Glasmasse ermöglicht die Einstellung
eines homogenen Temperaturfeldes über die gesamte umzuformende Glasmasse. Der
Drillkörper wird dabei unter einer in Achsrichtung wirkenden Kraft, in einer
Richtung quer zur Achsrichtung in die Form zu einem Glaskörper verformt, in
dem die Inhomogenitäts-Schichten unter weitgehender Beibehaltung ihrer relati
ven Lage zueinander und ihrer Schichtenfolge orientiert sind, wobei jedoch
durch das Stauchen des Drillkörpers in Achsrichtung der im Glaskörper vorlie
gende Schichtabstand gegenüber demjenigen im Drillkörper verkürzt ist. Dadurch
wird erreicht, daß im Drillkörper weit voneinander entfernte Schichten, die
lokal unterschiedliche Materialeigenschaften repräsentieren, im Glaskörper
absolut näher zusammenliegen und dadurch einer nachfolgenden Vermischung mit
einander leichter zugänglich sind. Dabei kann der bei der Verformung des
Drillkörpers wirkenden Kraft als Widerlager beispielsweise der Boden der Form
dienen, wobei der Drillkörper dort erweicht und dabei von einem Ende beginnend
in Richtung quer zur Achsrichtung verformt wird. Die gleiche Verformung wird
aber beispielsweise auch dadurch erreicht, daß der Drillkörper kontinuierlich
einer Erhitzungszone zugeführt, dort in einem mittleren Bereich seiner Länge
erweicht und unter einer in Achsrichtung wirkenden Kraft, in eine im Erhit
zungsbereich angeordnete Form, quer zur Achsrichtung zu einem Glaskörper ver
formt wird.
Das Verdrillen des Ausgangskörpers und das Verdrillen des Glasstabes gewähr
leistet eine gute Durchmischung ursprünglich im Ausgangskörper weit entfernter
Bereiche der Glasmasse in zwei senkrecht aufeinanderstehenden Richtungen,
wodurch eine sehr gute Homogenität des Quarzglas-Körpers in allen Raumrichtun
gen erreicht wird. Bei sehr hohen Anforderungen an die optische Homogenität
kann das erfindungsgemäße Verfahren auch mit dem Glasstab als Ausgangskörper
wiederholt werden.
Insbesondere für die Herstellung sehr großer, homogener Körper hat sich ein
Verfahren bewährt, das einen Umformschritt umfaßt, bei dem der Glaskörper in
Form einer Glasplatte gebildet wird. Das Umformen der Glasmasse des
Drillkörpers erfordert bei großem Volumen der Glasmasse lange Umformzeiten.
Durch Erhöhen der Erweichungstemperatur kann die Umformzeit verkürzt werden,
jedoch ist dann vermehrt mit Abdampfverlusten der Glasmasse, mit chemischen
Reaktionen des Glases mit dem Form-Material oder mit verstärktem Abrieb der
Form durch die an den Formwänden vorbeifließende Glasmasse, zu rechnen. Die
dadurch verursachten Inhomogenitäten in der Glasmasse können durch die Auf
trennung des Umformschrittes der Umformung des Drillkörpers in den Glasstab in
mehrere, kleinere Umformschritte, bei denen zunächst aus dem Drillkörper eine
Glasplatte und aus dieser der Glasstab erzeugt wird, vermieden oder vermindert
werden. Hierfür wird der Drillkörper beispielsweise in einer Form stehend
erweicht, bis er unter Einwirkung einer in Achsrichtung wirkenden Kraft, bei
spielsweise unter Einwirkung der Kraft des eigenen Gewichtes in sich zusammen
fällt und dabei in die Form in Richtung quer zur Achsrichtung verformt wird.
