DE4134011A1 - Ccd-bildwandler mit horizontalem ccd-bereich - Google Patents
Ccd-bildwandler mit horizontalem ccd-bereichInfo
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Description
Die Erfindung betrifft allgemein einen CCD-Bildwandler (CCD =
ladungsgekoppeltes Bauelement), insbesondere mit einem hori
zontalen bzw. HCCD-Bereich, an dessen Ausgang eine Sperr
ionenschicht gebildet ist.
Ein CCD-Bildwandler wird im allgemeinen so gebildet, daß eine
Vielzahl von Fotoempfängern und eine Vielzahl von Signalver
schiebungsbereichen auf einem Substrat aus einem Halbleiter
material wie Siliciumoxid angeordnet wird. Als die Fotoemp
fänger können Elemente gewählt werden, die eine Bildaufnahme
vom sichtbaren Bereich bis zum Infrarotbereich zu ermög
lichen.
Fig. 4 ist ein schematisches Schaltbild des Aufbaus eines
konventionellen CCD-Bildwandlers vom Typ mit Übertragung
zwischen den Leitungen. Dabei hat der konventionelle CCD-
Bildwandler einen n-leitenden HCCD-Bereich und eine Vielzahl
von n-leitenden vertikalen bzw. VCCD-Bereichen, und an jeden
dieser Bereiche ist jeweils eine einer Serie von n-leitenden
Fotodioden PD gekoppelt. Jede der n-leitenden Fotodioden PD
ist mit dem n-leitenden VCCD-Bereich so gekoppelt, daß eine
davon ausgegebene Bildsignalladung in einer einzigen Richtung
zu dem n-leitenden VCCD-Bereich übertragen wird. Außerdem
sind die n-leitenden VCCD-Bereiche mit dem n-leitenden HCCD-
Bereich so verbunden, daß die von den Fotodioden PD übertra
genen Signalladungen gleichzeitig zu dem n-leitenden HCCD-
Bereich übertragen werden, und zwar aufgrund von ersten bis
vierten VCCD-Taktsignalen Vo1-Vo4, wobei ein Taktsignal
jeweils einer Phase entspricht. Mit dem n-leitenden HCCD-
Bereich ist ein Abtastverstärker gekoppelt, der Zustände der
Signalladungen abtastet und die Abtastzustände der Signal
ladungen um einen vorbestimmten Verstärkungsfaktor verstärkt.
Der Betrieb des konventionellen CCD-Bildwandlers mit dem obi
gen Aufbau gemäß Fig. 4 wird nachstehend beschrieben.
Zuerst erzeugen die n-leitenden Fotodioden PD bei Empfang von
einer Abbildung entsprechendem auftreffendem Licht diesem
Licht entsprechende Signalladungen. Die von den n-leitenden
Fotodioden PD erzeugten Signalladungen werden über Transfer
gates (nicht gezeigt) zu den n-leitenden VCCD-Bereichen
übertragen. Dann übertragen die n-leitenden VCCD-Bereiche die
von den Fotodioden PD übertragenen Signalladungen zu dem n-
leitenden HCCD-Bereich, und zwar gleichzeitig aufgrund des
ersten bis vierten VCCD-Taktsignals Vo1-Vo4. Die zum n-lei
tenden HCCD-Bereich übertragenen Bildsignalladungen werden
dann aufgrund von HCCD-Taktsignalen Ho1 und Ho2 von zwei
Phasen zum Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs übertragen.
Die am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs ankommenden
Signalladungen werden über ein Ausgabegatter (nicht gezeigt)
zu einem Float-Diffusionsbereich 4 (Fig. 5 ) übertragen. Dann
erfolgt durch den Abtastverstärker eine Abtastung der im
Float-Diffusionsbereich 4 gespeicherten Signalladungen, und
der Abtastverstärker liefert dem Abtastergebnis entsprechende
Informationen in Form von Ausgangsspannungen.
