DE4031163A1 - Kanten-poliergeraet - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Kantenpoliergerät zum
Spiegelpolieren abgeschrägter Randabschnitte eines
Werkstücks, beispielsweise abgeschrägter Randkanten
abschnitte von Halbleiterplatten, Glasscheiben, Quarz
tafeln, keramischen Substraten und dergleichen.
Beispielsweise haben Halbleiterplatten wie Silicium
platten normalerweise Ränder, die abgeschrägt sind,
um ein Abplatzen an den Rändern und eine Wölbung mit
epitaxialem Wachstum zu verhindern. Nach der Ausbil
dung der Abschrägung, bei der Diamantschleifkörner
für den Schleifvorgang verwendet werden, verbleibt
häufig eine Bearbeitungsfehlerschicht auf dem Werk
stück und verursacht die folgenden Probleme. Eine
derartige Bearbeitungsfehlerschicht, die nach einem
Abschleifvorgang zurückbleibt, fördert die sogenannte
Kristallgleiterscheinung in einem Vorrichtungsprozeß
infolge der Wärmespannung, die sich aus den wieder
holten Wärmebehandlungen ergibt, wobei zwischen
den verschiedenen Prozessen Randabschnitte durch Auf
prall einer Quarzplatte, auf der das Werkstück
transportiert wird, zerbrechen können, was zu Abfall
an gebrochenen Stücken führt, mit der Folge einer
Produktionsverringerung, des möglichen Abblättern
eines Oxidationsfilms, einer Verschlechterung der
Abwaschbarkeit und von Deckmittelströmen an den Rand
bereichen etc.
Aus diesem Grund ist es üblich, solche Maschinenfehler
schichten durch Ätzen zu beseitigen. Geätzte Flächen
enthalten jedoch wellenförmige oder schuppenähnliche
Unregelmäßigkeiten, die die Verschmutzung fördern.
Selbst ein geringes Maß an Verschmutzung, das auf
einem abgeschrägten Abschnitt verbleibt, kann sich auf
die gesamte Platte in einem Vorrichtungsprozeß ver
teilen und die Plattencharakteristika verschlechtern.
Diese Probleme sind von dem Anmelder der vorliegenden
Patentanmeldung durch Entwicklung einer Vorrichtung
zum Spiegelpolieren abgeschrägter Randabschnitte von
Platten beseitigt, die in der japanischen Offenlegungs
schrift 64-71 656 vorgeschlagen wurde. Dieses Polier
gerät, das jeweils eine einzige Platte poliert, hat
den Vorteil, daß es eine kompakte Form zur Behandlung
einer geringen Anzahl von Platten haben kann, jedoch
ist das Gerät nicht zur wirtschaftlichen Behandlung
von Platten in einem großen Ausmaß geeignet. Es
besteht aber ein Bedarf nach einem Poliergerät, das
gleichzeitig mehrere Platten bearbeiten kann.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,
ein Kantenpoliergerät hoher Produktivität anzugeben,
das abgeschrägte Randabschnitte von mehreren Werkstücken
gleichzeitig und fortlaufend bearbeiten kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kenn
zeichen des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale ge
löst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind
in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Das erfindungsgemäße Kantenpoliergerät enthält im wesent
lichen einen Ladeabschnitt zur Zufuhr von Werkstücken
mit jeweils abgeschrägten Randabschnitten an gegenüber
liegenden Seiten, einen Positioniermechanismus zur Zu
fuhr der Werkstücke zu einer vorbestimmten Warteposition,
eine erste und eine zweite Bearbeitungsstufe mit jeweils
einem Indextisch, der über einen vorbestimmten Winkel
intermittierend drehbar ist, mehreren Indexeinheiten,
die jeweils eine Motor-getriebene Werkzeugspanneinrich
tung aufweisen und in vorbestimmten Winkelabständen um
die Drehmitte des Indextisches angeordnet sind, und
ferner mit einer Poliertrommel in der Drehmitte des
Indextisches, die von einem Motor gedreht wird, wobei
jede Indexeinheit durch Drehung des Indextisches um
die Poliertrommel umläuft und abgeschrägte Randab
schnitte eines Werkstücks auf der Spanneinrichtung
gegen die Poliertrommel drücken, einen ersten Transport
mechanismus zum aufeinanderfolgenden Transportieren der
Werkstücke in der Warteposition zu einer Indexeinheit
in der ersten Bearbeitungsstufe, einen Umkehrmechanis
mus zur Umkehr des Werkstücks mit der Oberseite nach
unten nach Beendigung einer Polierbehandlung der abge
schrägten Randabschnitte in der ersten Bearbeitungs
stufe, einen zweiten Transportmechanismus zum Aus
tragen des Werkstücks nach Beendigung einer Polierbe
handlung an den abgeschrägten Randabschnitten in der
zweiten Bearbeitungsstufe und einen Entladeabschnitt
zum Entladen polierter Werkstücke aus dem Gerät.
Der Positioniermechanismus ist vorzugsweise durch einen
drehbaren Spanntisch gebildet, der ein Werkstück zur
Zufuhr zu den Wartepositionen lösbar halten kann, und
durch eine Sensoreinrichtung einer Orientierungsab
flachung jedes Werkstücks, wobei die Drehung des Spann
tischs an einer Stelle gestoppt wird, an der die Orien
tierungsabflachung erfaßt worden ist. Dies ermöglicht
das Polieren von nicht-kreisförmigen Werkstücken mit
einer Ausrichtungsabflachung.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist jede Indexeinheit
in der ersten und der zweiten Bearbeitungsstufe durch
eine Tragwand, die entlang einer sich in radialer Rich
tung des Indextisches erstreckenden Schiene bewegbar
ist, und einen Indexeinheit-Körper gebildet, der die
oben erwähnte Spanneinrichtung hat und kippbar an der
Haltewand befestigt ist. Die Indexeinheit und der Körper
werden zur Mitte des Indextisches hin und in Kipprich
tung gezwängt, wodurch die abgeschrägten Abschnitte
eines Werkstücks gegen die Poliertrommel gedrückt wer
den, mit Ausnahme einer Indexeinheit in einer Werkstück-
Übergabeposition. In der Werkstück-Übergabeposition
wird die Indexeinheit zu dem äußeren Rand des Index
tisches von einer Trageinheit bewegt, während die Lage
des Körpers von einem Kippbeseitigungsmechanismus hori
zontal eingestellt wird.
