DE4008195C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Anre
gung eines Gases einer Gasentladungsstrecke mittels gepulster
Mikrowellenenergie, mit einem die Gasentladungsstrecke zumindest
auf einer Teillänge umschließenden und an einen Mikrowellenzuleiter
angeschlossenen Mikrowellenresonator mit örtlich
inhomogener elektrischer Feldstärke-Verteilung, die mindestens
einen Bereich maximaler Feldstärke und mindestens
einen Bereich mit unter einem Schwellwert für die Zündung der
Gasentladung liegender Feldstärke aufweist.
Eine derartige Vorrichtung ist aus der EP 02 80 044 A2 bekannt.
Bei der bekannten Vorrichtung ist die Gasentladungsstrecke
in einem ein Dielektrikum aufweisenden Spalt zwischen
zwei Gehäusestegen eingeschlossen, die das elektromagnetische
Feld konzentrieren. Die Ausbildung des Spalts zwischen den Stegen
erfolgt dabei jeweils so, daß die elektrische Feldkomponente
senkrecht zu der zwischen dem Dielektrikum und dem sich
in der Gasentladungsstrecke ausbildenden Plasma befindlichen
Grenzfläche angeodnet ist. Dabei fallen die Maxima der elektrischen
Feldstärke stets in den Bereich der Gasentladungsstrecke.
Infolgedessen zündet eine Gasentladung, sobald das Maximum
der elektrischen Feldstärke die Zündfeldstärke erreicht
hat. Eine Speicherung der Mikrowellenenergie im Mikrowellenresonator
vor der Zündung der Gasentladung ist nicht möglich.
Eine Vorrichtung mit den eingangs genannten Merkmalen ist auch aus
der DE 37 08 314 A1 bekannt. Der Bereich maximaler elektrischer
Feldstärke ist ein mittlerer Querschnittsbereich des Resonators
mit einer über einem Schwellwert für die Hochdruckgasentladung
liegenden elektrischen Feldstärke. An diesen Bereich schließen
sich äußere Bereichn an, in denen die elektrische Feldstärke
unterhalb des Schwellwertes für die Hochdruckgasentladung
liegt. Durch diese Bauform der Vorrichtung soll erreicht werden,
daß ein Wandkollaps weitgehend unterdrückt wird, weil die
Hochdruckgasentladung quer zur optischen Achse der als Laser
ausgebildeten Vorrichtung nicht mehr allseitig von Wandflächen
umgrenzt ist.
Die Anregungsleistung für Laser muß im Verhältnis 1/λ5 ver
größert werden, je kurzwelliger die Lichtwellenlänge ist. Es
sind daher im Pulsbetrieb Anregungsleistungen im Mega- bis Gi
gawattbereich für kurzwellige Laser erforderlich. Mikrowellen
sender mit derartigen Leistungsbereichen sind jedoch teuer. Bei
besonders kurzwelliger Lichtemission und bestimmter Geometrie
der Gasentladungsstrecke ist die erforderliche Leistungsdichte
mit Mikrowellensendern herkömmlicher Leistung kaum noch oder
nicht mehr zu erreichen.
Hohe Leistungsdichten können auch durch gleichstromange
regte Entladungen erreicht werden. Allerdings wird die Lebens
dauer konventioneller Laser- und Lampensysteme durch den Elek
trodenabbrand begrenzt.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vor
richtung der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß einer
bestimmten Gasentladungsstrecke bei ungeänderter Senderleistung
eine höhere Leistungsdichte zur Verfügung steht.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Gasentladungsstrecke
ausschließlich innerhalb eines zwischem dem Maximum des
elektrischen Feldes und einer Schwellwertgrenze für die Zündung
der Gasentladung vorhandenen Bereichs angeordnet ist, damit der
Mikrowellenresonator bis zur Zündung als Energiespeicher dient.
Für die Erfindung ist wesentlich, daß die Gasentladungs
strecke nicht in demjenigen Bereich des Mikrowellenresonators
angeordnet wird, in dem sich ein Feldstärkemaximum ausbildet.
