DE4134011A1 - Ccd-bildwandler mit horizontalem ccd-bereich - Google Patents

Ccd-bildwandler mit horizontalem ccd-bereich

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Description

Die Erfindung betrifft allgemein einen CCD-Bildwandler (CCD = ladungsgekoppeltes Bauelement), insbesondere mit einem hori­ zontalen bzw. HCCD-Bereich, an dessen Ausgang eine Sperr­ ionenschicht gebildet ist.
Ein CCD-Bildwandler wird im allgemeinen so gebildet, daß eine Vielzahl von Fotoempfängern und eine Vielzahl von Signalver­ schiebungsbereichen auf einem Substrat aus einem Halbleiter­ material wie Siliciumoxid angeordnet wird. Als die Fotoemp­ fänger können Elemente gewählt werden, die eine Bildaufnahme vom sichtbaren Bereich bis zum Infrarotbereich zu ermög­ lichen.
Fig. 4 ist ein schematisches Schaltbild des Aufbaus eines konventionellen CCD-Bildwandlers vom Typ mit Übertragung zwischen den Leitungen. Dabei hat der konventionelle CCD- Bildwandler einen n-leitenden HCCD-Bereich und eine Vielzahl von n-leitenden vertikalen bzw. VCCD-Bereichen, und an jeden dieser Bereiche ist jeweils eine einer Serie von n-leitenden Fotodioden PD gekoppelt. Jede der n-leitenden Fotodioden PD ist mit dem n-leitenden VCCD-Bereich so gekoppelt, daß eine davon ausgegebene Bildsignalladung in einer einzigen Richtung zu dem n-leitenden VCCD-Bereich übertragen wird. Außerdem sind die n-leitenden VCCD-Bereiche mit dem n-leitenden HCCD- Bereich so verbunden, daß die von den Fotodioden PD übertra­ genen Signalladungen gleichzeitig zu dem n-leitenden HCCD- Bereich übertragen werden, und zwar aufgrund von ersten bis vierten VCCD-Taktsignalen Vo1-Vo4, wobei ein Taktsignal jeweils einer Phase entspricht. Mit dem n-leitenden HCCD- Bereich ist ein Abtastverstärker gekoppelt, der Zustände der Signalladungen abtastet und die Abtastzustände der Signal­ ladungen um einen vorbestimmten Verstärkungsfaktor verstärkt.
Der Betrieb des konventionellen CCD-Bildwandlers mit dem obi­ gen Aufbau gemäß Fig. 4 wird nachstehend beschrieben.
Zuerst erzeugen die n-leitenden Fotodioden PD bei Empfang von einer Abbildung entsprechendem auftreffendem Licht diesem Licht entsprechende Signalladungen. Die von den n-leitenden Fotodioden PD erzeugten Signalladungen werden über Transfer­ gates (nicht gezeigt) zu den n-leitenden VCCD-Bereichen übertragen. Dann übertragen die n-leitenden VCCD-Bereiche die von den Fotodioden PD übertragenen Signalladungen zu dem n- leitenden HCCD-Bereich, und zwar gleichzeitig aufgrund des ersten bis vierten VCCD-Taktsignals Vo1-Vo4. Die zum n-lei­ tenden HCCD-Bereich übertragenen Bildsignalladungen werden dann aufgrund von HCCD-Taktsignalen Ho1 und Ho2 von zwei Phasen zum Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs übertragen. Die am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs ankommenden Signalladungen werden über ein Ausgabegatter (nicht gezeigt) zu einem Float-Diffusionsbereich 4 (Fig. 5 ) übertragen. Dann erfolgt durch den Abtastverstärker eine Abtastung der im Float-Diffusionsbereich 4 gespeicherten Signalladungen, und der Abtastverstärker liefert dem Abtastergebnis entsprechende Informationen in Form von Ausgangsspannungen.