Zur Erzielung eines homogenen Temperaturfeldes innerhalb der umzuformenden
Glasmasse, wird die Form vorzugsweise von einem sie umgebenden, elektrisch
beheizbaren Ofen aufgeheizt. Dabei wird die Glasplatte im Hinblick auf einen
nachfolgenden Umformschritt, bei dem ein Glasstab gebildet wird, dessen Längs
achse im wesentlichen senkrecht zur Schichtung verläuft, vorteilhafterweise so
gebildet, daß in ihr die Schichten entweder senkrecht, vorzugsweise jedoch
parallel zur großen Plattenoberfläche verlaufen. Das Volumen der Glasmasse und
die Innenmaße der Form sind dabei vorteilhafterweise so aufeinander abge
stimmt, daß eine Glasplatte gebildet wird, deren Dicke etwas kleiner ist als
eine oder die seitliche Abmessung des zu bildenden Glasstabes.
In einem weiteren Umformschritt kann dann aus der so hergestellten Glasplatte
durch Erweichen in einer Form und unter Einwirkung einer Kraft der Glasstab
gebildet werden. Dabei wird die Glasplatte in der Form so orientiert, daß
unter Berücksichtigung der Wirkungsrichtung der Kraft der Glasstab gebildet
wird. Bei einer Glasplatte, bei der die Inhomogenitäts-Schichten parallel zur
Oberfläche verlaufen bedeutet dies beispielsweise eine Stauchung in einer
Richtung parallel zur Plattenoberfläche. Um die Orientierung der Inhomogeni
täts-Schichten weitgehend zu erhalten wird die Stauchung der Glasplatte vor
teilhafterweise so ausgeführt, daß die mit der Stauchung einhergehende Ver
längerung einer anderen Seite der Glasplatte im wesentlichen nur
in einer Richtung und/oder deren Gegenrichtung erfolgt. Dies wird dadurch
erreicht, daß die Dicke der Glasplatte nur wenig kleiner als eine seitliche
oder die seitliche Abmessung des zu bildenden Glasstabes, bzw. etwas kleiner
als die entsprechende Innenabmessung der Form für die Herstellung des Glas
stabes gewählt wird.
Dabei hat es sich besonders bewährt, die Glasplatte mit einem, in Wirkungs
richtung der Umformkraft gesehen, rechteckigen Querschnitt auszubilden. Insbe
sondere die Handhabung großvolumiger Glasplatten und deren weitere Umformung
zu dem zu bildenden Glasstab wird dadurch vereinfacht.
Ein Verfahren, bei dem der Glasstab durch Umformen des Drillkörpers in einem
einzigen Umformschritt gebildet wird, zeichnet sich durch besondere Wirt
schaftlichkeit aus. Die Glasmasse muß dabei nur für das Verdrillen sowie für
den einen Umformschritt erhitzt werden. Weiterhin wird für das Umformen des
Drillkörpers in den Glasstab nur eine Form benötigt.
Es wird eine Verfahrensweise bevorzugt, bei der die Kraft zum Umformen die
Schwerkraft und/oder eine mechanisch erzeugte Umform-Kraft umfaßt. Ein Umform
schritt, bei dem die Glasmasse allein aufgrund ihres Eigengewichtes, unter der
Wirkung der Schwerkraft in sich zusammenfällt, bewirkt eine langsame Verfor
mung und eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Glasmasse und verhin
dert so die Bildung zusätzlicher Inhomogenitäten beim Umformen. Durch eine
zusätzlich auf die umzuformende Glasmasse aufgebrachte, in die gleiche Rich
tung wie die Schwerkraft wirkende Umform-Kraft, beispielsweise ein auf die
Glasmasse wirkendes Zusatzgewicht, wird der Umformvorgang beschleunigt. Bei
einer Verformung unter einer künstlich erzeugten Umform-Kraft, beispielsweise
unter einem von außen auf die Glasmasse aufgebrachten Druck, kann das Umformen
der Glasmasse in jeder Richtung erfolgen und die Umformgeschwindigkeit über
die Höhe des aufgebrachten Drucks gesteuert und, falls erforderlich, beschleu
nigt werden. Außerdem kann die Temperatur während des Umformschrittes niedri
ger gewählt werden. Zwischen dem Form-Material und die Glasmasse eventuell
ablaufende chemische und physikalische Reaktionen können dadurch verhindert
oder vermindert werden.