Vielmehr ist die Gasentladungsstrecke davon entfernt angeord
net, jedoch nicht in einem Bereich, in dem die Feldstärke die
zum Zünden der Gasentladung erforderliche Zündfeldstärke nicht
mehr erreicht. Infolge einer Verwendung von Dielektrika, die
an die Gasentladungsstrecke angrenzen, vgl. EP 02 80 044 A2,
würden die Vektoren der elektrischen Feldstärke im wesentlichen
parallel zum Dielektrikum verlaufen. Infolge dieser Anordnung
der Gasentladungsstrecke kann Mikrowellenenergie in den Mikrowellenresonator
eingeleitet werden, auch wenn dabei die Zündfeldstärke
im Feldstärkemaximum überschritten wird, bis diese
Zündfeldstärke an der Gasentladungsstrecke erreicht wird, so
daß die gewünschte Anregung des Gases der Gasentladungsstrecke
erfolgt. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird der Mikrowellenresonator also
als Energiespeicher benutzt, der solange aufgefüllt wird,
bis die Gasentladung zündet. Im Augenblick der Zündung des
Plasmas steht die gesamte gespeicherte Energiemenge zur Verfü
gung, die innerhalb weniger Nanosekunden in das Gas bzw. in das
Plasma eingekoppelt werden kann. Die im Vergleich zur Entla
dungszeit über eine vergleichsweise lange Zeit mögliche Aufla
dung des Mikrowellenresonators gestattet es, mit Mikrowellen
sendern vergleichsweise geringer Leistung auszukommen, um eine
vergleichsweise große Mikrowellenleistung einkoppeln zu können.
Dieses Einkoppeln von im Vergleich zu herkömmlichen Vorrichtun
gen größerer Mikrowellenleistung wird ermöglicht, weil die Gas
entladungsstrecke zumindest teilweise innerhalb des Resonators
aber außerhalb des bei den bekannten Vorrichtungen die Zündung
auslösenden Feldstärkemaximums angeordnet ist. Dementsprechend
kann der Energiefüllungsgrad des Mikrowellenresonators zum
Zündzeitpunkt der Entladung vergleichsweise hoch sein, obwohl
der Mikrowellensender eine vergleichsweise kleine Leistung ha
ben kann.
Die vorbeschriebene Anordnung der Gasentladungsstrecke re
lativ zum Feldstärkemaximum ist im Hinblick auf die der Gasent
ladungsstrecke impulsweise zugeführte Mikrowellenenergie von
besonderer Bedeutung, weil sie eine lange Ladezeit des Mikro
wellenresonators auch dann ermöglicht, wenn die Entladezeit
sehr kurz ist.
Zweckmäßigerweise ist die Vorrichtung so ausgebildet, daß
die Gasentladungsstrecke näher an einer durch den Resonatormode
bestimmten Schwellwertgrenze angeordnet ist, als an einem Feld
stärkemaximum. Mit diesen Merkmalen kann die Vorrichtung im
Sinne einer Optimierung des Energiefüllungsgrads des Mikrowel
lenresonators verbessert werden.
Eine geometrisch einfache Feldausbildung und damit verbun
dene Anordnungsfreiheiten für die Gasentladungsstrecke relativ
zum Mikrowellenresonator ergeben sich, wenn der Mikrowellenre
sonator ein Grundmode-Resonator und die Gasentladungsstrecke
außerhalb des Grundmodemaximums angeordnet ist.
Soll eine symmetrische Anordnung von Gasentladungsstrecke
und Mikrowellenresonator angestrebt werden, was aus baulichen
Gründen von Vorteil sein kann, so wird die Vorrichtung derart
ausgebildet, daß der Mikrowellenresonator einen Mode aufweist,
dessen Schwingungsmaximum oder -maxima exzentrisch angeordnet
ist bzw. sind, und daß die Gasentladungsstrecke zentrisch ange
ordnet ist.
Wenn der Innenraum des Mikrowellenresonators zumindest auf
einem Teil seines Querschnitts mit dielektrischem Werkstoff
ausgefüllt ist, so kann damit Einfluß auf die Feldstärkevertei
lung im Inneren des Mikrowellenresonators genommen werden, bei
spielsweise zur Verlagerung des Feldstärkemaximums. Es ist auch
möglich, Überschläge in Bereichen hoher Feldstärke zu verhin
dern. Der dielektrische Werkstoff ist beispielsweise fest, gas
förmig oder flüssig.
Eine zweckmäßige Abstimmung der Ausbildung des Mikrowel
lengenerators und der Gasentladungsstrecke liegt vor, wenn der
Mikrowellenresonator quer oder längs zu einer sich linear er
streckenden Gasentladungsstrecke einen rechteckigen Querschnitt
aufweist. Derartige rechteckige Querschnitte für den Mikrowel
lenresonator eignen sich besonders für H101- oder E011-Moden im
Resonator.