Die Zwängeinrichtung, die den Körper in die Kipprichtung
beaufschlagt, wird von einer Zugfeder gebildet, die
zwischen dem Körper und der Tragwand gespannt ist, und
die Zwängeinrichtung, die jede Indexeinheit zur Mitte
des Indextisches hin beaufschlagt, ist durch ein Gewicht
gebildet, das an dem vorderen Ende eines Seiles befestigt
ist, das seinerseits an dem Basisende der Indexeinheit
befestigt ist.
Der Indextisch ist mit einem Stift versehen, der in
eine vorstehende Position bewegbar ist, wenn kein Werk
stück von der Spanneinrichtung ergriffen ist, wodurch
die Bewegung der Indexeinheit begrenzt ist, um zu ver
hindern, daß die Spanneinrichtung gegen die Polier
trommel anstößt.
Die Trägereinrichtung, die die Indexeinheit zum
äußeren Rand des Indextisches hin transportiert, wird
von einer Nockennut und einem Nockenfolger gebildet,
der an dem Teil der Indexeinheit angeordnet ist, wobei
die Nockennut und der Nockenfolger ineinander eingreifen,
wenn sich die Indexeinheit in der Werkstück-Übergabe
position befindet.
Der Kippbeseitigungsmechanismus der Indexeinheit ist
durch einen an dem Indextisch befestigten Stopper und
einen an dem Körper befestigten Schwenkblock gebildet.
Wenn die Indexeinheit in die Werkstück-Übergabeposition
und gleichzeitig zum äußeren Rand des Indextisches hin
bewegt wird, gerät der Schwenkblock in Anlage an den
Stopper und versetzt den Indexeinheit-Körper in eine
horizontale Lage.
Die Spanneinheit an der Indexeinheit zum Ergreifen
eines Werkstücks wird durch ein oberes und ein unteres
kreisförmiges Spannbauteil gebildet, die aufeinander
zu und voneinander weg bewegbar sind. Das untere
Spannbauteil hat vorzugsweise einen größeren Durchmesser
als das obere Spannbauteil, um zu verhindern, daß das
Werkstück zerbricht, was anderenfalls auftreten könnte,
wenn es gegen die Poliertrommel gedrückt wird.
Weitere Merkmale, Vorteile und Einzelheiten der Erfindung
ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung sowie
anhand der Zeichnung. Dabei zeigen:
Fig. 1 eine schematische Aufsicht auf ein erfindungs
gemäßes Kantenpoliergerät;
Fig. 2 eine teilweise weggeschnitte Vorderansicht
des Kantenpoliergeräts;
Fig. 3 eine schematische Seitenansicht des Kanten
poliergeräts;
Fig. 4A eine schematische Aufsicht auf eine zu
polierende Platte;
Fig. 4B ein fragmentarischer Schnitt durch die Platte;
Fig. 5 eine schematische Seitenansicht einer Lade
einrichtung;
Fig. 6 eine schematische Aufsicht auf einen
Positioniermechanismus;
Fig. 7 eine schematische Seitenansicht des
Positioniermechanismus;
Fig. 8 eine schematische Aufsicht auf einen
Transportmechanismus;
Fig. 9 eine schematische Seitenansicht des Transport
mechanismus;
Fig. 10 eine schematische Aufsicht auf eine Index
einheit;
Fig. 11 einen Schnitt durch die Indexeinheit;
Fig. 12 und 13 Seitenansichten eines Kippbeseitigungs
mechanismus in verschiedenen Positionen;
Fig. 14 eine schematische Aufsicht auf einen Umkehr
mechanismus;
Fig. 15 eine fragmentarische Seitenansicht des Um
kehrmechanismus und
Fig. 16 eine schematische Darstellung zur Erläuterung
eines Poliervorgangs.
Nachfolgend werden bevorzugte Ausführungsformen näher
beschrieben, die in den Zeichnungen abgebildet sind.
Die folgende Ausführungsform der Erfindung kann nicht
nur ein Werkstück einer vollständigen Kreisform ver
arbeiten, sondern auch ein Werkstück mit einer unvoll
ständigen Kreisform, beispielsweise ein Werkstück 1
einer unvollständigen Kreisform, das mit einer Aus
richtungsabflachung 2 und abgeschrägten Randabschnitten
3 an den gegenüberliegenden Seiten versehen ist, wie
Fig. 4 zeigt.
Das in den Fig. 1 bis 3 abgebildete Kantenpolier
gerät weist im wesentlichen folgende Teile auf:
einen Ladeabschnitt 10 zur Zufuhr von Werkstücken 1,
einen Positioniermechanismus 11 zum Anordnen der Werk
stücke 1 in einer vorbestimmten Warteposition, eine
erste Bearbeitungsstufe 12 zum Polieren der abge
schrägten Randkanten 3 an einer Seite des Werkstücks,
eine zweite Bearbeitungsstufe 13 zum Polieren der ab
geschrägten Randkanten 3 an der anderen Seite des Werk
stücks 1, einen ersten Übertragungsmechanismus 14 zur
fortlaufenden Zufuhr der Werkstücke 1 in der Warte
position zu der ersten Bearbeitungsstufe 12, einen
Umkehrmechanismus zum Umkehren der Oberseite eines
Werkstücks 1 nach unten nach Beendigung der Polierbe
handlung in der ersten Bearbeitungsstufe und zur Zu
fuhr des umgedrehten Werkstücks 1 zu der zweiten Be
arbeitungsstufe 13, einen zweiten Übertragungsmecha
nismus 16 zum Auswerfen des Werkstücks 1 nach Beendigung
einer Polierbehandlung in der zweiten Bearbeitungsstufe
und einen Entladeabschnitt mit einer Kassette zur Auf
nahme der polierten Werkstücke 1 von dem zweiten Über
tragungsmechanismus 16.