Das erfindugsgemäße Verfahren wird anhand einer Zeichnung nachfolgend bei
spielhaft beschrieben. In der Zeichnung zeigen in schematischer Darstellung:
Fig. 1 das Verdrillen eines Ausgangskörpers um seine Längsachse unter Bil
dung eines Drillkörpers,
Fig. 2 einen verdrillten Ausgangskörper in einer Form zur Herstellung einer
Glasplatte,
Fig. 3 eine Glasplatte nach Entnahme aus der in Fig. 2 dargestellten Form,
Fig. 4 das Einsetzen einer Glasplatte gemäß Fig. 3 in eine Form zur Bildung
eines Glasstabes,
Fig. 5 einen Glasstab, nach Entnahme aus der Form gemäß Fig. 4,
Fig. 6 einen Drillkörper in einer Form zur Bildung eines Glasstabes in einem
Umformschritt und
Fig. 7 den aus dem Drillkörper gemäß Fig. 6 gebildeten Glasstab in der Form
gemäß Fig. 6.
In Fig. 1 ist mit der Bezugsziffer 1 ein zylinderförmiger Ausgangskörper mit
einem Gewicht von ca. 15 kg bezeichnet. Durch gegenläufige Rotation zweier, an
den Zylinderenden angeschmolzener Pfeifen 2; 3 wird der Ausgangskörper 1 um
seine Längsachse verdrillt und dabei die Glasmasse unter Bildung eines Drill
körpers 5 in radialer Richtung intensiv vermischt. Die Rotationsrichtungen der
Pfeifen 2, 3 ist mit den Richtungspfeilen 4 gekennzeichnet. Aufgrund der
Durchmischung der Glasmasse in radialer Richtung werden Inhomogenitäten in
dieser Richtung weitgehend entfernt. Inhomogenitäten die sich in Längsachsen
richtung des Ausgangskörpers 1 erstrecken, können auf diese Weise jedoch nicht
beseitigt werden und bleiben im Drillkörper 5 als Schlieren-Schichten 6 sicht
bar, da in dieser Richtung keine oder nur wenig Durchmischung der Glasmasse
stattfindet. Die Schlieren-Schichten 6 verlaufen dabei im wesentlichen senk
recht zur Zylinderachse, bzw. die Schichtung verläuft in Richtung der Zylin
derachse.
In Fig. 2 ist schematisch dargestellt, wie der Drillkörper 5 in einer Form 7
erweicht wird und unter seinem eigenen Gewicht in sich zusammenfällt. Der
Übersichtlichkeit halber ist der die Form 7 aufheizende, elektrisch beheizte
Ofen in der Figur nicht dargestellt. Das Volumen der Glasmasse des Drillkör
pers 5 und die Innenmaße 8, 9 der Form 7 sind dabei gerade so ausgelegt, daß
die gesamte erweichte Glasmasse in der Form 7 eine Schicht mit der Stärke S,
nämlich 110 mm, auffüllt, wobei die Innenmaße 8; 9 der Form 7 mit 300 mm bzw.
200 mm größer sind als die Stärke S. Nach dem Erstarren der Glasmasse wird der
Form 7 eine Glasplatte 10 entnommen, wie sie in Fig. 3 dargestellt ist. Die
Glasplatte 10 weist Außenabmessungen entsprechend den Innenabmessungen 8; 9
der Form 7 und eine Stärke auf die, abgesehen von einer geringförmigen
Schrumpfung, dem Wert S entspricht. Da auch durch den Umformschritt der Ver
formung des Drillkörpers 5 zu der Glasplatte 10 kaum eine Durchmischung der
Glasmasse in Längsachsenrichtung erfolgt, bleiben die Schlieren-Schichten 6 in
der Glasplatte 10, unter Beibehaltung ihrer Orientierung und ihrer relativen
Lage zueinander, im wesentlichen erhalten. Sie verlaufen darin im allgemeinen
parallel zur großen Plattenoberfläche 11.