Es ist aber auch möglich, daß der Mikrowellengenerator
quer oder längs zu einer sich linear erstreckenden Gasentla
dungsstrecke einen kreisförmigen Querschnitt aufweist, der sich
besonders für ein H111- oder E010-Mode eignet.
Um die in eine Gasentladungsstrecke einkoppelbare Mikro
wellenenergie zu steigern, wird die Vorrichtung so ausgebildet,
daß in der Richtung der Gasentladungsstrecke mehrere von dem
Mikrowellenzuleiter mit Mikrowellenenergie versorgte Mikrowel
lenresonatoren angeordnet sind, die bedarfsweise für unter
schiedliche Schwingungsmoden ausgelegt sind.
In Ausgestaltung der Erfindung hat der Mikrowellenresona
tor ein wellenartig gefaltetes mit rechteckigem Faltungsquer
schnitt ausgebildetes Gehäuse, das von der Gasentladungsstrecke
quer durchsetzt ist. Durch die Faltung wird ein großes Resona
torvolumen erreicht, in dem entsprechend größere Mengen von Mi
krowellenenergie gespeichert werden können, die dann einer re
lativ kurzen Gasentladungsstrecke für die Zündung des Gases
bzw. des Plasmas zur Verfügung steht, und zwar auf einer kurzen
Strecke mit entsprechend hoher Energiedichte.
Vorteilhafterweise ist die Lage der Gasentladungsstrecke
relativ zum Mikrowellenresonator einstellbar. Das ist insbeson
dere für solche Strukturen von Vorteil, bei denen ein experi
mentelles Ermitteln der optimalen Relativlage des Mikrowellen
resonators und der Gasentladungsstrecke unvermeidbar ist. Die
Einstellbarkeit kann auch zu Steuerungszwecken eingesetzt wer
den.
In Ausgestaltung der Erfindung ist die Vorrichtung so aus
gebildet, daß eine von einem sich in zumindest zwei Richtungen
erstreckenden Rohr gebildete Gasentladungsstrecke vorhanden
ist, die ein Feldstärkemaximum eines Resonatormodes zumindest
teilweise umgibt. Das Rohr, welches auch eine in sich geschlos
sene Gasentladungsstrecke bilden kann, eignet sich besonders
für kurze Gasentladungsstrecken, bei denen das Gehäuse des Re
sonators flach ausgebildet werden soll. Die Länge des Rohres
wird unter Berücksichtigung der Feldstärkeverteilung im Hin
blick auf eine möglichst große Leistungsdichte zur intensiven
Anregung des Gases optimiert. Besonders geeignet ist eine sol
che Ausgestaltung der Vorrichtung, wenn das Gehäuse des Mikro
wellenresonators ein mikrowellendichtes Lichtaustrittsfenster
für Lampenlicht oder für Blitzlicht einer entsprechend ausge
legten Gasentladungsstrecke hat.
Die Vorrichtung kann als gepulster Gaslaser eingesetzt
werden, wenn die Gasentladungsstrecke mit Lasergas oder -Gasge
misch von 0,1 mbar bis 10 bar gefüllt ist.
Die Erfindung wird anhand von in der Zeichnung dargestell
ten Ausführungsbeispielen erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung des grundsätzlichen
Aufbaus einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
Fig. 2 den Schnitt A-A der Fig. 1 mit einer Seitenansicht
einer räumlichen Feldstärkeverteilung sowie darüber
und daneben befindlichen linearen Darstellungen der
Feldstärkeverteilung gemäß den Schnitten v-v und
h-h,
Fig. 3 eine Darstellung gemäß Fig. 2, jedoch ohne Feldstär
keverteilung und mit möglichen Anordnungen von Gas
entladungsstrecken,
Fig. 4 eine den Fig. 2, 3 ähnliche Darstellung mit einer kon
struktiv besonderen Gasentladungsstrecke, und
Fig. 5 bis 8 weitere Ausgestaltungen von Vorrichtungen ge
mäß der Erfindung.
Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung besteht im wesentli
chen aus einem Mikrowellenresonator 10, einem Mikrowellenzulei
ter 11 und einer Gasentladungsstrecke 14. Der Mikrowellenreso
nator 10 hat den aus Fig. 2 ersichtlichen rechteckigen Quer
schnitt. In bezug auf diesen Querschnitt ist der Resonator bzw.
sein Gehäuse 18 flach ausgebildet. Dementsprechend flach ist
auch der Mikrowellenzuleiter 11 ausgebildet, durch den sich die
Mikrowellenenergie transportierenden Mikrowellen ausbreiten,
wobei sie durch eine Einkopplungsöffnung 20 in das Gehäuse 18
des Mikrowellenresonators 10 gelangen. Ihre Energie dient dort
der Anregung eines Gases in der Gasentladungsstrecke 14.
