DE4104543A1 - Mit feinen gefrierteilchen arbeitende reinigungsvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Reinigungsvorrichtung, die feine Gefrierteilchen verwendet und den Reinigungsvorgang durch Aufsprühen feiner Gefrierteilchen, die durch Gefrieren von Wasser oder dergleichen erzeugt sind, auf einen zu reinigen­ den Gegenstand durchführt.

Fig. 2 ist eine seitliche Schnittansicht, die schematisch den Innenaufbau einer mit feinen Gefrierteilchen arbeitenden kon­ ventionellen Reinigungsvorrichtung zeigt. Die Vorrichtung um­ faßt einen Eiserzeugungsteil 10 mit einem als Doppelkonstruk­ tion ausgeführten Eiserzeugungsbehälter 1, der aus einem in­ neren und einem äußeren Eiserzeugungstrichter 1a bzw. 1b be­ steht. Der Innenraum des inneren Eiserzeugungstrichters 1a wird von einem Kältemittel 2 wie Flüssigstickstoff gekühlt, und der Raum zwischen dem inneren und dem äußeren Eiserzeu­ gungstrichter 1a und 1b ist ebenfalls mit Kältemittel ge­ füllt, so daß der innere Eiserzeugungstrichter 1a auch von der Außenseite gekühlt wird. Eine Flüssigkeit wie etwa hoch­ reines Wasser wird durch eine Sprühdüse 3 in den inneren Eis­ erzeugungstrichter 1a gesprüht und unter Bildung von feinen Gefrierteilchen 4 gefroren. Ein Reinigungsabschnitt 20 hat einen Reinigungsbehälter 7, in dem die feinen Gefrierteilchen 4, die im Eiserzeugungsteil 10 erzeugt wurden, mittels einer Spritzpistole auf einen zu reinigenden Gegenstand 6 aufge­ sprüht werden.

Es soll nun der Betrieb dieser Vorrichtung beschrieben wer­ den. Der Innenraum des inneren Eiserzeugungstrichters 1a wird von dem Kältemittel 2, das den Raum zwischen dem äußeren und dem inneren Eiserzeugungstrichter 1a und 1b ausfüllt, und von dem in diesen inneren Eiserzeugungstrichter 1a eingepreßten Kältemittel gekühlt. Wenn dabei Flüssigkeit aus der Sprühdüse 3 versprüht wird, werden feine Gefrierteilchen 4 erzeugt. Die so erzeugten feinen Gefrierteilchen 4 werden zu der Spritz­ pistole 5 überführt, die vom Saugstrahltyp ist und ein Trä­ gergas 2a wie Stickstoff oder trockene Druckluft verwendet. Durch die Strahlstromkraft des Trägergases 2a werden die fei­ nen Gefrierteilchen 4 auf den zu reinigenden Gegenstand 6 ge­ sprüht und reinigen die Oberfläche dieses Gegenstands 6. Die aus der Spritzpistole 5 versprühten feinen Gefrierteilchen 4, das Trägergas 2a usw. werden aus dem Reinigungsbehälter 7 durch einen Absaugauslaß 8 nach außen abgeführt. Somit tref­ fen die feinen Teilchen 4 auf die Oberfläche des Gegenstands 6 auf und bewirken das Entfernen von etwa darauf befindlichen Verunreinigungen (nicht gezeigt) und ihre Abführung zur Be­ hälteraußenseite. Die Geschwindigkeit, mit der die feinen Ge­ frierteilchen von der Spritzpistole 5 versprüht werden, wird durch Regelung des Strahldrucks des Trägergases 2a einge­ stellt. Die Divergenz des Sprühstroms von feinen Gefrierteil­ chen 4 aus der Spritzpistole 5 ist außerdem durch die Konfi­ guration der Strahldüse (nicht gezeigt) dieser Spritzpistole 5 bestimmt.

Da die oben beschriebene konventionelle Reinigungsvorrich­ tung, die mit feinen Gefrierteilchen arbeitet, eine Spritz­ pistole vom Saugstrahltyp verwendet, die einen Trägergas­ strahlstrom als Mittel zum Versprühen der feinen Gefrier­ teilchen auf den zu reinigenden Gegenstand verwendet, war es bisher schwierig, eine Feineinstellung der Geschwindigkeit, Richtung und Divergenz des Sprühstroms sowie der Korngröße der feinen Gefrierteilchen durchzuführen. Außerdem wird durch den Trägergasstrahlstrom die Luftströmung im Inneren des Rei­ nigungsteils während des Sprühvorgangs gestört, und infolge­ dessen werden die vom zu reinigenden Gegenstand entfernten Verunreinigungen umhergewirbelt, so daß sie wieder an dem Ge­ genstand anhaften können.