Die Glasplatte 10 wird, wie in Fig. 4 dargestellt, in einer Graphitform 12
bei einer Temperatur von ca. 1850°C erweicht, deren Seitenwände 13; 14; 15;
16 einen Raum mit rechteckiger Grundfläche umschließen, wobei die langen Sei
tenwände 13; 15 eine Länge von ca. 560 mm haben und einen Abstand voneinander
halten, der etwas größer ist als die Stärke S der Glasplatte 10. Die Glasplat
te 10 wird vorzugsweise mittig in der Graphitform 12 plaziert und dabei so in
der Graphitform 12 orientiert, daß die langen Seitenwände 13; 15 sowohl paral
lel zu der großen Plattenoberfläche 11 (Fig. 3) als auch parallel zu den
Schlieren-Schichten 6 verlaufen. Da sich die erweichende Glasmasse im wesent
lichen in einer Richtung bzw. der Gegenrichtung dazu, nämlich parallel zu den
langen Seitenwänden 13; 15 verformt, behalten die Schlieren-Schichten 6 auch
in der Glasmasse des sich bildenden Glasstabes 17 (Fig. 5) diese Orientierung
bei.
Nach dem Erstarren kann der Graphitform 12 ein Glasstab 17 mit einem in Achs
richtung gesehen annähernd quadratischen Querschnitt und den Abmessungen
110 mm × 110 mm entnommen werden, wie er in Fig. 5 dargestellt ist. In diesem
Glasstab 17, dessen Länge und Querschnittsfläche mit der Länge und Quer
schnittsfläche des Ausgangskörpers 1 vergleichbar sind, verlaufen die Schlie
ren-Schichten 6 parallel zu seiner Längsachse (bzw. verläuft die Schichtung
der Schlieren senkrecht zur Längsachse); sie sind durch ein Verdrillen des
Glasstabes 17 um die Längsachse leicht zu entfernen. Der so hergestellte Kör
per ist in drei Raumrichtungen homogen.
Anhand der Fig. 1 bis 5 wurde beispielhaft ein Verfahren erläutert, bei dem
eine Verformung eines Drillkörpers 5 zu einem Glasstab 17, in dem die Schlie
ren-Schichten 6 parallel zur Längsachse verlaufen, über einen Zwischen-Umform
schritt erfolgte, bei dem eine Glasplatte 10 gebildet wurde. Der gleiche Glas
stab 17 läßt sich, ausgehend von einem Drillkörper 5, auch in nur einem Um
formschritt herstellen. Dieses Verfahren, das aufgrund der höheren Umformraten
und stärkeren Umformbewegungen, höhere Erweichungstemperaturen und längere
Umformzeiten erfordert, ist beispielhaft in den Fig. 6 und 7 erläutert.
Dabei wird die Glasmasse eines Drillkörpers 5, wie in Fig. 6 dargestellt,
senkrecht stehend in einem Graphit-Rohr 18 erweicht, dessen untere Öffnung in
eine Bohrung des Mantels eines zweiten, senkrecht zum ersten Graphit-Rohr 18
angeordneten Graphit-Rohres 19, mündet. Die Innenmaße des ersten Graphit-Roh
res 18 sind nur wenig größer als die Außenmaße des Drillkörpers 5 gewählt.
Unter dem eigenen Gewicht und einer zusätzlich auf die obere Stirnfläche des
Drillkörpers 5 wirkenden Gewichtskraft, deren Wirkungsrichtung durch den Pfeil
20 symbolisiert ist, fällt der Drillkörper 5 in sich zusammen und verformt
sich unter Bildung eines Glasstabes 22 (Fig. 7) in Bezug auf die Glasmasse im
wesentlichen in einer Richtung senkrecht zur Längsachse des Drillkörpers. Die
wesentliche Verformungs-Richtung ist in Fig. 6 mit den Richtungspfeilen 21
dargestellt.
Nach der vollständigen Umformung der Glasmasse des Drillkörpers 5 liegen die
Schlieren-Schichten 6 im wesentlichen parallel zur Längsachse des so gebilde
ten Glasstabes 22, wie es in Fig. 7 schematisch dargestellt ist. Der
Glasstab 22 wird danach durch Verdrillen um seine Längsachse vollständig
homogenisiert.