Fig. 5 zeigt im Schnitt den Aufbau der Endstufe des n-leiten
den HCCD-Bereichs von Fig. 1. Auf einem n-leitenden Substrat
1 ist eine p-leitende Potentialmulde 2 geformt, auf deren
Oberfläche der n-leitende HCCD-Bereich 3 zur horizontalen
Übertragung der Signalladungen, der n⁺-leitende Float-Diffu
sionsbereich 4 zur vorübergehenden Speicherung der übertra
genen Signalladungen und eine n⁺-leitende Löschsenke 5 zum
Löschen der vorübergehend im n⁺-leitenden Float-Diffusions
bereich 4 gespeicherten Signalladungen gebildet sind. Auf der
Oberseite des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 sind wiederum erste
Steuerelektroden 6 und zweite Steuerelektroden 7 gebildet. In
Teilen des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 unter den zweiten
Steuerelektroden 7 sind n⁻-leitende Sperrionenschichten 12
geformt, die Potentialschwellen zum leichteren Übertragen der
Signalladungen bilden. Auf der Oberseite des Ausgangs des n-
leitenden HCCD-Bereichs 3 ist ein Ausgabegatter 8 gebildet,
an das eine konstante Vorgleichspannung zur Bildung von kon
stanten Potentialschwellen für die Übertragung der Bildsi
gnalladungen vom n-leitenden HCCD-Bereich 3 zum Float-Diffu
sionsbereich 4 angelegt wird. Auf der Oberseite zwischen dem
Float-Diffusionsbereich 4 und der Löschsenke 5 ist eine
Löschsteuerelektrode 9 geformt zur Übertragung der im Float-
Diffusionsbereich 4 gespeicherten Signalladungen zur Lösch
senke 5 aufgrund eines Lösch-Taktsignals Ro, um das Potential
des Float-Diffusionsbereichs 4 in den Ausgangszustand zu
rückzubringen.
Mit dem Float-Diffusionsbereich 4 ist der Eingang des Abtast
verstärkers gekoppelt (nicht gezeigt), um die Größe der im
Float-Diffusionsbereich 4 gespeicherten Signalladungen abzu
tasten und Spannungsinformationen entsprechend dem Abtaster
gebnis auszugeben. Dabei können die Materialien der ersten
und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 jeweils ein Polysilicium
sein.
Nachstehend wird unter Bezugnahme auf Fig. 6 der Betrieb des
so aufgebauten konventionellen CCD-Bildwandlers beschrieben.
Fig. 6 zeigt ein Potentialprofil für den Aufbau von Fig.
Die von den Fotodioden PD erzeugten Signalladungen werden
durch die n-leitenden VCCD-Bereiche zum n-leitenden HCCD-Be
reich 3 übertragen. Die zum n-leitenden HCCD-Bereich 3 über
tragenen Signalladungen werden von den ersten und zweiten
Steuerelektroden 6 und 7 aufgrund der Taktsignale Ho1 und Ho2
zum Ausgang des CCD-Bildwandlers übertragen, wie Fig. 6
zeigt.
Da das Ausgabegatter 8 am Ausgang des n-leitenden HCCD-Be
reichs 3 durch die Konstantspannung vorgespannt ist, wird das
potential am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 beim An
legen von Hochpegel-Taktsignalen Ho1 und Ho2 an die ersten
und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 niedrig, so daß die Si
gnalladungen nicht über die Potentialschwellen des Ausgabe
gatters 8 weitergeleitet werden. Andererseits wird bei An
legen von Niedrigpegel-Taktsignalen Ho1 und Ho2 an die ersten
und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 das Potential am Ausgang
des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 hoch, so daß die Signalla
dungen die Potentialschwellen des Ausgabegatters 8 passieren
können. Infolgedessen werden die Signalladungen vom n-leiten
den HCCD-Bereich 3 zum Float-Diffusionsbereich 4 übertragen.
Die übertragenen Signalladungen werden in dem Float-Diffu
sionsbereich 4 vorübergehend gespeichert. Dann tastet der
Abtastverstärker die Größe der im Float-Diffusionsbereich 4
gespeicherten Signalladungen ab und liefert Spannungsinfor
mationen entsprechend dem Abtastergebnis. Die Löschsteuer
elektrode 9 entlädt die im Float-Diffusionsbereich 4 gespei
cherten Signalladungen durch die Löschsenke 5 aufgrund des
Lösch-Taktsignals Ro.
Der konventionelle CCD-Bildwandler mit dem vorgenannten HCCD-
Bereich weist jedoch den Nachteil auf, daß zwischen dem
Float-Diffusionsbereich 4 und dem Ausgabegatter 8 sowie
zwischen dem Float-Diffusionsbereich 4 und der Löschsteuer
elektrode 9 eine hohe elektrostatische Kapazität vorhanden
ist wie beispielsweise eine zwischen der Gate-Elektrode und
den Source-/Drain-Elektroden eines Transistors auftretende
Abschnürung. Diese elektrostatische Kapazität verschlechtert
die Empfindlichkeit des Float-Diffusionsbereichs 4. Die Be
ziehung zwischen der elektrostatischen Kapazität C, der
Ladungsänderung ΔQ und der Spannungsänderung ΔV kann durch
die folgende Gleichung (1) wie folgt definiert werden:
Gemäß der obigen Gleichung (1) nimmt die Spannungsänderung ΔV
mit zunehmender elektrostatischer Kapazität C ab, obwohl die
Ladungsänderung ΔQ konstant ist.
