DE4021949C2 - Verstellbarer Tisch - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen verstellbaren Tisch mit den Merkmalen gemäß dem
Oberbegriff des Patentanspruchs.
Bandbelichtungsvorrichtungen zum Aufbelichten eines Leitungsführungsmusters eines
LSI-Chips oder dergleichen auf ein Band, Displaydetektoren zum Prüfen von Fehlern in
Flüssigkristallen und ähnliche Einrichtungen erfordern als Arbeitstisch einen verstellbaren
Tisch, der in zwei zueinander senkrechten Richtungen bewegt und um einen gewünschten
Winkel verschwenkt werden kann.
Bei einem bekannten verstellbaren Tisch dieser Art sind zwei Tische mit eingebauter
Antriebsanordnung, beispielsweise Gewindespindeln, übereinandergesetzt. Um dabei
eine Schwenkverstellung zu erlauben, müssen diese beiden Tische ihrerseits auf einem
Drehtisch montiert werden, der eine Winkeleinstellung zuläßt. Dadurch wird der Aufbau
des Tisches kompliziert. Der Tisch baut hoch. Die Gesamtanordnung ist sperrig.
Bei einer Belichtungsvorrichtung der vorstehend genannten Art muß der Arbeitstisch
mit einer Belichtungsöffnung versehen sein, durch die hindurch man auf das Arbeitsstück
Licht fallen läßt. Im Falle des bekannten verstellbaren Tisches, der aus mehreren
übereinandergestellten Einzeltischen aufgebaut ist, ist es jedoch schwierig, eine
Lichtdurchtrittsöffnung an einer geeigneten Stelle des Tisches vorzusehen. Insbesondere
wenn der Tisch auf einem Drehtisch montiert wird, ist es extrem schwierig, eine
Lichtdurchtrittsöffnung durch den gesamten verstellbaren Tisch hindurchreichen zu lassen.
Bei einem die Merkmale gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs aufweisenden
bekannten Tisch (DE 39 09 292 A1) sind an der bewegbaren Platte zwei zueinander
senkrechte Paare von parallelen Leitflächen angeformt. An diesen vier Leitflächen lie
gen Leitelemente zur Steuerung der Bewegung der Platte an. Zwei der Leitelemente
weisen mindestens zwei längs der betreffenden Leitfläche auf Abstand angeordnete
Anlageteile, z. B. Rollen, auf. Mit jedem dieser vier Anlageteile wirkt eine gesonderte
Antriebsanordnung zusammen. Die mit den beiden übrigen Leitflächen zusammenwir
kenden weiteren Leitelemente weisen jeweils mindestens ein Anlageteil, z. B. wiederum
Rollen, auf. Die Anlageteile der weiteren Leitelemente können gleichfalls mit An
triebsanordnungen verbunden oder an die betreffenden Leitflächen durch Federkraft
angedrückt sein. Die bekannte Anordnung erfordert mit Anlageteilen ausgestattete
Leitelemente an allen vier Seiten der bewegbaren Platte. Es sind ferner mindestens vier
Antriebsanordnungen, nämlich jeweils zwei an jeweils zwei zueinander senkrecht
verlaufenden Leitflächen, notwendig.
Es ist ferner ein Drehtisch mit einer festen Platte und einer schrittweise drehbaren
Platte bekannt (DE-OS 25 31 559), bei dem der drehbaren Platte mindestens drei kugel
förmige Auflager zugeordnet sind, die auf einem ersten Kreisumfang gleichmäßig ver
teilt sind. Die feste Platte hat mindestens drei Sektoren mit gleichen Abmessungen, wo
bei ein erster Sektor eine Reihe von kreisförmigen Lagestellen und ein zweiter Sektor
eine Reihe von Lagestellen in Form von Nuten aufweist, während der dritte Sektor aus
einem als Führungsebene dienenden ebenen Bereich besteht. Diese Sektoren wirken
mit den kugelförmigen Auflagen derart zusammen, daß, wenn ein erstes Auflager mit
einer kreisförmigen Lagestelle in Berührung steht, das zweite Auflager mit einer der
Nuten Berührung hat und das dritte Auflager auf dem ebenen Bereich ruht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen verstellbaren Tisch zu schaffen, der
einfach und kompakt aufgebaut ist, der in zwei zueinander senkrechten Richtungen verstellt
und auch verschwenkt werden kann und der auf einfache Weise mit einer Lichtdurchtrittsöffnung
versehen werden kann.
Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch im kennzeichnenden Teil angegebe
nen Merkmale gelöst.
Bei dem verstellbaren Tisch nach der Erfindung läßt sich die bewegbare Platte in jeder
Richtung verstellen, wobei sie von den Kugeln geführt wird, die sich auf der festen
Platte abwälzen.
Mittels der ersten Antriebsanordnungen oder der zweiten Antriebsanordnung, die mit
der bewegbaren Platte gekuppelt sind, läßt sich die bewegbare Platte in zwei zueinander
senkrechten Richtungen verstellen.
Werden alle Antriebsanordnungen gemeinsam verstellt, kann die bewegbare Platte um
jeden gewünschten Punkt geschwenkt oder in jeder gewünschten Richtung mit Bezug
auf rechtwinklige Koordinaten bewegt werden.
Da bei der vorliegenden Anordnung zwischen der festen Platte und der bewegbaren
Platte nur der Käfig für die Kugeln angeordnet ist, läßt sich die Bauhöhe des Tisches
minimal halten.
Für eine durch den Tisch hindurchreichende Lichtdurchtrittsöffnung kann einfach dadurch
gesorgt werden, daß in der Mitte des Käfigs eine durchgehende Öffnung vorgesehen
wird, die Öffnungen entspricht, welche in der festen Platte und in der bewegbaren
Platte vorhanden sind.
Bei dem erfindungsgemäßen verstellbaren Tisch ist die bewegbare Platte auf der festen
Platte über mehrere Kugeln abgestützt. Mit der bewegbaren Platte sind mehrere parallel
zueinander angeordnete Antriebsanordnungen sowie eine dazu senkrecht ausgerichtete
Antriebsanordnung gekuppelt, wobei die Antriebsanordnungen sich jeweils
ausdehnen und zusammenziehen können. Auf diese Weise kann die Höhe des Tisches
im Vergleich zu einem herkömmlichen Aufbau vermindert werden, bei dem mehrere
Einzeltische übereinandergestellt sind. Es ist daher möglich, einen verstellbaren Tisch
bereitzustellen, der besonders kompakt ist und der Verstellbewegungen in zwei zueinander
senkrechten Richtungen ebenso zuläßt wie eine Schwenkbewegung.
Weil zwischen der festen Platte und der bewegbaren Platte kein Hindernis, beispielsweise
in Form einer Gewindespindel, vorhanden ist, kann ein durch den Tisch hindurchführender
Lichtdurchlaß einfach dadurch erhalten werden, daß Mittelöffnungen in den
Platten und dem Käfig vorgesehen werden.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind nachstehend anhand der beiliegenden
Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines verstellbaren
Tisches,
Fig. 2 eine teilweise aufgeschnittene Draufsicht auf den verstellbaren Tisch
gemäß Fig. 1,
Fig. 3 eine Teilschnittansicht des verstellbaren Tisches,
Fig. 4 einen lotrechten Teilschnitt im Bereich einer der Gewindespindeln
und der Ankoppelstelle dieser Spindel,
Fig. 5 eine Seitenansicht der Anordnung gemäß Fig. 4,
Fig. 6 einen Schnitt entlang der Linie I-I der Fig. 4,
Fig. 7 einen Schnitt entlang der Linie II-II der Fig. 6,
Fig. 8A bis 8E schematische Darstellungen, die verschiedene Arten der Ankopplung
der Spindelanordnungen an die bewegbare Platte erkennen lassen,
Fig. 9 eine Draufsicht auf die Einrichtung zum Begrenzen der Käfigbewegung
und
Fig. 10 einen Schnitt für eine abgewandelte Ausführungsform der Einrichtung
zum Begrenzen der Käfigbewegung.