Claims (6)
1. Verfahren zur Herstellung eines homogenen, schlierenfreien Körpers aus
Quarzglas oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas durch Umformen eines
im wesentlichen stabförmigen Ausgangskörpers, wobei in einem Umformschritt
der Ausgangskörper unter Bildung eines, eine schichtweise radial homo
genisierte, axiale Schichtung aufweisenden Drillkörpers, um seine Längs
achse verdrillt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildung eines Glas
stabes (17; 22), dessen Längsachse im wesentlichen senkrecht zu der
Schichtung verläuft, einen Umformschritt umfaßt, bei dem der Drillkör
per (5) in einer aufheizbaren Form (7; 18) erweicht und unter einer in
Achsrichtung wirkenden Kraft, in einer Richtung quer zur Achsrichtung in
die Form (7; 18) zu einem Glaskörper (10; 22) verformt wird, und daß der
Glasstab (17; 22) um seine Längsachse verdrillt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Glaskör
per (10, 22) in Form einer Glasplatte (10) ausgebildet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasplatte (10)
mit einer Plattenstärke gebildet wird, die im wesentlichen einer seitli
chen Abmessung des zu bildenden Glasstabes (17) entspricht.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Glas
platte (10) mit einem, in Wirkungsrichtung der Kraft gesehen, rechtecki
gen Querschnitt, gebildet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch Umformen des
Drillkörpers (5) in einem einzigen Umformschritt der Glasstab (17) gebil
det wird.
6. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Kraft die Schwerkraft und/oder eine mechanisch erzeugte
Umform-Kraft umfaßt.
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Publications (2)
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DE4204406A1 true DE4204406A1 (de) | 1993-08-26 |
DE4204406C2 DE4204406C2 (de) | 1995-04-06 |
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Country | Link |
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US (1) | US5443607A (de) |
DE (1) | DE4204406C2 (de) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0673888A1 (de) * | 1994-03-26 | 1995-09-27 | Heraeus Quarzglas GmbH | Gestalteter Artikel aus synthetischem Quarzglas für optische Zwecke und Verfahren zu dessen Herstellung |
WO1998051630A1 (de) * | 1997-05-15 | 1998-11-19 | Schott Ml Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer homogenen, schlierenfreien quarzglasplatte |
WO2006056296A1 (de) * | 2004-11-22 | 2006-06-01 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur herstellung eines optischen bauteils aus quarzglas, sowie zur durchführung des verfahrens geeigneter rohling |
DE102005043289B3 (de) * | 2005-09-09 | 2006-09-14 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs für ein optisches Bauteil hoher Homogenität, zur Durchführung des Verfahrens geeigneter Rohling sowie Verwendung des Rohlings und des Halbzeugs |
DE102006024831A1 (de) * | 2006-05-24 | 2007-11-29 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs aus synthetischem Quarzglas |
DE102009043680A1 (de) | 2009-09-30 | 2011-03-31 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Rohling aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung |
US7981824B2 (en) | 2004-05-17 | 2011-07-19 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Quartz glass blank and method for producing said blank |
WO2011104257A1 (de) | 2010-02-26 | 2011-09-01 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Rohling aus titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem glas für ein spiegelsubstrat für den einsatz in der euv-lithographie und verfahren für seine herstellung |
DE102011119374A1 (de) | 2011-11-25 | 2013-05-29 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas |
DE102011119341A1 (de) | 2011-11-25 | 2013-05-29 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas nach der Sootmethode |
DE102011119373A1 (de) | 2011-11-25 | 2013-05-29 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas |
US8984911B2 (en) | 2011-11-25 | 2015-03-24 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Atomizing method for producing synthetic quartz glass |
EP2960219A1 (de) * | 2014-06-27 | 2015-12-30 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung |
US9290404B2 (en) | 2005-06-10 | 2016-03-22 | Momentive Performance Materials Inc. | Free-formed quartz glass ingots and method for making same |