Fig. 5 zeigt im Schnitt den Aufbau der Endstufe des n-leiten­ den HCCD-Bereichs von Fig. 1. Auf einem n-leitenden Substrat 1 ist eine p-leitende Potentialmulde 2 geformt, auf deren Oberfläche der n-leitende HCCD-Bereich 3 zur horizontalen Übertragung der Signalladungen, der n⁺-leitende Float-Diffu­ sionsbereich 4 zur vorübergehenden Speicherung der übertra­ genen Signalladungen und eine n⁺-leitende Löschsenke 5 zum Löschen der vorübergehend im n⁺-leitenden Float-Diffusions­ bereich 4 gespeicherten Signalladungen gebildet sind. Auf der Oberseite des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 sind wiederum erste Steuerelektroden 6 und zweite Steuerelektroden 7 gebildet. In Teilen des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 unter den zweiten Steuerelektroden 7 sind n⁻-leitende Sperrionenschichten 12 geformt, die Potentialschwellen zum leichteren Übertragen der Signalladungen bilden. Auf der Oberseite des Ausgangs des n- leitenden HCCD-Bereichs 3 ist ein Ausgabegatter 8 gebildet, an das eine konstante Vorgleichspannung zur Bildung von kon­ stanten Potentialschwellen für die Übertragung der Bildsi­ gnalladungen vom n-leitenden HCCD-Bereich 3 zum Float-Diffu­ sionsbereich 4 angelegt wird. Auf der Oberseite zwischen dem Float-Diffusionsbereich 4 und der Löschsenke 5 ist eine Löschsteuerelektrode 9 geformt zur Übertragung der im Float- Diffusionsbereich 4 gespeicherten Signalladungen zur Lösch­ senke 5 aufgrund eines Lösch-Taktsignals Ro, um das Potential des Float-Diffusionsbereichs 4 in den Ausgangszustand zu­ rückzubringen.
Mit dem Float-Diffusionsbereich 4 ist der Eingang des Abtast­ verstärkers gekoppelt (nicht gezeigt), um die Größe der im Float-Diffusionsbereich 4 gespeicherten Signalladungen abzu­ tasten und Spannungsinformationen entsprechend dem Abtaster­ gebnis auszugeben. Dabei können die Materialien der ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 jeweils ein Polysilicium sein.
Nachstehend wird unter Bezugnahme auf Fig. 6 der Betrieb des so aufgebauten konventionellen CCD-Bildwandlers beschrieben.
Fig. 6 zeigt ein Potentialprofil für den Aufbau von Fig.
Die von den Fotodioden PD erzeugten Signalladungen werden durch die n-leitenden VCCD-Bereiche zum n-leitenden HCCD-Be­ reich 3 übertragen. Die zum n-leitenden HCCD-Bereich 3 über­ tragenen Signalladungen werden von den ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 aufgrund der Taktsignale Ho1 und Ho2 zum Ausgang des CCD-Bildwandlers übertragen, wie Fig. 6 zeigt.
Da das Ausgabegatter 8 am Ausgang des n-leitenden HCCD-Be­ reichs 3 durch die Konstantspannung vorgespannt ist, wird das potential am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 beim An­ legen von Hochpegel-Taktsignalen Ho1 und Ho2 an die ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 niedrig, so daß die Si­ gnalladungen nicht über die Potentialschwellen des Ausgabe­ gatters 8 weitergeleitet werden. Andererseits wird bei An­ legen von Niedrigpegel-Taktsignalen Ho1 und Ho2 an die ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 das Potential am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 hoch, so daß die Signalla­ dungen die Potentialschwellen des Ausgabegatters 8 passieren können. Infolgedessen werden die Signalladungen vom n-leiten­ den HCCD-Bereich 3 zum Float-Diffusionsbereich 4 übertragen.
Die übertragenen Signalladungen werden in dem Float-Diffu­ sionsbereich 4 vorübergehend gespeichert. Dann tastet der Abtastverstärker die Größe der im Float-Diffusionsbereich 4 gespeicherten Signalladungen ab und liefert Spannungsinfor­ mationen entsprechend dem Abtastergebnis. Die Löschsteuer­ elektrode 9 entlädt die im Float-Diffusionsbereich 4 gespei­ cherten Signalladungen durch die Löschsenke 5 aufgrund des Lösch-Taktsignals Ro.
Der konventionelle CCD-Bildwandler mit dem vorgenannten HCCD- Bereich weist jedoch den Nachteil auf, daß zwischen dem Float-Diffusionsbereich 4 und dem Ausgabegatter 8 sowie zwischen dem Float-Diffusionsbereich 4 und der Löschsteuer­ elektrode 9 eine hohe elektrostatische Kapazität vorhanden ist wie beispielsweise eine zwischen der Gate-Elektrode und den Source-/Drain-Elektroden eines Transistors auftretende Abschnürung. Diese elektrostatische Kapazität verschlechtert die Empfindlichkeit des Float-Diffusionsbereichs 4. Die Be­ ziehung zwischen der elektrostatischen Kapazität C, der Ladungsänderung ΔQ und der Spannungsänderung ΔV kann durch die folgende Gleichung (1) wie folgt definiert werden:
Gemäß der obigen Gleichung (1) nimmt die Spannungsänderung ΔV mit zunehmender elektrostatischer Kapazität C ab, obwohl die Ladungsänderung ΔQ konstant ist.