Wie aus den Fig. 1 und 5 zu ersehen ist, enthält
der Ladeabschnitt 10 einen Hubmechanismus 21 für
eine Beschickungskassette 20, die einen Stapel Werk
stücke 1 in sich enthält, einen Förderer 22 zum Über
tragen der Werkstücke 1, und einen Schieber 23 zum
aufeinanderfolgenden Vorschieben der Werkstücke 1 in
der Kassette 20 auf den Förderer 22. Der Hubmechanismus
21 enthält eine Kugelschraube bzw. Gewindespindel 26,
die fest an einer Bodenplatte 25 angebracht ist und
in Eingriff mit einem Antriebsteil 27 mit einem Zahn
rad steht, wobei das Antriebsteil 27 drehbar an einem
Maschinenrahmen 24 gehalten ist, sowie eine Führungs
welle 28, die parallel zu der Gewindespindel 26 ver
läuft und verschieblich an dem Maschinenrahmen 24 ge
halten ist. Beim Drehen des Antriebsteils 27 durch
einen Motor 29 wird die Bodenplatte 25 unter Führung
durch die Führungsstange 28 nach oben und unten bewegt.
Am unteren Ende der Gewindespindel 26 und der Führungs
stange 28 ist eine Verbindungsplatte 30 befestigt, die
eine Skala 31 mit einer größeren Anzahl von Schlitzen
31a in Längsrichtung in vorgegebenen Intervallen hat.
Andererseits ist an dem Maschinenrahmen 24 ein optischer
Sensor 32 zum Lesen der Schlitze 31a auf der Skala 31
angeordnet. Somit werden die Schlitze 31a von dem
optischen Sensor 32 gelesen, wenn die Kassette 20
stufenweise aus einer oberen, angehobenen Position
abgesenkt wird, wobei die Werkstücke 1 nacheinander
von dem Schieber 23, der von einem stangenlosen Zylinder
34 bewegt wird, auf den Förderer 22 geschickt werden.
In den Fig. 1 und 5 bezeichnet das Bezugszeichen
35 eine Führungsstange, die die Bewegung des stangen
losen Zylinders 34 führt.
Der Positioniermechanismus 11, der an dem vorderen
Ende des Förderers 22 angeordnet ist, enthält, wie
die Fig. 6 und 7 zeigen, einen Stopper 40, der an
dem Ende des Förderers 22 angeordnet ist, um ein Werk
stück 1 anzuhalten, das von dem Förderer 22 transpor
tiert wurde, einen Spannfuttertisch 41, der an einer
Werkstückhalteposition angeordnet ist und das Werkstück
1 mit Hilfe von Unterdruck aus einer Vakuumquelle 45
festhalten kann, und mehrere optische Sensoren 44 zum
Erfassen einer Orientierungsabflachung 2 des Werkstücks
1. Der Spanntisch 41 ist drehbar am oberen Ende der
Stange 42a eines Zylinders 42 befestigt und durch Aus
fahren und Einfahren der Zylinderstange 42a nach oben
und unten bewegbar. Die Stange 42a ist verschieblich
in einem Lager 46 gehalten, das an dem Maschinenrahmen
24 befestigt ist. Auf dem Lager 46 ist eine gezahnte
Stützscheibe 48 drehbar befestigt, die mit dem Motor
43 über ein Zahnrad 49 gekoppelt ist. Auf der Trag
scheibe 48 sind Lager 48a befestigt, die Führungsstangen
47 verschieblich halten, die sich von der Unterseite
des Spanntisches 41 nach unten erstrecken. Damit ist
der Spanntisch 41 durch Betätigung des Zylinders 42
nach oben und unten bewegbar und gleichzeitig von dem
Motor 43 über die Tragscheibe 48 drehbar angetrieben.
Wenn demnach ein Werkstück 1 dem Positioniermechanismus
11 zugeführt und an der Position des Stoppers 40 ange
halten ist, wird der Spanntisch 41 von dem Zylinder 42
angehoben, um das Werkstück 1 festzuspannen bzw. fest
zuhalten, und langsam gedreht. Sobald dann die Orien
tierungsabflachung 2 des Werkstücks 1 von den zwei
optischen Sensoren 44 erfaßt wird, wird die Drehung
des Spanntischs 41 an dieser Position unterbrochen,
um das Werkstück 1 in einer vorbestimmten Richtung
auszurichten. In diesem Fall ist es vorteilhaft, die
Drehgeschwindigkeit des Werkstücks 1 zu verringern,
wenn die Orientierungsabflachung 2 von einem der op
tischen Sensoren 44 erfaßt ist.
Das Werkstück 1, das von dem vorstehend beschriebenen
Positioniermechanismus 11 in einer vorbestimmten Posi
tion angeordnet ist, wird dann der ersten Bearbeitungs
stufe 12 durch den ersten Übertragungsmechanismus zu
geführt, der -wie die Fig. 8 und 9 zeigen- durch
zwei Greifer 50 gebildet ist, die durch Betätigung
eines Zylinders 51 zu öffnen und zu schließen sind, um
zwischen sich ein Werkstück 1 an radial gegenüberliegen
den Umfangsflächen zu halten. Diese Greifer 50 sind an
einem Halteteil 52 befestigt, das vertikal bewegbar an
einem Zylinder 55 angebracht ist, der seinerseits an
einem Gleitbauteil 54 aufwärts und abwärts bewegbar
unter Führung einer Führungsstange 56 gehalten ist.
Wie in Fig. 8 durch eine gestrichelte Linie angedeutet
ist, enthält ein Greifer 50 einenlinearen Abschnitt 50a,
der in Anlage an die Orientierungsabflachung 2 des
Werkstücks 1 gebracht werden kann. Somit kann das Werk
stück 1 exakt in der vorbestimmten Richtung von den
Greifern ausgerichtet werden, die so angeordnet sind,
daß sie die Orientierungsabflachung und einen diametral
gegenüberliegenden Abschnitt des Werkstücks 1 halten.
Die erste Bearbeitungsstufe 12 enthält, wie die Fi
guren 1 bis 3 zeigen, einen Indextisch 60, der drehbar
an dem Maschinenrahmen 24 gehalten ist, eine Polier
trommel 61, die in der Mitte des Indextischs von
einer Stützsäule 62 angeordnet ist, die sich von dem
Maschinenrahmen 24 erstreckt, um eine Trommelwelle 64
an einem Haltearm 63 zu halten, und mehrere Index
einheiten 65, die in vorbestimmten Abständen auf dem
Indextisch 60 angeordnet und in dessen radialer Rich
tung bewegbar sind und gleichzeitig zur Mitte des
Tisches hin um einen vorbestimmten Winkel kippbar sind,
um die abgeschrägten Randabschnitte 33 des Werkstücks
gegen die Poliertrommel 61 zu pressen, die zwischen
oberen und unteren scheibenähnlichen Spannfutterteilen
66 und 67 der jeweiligen Indexeinheit eingespannt sind,
um die Randabschnitte zu polieren (Fig. 11). Wie Fig.