Aufgabe der Erfindung ist daher die Bereitstellung eines CCD-
Bildwandlers, bei dem eine elektrostatische Kapazität zwi
schen einem Float-Diffusionsbereich und einem Ausgabegatter
des Bildwandlers so verringert ist, daß die Empfindlichkeit
des Float-Diffusionsbereichs erhöht werden kann.
Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe gelöst durch einen
CCD-Bildwandler, der einen HCCD-Bereich mit einem Ausgabe
gatter zur Bildung von Potentialschwellen am Ausgang hat,
wobei das Ausgabegatter mit einer konstanten Gleichspannung
vorgespannt ist; dieser CCD-Bildwandler ist gekennzeichnet
durch eine Sperrionenschicht, die unter einem Teil des HCCD-
Bereichs gebildet ist, der dem Ausgabegatter entspricht und
als Ersatz für dieses Ausgabegatter funktioniert, wobei die
Sperrionenschicht von einem Leitungstyp ist, der von demje
nigen des HCCD-Bereichs verschieden ist.
Die Erfindung wird nachstehend auch hinsichtlich weiterer
Merkmale und Vorteile anhand der Beschreibung von Ausfüh
rungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegenden
Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in:
Fig. 4 eine schematisch Darstellung des Aufbaus eines konven
tionellen CCD-Bildwandlers von einem mit Zeilenüber
tragung arbeitenden Typ;
Fig. 5 eine Schnittdarstellung, die den Aufbau des Ausgangsteils
eines n-leitenden HCCD-Bereichs von Fig. 4 zeigt;
Fig. 6 ein Potentialprofil, das der Konstruktion von Fig. 5
entspricht;
Fig. 1 eine Schnittdarstellung, die den Aufbau des Ausgangsteils
eines n-leitenden HCCD-Bereichs bei einem CCD-Bildwandler
gemäß der Erfindung zeigt;
Fig. 2 ein Potentialprofil für die Konstruktion von Fig. 1 und
Fig. 3 ein Diagramm der Potentialverteilung entlang der Linie
A-A′ von Fig. 1.
Unter Bezugnahme auf Fig. 1 wird zuerst der Aufbau des Ausgangs
teils eines n-leitenden HCCD-Bereichs in einem CCD-Bildwandler
beschrieben.
Fig. 1 zeigt im Schnitt den Aufbau des Ausgangsteils des n-
leitenden HCCD-Bereichs in dem CCD-Bildwandler. Dabei ist auf
einem n-leitenden Substrat 1 eine p-leitende Potentialmulde
2 geformt, und auf deren Oberfläche sind der n-leitende HCCD-
Bereich 3 zur horizontalen Übertragung von Signalladungen,
ein n⁺-leitender Float-Diffusionsbereich 4 zur vorübergehenden
Speicherung der übertragenen Signalladungen und eine n⁺-
leitende Löschsenke 5 zum Löschen der vorübergehend im n⁺-
leitenden Float-Diffusionsbereich 4 gespeicherten Signalladungen
gebildet. Auf der Oberseite des n-leitenden HCCD-Bereichs 3
sind erste Steuerelektroden 6 und zweite Steuerelektroden 7
geformt. In Teilen des n-leitenden HCCD-Bereichs
3 unter den zweiten Steuerelektroden 7 sind n-leitende
Sperrionenschichten 12 zur Bildung von Potentialschwellen zum
Zweck der leichteren Übertragung der Signalladungen gebildet.
Am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs 3 ist eine p-leiten
de Sperrionenschicht 13 zur Bildung von Potentialschwellen
geformt. Auf der Oberseite zwischen dem Float-Diffusionsbe
reich 4 und der Löschsenke 5 ist eine Löschsteuerelektrode 9
geformt, um die in dem Float-Diffusionsbereich 4 gespeicher
ten Signalladungen aufgrund eines Lösch-Taktsignals Ro zur
Löschsenke 5 zu übertragen und das Potential des Float-
Diffusionsbereichs 4 in den Ausgangszustand zurückzustellen.
Dabei werden an die ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und
7 HCCD-Taktsignale Ho1 und Ho2 angelegt. Mit dem Float-Diffu
sionsbereich 4 ist der Eingang des Abtastverstärkers verbun
den (nicht gezeigt), um die Größe der im Float-Diffusions
bereich 4 gespeicherten Signalladungen abzutasten und ent
sprechend dem Abtastergebnis Spannungsinformationen auszu
geben. Dabei können die Materialien der ersten und zweiten
Steuerelektroden 6 und 7 Polysiliciummaterialien sein.
Der Betrieb des so aufgebauten CCD-Bildwandlers wird nach
stehend unter Bezugnahme auf die Fig. 2 und 3 im einzelnen
beschrieben.