Die Erfindung dient dem Zweck der Lösung der vorgenannten Probleme. Aufgabe der Erfindung ist daher die Bereitstellung einer Reinigungsvorrichtung von der Art, die feine Gefrier­ teilchen verwendet, wobei die Geschwindigkeit, Richtung und Divergenz des Sprühstroms sowie die Korngröße der Gefrier­ teilchen beim Versprühen der feinen Gefrierteilchen unter Anwendung der Spritzpistole feineinstellbar sind, wodurch die Reinigungswirkung verbessert, der zu reinigende Gegenstand vor Beschädigungen geschützt und verhindert wird, daß Verun­ reinigungen nach dem Entfernen wiederum an dem Gegenstand anhaften.

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung eine mit feinen Gefrierteilchen arbeitende Reinigungsvorrichtung vor, die folgendes aufweist: eine Eiserzeugungseinrichtung zur Erzeugung von feinen Gefrierteilchen durch Zerstäuben einer zu gefrierenden Flüssigkeit in einer durch Kältemittel gekühlten Atmosphäre; eine Sprühsteuereinrichtung, die die von der Eiserzeugungs­ einrichtung erzeugten feinen Gefrierteilchen elektrisch auf­ lädt und sie dann durch elektromagnetische Kraft beschleunigt und außerdem die Sprührichtung der Teilchen sowie ihre Diver­ genz steuert, bevor die Teilchen auf einen zu reinigenden Ge­ genstand auftreffen; und eine Unterdruckabsaugeinrichtung, die einen Unterdruckraum mit einem veränderlichen Unterdruck­ grad erzeugt und die Durchführung einer Serie von Vorgängen (von der Erzeugung der feinen Gefrierteilchen bis zum Auf­ sprühen der Teilchen auf den zu reinigenden Gegenstand) in dem genannten Unterdruckraum bewirkt und die von dem zu rei­ nigenden Gegenstand entfernten Verunreinigungen sowie die verbrauchten Teilchen aus dem genannten Unterdruckraum ab­ führt.

Gemäß der Erfindung werden die Geschwindigkeit, Richtung und Divergenz der feinen Gefrierteilchen und der Grad des Unter­ drucks feineingestellt, wodurch der Reinigungsvorgang verbes­ sert und der zu reinigende Gegenstand vor Beschädigung ge­ schützt wird. Durch die Durchführung einer Serie von Vorgän­ gen in einem Unterdruckraum wird ferner verhindert, daß vom zu reinigenden Gegenstand einmal entfernte Verunreinigungen erneut daran haften.

Die Erfindung wird nachstehend auch hinsichtlich weiterer Merkmale und Vorteile anhand der Beschreibung von Ausfüh­ rungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in:

Fig. 1 eine perspektivansicht, die schematisch den Innen­ aufbau einer mit feinen Gefrierteilchen arbeitenden Reinigungsvorrichtung gemäß einem Ausführungsbei­ spiel der Erfindung zeigt; und

Fig. 2 einen seitlichen Querschnitt durch den Innenaufbau einer mit feinen Gefrierteilchen arbeitenden kon­ ventionellen Reinigungsvorrichtung.