Wie insbesondere aus den Fig. 1 bis 3 hervorgeht, ist bei
einem verstellbaren Tisch 1 ein ringförmiger Käfig 4 mit einer
Mehrzahl von Kugeln 3 vorgesehen, die entlang der Umfangsfläche des Käfigs 4 abrollen
können. Der Käfig 4 ist zusammen mit den Kugeln 3 auf einer festen Platte 2 angeordnet.
Eine bewegbare Platte 5 ist auf den in dem Käfig 4 sitzenden Kugeln 3 abgestützt.
Die bewegbare Platte 5 kann, geführt von den Kugeln 3, in beliebiger Richtung verstellt
werden, wobei sich die Kugeln 3 auf der festen Platte 2 frei abwälzen. Auf der Oberseite
der festen Platte 2 sind an deren vier Ecken Anschlagstifte 6 vorgesehen, um die Bewegung
des Käfigs 4 zu begrenzen, so daß sich der Käfig 4 beim Abwälzen der Kugeln 3 innerhalb
eines vorbestimmten Bereiches bewegen kann.
Die feste Platte 2 und die bewegbare Platte 5 sind jeweils in ihrer Mitte mit runden Öffnungen
7 bzw. 8 versehen. Diese Öffnungen 7, 8 bilden gemeinsam mit einer Mittelöffnung
4a des Käfigs 4 einen Durchlaß 9, durch den hindurch Licht in lotrechter Richtung
durch den verstellbaren Tisch 1 hindurchtreten kann. Die Mittelöffnung 4a des Käfigs 4
hat einen größeren Durchmesser als die runde Öffnung 7 in der festen Platte 2, so daß
der Rand des Käfigs 4 nicht in die runde Öffnung 7 hineinragt. Der Durchmesser der
Mittelöffnung 4a ist jedoch hinreichend klein, um den Anschlagstiften 6 eine
Begrenzung der Käfigbewegung zu erlauben.
Eine Trägerplatte 10a ist an der einen Seite 2a der festen Platte 2 befestigt, während
zwei Trägerplatten 10b und 10c in einem vorbestimmten gegenseitigen Abstand an einer
an die Seite 2a angrenzenden Seite 2b der festen Platte 2 angebracht sind. Antriebsanordnungen in
Form von Spindelanordnungen 12, 13 und 14, die jeweils eine Verbindungswelle 11 aufweisen, sind an den
Trägerplatten 10a, 10b bzw. 10c angebracht.
Wie aus den Fig. 4 und 5 hervorgeht, ist das eine Ende der Verbindungswelle 11 jeder
der Spindelanordnungen 12 bis 14 über einen Stift 15 mit einem Schieber 16 gelenkig
verbunden. Der Schieber 16 ist auf einer waagrecht verlaufenden Führungsstange 17
verschiebbar angeordnet, die benachbart der Seite 5a bzw. 5b der bewegbaren Platte 5
vorgesehen ist. Der Schieber 16 und der Stift 15 erlauben es der zugehörigen Verbindungswelle
11 eine Schwenk- und Verschiebebewegung mit Bezug auf die betreffende
Seite 5a bzw. 5b der bewegbaren Platte 5 auszuführen.
Wie aus Fig. 4 hervorgeht, ist jede der Spindelanordnungen 12 bis 14 mit einer Antriebseinheit 18
zum Erzeugen eines Drehmoments sowie mit einer Getriebeeinheit 19 zum Übertragen
des Drehmoments auf die Verbindungswelle 11 ausgestattet.
In der Getriebeeinheit 19 ist eine Spindelmutter 20 über Lager 21 drehbar gelagert. Die
Spindelmutter 20 steht mit der Verbindungswelle 11 über eine Gewindespindel 22 in
Verbindung, deren eines Ende in die Mutter 20 und deren anderes Ende in die Welle 11
eingeschraubt ist. Die Verbindungswelle 11 ist in einem Gleitlager 23 axial verstellbar
gelagert.