10 zeigt, sind die oberen und unteren Spannfutterteile
66 und 67 an ihrem jeweiligen Außenumfang mit einem
linearen Abschnitt versehen, und zwar an einer Stelle,
die der Orientierungsabflachung des Werkstücks 1 ent
spricht.
Der Indextisch 60 wird intermittierend angetrieben, um
sich jeweils um einen vorbestimmten Winkel zu drehen,
der dem Zwischenraum zwischen den benachbarten Index
einheiten 65 entspricht, und zwar mittels eines Zylin
ders, eines Verbindungsmechanismus und einer Einweg
kupplung, die in den Zeichnungen weggelassen sind.
Wie die Fig. 2, 10 und 11 zeigen, ist an dem Index
tisch ein Profilierungsmechanismus mit einer Schiene
70 und einem Gleitstück 71 angeordnet, das in radialer
Richtung des Tisches entlang der Schiene 70 verschieb
lich ist. Ein Hauptteil 65a der Indexeinheit 65 ist
um eine horizontale Welle 72 kippbar gehalten, die
sich senkrecht zu der Schiene 70 erstreckt, und zwar
zwischen zwei aufrechten Tragwänden 71a, die sich von
dem Gleitstück 71 nach oben erstrecken. Wie oben be
reits erwähnt, ist das Teil 65a in radialer Richtung
des Indextisches bewegbar und gleichzeitig durch eine
Schwenkbewegung um die horizontale Welle 72 in Rich
tung der Poliertrommel 61 kippbar.
Wie insbesondere Fig. 11 zeigt, ist jede Indexeinheit
65 ständig von einem Gewicht 75 zur Mitte des Index
tischs 60 hin gezogen, wobei das Gewicht an dem vor
deren Ende eines Seiles 74 hängt, das um Riemenscheiben
73 geführt ist. Mit Ausnahme einer Indexeinheit in der
Werkstück-Übergabeposition 1 (Fig. 1) sind alle Index
einheiten 65 auf dem Tisch 60 nach innen bewegt und
pressen die Werkstücke 1 mit einer vorbestimmten Kraft
gegen die Poliertrommel 61. Selbst wenn das Werkstück 1,
wie dargestellt, eine unvollständige Kreisform hat, wird
jede Indexinheit 65 in radialer Richtung des Index
tisches 60 entsprechend der Werkstückform bewegt und
preßt das Werkstück 1 stets mit derselben, durch das
Gewicht 75 vorgegebenen Kraft gegen die Poliertrommel 61.
Die Indexeinheit 65 in der Werkstück-Übergabeposition A
wird von einem Nockenmechanismus, der das Werkstück 1
von der Poliertrommel 61 entfernt hält, auf dem Index
tisch 60 radial nach außen bewegt.
Der vorstehend erwähnte Nockenmechanismus ist, wie Fig.
11 zeigt, durch eine Nockennut (76) gebildet, die an dem
Maschinenrahmen 24 nur an der Werkstück-Übergabeposition
ausgebildet ist, und durch einen Nockenfolger 77, der
an demGleitstück 71 jeder Indexeinheit 65 ausgebildet
ist. Wenn eine Indexeinheit 65 in die Werkstück-Über
gabeposition A durch intermittierende Drehung des
Indextisches 60 gedreht ist, gerät der Nockenfolger
77 dieser Indexeinheit 65 in Eingriff mit der Nocken
nut 76, wodurch die Indexeinheit 65 langsam entlang
der Nockennut 76 in Auswärtsrichtung des Indextisches
60 bewegt wird.
Um zu verhindern, daß das obere und das untere Spann
futterteil 66 und 67 gegen die Poliertrommel 61 an
stoßen, wenn sie in einem leeren Zustand sind, ist
eine Sensoreinrichtung an der Indexeinheit 65 oder an
dem Transportmechanismus 14 angeordnet, die die Anwesen
heit oder Abwesenheit eines Werkstücks zwischen diesen
Spannfutterteilen erfaßt. Zu diesem Zweck ist vorzugs
weise ein Stift 68 vorgesehen, der über die Oberseite
des Indextisches 60 in Eingriff mit einem Stopper 71b
an dem Teil des Gleitstücks (71) geraten kann, wenn sich
kein Werkstück zwischen den Spannfutterteilen 66 und 67
befindet.
Mit Ausnahme der Indexeinheit, die an der Werkstück-
Übergabeposition A angeordnet ist, ist jede Index
einheit 65 ständig in Kipprichtung von einer Spann
feder 78 beaufschlagt, die zwischen einem Plattenteil
79, das an dem Körper 65a befestigt ist, und der Trag
wand 71a gespannt ist, wie die Fig. 2 und 13 zeigen,
und die den abgeschrägten Abschnitt 3 des Werkstücks 1
gegen die Poliertrommel 61 drückt.
Die Indexeinheit 65 in der Übergabeposition A wird
andererseits von einem Kippbeseitigungsmechanismus
in einem horizontalen Zustand gehalten, der gemäß
Fig. 12 einen Stopper 80, der über einen Tragarm 80a
an einer Seite jeder Indexeinheit 65 auf dem Index
tisch 60 befestigt ist, und einen an dem Plattenteil
79 des Körpers 65a der Indexeinheit 65 befestigten
Schwenkblock 81 aufweist. Wenn die in der gekippten
Position gemäß Fig. 13 befindliche Indexeinheit 65 in
die Werkstück-Übergabeposition A gedreht wird, wobei
sie von dem oben beschriebenen Nockenmechanismus nach
außen auf dem Indextisch 60 bewegt wird, gerät der
Schwenkblock 81 der Indexeinheit 65 in Anlage an den
Stopper 80 und wird dadurch gedrückt, um den Körper 65a
um die Achse 72 in eine horizontale Lage zu drehen.