Die Gasentladungsstrecke ist in den Fig. 1, 3 und 5 bis 8
als gerades Entladungsrohr mit kreisförmigem Querschnitt darge
stellt. Dieses Entladungsrohr besteht aus dielektrischem Werk
stoff, z. B. Glas, Keramik oder Quarz. Es können auch anders
runde, rechteckige oder elliptische Querschnitte verwendet wer
den. Als Gas können alle Gase verwendet werden, insbesondere
Lasergasgemische, aber auch Argon, Krypton, Xenon, Helium, Koh
lenmonoxid, Kohlendioxid, sowie Quecksilberdampf und Stick
stoff. Der Druckbereich der Gase erstreckt sich von 0,1 mbar
bis 10 bar. Das Gasentladungsrohr kann das Gas in einem abge
schlossenen Raum beinhalten, das Gas kann aber auch strömen,
also umgewälzt werden.
Der Mikrowellenzuleiter ist in seiner Gestalt auf die zu
geleiteten Mikrowellen abzustimmen. Es kommen bekannte Hohllei
ter oder Streifenleiter infrage, aber auch Mikrowellenresonato
ren. Koaxialkabel oder andere zur Mikrowellenleitung geeignete
Strukturen sind ebenfalls verwendbar.
Die Einkopplung der Mikrowellenenergie aus dem Mikrowel
lenzuleiter in einen Mikrowellenresonator erfolgt in Fig. 1
durch eine schlitzförmig ausgestaltete Einkopplungsöffnung 20.
Es können jedoch auch Rundlöcher oder Langlöcher verwendet wer
den, sowie Stifte, Schlaufen oder andere Antennenstrukturen.
Die Einkopplungsmittel werden auf die Feldausbildung abge
stimmt.
Fig. 2 zeigt eine beispielsweise räumliche Feldstärkever
teilung in Seitenansicht. Es ergeben sich aufgrund des recht
eckigen Querschnitts des Gehäuses 18 ovale bis rechteckig abge
rundete Linien gleicher elektrischer Feldstärke, wobei die in
nerste Linie 21 einen Bereich 12 als Feldstärkemaximum um
schließt, während in den vier Ecken des Resonatorquerschnitts
Bereiche 13 vorhanden sind, in denen die elektrische Feldstärke
minimal ist. In Fig. 3 ist beispielsweise eine Schwellwertgrenze
13′ gestrichelt angegeben, wodurch der Bereich 13 als ein sol
cher mit unter einem Schwellwert für die Zündung der Gasentla
dung liegender elektrischer Feldstärke gekennzeichnet wird. Es
versteht sich, daß solche Bereiche 13 an allen Wänden des Ge
häuses 18 und an den Knotenlinien höherer Moden in unterschied
lichem Ausmaß vorhanden sind. Das ergibt sich aus den Darstel
lungen links und oberhalb des Gehäuses 18 der Fig. 2, wo die
elektrische Feldstärke über dem Weg aufgetragen ist. Die Kurve
des Schnittes v-v läßt erkennen, daß die Feldstärke vom Boden
22 des Gehäuses 18 bis zur Decke 23 sinusförmig verläuft, mit
einem Maximum im Bereich 12. Dementsprechend läßt die Darstel
lung des Schnittes h-h einen sinusförmigen Feldstärkeverlauf
zwischen den Seitenwänden des Gehäuses 18 erkennen, mit einem
Maximum im Bereich 12.
Gemäß der Erfindung ist die Gasentladungsstrecke aus
schließlich außerhalb des Feldstärkemaximums angeordnet, um den
Resonator dazu benutzen zu können, vor dem Zünden der Gasentla
dung Mikrowellenenergie zu speichern. Fig. 3 zeigt in den Rand
bereichen des Gehäuses 18 angeordnete Gasentladungsstrecken 14,
die jeweils im Sinne maximaler Energiespeicherung angeordnet
sind, nämlich nahe der Schwellwertgrenze 13′ und fern dem Be
reich 12. Aber auch eine weiter diesem Bereich 12 angenäherte
Anordnung einer Gasentladungsstrecke 14 vermag noch zu bewir
ken, daß eine Energiespeicherung der Energie elektromagneti
scher Wellen im Frequenzbereich oberhalb von 100 MHz zwischen
gespeichert und innerhalb geringer Zeit in das Gas zu dessen
Anregung eingekoppelt werden kann, wenn nur der Bereich der ma
ximalen Feldstärke vermieden wird, da sonst sofort eine Zündung
erfolgen würde, wenn die maximale Feldstärke die Zündfeldstärke
erreicht, ohne daß zuvor nennenswert Energie gespeichert werden
konnte.