Aufgabe der Erfindung ist daher die Bereitstellung eines CCD- Bildwandlers, bei dem eine elektrostatische Kapazität zwi­ schen einem Float-Diffusionsbereich und einem Ausgabegatter des Bildwandlers so verringert ist, daß die Empfindlichkeit des Float-Diffusionsbereichs erhöht werden kann.
Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe gelöst durch einen CCD-Bildwandler, der einen HCCD-Bereich mit einem Ausgabe­ gatter zur Bildung von Potentialschwellen am Ausgang hat, wobei das Ausgabegatter mit einer konstanten Gleichspannung vorgespannt ist; dieser CCD-Bildwandler ist gekennzeichnet durch eine Sperrionenschicht, die unter einem Teil des HCCD- Bereichs gebildet ist, der dem Ausgabegatter entspricht und als Ersatz für dieses Ausgabegatter funktioniert, wobei die Sperrionenschicht von einem Leitungstyp ist, der von demje­ nigen des HCCD-Bereichs verschieden ist.
Die Erfindung wird nachstehend auch hinsichtlich weiterer Merkmale und Vorteile anhand der Beschreibung von Ausfüh­ rungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in:
Fig. 4 eine schematisch Darstellung des Aufbaus eines konven­ tionellen CCD-Bildwandlers von einem mit Zeilenüber­ tragung arbeitenden Typ;
Fig. 5 eine Schnittdarstellung, die den Aufbau des Ausgangsteils eines n-leitenden HCCD-Bereichs von Fig. 4 zeigt;
Fig. 6 ein Potentialprofil, das der Konstruktion von Fig. 5 entspricht;
Fig. 1 eine Schnittdarstellung, die den Aufbau des Ausgangsteils eines n-leitenden HCCD-Bereichs bei einem CCD-Bildwandler gemäß der Erfindung zeigt;
Fig. 2 ein Potentialprofil für die Konstruktion von Fig. 1 und
Fig. 3 ein Diagramm der Potentialverteilung entlang der Linie A-A′ von Fig. 1.
Unter Bezugnahme auf Fig. 1 wird zuerst der Aufbau des Ausgangs­ teils eines n-leitenden HCCD-Bereichs in einem CCD-Bildwandler beschrieben.
Fig. 1 zeigt im Schnitt den Aufbau des Ausgangsteils des n- leitenden HCCD-Bereichs in dem CCD-Bildwandler. Dabei ist auf einem n-leitenden Substrat 1 eine p-leitende Potentialmulde 2 geformt, und auf deren Oberfläche sind der n-leitende HCCD- Bereich 3 zur horizontalen Übertragung von Signalladungen, ein n⁺-leitender Float-Diffusionsbereich 4 zur vorübergehenden Speicherung der übertragenen Signalladungen und eine n⁺- leitende Löschsenke 5 zum Löschen der vorübergehend im n⁺- leitenden Float-Diffusionsbereich 4 gespeicherten Signalladungen gebildet. Auf der Oberseite des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 sind erste Steuerelektroden 6 und zweite Steuerelektroden 7 geformt. In Teilen des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 unter den zweiten Steuerelektroden 7 sind n-leitende Sperrionenschichten 12 zur Bildung von Potentialschwellen zum Zweck der leichteren Übertragung der Signalladungen gebildet. Am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 ist eine p-leiten­ de Sperrionenschicht 13 zur Bildung von Potentialschwellen geformt. Auf der Oberseite zwischen dem Float-Diffusionsbe­ reich 4 und der Löschsenke 5 ist eine Löschsteuerelektrode 9 geformt, um die in dem Float-Diffusionsbereich 4 gespeicher­ ten Signalladungen aufgrund eines Lösch-Taktsignals Ro zur Löschsenke 5 zu übertragen und das Potential des Float- Diffusionsbereichs 4 in den Ausgangszustand zurückzustellen. Dabei werden an die ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 HCCD-Taktsignale Ho1 und Ho2 angelegt. Mit dem Float-Diffu­ sionsbereich 4 ist der Eingang des Abtastverstärkers verbun­ den (nicht gezeigt), um die Größe der im Float-Diffusions­ bereich 4 gespeicherten Signalladungen abzutasten und ent­ sprechend dem Abtastergebnis Spannungsinformationen auszu­ geben. Dabei können die Materialien der ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 Polysiliciummaterialien sein.
Der Betrieb des so aufgebauten CCD-Bildwandlers wird nach­ stehend unter Bezugnahme auf die Fig. 2 und 3 im einzelnen beschrieben.