An dem Körper 65a jeder Indexinheit 65 ist das untere
Spannfutterteil 67 drehbar auf einer Achse 85 gehalten
und wird von einem Motor 87 über Zahnräder 86a und 86b
gedreht. Ein Lager 88 ist drehbar auf der Basisplatte
65b des Körpers 65 über eine Haltewelle 89 befestigt,
und ein oberer Spannfutterarm 90, der an seinem vor
deren Ende das obere Spannfutterteil 66 drehbar hält,
ist drehbar an dem Lager 88 zur Schwenkbewegung um
eine horizontale Achse 91 gehalten. Der obere Spann
futterarm 90 ist an seinem Basisabschnitt mit einer
Druckrollenbefestigungsfläche 92 versehen, während das
Lagerteil 88 einen Betätigungsarm 93 zum Drehen des
Lagerteils 88 um die Welle 89 hat. Der Betätigungs
block 93 hat einen an seinem vorderen Ende befestigten
Betätigungsblock 94.
An der Werkstück-Übergabeposition des Maschinenrahmens
24 sind vertikal und horizontal ein Zylinder 100 zum
Herabdrücken des oberen Spannfutterarms und ein Zylinder
zum Drehen des Lagerteils befestigt. Die Stange 100a
des den oberen Spannfutterarm niederdrückenden Zylinder
100 ist mit einem Verbindungsteil 102 verbunden, das
um eine Achse 103 schwenkbar ist und an dem vorderen
Ende eine Rolle 104 trägt, die an der vorstehend er
wähnten Rollenbefestigungsfläche 92 anliegt. Die Stange
101a des Lagerdrehzylinders 101 hat einen Schieber 105,
der an dem Block 94 anliegt, um diesen zu drücken.
Beim Ausfahren der Stange 100a des Zylinders 100 wird
die Rolle 104 bewegt, um die Fläche 92 an dem Basisend
abschnitt des Arms 90 niederzudrücken, wodurch letztere
um die horizontale Achse 91 schwenkt, und den vorderen
Endabschnitt des Arms 90 anhebt, um das Spannfutterteil
66 zu öffnen. Durch Ausfahren der Stange 101a des Zy
linders 101 wird in diesem Zustand das Lagerteil 88
und damit der obere Spannfutterarm 80 um die Achse 89
gedreht, um das obere Spannfutterteil 66 in eine zurück
gezogene Position zu bewegen, die durch strichpunktierte
Linie in Fig. 10 angedeutet ist. In diesem Zustand wird
das polierte Werkstück 1 von dem Umkehrmechanismus 15,
der später beschrieben wird, aus der ersten Bearbei
tungsstufe ausgestoßen, während ein unbehandeltes Werk
stück 1 von dem ersten Transportmechanismus 14 zugeführt
wird. Zur Rückkehr des Armes 90 in die Ausgangsposition
sind Rückholfedern 106 und 107 zwischen dem oberen Spann
futterarm 90 und der Haltewelle 89 und zwischen der Halte
welle 90 und demKörper 65a angeordnet.
Ein Zerspringen des Werkstücksl, das in der Bearbeitungs
stufe gegen die Poliertrommel gedrückt wird, kann da
durch verhindert werden, daß das untere Spannfutter
teil 67 jeder Indexeinheit 65 einen größeren Durchmesser
hat als das obere Spannfutterteil 66, wie Fig. 12 zeigt.
Das Werkstück 1 kann gegen Flecken infolge Trockenheit
oder gegen Korrosion durch Überdecken der Spannflächen
der jeweiligen Spannfutterteile 66 und 67 mit Kissen
geschützt werden, die ständig in einem feuchten Zustand
gehalten werden.
Die Poliertrommel 61 ist durch Wickeln eines Polier
kissens um die Umfangsfläche einer Trommel gebildet,
und, wie die Fig. 1 bis 3 zeigen, von einem Motor
angetrieben, der zur Vorwärts- und Rückwärtsdrehung um
eine vertikale Achse innerhalb einer Trommelwelle 64
angeordnet ist. Die Trommel 61 ist ferner zusammen mit
der Trommelwelle 64 in axialer Richtung aufwärts und
abwärts bewegbar durch Betätigung einer Hubeinrichtung,
die sich innerhalb des Stützarmes 63 befindet. Der
Stützarm 63 an der Stützsäule 62 wird von einem Zylinder
entlang der Säule 62 angehoben, wenn das Polierkissen
ersetzt wird, und ist frei drehbar, um die Poliertrommel
61 in eine optimale Arbeitsposition zu drehen.
Mit Ausnahme eines Werkstückkontaktabschnittes ist der
Umfang der Poliertrommel 61 in eine Abdeckung einge
schlossen, die ein Abspritzen der Polierflüssigkeit
verhindert. Die von der Abdeckung abgeschirmte Flüssig
keit kann gesammelt und wieder zurückgeführt werden,
um in einem wirtschaftlichen Betrieb den Verbrauch
zu reduzieren.
Wie die Fig. 14 und 15 zeigen, enthält der Umkehr
mechanismus 15 ein Paar Greifbauteile 110, die an
einem Tragbauteil 111 befestigt und durch Betätigung
eines Zylinders 112 aufeinander zu und voneinander
weg bewegbar sind. Das Tragbauteil 111 wird von einem
Motor 114 an einem Basisteil 113 angetrieben, um die
Oberseite nach unten oder umgekehrt um eine Welle
114a zusammen mit einem Werkstück 1 zu drehen, das
zwischen den beiden Greiftbauteilen 110 gehalten ist.
Das Basisteil 113 ist an der vertikal bewegbaren Stange
118a eines Zylinders 118 gehalten, der an einem Gleit
bauteil 117 zur Bewegung entlang einer Schiene 116
auf dem Maschinenrahmen 24 befestigt ist. In den Fi
guren 14 und 15 bezeichnet das Bezugszeichen 119 eine
Führungsstange, die die vertikalen Bewegungen des Basis
teils 113 führt.
Die zweite Bearbeitungsstufe 13 ist im wesentlichen auf
gleiche Weise ausgebildet wie die oben beschriebene
erste Bearbeitungsstufe 12, und der zweite Transport
mechanismus 16 hat denselben Aufbau wie der erste
Transportmechanismus 14. Deshalb sind die gemeinsamen
Hauptbauteile mit gemeinsamen Bezugszeichen versehen,
und auf eine wiederholte Beschreibung wird verzichtet.