Fig. 4 zeigt eine Anordnung, bei der die Gasentladungs
strecke besonders geformt ist, nämlich in Gestalt eines in sich
geschlossenen Rohres, das torusartig um den Bereich 12 herum
angeordnet ist. Diese Gasentladungsstrecke 14 erstreckt sich
also im Gegensatz zu den Gasentladungsstrecken der Fig. 1, 3 und
5 bis 8 in zwei zueinander senkrechten Richtungen und nimmt da
bei innerhalb eines vergleichsweise kleinen Gehäuses 18 einen
verhältnismäßig großen Raum ein. Im Gehäuse 18 ist ein geeigne
tes Lichtaustrittsfenster 17 vorgesehen. Wird die Gasentla
dungsstrecke 14 mit einem geeigneten Gas gefüllt, so ist diese
Struktur besonders für Lampenlicht oder für Blitzlicht geeig
net.
Fig. 5 zeigt eine Vorrichtung, bei der zwei Resonatoren 10
beidseitig eines Mikrowellenzuleiters 11 angeordnet sind und
über kreisförmige Einkopplungslöcher 20 mit Mikrowellenenergie
versorgt werden. Die Gasentladungsstrecke wird auf einer im
Vergleich zu Fig. 1 doppelten Länge mit Mikrowellenenergie ange
regt, die in beiden Resonatoren dieselbe Energiedichte haben
kann.
Fig. 6 zeigt auf jeder Seite eines Mikrowellenzuleiters 11
zwei Resonatoren 10, 10′′, die auf jeder Seite hintereinanderge
schaltet sind.
Durch die Darstellung soll angedeutet werden, daß die Re
sonatoren 10 jeweils H101-Resonatoren und die Resonatoren 10′′
beliebige Resonatoren anderer Moden sein können.
Fig. 7 zeigt einen Mikrowellenresonator 10′ von kreisförmi
gem Querschnitt bzw. zylindrischer Gestalt, wobei die Mikrowel
lenenergie durch eine rechteckförmige Einkopplungsöffnung 20 in
den die Gasentladungsstrecke 14 aufweisenden Mikrowellenresona
tor 10′ eingekoppelt wird.
Eine besondere Ausführungsform des Mikrowellenresonators
ist die in Fig. 8 dargestellte gefaltete Form. Der Querschnitt
19, also der Faltungsquerschnitt ist stets rechteckig. Die aus
einandergezogen gedachte Struktur hätte eine zumindest in einer
Richtung sehr lange Erstreckung, die demgemäß mit einem ent
sprechend großen Volumen verbunden ist. In dieses Volumen wird
die Mikrowelle in Richtung des Pfeils 24 durch eine Hohlleiter
blende 25 eingekoppelt, die mit einer Abschlußwand 26 die Reso
natoreigenschaft der dargestellten Hohlleiterstruktur bestimmt.
Zur Einstellung ist die Abschlußwand 26 in den Richtungen des
Doppelpfeils 27 verstellbar, so daß die Resonatorlänge im Sinne
einer stehenden Feldstärkeverteilung eingestellt werden kann,
welche Feldstärkeminima im Bereich der Hohlleiterblende 25 und
der Abschlußwand 26 hat und erkennen läßt, daß die Gasentla
dungsstrecke 14 außerhalb der Feldstärkemaxima angeordnet ist,
so daß die Zündfeldstärke an der Entladungsstrecke 14 erst nach
gehöriger Speicherung von Mikrowellenenergie im Resonator er
reicht wird.
In Fig. 8 wird durch den Doppelpfeil 28 angedeutet, daß der
Abstand der Gasentladungsstrecke 14 zu einem Bezugspunkt des
Gehäuses 18 des Mikrowellenresonators 10′′′ einstellbar sein
soll. Es wird damit erreicht, die Gasentladungsstrecke 14 expe
rimentell so anordnen zu können, daß sich ein optimales Ener
giespeicherungsverhalten ergibt. Eine derartige Einstellmög
lichkeit ist insbesondere von Vorteil, wenn Mikrowellenresona
toren mit höheren Moden verwendet werden, um durch Einstellung
auf den Betrieb der Vorrichtung reagieren zu können.