Fig. 2 zeigt ein Potentialprofil, das die Übertragung der
Signalladungen vom HCCD-Bereich 3 zu dem Float-Diffusionsbe
reich 4 verdeutlicht. Die von den Fotodioden PD erzeugten
Signalladungen werden durch die n-leitenden VCCD-Bereiche zum
n-leitenden HCCD-Bereich 3 übertragen. Die zum n-leitenden
HCCD-Bereich 3 übertragenen Signalladungen werden von den
ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 aufgrund der
Taktsignale Ho1 und Ho2 zum Ausgang des CCD-Bildwandlers
übertragen, wie Fig. zeigt.
Da also die p-leitende Sperrionenschicht 13 am Ausgang des n-
leitenden HCCD-Bereichs 3 mit einer Konstantspannung vorge
spannt ist, wird das Potential am Ausgang des n-leitenden
HCCD-Bereichs 3 niedrig, wenn Hochpegel-Taktsignale Ho1 und
Ho2 an die ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 an
gelegt werden, so daß die Signalladungen die Potentialwälle
der p-leitenden Sperrionenschicht 13 nicht passieren können.
Wenn andererseits Niedrigpegel-Taktsignale Ho1 und Ho2 an die
ersten und zweiten Steuerelektroden 6 und 7 angelegt werden,
wird das potential am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs 3
hoch, so daß die Signalladungen über die Potentialschwellen
der p-leitenden Sperrionenschicht 13 gelangen können. Infol
gedessen werden die Signalladungen aus dem n-leitenden HCCD-
Bereich 3 zu dem Float-Diffusionsbereich 4 übertragen. Die
übertragenen Signalladungen werden in dem Float-Diffusions
bereich 4 vorübergehend gespeichert. Dann tastet der Abtast
verstärker den Wert der im Float-Diffusionsbereich 4 gespei
cherten Signalladungen ab und liefert dem Abtastergebnis ent
sprechende Ausgangsspannungsinformationen. Die Löschsteuer
elektrode 9 entlädt die im Float-Diffusionsbereich 4 gespei
cherten Signalladungen durch die Löschsenke 5 aufgrund des
Lösch-Taktsignals Ro.
Fig. 3 zeigt ein Verteilungsdiagramm des Potentials entlang
der Linie A-A′ von Fig. um die p-leitende Sperrschicht 13
herum. Durch die Bildung einer Übergangszone zwischen dem n-
leitenden HCCD-Bereich 3 und der p-leitenden Sperrionen
schicht 13 übersteigt das höchste Potential einen Abschnü
rungsspannungspegel nicht.
Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel kann
anstelle der p-leitenden Sperrionenschicht 13 eine n--lei
tende Sperrionenschicht am Ausgang des n-leitenden HCCD-Be
reichs 3 gebildet werden. Die n⁻-leitende Sperrionenschicht
wird gebildet durch Vermindern der Konzentration von n-lei
tenden Störstellen in dem Teil des Ausgangs des n-leitenden
HCCD-Bereichs 3, der der p-leitenden Sperrionenschicht 13
entspricht.
Wie vorstehend beschrieben, wird gemäß der Erfindung zum
Zweck der Bildung der Potentialwälle die p-leitende Sperr
ionenschicht am Ausgang des n-leitenden HCCD-Bereichs an
stelle des Ausgabegatters gebildet. Daher kann der CCD-Bild
wandler gemäß der Erfindung die elektrostatische Kapazität an
seinem Float-Diffusionsbereich verringern, so daß die Emp
findlichkeit des Float-Diffusionsbereichs erhöht werden kann
und es außerdem nicht notwendig ist, die Vorgleichspannung an
seinen Ausgang anzulegen.
Claims (4)
1. CCD-Bildwandler, der einen HCCD-Bereich mit einem Aus
gabegatter zur Bildung von Potentialwällen an seinem Ausgang
aufweist, wobei das Ausgabegatter von einer konstanten
Gleichspannung vorgespannt ist,
gekennzeichnet durch
eine unter einem Teil des HCCD-Bereichs (3), der dem Aus
gabegatter entspricht, gebildete Sperrionenschicht (13); die
als Ersatz für das Ausgabegatter wirkt.
2. CCD-Bildwandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Leitungstyp der Sperrionenschicht (13) von demjenigen
des HCCD-Bereichs (3) verschieden ist.
3. CCD-Bildwandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Sperrionenschicht (13) vom gleichen Leitungstyp wie
der HCCD-Bereich (3) ist und die Störstellenkonzentration der
Sperrionenschicht niedriger als diejenige des HCCD-Bereichs
ist.
4. CCD-Bildwandler nach Anspruch 1, 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Sperrionenschicht (13) ein Potential unterhalb eines
Abschnürungsspannungspegels hat.
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