Der Entladebereich 17, der dem Entladen polierter Werk
stücke 1 dient, enthält, wie die Fig. 1 bis 3 zeigen,
zwei Schienen 121 zur Aufnahme eines Werkstücks 1, das
auf dem zweiten Transportmechanismus 16 ergriffen ist,
einen Schieber 123 zum Vorschieben eines Werkstücks 1
auf den Schienen 121 in eine Kassette 122, einen Bürsten
mechanismus 124 zum Waschen des Werkstücks 1, wenn es
von dem Schieber 123 in die Kassette 122 gedrückt wird,
und eine Kugelschraube bzw. Gewindespindel, an der die
Kassette 122 herabhängt, um diese stufenweise beim
Empfang eines Werkstücks 1 abzusenken, und das Werk
stück 1 in eine Reinigungsflüssigkeit einzutauchen.
Der Schieber 123 wird von einem stangenlosen Zylinder
126 entlang einer Führungsstange 127 bewegt. Der Bürsten
mechanismus 124 enthält zwei Rollenbürsten 124a, die
drehbar sind und ein Werkstück zwischen sich ergreifen,
um dieses zu reinigen.
Bei einem vorstehend beschriebenen Kantenpoliergerät
wird ein Werkstück 1, das auf dem Förderer 22 von der
Kassette 20 zugeführt ist, an der Position des Stoppers
40 angehalten, woraufhin der Spanntisch 41 von dem Zy
linder 42 angehoben und dann gedreht wird, nachdem das
Werkstück 1 festgespannt ist. Sobald die Ausrichtungs
abflachung 2 des Werkstücks 1 von dem optischen Sensor
32 erfaßt ist, wird der Spanntisch 41 an dieser Position
angehalten, um das Werkstück 1 in einer vorbestimmten
Richtung anzuordnen.
Das so ausgerichtete Werkstück 1 wird dann von dem
ersten Transportmechanismus 14 der ersten Bearbeitungs
stufe 12 zur Zufuhr zu einer Indexeinheit 65 in der
Werkstück-Übergabeposition A zugeführt. Zu diesem Zeit
punkt ist die Indexeinheit 65 von dem Nockenmechanismus
nach außen auf dem Indextisch 60 bewegt und von dem
Kippbeseitigungsmechanismus in einem horizontalen
Zustand gehalten. Wenn das Werkstück 1 von dem ersten
Transportmechanismus 14 auf das untere Spannfutterteil
67 gefördert ist, wird ferner das obere Spannfutter
teil 66, das durch Betätigung der Zylinder 100 und
101 geöffnet und in eine zurückgezogene Position ge
schwenkt war, in eine Greifposition bewegt, um das
Werkstück 1 im Zusammenwirken mit dem unteren Spann
futterteil 67 zu halten. Die Indexeinheiten 65, die
sich nicht in der Werkstück-Übergabeposition A befinden,
sondern in den Bearbeitungspositionen B bis E, sind um
einen vorbestimmten Winkel gekippt, um die abgeschrägten
Randabschnitte 3 des Werkstücks 1 der jeweiligen Ein
heiten gegen die Poliertrommel 61 zu drücken.
Wenn ein Werkstück 1 der Indexeinheit 65 in der Werk
stück-Übergabeposition zugeführt ist, wird der Index
tisch 60 um einen vorbestimmten Winkel in der in Fig.
1 durch Pfeil angedeuteten Richtung gedreht, um die
Indexeinheiten um jeweils eine Teilung vorzurücken.
Die Indexeinheit 65, die das unpolierte Werkstück 1
aufgenommen hat, wird in die erste Bearbeitungsstufe
bewegt, während eine Indexeinheit 65 in einer vierten
Bearbeitungsposition in die Werkstück-Übergabeposition
1 vorrückt. In diesem Fall wird die Indexeinheit 65
in der Werkstück-Übergabeposition A allmählich zur Mitte
des Indextischs 60 in eine erste Bearbeitungsposition
B durch die Kraft des Gewichtes 75 unter Führung der
Nockennut 76 und des Nockenfolgers 77 des Nockenmecha
nismus bewegt, und gleichzeitig allmählich in Richtung
der Mitte des Indextisches 60 durch die Kraft der Feder
78 unter Führung des Schwenkblocks 81 und Stoppers 80
des Kippverhinderungsmechanismus gekippt, wodurch der
abgeschrägte Randabschnitt des Werkstücks 1 gegen die
Poliertrommel 61 gedrückt wird. Sowie die Indexeinheit
65 die erste Bearbeitungsposition B erreicht, sind
der Nockenfolger 77 und der Schwenkblock 81 voll
ständig von der Nockennut 76 und dem Stopper 80 ge
trennt. Wenn andererseits die Indexeinheit 65 in der
vierten Bearbeitungsposition E in die Werkstück-Über
gabeposition A bewegt wird, wird sie allmählich zum
äußeren Ende des Indextischs 60 durch Eingriff des
Nockenfolgers 77 in die Nockennut 76 bewegt und gleich
zeitig durch Anlage des Schwenkblocks 81 an den Stopper
80 des Kippaufhebungsmechanismus in eine horizontale
Lage geschwenkt.
Auf diese Weise werden die schrägen Randabschnitte 3
des Werkstücks 1, das drehbar von dem oberen und dem
unteren Spannfutterteil 66 und 67 der Indexeinheit 65
ergriffen ist, in der ersten bis vierten Bearbeitungs
position B bis E gegen die drehende Poliertrommel 61
gedrückt, um einer Polierbehandlung unterzogen zu
werden. In der Zwischenzeit wird das polierte Werk
stück 1 der Indexeinheit 65 in der Werkstück-Übergabe
position A von dem Umkehrmechanismus 15 ausgestoßen,
woraufhin ein unpoliertes Werkstück 1 auf die vor
stehend beschriebene Weise von dem ersten Transport
mechanismus 14 zugeführt wird. Zu dieser Zeit werden
das Werkstück 1 und die Poliertrommel 61 beide im Uhr
zeigersinn oder Gegenuhrzeigersinn gedreht, wobei die
Drehrichtung jedesmal umgekehrt wird, wenn der Index
tisch 60 um eine Teilung gedreht wird.
Der Grund dafür, daß die Drehrichtungen des Werkstücks
1 und der Poliertrommel 61 auf die vorstehend be
schriebene Weise umgedreht werden, ist folgendermaßen.