Claims (13)
1. Vorrichtung zur Anregung eines Gases einer Gasentladungs
strecke (14) mittels gepulster Mikrowellenenergie, mit einem
die Gasentladungsstrecke (14) zumindest auf einer
Teillänge umschließenden und an einen Mikrowellenzuleiter
(11) angeschlossenen Mikrowellenresonator (10 bis 10′′′)
mit örtlich inhomogener elektrischer Feldstärke-Verteilung,
die mindestens einen Bereich (12) maximaler elektrischer
Feldstärke und mindestens einen Bereich (13) mit unter
einem Schwellwert für die Zündung der Gasentladung
liegender Feldstärke aufweist, dadurch gekennzeichnet,
daß die Gasentladungsstrecke (14) ausschließlich innerhalb
eines zwischen dem Maximum (Bereich 12) und des elektrischen
Feldes und einer Schwellwertgrenze (13′) für die Zündung
der Gasentladung vorhandenen Bereichs (15) angeordnet ist,
damit der Mikrowellenresonator (10 bis 10′′′) bis zur Zündung
als Energiespeicher dient.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Gasentladungsstrecke (14) näher an einer durch den
Resonatormode bestimmten Schwellwertgrenze (13′) angeord
net ist, als an dem Feldstärkemaximum (Bereich 12).
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß der Mikrowellenresonator (10 bis 10′′′) ein
Grundmode-Resonator und die Gasentladungsstrecke (14) au
ßerhalb des Grundmodemaximums (Bereich 12) angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
3, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellenresonator
einen Mode aufweist, dessen Schwingungsmaximum oder -maxi
ma exzentrisch angeordnet ist bzw. sind, und daß die Gas
entladungsstrecke zentrisch angeordnet ist.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
4, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenraum des Mikro
wellenresonators zumindest auf einem Teil seines Quer
schnitts mit dielektrischem Werkstoff ausgefüllt ist.
6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
5, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellenresonator
(10) quer oder längs zu einer sich linear erstreckenden
Gasentladungsstrecke (14) einen rechteckigen Querschnitt
aufweist.
7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
5, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellengenerator
(10′) quer oder längs zu einer sich linear erstreckenden
Gasentladungsstrecke einen kreisförmigen Querschnitt auf
weist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeich
net, daß in der Richtung der Gasentladungsstrecke
(14) mehrere von dem Mikrowellenzuleiter (11) mit Mikrowellenenergie
versorgte Mikrowellenresonatoren (10 bis
10′′′) angeordnet sind, die bedarfsweise für unterschiedliche
Schwingungsmoden ausgelegt sind.
9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
5, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellenresonator
(10′′′) ein wellenartig gefaltetes mit rechteckigem Fal
tungsquerschnitt (19) ausgebildetes Gehäuse (18) hat, das
von der Gasentladungsstrecke (14) quer durchsetzt ist.
10. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
9, dadurch gekennzeichnet, daß die Lage der Gasentla
dungsstrecke (14) relativ zum Mikrowellenresonator (10 bis
10′′′) einstellbar ist.
11. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
10, dadurch gekennzeichnet, daß eine von einem sich in
zumindest zwei Richtungen erstreckenden Rohr (16) gebilde
te Gasentladungsstrecke (14) vorhanden ist, die ein Feld
stärkemaximum (Bereich 12) eines Resonatormodes zumindest
teilweise umgibt.
12. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
11, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (18) des
Mikrowellenresonators (10 bis 10′′′) ein mikrowellendich
tes Lichtaustrittsfenster (17) für Lampenlicht oder für
Blitzlicht einer entsprechend ausgelegten Gasentladungs
strecke (14) hat.
13. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
12, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasentladungs
strecke mit Lasergas oder -Gasgemisch von 0,1 mbar bis
10 bar gefüllt ist.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
DE19904008195 DE4008195A1 (de) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | Vorrichtung zur anregung des gases einer gasentladungsstrecke mit mikrowellenenergie |
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DE19904008195 DE4008195A1 (de) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | Vorrichtung zur anregung des gases einer gasentladungsstrecke mit mikrowellenenergie |
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1990
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