DE4008195A1 - Vorrichtung zur anregung des gases einer gasentladungsstrecke mit mikrowellenenergie - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Anre­ gung eines Gases einer Gasentladungsstrecke mit Mikrowellen­ energie, mit einem die Gasentladungsstrecke zumindest auf einer Teillänge umschließenden und an einen Mikrowellenzuleiter ange­ schlossenen Mikrowellenresonator mit örtlich elektrischer inho­ mogener Feldstärke-Verteilung, die mindestens einen Bereich ma­ ximaler Feldstärke und mindestens einen Bereich mit unter einem Schwellwert für die Zündung der Gasentladung liegender Feld­ stärke aufweist.

Eine Vorrichtung mit den vorgenannten Merkmalen ist aus der DE 37 08 314 A1 bekannt. Der Bereich maximaler Feldstärke ist ein mittlerer Bereich des Resonators mit einer über einem Schwellwert für eine Hochdruckgasentladung liegenden elektri­ schen Feldstärke. An diesen Bereich schließen sich äußere Be­ reiche an, in denen die elektrische Feldstärke unterhalb des Schwellwertes für die Hochdruckgasentladung liegt. Durch diese Bauform der Vorrichtung soll erreicht werden, daß ein Wandkol­ laps weitgehend unterdrückt wird, weil die Hochdruckgasentla­ dung quer zur optischen Achse der als Laser ausgebildeten Vor­ richtung nicht mehr allseitig von Wandflächen umgrenzt ist.

Die Anregungsleistung für Laser muß im Verhältnis 1/λ⁵ ver­ größert werden, je kurzwelliger die Lichtwellenlänge ist. Es sind daher im Pulsbetrieb Anregungsleistungen im Mega- bis Gi­ gawattbereich für kurzwellige Laser erforderlich. Mikrowellen­ sender mit derartigen Leistungsbereichen sind jedoch teuer. Bei besonders kurzwelliger Lichtemission und bestimmter Geometrie der Gasentladungsstrecke ist die erforderliche Leistungsdichte mit Mikrowellensendern herkömmlicher Leistung kaum noch oder nicht mehr zu erreichen.

Hohe Leistungsdichten können auch durch gleichstromange­ regte Entladungen erreicht werden. Allerdings wird die Lebens­ dauer konventioneller Laser- und Lampensysteme durch den Elek­ trodenabbrand begrenzt.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vor­ richtung der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß einer bestimmten Gasentladungsstrecke bei ungeänderter Senderleistung eine höhere Leistungsdichte zur Verfügung steht.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die von impulsweise zugeführter Mikrowellenenergie anregbare Gasentladungsstrecke ausschließlich innerhalb eines zwischem dem Feldstärkemaximum und einer Schwellwertgrenze für die Zündung der Gasentladung vorhandenen Bereichs angeordnet ist.

Für die Erfindung ist wesentlich, daß die Gasentladungs­ strecke nicht in demjenigen Bereich des Mikrowellenresonators angeordnet wird, in dem sich ein Feldstärkemaximum ausbildet. Vielmehr ist die Gasentladungsstrecke davon entfernt angeord­ net, jedoch nicht in einem Bereich, in dem die Feldstärke die zum Zünden der Gasentladung erforderliche Zündfeldstärke nicht mehr erreicht. Infolge dieser Anordnung der Gasentladungs­ strecke kann Mikrowellenenergie in den Mikrowellenresonator eingeleitet werden, auch wenn dabei die Zündfeldstärke im Feld­ stärkemaximum überschritten wird, bis diese Zündfeldstärke an der Gasentladungsstrecke erreicht wird, so daß die gewünschte Anregung des Gases der Gasentladungsstrecke erfolgt. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird der Mikrowellenresonator al­ so als Energiespeicher benutzt, der solange aufgefüllt wird, bis die Gasentladung zündet. Im Augenblick der Zündung des Plasmas steht die gesamte gespeicherte Energiemenge zur Verfü­ gung, die innerhalb weniger Nanosekunden in das Gas bzw. in das Plasma eingekoppelt werden kann. Die im Vergleich zur Entla­ dungszeit über eine vergleichsweise lange Zeit mögliche Aufla­ dung des Mikrowellenresonators gestattet es, mit Mikrowellen­ sendern vergleichsweise geringer Leistung auszukommen, um eine vergleichsweise große Mikrowellenleistung einkoppeln zu können. Dieses Einkoppeln von im Vergleich zu herkömmlichen Vorrichtun­ gen größerer Mikrowellenleistung wird ermöglicht, weil die Gas­ entladungsstrecke zumindest teilweise innerhalb des Resonators aber außerhalb des bei den bekannten Vorrichtungen die Zündung auslösenden Feldstärkemaximums angeordnet ist. Dementsprechend kann der Energiefüllungsgrad des Mikrowellenresonators zum Zündzeitpunkt der Entladung vergleichsweise hoch sein, obwohl der Mikrowellensender eine vergleichsweise kleine Leistung ha­ ben kann.

Die vorbeschriebene Anordnung der Gasentladungsstrecke re­ lativ zum Feldstärkemaximum ist im Hinblick auf die der Gasent­ ladungsstrecke impulsweise zugeführte Mikrowellenenergie von besonderer Bedeutung, weil sie eine lange Ladezeit des Mikro­ wellenresonators auch dann ermöglicht, wenn die Entladezeit sehr kurz ist.

Zweckmäßigerweise ist die Vorrichtung so ausgebildet, daß die Gasentladungsstrecke näher an einer durch den Resonatormode bestimmten Schwellwertgrenze angeordnet ist, als an einem Feld­ stärkemaximum. Mit diesen Merkmalen kann die Vorrichtung im Sinne einer Optimierung des Energiefüllungsgrads des Mikrowel­ lenresonators verbessert werden.