Wenn das Werkstück 1 und die Poliertrommel 61 in
Drehung versetzt sind, wird der Bereich des Werkstücks
1, der in Gleitkontakt mit der Poliertrommel 61 steht,
entlang des gewölbten Abschnitts des Werkstücks 1 ver
lagert, wie Fig. 16 zeigt. Beim Erreichen eines Endes
2a der geradlinigen Orientierungsabflachung 2 des Werk
stücks 1 wird es jedoch schwierig für die Indexeinheit
65, ihre Bewegung dieser Veränderung der Form in einem
ausreichenden Maße anzupassen, wodurch der Kontakt
zwischen dem Werkstück 1 und der Poliertrommel 61 an
dem Endabschnitt 2a der Orientierungsabflachung 2 ver
lorengeht, was einen unzureichenden Poliergrad zur
Folge hat. Aus diesem Grund werden die Drehrichtungen
des Werkstücks 1 und der Poliertrommel 61 umgekehrt,
wodurch das Werkstück 1 von dem Endabschnitt 2a wieder
poliert wird.
Das Werkstück 1 kann während des Poliervorgangs mit
konstanter Geschwindigkeit gedreht werden, jedoch ist
es wünschenswert, eine niedrigere Drehgeschwindigkeit
des Werkstücks anzuwenden, wenn die Orientierungsab
flachung 2 poliert wird, im Vergleich zu der Drehge
schwindigkeit beim Polieren anderer Umfangsabschnitte
des Werkstücks.
Das von dem Umkehrmechanismus 15 ausgeworfene Werkstück
1 wird von den Greifbauteilen 110 mit der Oberseite nach
unten gedreht und einer Indexeinheit 65 zugeführt, die
sich in der Werkstück-Übergabeposition für die zweite
Bearbeitungsstufe 13 befindet.
In der zweiten Bearbeitungsstufe 13 wird der abge
schrägte Randabschnitt der anderen Seite des Werk
stücks 1 gegen die Poliertrommel 61 gepreßt und er
fährt auf dieselbe Weise eine Polierbehandlung, wie
die in der ersten Bearbeitungsstufe der Fall ist.
Nach Beendigung des Poliervorgangs beider Seiten des
Werkstücks 1 wird dieses in der Werkstück-Übergabe
position 1 von der Indexeinheit 65 ausgeworfen, und
zwar von dem zweiten Transportmechanismus 16, und
auf die Schiene 121 in dem Entladebereich 17 gelegt.
Danach wird das Werkstück 1 von dem Schieber 123 ent
lang der Schiene 121 gedrückt und nach dem Waschen
durch den Bürstenmechanismus 124 in die Kassette 122
gedrückt, die stufenweise abgesenkt wird, um das Werk
stück 1 in eine Reinigungsflüssigkeit einzutauchen.
Der Kippwinkel α (Fig. 12) der Indexeinheit 65 hängt
von demNeigungswinkel β (Fig. 4B) desWerkstücks 1
ab. Durch Auswahl eines Kippwinkels α, bei dem sowohl
der abgeschrägte Abschnitt 3 und ein Teil der Seiten
fläche 4 des Werkstücks 1 auf der Seite des abgeschrägten
Abschnitts 3 gleichzeitig infolge der Nachgiebigkeit des
Polierkissens auf der Trommel 1 poliert werden, wird
es möglich, das Polieren der Seitenfläche 4 gleich
zeitig mit der ersten und der zweiten Polierbehandlung
der abgeschrägten Abschnitte vor und nach Umkehr des
Werkstücks 1 auszuführen.
Das erfindungsgemäße Kantenpoliergerät kann nicht
nur Werkstücke einer unvollständigen Kreisform mit
einer Orientierungsabflachung polieren, sondern
auch Werkstücke anderer Formen, beispielsweise einer
vollständigen Kreisform, einer elliptischen oder
rechteckigen Form oder beliebiger Formen. Bei der
Bearbeitung von Werkstücken einer vollständigen
Kreisform kann die Funktion des Sensors 44 des Posi
tioniermechanismus 11 abgeschaltet oder eliminiert
sein, falls dies zweckmäßig ist, wobei ein Werkstück
in einer vorgegebenen Position durch Anlage gegen
einen gewölbten Abschnitt 40a des Stoppers 40 ange
halten wird.
Claims (14)
1. Kantenpoliergerät,
gekennzeichnet durch
einen Ladeabschnitt (10) zur Zufuhr von Werkstücken (1) mit abgeschrägten Randabschnitten (3) an gegen überliegenden Seiten,
einen Positioniermechanismus (11) zum Anordnen der Werkstücke in einer vorbestimmten Warteposition, eine erste und eine zweite Bearbeitungsstufe (12, 13) jeweils mit einem Indextisch (60), der intermittierend über einen vorbestimmten Winkel drehbar ist, mehreren Indexeinheiten (65) jeweils mit einer Motor-getriebenen Werkstückspanneinrichtung, wobei die Indexeinheiten in vorbestimmten Winkelintervallen um den Drehmittelpunkt des Indextisches herum angeordnet sind, und mit einer Poliertrommel (61) in der Drehmitte des Indextischs, die von einem Motor gedreht wird, wobei jede Index einheit durch Drehung des Indextischs um die Polier trommel umläuft und ein abgeschrägter Abschnitt eines Werkstücks auf der Spanneinrichtung gegen die Polier trommel gedrückt wird,
einen ersten Transportmechanismus (14) zum aufeinander folgenden Transport der Werkstücke in der Warteposition zu den Indexeinheiten in der ersten Bearbeitungsstufe,
einen Umkehrmechanismus (15) zum aufeinanderfolgenden Umkehren der Seiten der Werkstücke von oben nach unten nach Beendigung einer Polierbehandlung des abgeschrägten Randabschnitts in der ersten Bearbeitungsstufe,
einen zweiten Transportmechanismus (16) zum aufeinander folgenden Ausbringen der Werkstücke nach Beendigung einer Polierbehandlung an dem abgeschrägten Randabschnitt in der zweiten Bearbeitungsstufe und
einen Entladeabschnitt (17) zum Entladen polierter Werkstücke, die von dem zweiten Transportmechanismus empfangen sind.