Die Perspektivansicht von Fig. 1 zeigt den Innenaufbau der Reinigungsvorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel. Dabei ist die Konstruktion des Eiserzeugungsbehälters 1 des Eiser­ zeugungsteils 100 im wesentlichen die gleiche wie bei der konventionellen Vorrichtung nach Fig. 2. Wie nachstehend be­ schrieben wird, wird jedoch der innere Eiserzeugungstrichter 1a in einem Unterdruckzustand gehalten, so daß er luftdicht und mechanisch fest sein muß. Die im Eiserzeugungsbehälter 1 erzeugten feinen Gefrierteilchen 4 werden aufgrund der Schrägfläche des Trichterabschnitts im unteren Teil des inne­ ren Eiserzeugungstrichters 1a einem Förderrohr 1c zugeführt, durchlaufen das Förderrohr 1c und erreichen den oberen Teil eines Unterdruck-Reinigungsbehälters 30 des Reinigungsteils 200 und fallen daraus nach unten. Daher muß der Eiserzeu­ gungsbehälter 1 über dem Unterdruck-Reinigungsbehälter 30 an­ geordnet sein. Im Unterdruck-Reinigungsbehälter 30 sind, be­ ginnend mit dem obersten Abschnitt nahe dem Auslaß des För­ derrohrs 1c, folgende Abschnitte vorgesehen: ein Ladeab­ schnitt 40, ein Beschleunigungsabschnitt 50 und ein Gefrier­ teilchendivergenz-Steuerabschnitt 60, und der zu reinigende Gegenstand 6 ist darunter angeordnet. Der Ladeabschnitt 40 besteht aus zwei parallelen ebenen Elektroden 41a und 41b und einer Stromversorgung 42 und bewirkt eine Entladung zwischen den beiden Elektroden 41a und 41b, so daß die dazwischen durchtretenden feinen Gefrierteilchen 4 aufgeladen werden. Der Beschleunigungsabschnitt 50 besteht aus zwei ringförmigen Elektroden 51a und 51b und einer Stromversorgung 52 und dient dem Beschleunigen der durch die Ringe tretenden geladenen feinen Gefrierteilchen 4. Der Gefrierteilchendivergenz- Steuerabschnitt 60 umfaßt ein Paar von in X-Richtung paral­ lelen Elektrodenplatten (61a und 61b) und ein paar von in Y- Richtung parallelen Elektrodenplatten (62a und 62b) zur Bahn­ steuerung der Teilchen in bezug auf die X- und Y-Richtung in einer Horizontalebene, d. h. in einer zu der Bewegungsrich­ tung der Teilchen 4 senkrechten Ebene; eine Stromversorgung 63 für diese Elektroden; eine elektromagnetische Linse 64 zur Steuerung der Divergenz der Teilchen 4; und eine Stromversor­ gung 65 für diese Linse. Eine am Absaugauslaß 8 angeordnete Unterdrucksaugpumpe 70 saugt Luft ab, so daß sämtliche Vor­ gänge unter Vakuum durchgeführt werden können, und zwar ein­ schließlich die Vorgänge in dem Zwischenraum innerhalb des inneren Eiserzeugungstrichters 1a des Eiserzeugungsbehälters 1 und in dem Raum zwischen dem Unterdruck-Reinigungsbehälter 30, d. h. also, die Vorgänge einschließlich der Erzeugung der Teilchen 4 und des Sprühens der Teilchen auf den Gegenstand 6. Infolgedessen muß das Förderrohr 1c an dem Behälter 30 in solcher Weise befestigt sein, daß der Unterdruckzustand auf­ rechterhalten werden kann. Ferner ist die Saugpumpe 70 mit einer Antriebseinrichtung 71 verbunden. Ein Reinigungssteuer­ abschnitt 80 steuert die jeweiligen Stromversorgungen 42, 52, 63 und 65 der folgenden Abschnitte innerhalb des Behälters 30, also den Ladeabschnitt 40, den Beschleunigungsabschnitt 50 und den Gefrierteilchendivergenz-Steuerabschnitt 60 sowie die Antriebseinrichtung 71 der Vakuumsaugpumpe 70, so daß eine allgemeine Steuerung dieser Abschnitte stattfindet.