Fig. 2 zeigt ein Potentialprofil, das die Übertragung der Signalladungen vom HCCD-Bereich 3 zu dem Float-Diffusionsbe­ reich 4 verdeutlicht. Die von den Fotodioden PD erzeugten Signalladungen werden durch die n-leitenden VCCD-Bereiche zum n-leitenden HCCD-Bereich 3 übertragen. Die zum n-leitenden HCCD-Bereich 3 übertragenen Signalladungen werden von den ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 aufgrund der Taktsignale Ho1 und Ho2 zum Ausgang des CCD-Bildwandlers übertragen, wie Fig. zeigt.
Da also die p-leitende Sperrionenschicht 13 am Ausgang des n- leitenden HCCD-Bereichs 3 mit einer Konstantspannung vorge­ spannt ist, wird das Potential am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 niedrig, wenn Hochpegel-Taktsignale Ho1 und Ho2 an die ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 an­ gelegt werden, so daß die Signalladungen die Potentialwälle der p-leitenden Sperrionenschicht 13 nicht passieren können. Wenn andererseits Niedrigpegel-Taktsignale Ho1 und Ho2 an die ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 angelegt werden, wird das potential am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 hoch, so daß die Signalladungen über die Potentialschwellen der p-leitenden Sperrionenschicht 13 gelangen können. Infol­ gedessen werden die Signalladungen aus dem n-leitenden HCCD- Bereich 3 zu dem Float-Diffusionsbereich 4 übertragen. Die übertragenen Signalladungen werden in dem Float-Diffusions­ bereich 4 vorübergehend gespeichert. Dann tastet der Abtast­ verstärker den Wert der im Float-Diffusionsbereich 4 gespei­ cherten Signalladungen ab und liefert dem Abtastergebnis ent­ sprechende Ausgangsspannungsinformationen. Die Löschsteuer­ elektrode 9 entlädt die im Float-Diffusionsbereich 4 gespei­ cherten Signalladungen durch die Löschsenke 5 aufgrund des Lösch-Taktsignals Ro.
Fig. 3 zeigt ein Verteilungsdiagramm des Potentials entlang der Linie A-A′ von Fig. um die p-leitende Sperrschicht 13 herum. Durch die Bildung einer Übergangszone zwischen dem n- leitenden HCCD-Bereich 3 und der p-leitenden Sperrionen­ schicht 13 übersteigt das höchste Potential einen Abschnü­ rungsspannungspegel nicht.
Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel kann anstelle der p-leitenden Sperrionenschicht 13 eine n--lei­ tende Sperrionenschicht am Ausgang des n-leitenden HCCD-Be­ reichs 3 gebildet werden. Die n⁻-leitende Sperrionenschicht wird gebildet durch Vermindern der Konzentration von n-lei­ tenden Störstellen in dem Teil des Ausgangs des n-leitenden HCCD-Bereichs 3, der der p-leitenden Sperrionenschicht 13 entspricht.
Wie vorstehend beschrieben, wird gemäß der Erfindung zum Zweck der Bildung der Potentialwälle die p-leitende Sperr­ ionenschicht am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs an­ stelle des Ausgabegatters gebildet. Daher kann der CCD-Bild­ wandler gemäß der Erfindung die elektrostatische Kapazität an seinem Float-Diffusionsbereich verringern, so daß die Emp­ findlichkeit des Float-Diffusionsbereichs erhöht werden kann und es außerdem nicht notwendig ist, die Vorgleichspannung an seinen Ausgang anzulegen.

Claims (4)

1. CCD-Bildwandler, der einen HCCD-Bereich mit einem Aus­ gabegatter zur Bildung von Potentialwällen an seinem Ausgang aufweist, wobei das Ausgabegatter von einer konstanten Gleichspannung vorgespannt ist, gekennzeichnet durch eine unter einem Teil des HCCD-Bereichs (3), der dem Aus­ gabegatter entspricht, gebildete Sperrionenschicht (13); die als Ersatz für das Ausgabegatter wirkt.
2. CCD-Bildwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitungstyp der Sperrionenschicht (13) von demjenigen des HCCD-Bereichs (3) verschieden ist.
3. CCD-Bildwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sperrionenschicht (13) vom gleichen Leitungstyp wie der HCCD-Bereich (3) ist und die Störstellenkonzentration der Sperrionenschicht niedriger als diejenige des HCCD-Bereichs ist.
4. CCD-Bildwandler nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sperrionenschicht (13) ein Potential unterhalb eines Abschnürungsspannungspegels hat.
DE4134011A 1990-10-13 1991-10-14 CCD-Bildwandler Expired - Lifetime DE4134011C2 (de)

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