EP3299345A1 (de) | 2016-09-22 | 2018-03-28 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verfahren zur herstellung eines optischen rohlings aus synthetischem quarzglas |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6553790B1 (en) * | 2000-05-09 | 2003-04-29 | Fitel Usa Corp. | Process for fabricating optical fiber involving tuning of core diameter profile |
DE50206534D1 (de) * | 2001-08-15 | 2006-06-01 | Schott Ag | Quarzglasplatte sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von optischen Bauteilen |
DE10159961C2 (de) * | 2001-12-06 | 2003-12-24 | Heraeus Quarzglas | Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben |
DE10159962A1 (de) * | 2001-12-06 | 2003-07-03 | Heraeus Quarzglas | Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben |
JP2004131373A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-30 | Corning Inc | シリカ・チタニア極端紫外線光学素子の製造方法 |
US7155936B2 (en) * | 2003-08-08 | 2007-01-02 | Corning Incorporated | Doped silica glass articles and methods of forming doped silica glass boules and articles |
US20070059533A1 (en) * | 2005-09-12 | 2007-03-15 | Burdette Steven R | Thermal reflow of glass and fused silica body |
GB2478307A (en) | 2010-03-02 | 2011-09-07 | Heraeus Quartz Uk Ltd | Manufacture of silica glass |
JP6208576B2 (ja) * | 2013-12-24 | 2017-10-04 | 信越石英株式会社 | 成型用型及び石英ガラスインゴットの成型方法 |
EP3643687B1 (de) * | 2018-10-26 | 2022-11-30 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verfahren und vorrichtung zur homogenisierung von glas |
EP3643688B1 (de) * | 2018-10-26 | 2022-12-14 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verfahren zur homogenisierung von glas |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE567863C (de) * | 1931-11-29 | 1933-01-11 | Heraeus Gmbh W C | Verfahren zum Erzeugen von praktisch schlierenfreien Quarzglasmassen |
US4358306A (en) * | 1980-10-06 | 1982-11-09 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for molding a fused quartz glass block |
DE3201777A1 (de) * | 1982-01-21 | 1983-08-04 | Hans 6451 Neuberg Zahn | "verfahren zur herstellung von stangen aus quarzglas" |
DE3226451C2 (de) * | 1982-07-15 | 1984-09-27 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Verfahren zur Herstellung von schlierenfreien, blasenfreien und homogenen Quarzglasplatten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3128169A (en) * | 1953-11-25 | 1964-04-07 | Heraeus Schott Quarzschmelze | Process for making quartz glass casings |
-
1992
- 1992-02-14 DE DE4204406A patent/DE4204406C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-12-21 US US08/170,925 patent/US5443607A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE567863C (de) * | 1931-11-29 | 1933-01-11 | Heraeus Gmbh W C | Verfahren zum Erzeugen von praktisch schlierenfreien Quarzglasmassen |
US4358306A (en) * | 1980-10-06 | 1982-11-09 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for molding a fused quartz glass block |
DE3201777A1 (de) * | 1982-01-21 | 1983-08-04 | Hans 6451 Neuberg Zahn | "verfahren zur herstellung von stangen aus quarzglas" |
DE3226451C2 (de) * | 1982-07-15 | 1984-09-27 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Verfahren zur Herstellung von schlierenfreien, blasenfreien und homogenen Quarzglasplatten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Cited By (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5790315A (en) * | 1994-03-26 | 1998-08-04 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Synthetic silica glass formed article for optical use |
US5970746A (en) * | 1994-03-26 | 1999-10-26 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Method for preparing silica glass article |
US6209354B1 (en) | 1994-03-26 | 2001-04-03 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Method of preparing silica glass article |
EP0673888A1 (de) * | 1994-03-26 | 1995-09-27 | Heraeus Quarzglas GmbH | Gestalteter Artikel aus synthetischem Quarzglas für optische Zwecke und Verfahren zu dessen Herstellung |
WO1998051630A1 (de) * | 1997-05-15 | 1998-11-19 | Schott Ml Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer homogenen, schlierenfreien quarzglasplatte |
US6415630B1 (en) | 1997-05-15 | 2002-07-09 | Schott Glas | Method and device for producing a homogenous sheet of quartz glass without streaks |
US7981824B2 (en) | 2004-05-17 | 2011-07-19 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Quartz glass blank and method for producing said blank |
WO2006056296A1 (de) * | 2004-11-22 | 2006-06-01 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur herstellung eines optischen bauteils aus quarzglas, sowie zur durchführung des verfahrens geeigneter rohling |