Wie insbesondere aus den Fig. 6 und 7 hervorgeht, weist die Gewindespindel 22 einen
Abschnitt 22a mit größerem Durchmesser auf, der einen Drehbewegungen begrenzenden
Stift 24 trägt. Auf dem Stift 24 sitzen zwei Exzenterringe 25 und 26, die ein Drehen
der Gewindespindel 22 verhindern. Auf die Exzenterringe 25 und 26 ist jeweils ein Lager
27 bzw. 28 aufgesetzt. Die Umfangsflächen der Lager 27, 28 stehen in Rollkontakt
mit einem Andruckblock 30 und einem Abwälzblock 31, die an der einen Seite eines
Gehäuses 29 sitzen. Der Andruckblock 30 ist mittels nachgiebiger Federn 32 in Richtung
auf den feststehenden Abwälzblock 31 vorgespannt. Durch die Führungswirkung
der Blöcke 30 und 31 sowie die Exzenterwirkung der Exzenterringe 25 und 26 wird die
Gewindespindel 22 an einer Drehbewegung gehindert und auf geradlinige Verstellbewegungen
in axialer Richtung beschränkt.
In dem Gehäuse 29 sind auf der dem Stift 24 gegenüberliegenden Seite mehrere Positionssensoren
33 untergebracht, um die Position der Gewindespindel 22 zu ermitteln.
Gegenüber den Positionssensoren 33 ist ein metallisches Sensorteil 34 auf dem größeren
Durchmesser aufweisenden Abschnitt 22a der Gewindespindel 22 montiert.
Zu der Antriebseinheit 18 gehören in nicht näher veranschaulichter Weise ein Motor,
der auf die Spindelmutter 20 ein Drehmoment ausüben kann, sowie ein Positionsregler,
der die relative Drehbewegung zwischen dem Motor und der Spindelmutter 20 steuert.
Bei dem Positionsregler kann es sich um einen Codierer handeln, der in Verbindung mit
einem Schrittmotor oder einem Servomotor als Antriebsmotor benutzt wird. Der Positionsregler
kann auch eine lineare Skala sein, die in Verbindung mit einem Servomotor
eingesetzt wird.
Bei Verwendung des vorstehend erläuterten verstellbaren Tisches 1 als Arbeitstisch für
eine Bandbelichtungsvorrichtung oder einen Flüssigkristall-Displaydetektor wird, wie in
Fig. 1 veranschaulicht ist, eine Lichtquelle 35 unter die feste Platte 2 unmittelbar unterhalb
der runden Öffnung 7 gesetzt, so daß das von der Lichtquelle 35 abgegebene Licht
durch den Lichtdurchlaß 9 in der Mitte der Platten 2 und 5 hindurchtritt.
Wenn die Antriebseinheit 18 einer der Spindelanordnungen 12 bis 14 betätigt wird, um die Spindelmutter
20 zu drehen, bewegt sich die zugehörige Gewindespindel 22 geradlinig in
Axialrichtung. Dabei wird die Gewindespindel 22 durch den Eingriff zwischen den Exzenterringen
25 und 26 und den Blöcken 30 und 31 an einer Drehbewegung gehindert. Die
Verbindungswelle 11 bewegt sich daher entlang einer geraden Linie vor und zurück.
Um die bewegbare Platte 5 in Fig. 2 in X-Richtung zu verstellen, wird nur die Spindelanordnung
12 betätigt, während die Spindelanordnungen 13 und 14 außer Betrieb bleiben.
Die mit den Verbindungswellen 11 der Spindelanordnungen 13 und 14 gekoppelten
Schieber 16 gleiten daher entlang den zugehörigen Führungsstangen 17, so daß sich die
Platte 5 in der X-Richtung bewegen kann. Um die bewegbare Platte 5 in der Y-
Richtung zu verstellen, werden die Spindelanordnungen 13 und 14 um eine gleiche
Strecke verstellt, während die Spindelanordnung 12 festgehalten wird.