einen Ladeabschnitt (10) zur Zufuhr von Werkstücken (1) mit abgeschrägten Randabschnitten (3) an gegen überliegenden Seiten,
einen Positioniermechanismus (11) zum Anordnen der Werkstücke in einer vorbestimmten Warteposition, eine erste und eine zweite Bearbeitungsstufe (12, 13) jeweils mit einem Indextisch (60), der intermittierend über einen vorbestimmten Winkel drehbar ist, mehreren Indexeinheiten (65) jeweils mit einer Motor-getriebenen Werkstückspanneinrichtung, wobei die Indexeinheiten in vorbestimmten Winkelintervallen um den Drehmittelpunkt des Indextisches herum angeordnet sind, und mit einer Poliertrommel (61) in der Drehmitte des Indextischs, die von einem Motor gedreht wird, wobei jede Index einheit durch Drehung des Indextischs um die Polier trommel umläuft und ein abgeschrägter Abschnitt eines Werkstücks auf der Spanneinrichtung gegen die Polier trommel gedrückt wird,
einen ersten Transportmechanismus (14) zum aufeinander folgenden Transport der Werkstücke in der Warteposition zu den Indexeinheiten in der ersten Bearbeitungsstufe,
einen Umkehrmechanismus (15) zum aufeinanderfolgenden Umkehren der Seiten der Werkstücke von oben nach unten nach Beendigung einer Polierbehandlung des abgeschrägten Randabschnitts in der ersten Bearbeitungsstufe,
einen zweiten Transportmechanismus (16) zum aufeinander folgenden Ausbringen der Werkstücke nach Beendigung einer Polierbehandlung an dem abgeschrägten Randabschnitt in der zweiten Bearbeitungsstufe und
einen Entladeabschnitt (17) zum Entladen polierter Werkstücke, die von dem zweiten Transportmechanismus empfangen sind.
2. Kantenpoliergerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Positioniermechanismus (11) einen drehbaren
Spanntisch (41) zum lösbaren Halten eines Werkstücks
zur Zufuhr zu der Warteposition und eine Sensoreinrich
tung (44) aufweist, um eine Orientierungsabflachung
(2) des Werkstücks (1) zu erfassen und die Drehung des
Spanntischs an einer Position zu stoppen, wo die Orien
tierungsabflachung erfaßt ist.
3. Kantenpoliergerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß jede Indexeinheit (65) in der ersten und der
zweiten Bearbeitungsstufe (12, 13) eine Haltewand,
die entlang einer sich in radialer Richtung des
Indextisches erstreckenden Schiene bewegbar ist,
und einen Körper (65a) mit der Spanneinrichtung auf
weist, der kippbar an der Haltewand befestigt ist,
daß die Indexeinheit (65) und der Körper (65a) in
Richtung der Mitte des Indextisches und in der Kipp
richtung beaufschlagt sind, wodurch der abgeschrägte
Abschnitt (3) eines Werkstücks (1) gegen die Polier
trommel (61) gedrückt wird mit Ausnahme einer Index
einheit in einer Werkstück-Übergabeposition (A), und
daß die Indexeinheit in der Werkstück-Übergabeposition
durch eine Trageinrichtung zum äußeren Rand des Index
tisches hin bewegt wird, wobei der Körper (65a) von
einem Kippbeseitigungsmechanismus in eine horizontale
Lage versetzt wird.
4. Kantenpoliergerät nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die den Körper (65a) in eine Kipprichtung beauf
schlagende Einrichtung eine Feder aufweist, die zwi
schen demKörper (65a) und der Tragwand gespannt ist.
5. Kantenpoliergerät nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die die Indexeinheit (65) in Richtung der Mitte
des Indextisches (60) zwängende Einrichtung ein Gewicht
(75) aufweist, das an dem vorderen Ende eines Seiles
(74) befestigt ist, dessen Basisende an der Indexeinheit
angebracht ist.
6. Kantenpoliergerät nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Indextisch (65) einen Stift (68) aufweist,
der in eine vorstehende Position bewegbar ist, wenn
von der Spanneinrichtung des Indextisches kein Werk
stück ergriffen ist, wodurch die Bewegung der Index
einheit begrenzt ist, um zu verhindern, daß die Spann
einrichtung gegen die Poliertrommel (61) anstößt.
7. Kantenpoliergerät nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Trageinrichtung, die die Indexeinheit zum
äußeren Rand des Indextisches hin bewegt, eine Nocken
nut (76) und einen Nockenfolger (77) an einem Teil der
Indexeinheit aufweist, wobei die Nockennut und der
Nockenfolger ineinander eingreifen, wenn die Index
einheit (65) sich in der Werkstück-Übergabeposition
(A) befindet.
8. Kantenpoliergerät nach Anspruch 3 oder 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Kippbeseitigungsmechanismus der Indexeinheit
einen an dem Indextisch (60) befestigten Stopper (80)
und einem an dem Körper (65a) befestigten Schwenkblock
(81) aufweist, der in Anlage an den Stopper gerät, um
den Körper (65a) in eine horizontale Lage zu ver
setzen, wenn die Indexeinheit in die Werkstück-Über
gabeposition gedreht und in Richtung des äußeren Um
fangs des Indextisches bewegt wird.
9. Kantenpoliergerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Werkstück-Spanneinrichtung auf der Index
einheit (65) ein oberes und ein unteres kreisförmiges
Spannteil (66, 67) aufweist, die aufeinander zu und
voneinander weg bewegbar sind, um ein Werkstück an
entgegengesetzten Seiten zu halten.
10. Kantenpoliergerät nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß das untere Spannteil (67) einen größeren Durch
messer hat als das obere Spannteil.
11. Kantenpoliergerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Drehrichtungen der Werkstückspanneinrichtung
an der Indexeinheit und der Poliertrommel jedesmal um
gedreht werden, wenn der Indextisch (60) um eine Teilung
gedreht wird.
12. Kantenpoliergerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der erste und der zweite Transportmechanismus
(14, 16) jeweils zwei Greifer (50) haben, die von einem
Betätigungsorgan zu öffnen und zu schließen sind, um
ein Werkstück (1) an radial gegenüberliegenden Umfangs
flächen zu halten.
13. Kantenpoliergerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Umkehrmechanismus mit zwei Greifern (50)
versehen ist, die von einem Betätigungsorgan zu öffnen
und zu schließen und gleichzeitig mit der Oberseite
nach unten zu drehen sind, um ein Werkstück (1) an
radial gegenüberliegenden Umfangsflächen zu halten.
14. Kantenpoliergerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Entladeabschnitt (17) einen Bürstenmechanismus
(124) zum Reinigen der polierten Werkstücke, eine
Werkstück-Aufnahmekassette (122), die bei Aufnahme
eines Werkstücks stufenweise abgesenkt werden kann,
und ein Bad mit einer Reinigungsflüssigkeit aufweist,
in die die Kassette eingetaucht werden kann.
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