Nachstehend wird der Betrieb dieser Reinigungsvorrichtung beschrieben. Die zu gefrierende Flüssigkeit, beispielsweise hochreines Wasser, die aus der Sprühdüse 3 versprüht wird, wird unter Einsatz eines Kältemittels 2 in der beschriebenen Art in feine Gefrierteilchen 4 im inneren Eiserzeugungs­ trichter 1a umgewandelt. Die Gefrierteilchen 4 werden durch das Förderrohr 1c geführt und fallen aus dem obersten Ab­ schnitt des Unterdruck-Reinigungsbehälters 30. Dann werden die Teilchen von den parallelen ebenen Elektroden 41a und 41b des Ladeabschnitts 40 während ihres Durchtritts zwischen den Elektroden geladen. Die geladenen Teilchen 4 werden dann vom Beschleunigungsabschnitt 50 beschleunigt, in dem die Strom­ quelle 52 den beiden ringförmigen Elektroden 51a und 51b einen Gleichstrom zuführt, so daß zwischen diesen Elektroden ein elektrisches Feld erzeugt wird und die geladenen Teilchen 4 beschleunigt. Durch Regeln der angelegten Spannung kann die Geschwindigkeit der Teilchen 4 eingestellt werden. Wenn dann die beschleunigten Teilchen 4 zwischen den beiden Paaren von parallelen Elektrodenplatten (61a, 61b und 62a, 62b) des Ge­ frierteilchendivergenz-Steuerabschnitts 60 durchgehen, wird eine Bahnlagesteuerung in bezug auf die X- und die Y-Richtung in einer zur Bewegungsrichtung der Teilchen senkrechten Ebene durchgeführt. Ferner werden die Teilchen 4 hinsichtlich ihrer Teilchendivergenz gesteuert, wenn sie durch die elektromagne­ tische Linse 64 des Gefrierteilchendivergenz-Steuerabschnitts 60 gehen, bevor sie auf einen gewünschten Teil des zu reini­ genden Gegenstands 6 auftreffen dürfen. Die Verunreinigungen (nicht gezeigt) auf dem zu reinigenden Gegenstand werden da­ von entfernt durch das direkte Auftreffen der Teilchen 4 auf dem Gegenstand 6, durch die Streuung von ultrafeinen Gefrier­ teilchen, die an der Oberfläche des Gegenstands 6 gebildet werden, wenn die Teilchen 4 darauf auftreffen, durch den Niedrigtemperatureffekt, der durch die Teilchen 4 ausgelöst wird, usw. Der Niedrigtemperatur-Reinigungseffekt der feinen Gefrierteilchen 4 leitet sich aus der Kälte der Teilchen ab, die im Fall von Öl oder dergleichen als Verunreinigung das Öl verfestigen, so daß es leichter als in einem Flüssigzustand entfernt werden kann. Die Verunreinigungen, die vom zu reini­ genden Gegenstand 6 entfernt werden, die verbrauchten Ge­ frierteilchen usw. werden aus dem Behälter 30 durch die Vakuumsaugpumpe 70 abgezogen. Außerdem ist es erwünscht, daß der untere innere Teil des Reinigungsbehälters 30 so aufge­ baut ist, daß er ein leichtes Entfernen der Verunreinigungen und verbrauchten Teilchen 4 durch den Absaugauslaß 8 erlaubt, obwohl die Zeichnung in dieser Beziehung keine Hinweise gibt.

Bei der Reinigungsvorrichtung nach der Erfindung werden also die Geschwindigkeit, Richtung und Divergenz der Teilchen feingesteuert, so daß der Teil des zu reinigenden Gegen­ stands, auf den die Teilchen auftreffen, mit höherer Genauig­ keit definierbar ist. Ferner werden sämtliche Vorgänge (von der Erzeugung feiner Gefrierteilchen bis zum Reinigen des Gegenstands) in Behältern im Unterdruckzustand durchgeführt, so daß kaum die Gefahr besteht, daß Verunreinigungen während des Reinigungsvorgangs eindringen. Da ferner in den Behältern kein turbulenter Luftstrom erzeugt wird, besteht keine Gefahr eines erneuten Haftens der vom Gegenstand entfernten Verun­ reinigungen an diesem Gegenstand. Es ist somit möglich, den Reinigungsvorgang mit hohem Wirkungsgrad durchzuführen. Außerdem ist die Teilchensteuerung einfach, daß sie in einem Vakuum stattfindet. Allgemein wird die Steuerung der Korn­ größe der Teilchen 4 durch Ändern der Konfiguration der Sprühdüse 3 durchgeführt. Eine bessere Feineinstellung der Teilchengröße ist jedoch dadurch möglich, daß der Sublima­ tionsgrad der Teilchen geändert wird. Dies kann durch Ändern des Unterdrucks in den Behältern über eine Einstellung der Vakuumsaugpumpe 70 oder durch Einstellen der Geschwindigkeit der Teilchen 4 mittels Regelung der an den Beschleunigungsab­ schnitt 50 angelegten Spannung erfolgen, wodurch die Zeit­ dauer geändert wird, die die Teilchen 4 im Eiserzeugungsbe­ hälter 1 benötigen, um den zu reinigenden Gegenstand 6 zu erreichen. Diese Korngrößeneinstellung in Verbindung mit der Einstellung der Teilchengeschwindigkeit ermöglicht einen Schutz des zu reinigenden Gegenstands vor Beschädigungen. Die obigen Steuer- und Einstellvorgänge werden von dem Reini­ gungssteuerabschnitt 80 durchgeführt, der die jeweiligen Stromquellen der verschiedenen Abschnitte sowie die Antriebs­ einrichtung 71 allgemein steuert.