Um andererseits die bewegbare Platte 5 zu drehen, wird die Spindelanordnung 14 vor-
oder zurückbewegt, während die danebenliegende Spindelanordnung 13 festgehalten
wird. Außerdem wird die senkrecht zu den beiden anderen Spindelanordnungen stehende
Spindelanordnung 12 vor- oder zurückbewegt, während die Spindelanordnung 14
verstellt wird. Daher schwenkt die bewegbare Platte 5 um die Ankoppelstelle der Spindelanordnung
13. Die Größe Θ dieser Schwenkbewegung kann eingestellt werden, indem
die Verstellbewegung der Spindelanordnungen 14 und 12 geändert wird. Durch
gleichzeitiges Verstellen sämtlicher Spindelanordnungen 12, 13, 14 kann die bewegbare
Platte 5 um einen beliebigen gewünschten Punkt geschwenkt werden.
Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die drei Spindelanordnungen 12 bis 14 mit den benachbarten
Seiten 5a, 5b der bewegbaren Platte 5 unmittelbar gekuppelt. Die Ankopplung der
Spindelanordnungen 12 bis 14 an die bewegbare Platte 5 kann aber auch auf verschiedenartige
andere Weise erfolgen, wie dies in den Fig. 8A bis 8E dargestellt ist. In diesen Figuren
ist mit 36 eine Kupplungsstange bezeichnet, die an der bewegbaren Platte 5 fest angebracht
ist. Soweit eine oder mehrere der Spindelanordnungen an einer solchen Kupplungsstange
36 angreifen, ist dafür gesorgt, daß die betreffende Spindelanordnung gegenüber
der Kupplungsstange verschwenkbar und in einer Richtung parallel zu der
Kupplungsstange 36 verschiebbar ist.
Bei den zuvor erläuterten Ausführungsformen sind zum Verstellen der bewegbaren
Platte 5 Spindelanordnungen 12 bis 14 vorgesehen. Statt dessen können aber auch andere Antriebsanordnungen,
beispielsweise Hydraulikzylinder, benutzt werden.
Des weiteren können die Anschlagstifte 6 zum Begrenzen der Käfigbewegung auch innerhalb
der Mittelöffnung 4a des Käfigs 4 sitzen. Des weiteren können, wie in Fig. 9 veranschaulicht
ist, mehrere Langlöcher 37 am Umfang des Käfigs 4′ verteilt sein, wobei in
jedes dieser Langlöcher 37 ein Anschlagstift 6′ eingreift.
Fig. 10 zeigt eine weiter abgewandelte Ausführungsform, bei welcher ein Käfig 4′′ mit
Anschlagstiften 6′′ versehen ist, die in Ausnehmungen 38 der festen Platte 2 eingreifen,
um die Verstellbewegung des Käfigs 4′′ zu begrenzen.
Claims (1)
- Verstellbarer Tisch (1) mit einer festen Platte (2), einer bewegbaren Platte (5), einer Mehrzahl von Kugeln (3) zum Abstützen der bewegbaren Platte (5) über der festen Platte (2), einem zwischen der festen Platte (2) und der bewegbaren Platte (5) angeordneten Käfig (4) zum Haltern der Kugeln (3), einer Einrichtung (6) zum Begrenzen der Bewegung des Käfigs (4), mindestens zwei ersten Antriebsanordnungen (13, 14), deren Achsen parallel zueinander verlaufen, zum Verstellen der bewegbaren Platte (5) in einer Richtung, und einer zweiten Antriebsanordnung (12) zum Verstellen der bewegbaren Platte (5) in zu der einen Richtung senkrechter Richtung, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Antriebsan ordnungen (12 bis 14) mit der bewegbaren Platte (5) über jeweils eine Kupplungsvor richtung (16, 17) unlösbar gekuppelt sind, die einen an dem der bewegbaren Platte (5) gegenüberliegenden Ende der betreffenden An triebsanordnung (12 bis 14) schwenkbar gelagerten Schieber (16) und eine an der bewegbaren Platte (5) befestigte Führungsstange (17) aufweist, auf welcher der Schieber (16) verschieb bar geführt ist.
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