US9290404B2 (en) | 2005-06-10 | 2016-03-22 | Momentive Performance Materials Inc. | Free-formed quartz glass ingots and method for making same |
DE102005057194B4 (de) * | 2005-06-10 | 2020-11-12 | General Electric Co. | Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasgussblocks |
DE102005043289B3 (de) * | 2005-09-09 | 2006-09-14 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs für ein optisches Bauteil hoher Homogenität, zur Durchführung des Verfahrens geeigneter Rohling sowie Verwendung des Rohlings und des Halbzeugs |
US7854147B2 (en) | 2005-09-09 | 2010-12-21 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing a semifinished product for an optical component of high homogeneity |
DE102006024831A1 (de) * | 2006-05-24 | 2007-11-29 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs aus synthetischem Quarzglas |
DE102006024831B4 (de) * | 2006-05-24 | 2008-03-27 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs aus synthetischem Quarzglas |
US8393179B2 (en) | 2006-05-24 | 2013-03-12 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing a semifinished product from synthetic quartz glass |
WO2011039159A1 (de) | 2009-09-30 | 2011-04-07 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Rohling aus titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem glas für ein spiegelsubstrat für den einsatz in der euv-lithographie und verfahren für seine herstellung |
DE102009043680A1 (de) | 2009-09-30 | 2011-03-31 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Rohling aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung |
DE102010009589B4 (de) * | 2010-02-26 | 2011-12-29 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines Rohlings aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie |
DE102010009589A1 (de) | 2010-02-26 | 2011-09-01 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Rohling aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung |
WO2011104257A1 (de) | 2010-02-26 | 2011-09-01 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Rohling aus titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem glas für ein spiegelsubstrat für den einsatz in der euv-lithographie und verfahren für seine herstellung |
US8997528B2 (en) | 2011-11-25 | 2015-04-07 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing synthetic quartz glass |
US9061935B2 (en) | 2011-11-25 | 2015-06-23 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing synthetic quartz glass |
WO2013076192A1 (de) | 2011-11-25 | 2013-05-30 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SYNTHETISCHEM QUARZGLAS DURCH ABSCHEIDUNG VON SiO2-SOOT AUS DER DAMPFPHASE AUF EINER UNTERLAGE |
WO2013076193A1 (de) | 2011-11-25 | 2013-05-30 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur herstellung von synthetischem quarzglas nach der sootmethode |
US8973407B2 (en) | 2011-11-25 | 2015-03-10 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing synthetic quartz glass |
US8984911B2 (en) | 2011-11-25 | 2015-03-24 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Atomizing method for producing synthetic quartz glass |
DE102011119374A1 (de) | 2011-11-25 | 2013-05-29 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas |
WO2013076191A1 (de) | 2011-11-25 | 2013-05-30 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur herstellung von synthetischem quarzglas durch abscheidung von silicasoot aus der dampfphase auf einer unterlage |
DE102011119341A1 (de) | 2011-11-25 | 2013-05-29 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas nach der Sootmethode |
DE102011119373A1 (de) | 2011-11-25 | 2013-05-29 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas |
US9540271B2 (en) | 2014-06-27 | 2017-01-10 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Blank made of titanium-doped silica glass and method for the production thereof |
EP2960219A1 (de) * | 2014-06-27 | 2015-12-30 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung |
EP3299345A1 (de) | 2016-09-22 | 2018-03-28 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verfahren zur herstellung eines optischen rohlings aus synthetischem quarzglas |
US10807901B2 (en) | 2016-09-22 | 2020-10-20 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing an optical blank from synthetic quartz glass |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5443607A (en) | 1995-08-22 |
DE4204406C2 (de) | 1995-04-06 |
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