Das Ausführungsbeispiel wurde zwar unter Anwendung auf einen Reinigungsbetrieb mit feinen Gefrierteilchen beschrieben, die Erfindung kann aber auch zur Strukturierung einer Fotoresist­ schicht auf einem Halbleitersubstrat unter Anwendung der Teilchensprühsteuerung angewandt werden. In diesem Fall kann die Fotoresistschicht auf dem Siliciumsubstrat durch Aufsprü­ hen von Teilchen entfernt werden, d. h. die Strukturierung kann durch Verengen des Teilchenstrahlstroms zu einem schma­ len Strahl zum teilweisen Abtragen der Fotoresistschicht durchgeführt werden.

Bei der Reinigungsvorrichtung nach der Erfindung werden also feine Gefrierteilchen, die durch Zerstäuben einer zu gefrie­ renden Flüssigkeit in einer durch Kältemittel gekühlten Atmo­ sphäre erzeugt werden, elektrisch geladen, und ihre Geschwin­ digkeit, Richtung und Divergenz werden so gesteuert, daß sie auf den gewünschten Teil des zu reinigenden Gegenstands auf­ treffen, wobei sämtliche Vorgänge in Behältern unter Vakuum ausgeführt werden. Somit können die Geschwindigkeit, Richtung und Divergenz der Teilchen sowie die Korngröße feineinge­ stellt werden, was die Durchführung des Reinigungsvorgangs mit sehr hohem Wirkungsgrad ermöglicht und gleichzeitig sicherstellt, daß der zu reinigende Gegenstand nicht beschä­ digt wird.

Claims (5)

1. Mit feinen Gefrierteilchen arbeitende Reinigungsvorrich­ tung, gekennzeichnet durch
eine Eisteilchenerzeugungseinrichtung (1) zur Erzeugung feiner Gefrierteilchen;
eine Sprühsteuereinrichtung (40, 50, 60) zum elektrischen Steuern der Beschleunigung, Geschwindigkeit, Richtung und Verteilung der von der Eisteilchenerzeugungseinrichtung er­ zeugten feinen Gefrierteilchen, bevor sie auf einen zu reini­ genden Gegenstand (6) treffen; und
eine Vakuumsaugeinrichtung (30, 70) zur Erzeugung eines Raums mit änderbarem Unterdruck, so daß die Erzeugung von feinen Gefrierteilchen, das Aufsprühen der Teilchen auf den Gegenstand und das Absaugen von vom Gegenstand entfernten Verunreinigungen unter geeigneten Bedingungen durchführbar sind.

2. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Eisteilchenerzeugungseinrichtung aufweist: eine Sprühdüse (3) zum Zerstäuben der zu gefrierenden Flüssigkeit und einen Eiserzeugungsbehälter, dessen Innenatmosphäre, in der die zu gefrierende Flüssigkeit zerstäubt wird, ständig in einem gekühlten Zustand gehalten ist;
daß die Sprühsteuereinrichtung aufweist: einen Ladeab­ schnitt (40) zum elektrischen Laden der von der Eisteilchen­ erzeugungseinrichtung zugeführten feinen Gefrierteilchen, einen Beschleunigungsabschnitt (50) zum Beschleunigen der geladenen feinen Gefrierteilchen durch eine elektromagneti­ sche Kraft; und einen Eisteilchendivergenz-Steuerabschnitt (60), der durch elektromagnetische Kraft eine Richtungssteue­ rung der geladenen feinen Gefrierteilchen in bezug auf die X­ und die Y-Richtung bewirkt; und
daß die Vakuumsaugeinrichtung aufweist: einen Reinigungs­ behälter (30), der die verschiedenen Abschnitte (40, 50, 60) der Sprühsteuereinrichtung sowie den zu reinigenden Gegen­ stand (6) enthält und mit dem Eiserzeugungsbehälter (1) der Eisteilchenerzeugungseinrichtung verbunden ist; und eine Vakuumsaugpumpe (70), die im Innenraum des Eiserzeugungsbe­ hälters (1) der Eisteilchenerzeugungseinrichtung und in dem Innenraum des Reinigungsbehälters (30) einen Unterdruckzu­ stand erzeugt und die vom Gegenstand (6) entfernten Verunrei­ nigungen sowie die verbrauchten Teilchen aus dem Reinigungs­ behälter (30) absaugt.

3. Reinigungsvorrichtung nachh Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Reinigungssteuereinrichtung (80), die die jeweiligen Stromversorgungen (42, 52, 63, 65) der verschiedenen Ab­ schnitte der Sprühsteuereinrichtung und die Antriebsein­ richtung (71) der Vakuumsaugpumpe (70) der Vakuumabsaugein­ richtung allgemein steuert und den Grad des Unterdrucks in den Behältern sowie die Beschleunigung der Teilchen so ein­ stellt, daß die Zeitdauer, die die Teilchen bis zum Erreichen des Gegenstands (6) benötigen, änderbar ist, wodurch die Ge­ schwindigkeit der Teilchen und ihre Korngröße feineinstellbar sind.

4. Reinigungsvorichtung nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Eisteilchenerzeugungseinrichtung eine Doppelkon­ struktion aus einem inneren und einem äußeren Eiserzeugungs­ trichter (1a, 1b) ist, wobei der Innenraum des inneren Eis­ erzeugungstrichters von einem Kältemittel gekühlt und der Zwischenraum zwischen dem inneren und dem äußeren Eiserzeu­ gungstrichter mit Kältemittel gefüllt ist, wobei die zu ge­ frierende Flüssigkeit in dem inneren Eiserzeugungstrichter mittels der Sprühdüse (3) zerstäubt wird und der untere Teil des inneren Eiserzeugungstrichters einen Auslaufteil (1d), durch den die erzeugten feinen Gefrierteilchen (4) ohne wei­ teres durch die Schwerkraft nach unten führbar sind, und ein Förderrohr (1c) aufweist, das die Teilchen (4) in den Reini­ gungsbehälter (30) leitet;
daß die Sprühsteuereinrichtung aufweist: einen Ladeabschnitt (40) mit zwei parallelen ebenen Elek­ troden (41a, 41b), die die aus dem Förderrohr (1d) des Eis­ erzeugungsbehälters (1) zugeführten feinen Gefrierteilchen (4) elektrisch aufladen; einen Beschleunigungsabschnitt (50) mit zwei ringförmigen Elektroden (51a, 51b), die die gelade­ nen feinen Gefrierteilchen durch elektromagnetische Kraft be­ schleunigen; und einen Eisteilchendivergenz-Steuerabschnitt (60), der zwei Paare von ebenen Elektrodenplatten (61a, 61b und 62a, 62b) zur Durchführung einer Richtungssteuerung der geladenen feinen Gefrierteilchen in bezug auf die X- und Y- Richtung durch elektromagnetische Kraft und eine elektroma­ gnetische Linse (64) zur Steuerung der Divergenz der Teilchen aufweist;
daß die Vakuumabsaugeinrichtung aufweist: einen Reini­ gungsbehälter (30), der die verschiedenen Abschnitte (30, 40, 50) der Sprühsteuereinrichtung und den zu reinigenden Gegen­ stand (6) enthält und mit dem Förderrohr (1c) des Eiserzeu­ gungsbehälters verbunden ist; und die Vakuumsaugpumpe (70), die in dem Innenraum des inneren Eiserzeugungstrichters des Eiserzeugungsbehälters (1) und in dem Innenraum des Reini­ gungsbehälters (30) ein Vakuum erzeugt und Verunreinigungen und verbrauchte Teilchen aus dem Behälter absaugt; und
daß die Reinigungssteuereinrichtung aufweist: Stromquellen (42, 52, 63, 65) für die jeweiligen Abschnitte (40, 50, 60 ) der Sprühsteuereinrichtung; die Antriebseinrichtung (71) für die Vakuumsaugpumpe (70) der Vakuumabsaugeinrichtung; und einen Reinigungssteuerabschnitt (80), der die Stromquellen und die Antriebseinrichtung generell steuert zur Einstellung der Teilchengeschwindigkeit und der Teilchenkorngröße.

5. Reinigungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß der zu reinigende Gegenstand (6) ein Halbleitersub­ strat mit einer Fotoresistschicht auf seiner Oberfläche ist, wobei die Strukturierung des Halbleitersubstrats durch Ein­ engen der Divergenz der feinen Gefrierteilchen zu einem dün­ nen Strahl unf Aufbringen dieses Strahls auf die Fotoresist­ schicht zum teilweisen Entfernen derselben durchgeführt wird.