Eine geometrisch einfache Feldausbildung und damit verbun­ dene Anordnungsfreiheiten für die Gasentladungsstrecke relativ zum Mikrowellenresonator ergeben sich, wenn der Mikrowellenre­ sonator ein Grundmode-Resonator und die Gasentladungsstrecke außerhalb des Grundmodemaximums angeordnet ist.

Soll eine symmetrische Anordnung von Gasentladungsstrecke und Mikrowellenresonator angestrebt werden, was aus baulichen Gründen von Vorteil sein kann, so wird die Vorrichtung derart ausgebildet, daß der Mikrowellenresonator einen Mode aufweist, dessen Schwingungsmaximum oder -maxima exzentrisch angeordnet ist bzw. sind, und daß die Gasentladungsstrecke zentrisch ange­ ordnet ist.

Wenn der Innenraum des Mikrowellenresonators zumindest auf einem Teil seines Querschnitts mit dielektrischem Werkstoff ausgefüllt ist, so kann damit Einfluß auf die Feldstärkevertei­ lung im Inneren des Mikrowellenresonators genommen werden, bei­ spielsweise zur Verlagerung des Feldstärkemaximums. Es ist auch möglich, Überschläge in Bereichen hoher Feldstärke zu verhin­ dern. Der dielektrische Werkstoff ist beispielsweise fest, gas­ förmig oder flüssig.

Eine zweckmäßige Abstimmung der Ausbildung des Mikrowel­ lengenerators und der Gasentladungsstrecke liegt vor, wenn der Mikrowellenresonator quer oder längs zu einer sich linear er­ streckenden Gasentladungsstrecke einen rechteckigen Querschnitt aufweist. Derartige rechteckige Querschnitte für den Mikrowel­ lenresonator eignen sich besonders für H₁₀₁- oder E₀₁₁-Moden im Resonator.

Es ist aber auch möglich, daß der Mikrowellengenerator quer oder längs zu einer sich linear erstreckenden Gasentla­ dungsstrecke einen kreisförmigen Querschnitt aufweist, der sich besonders für ein H₁₁₁- oder E₀₁₀-Mode eignet.

Um die in eine Gasentladungsstrecke einkoppelbare Mikro­ wellenenergie zu steigern, wird die Vorrichtung so ausgebildet, daß in der Richtung der Gasentladungsstrecke mehrere von dem Mikrowellenzuleiter mit Mikrowellenenergie versorgte Mikrowel­ lenresonatoren angeordnet sind, die bedarfsweise für unter­ schiedliche Schwingungsmoden ausgelegt sind.

In Ausgestaltung der Erfindung hat der Mikrowellenresona­ tor ein wellenartig gefaltetes mit rechteckigem Faltungsquer­ schnitt ausgebildetes Gehäuse, das von der Gasentladungsstrecke quer durchsetzt ist. Durch die Faltung wird ein großes Resona­ torvolumen erreicht, in dem entsprechend größere Mengen von Mi­ krowellenenergie gespeichert werden können, die dann einer re­ lativ kurzen Gasentladungsstrecke für die Zündung des Gases bzw. des Plasmas zur Verfügung steht, und zwar auf einer kurzen Strecke mit entsprechend hoher Energiedichte.

Vorteilhafterweise ist die Lage der Gasentladungsstrecke relativ zum Mikrowellenresonator einstellbar. Das ist insbeson­ dere für solche Strukturen von Vorteil, bei denen ein experi­ mentelles Ermitteln der optimalen Relativlage des Mikrowellen­ resonators und der Gasentladungsstrecke unvermeidbar ist. Die Einstellbarkeit kann auch zu Steuerungszwecken eingesetzt wer­ den.

In Ausgestaltung der Erfindung ist die Vorrichtung so aus­ gebildet, daß eine von einem sich in zumindest zwei Richtungen erstreckenden Rohr gebildete Gasentladungsstrecke vorhanden ist, die ein Feldstärkemaximum eines Resonatormodes zumindest teilweise umgibt. Das Rohr, welches auch eine in sich geschlos­ sene Gasentladungsstrecke bilden kann, eignet sich besonders für kurze Gasentladungsstrecken, bei denen das Gehäuse des Re­ sonators flach ausgebildet werden soll. Die Länge des Rohres wird unter Berücksichtigung der Feldstärkeverteilung im Hin­ blick auf eine möglichst große Leistungsdichte zur intensiven Anregung des Gases optimiert. Besonders geeignet ist eine sol­ che Ausgestaltung der Vorrichtung, wenn das Gehäuse des Mikro­ wellenresonators ein mikrowellendichtes Lichtaustrittsfenster für Lampenlicht oder für Blitzlicht einer entsprechend ausge­ legten Gasentladungsstrecke hat.

Die Vorrichtung kann als gepulster Gaslaser eingesetzt werden, wenn die Gasentladungsstrecke mit Lasergas oder -Gasge­ misch von 0,1 mbar bis 10 bar gefüllt ist.

Die Erfindung wird anhand von in der Zeichnung dargestell­ ten Ausführungsbeispielen erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 eine perspektivische Darstellung des grundsätzlichen Aufbaus einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,

Fig. 2 den Schnitt A-A der Fig. 1 mit einer Seitenansicht einer räumlichen Feldstärkeverteilung sowie darüber und daneben befindlichen linearen Darstellungen der Feldstärkeverteilung gemäß den Schnitten v-v und h-h,

Fig. 3 eine Darstellung gemäß Fig. 2, jedoch ohne Feldstär­ keverteilung und mit möglichen Anordnungen von Gas­ entladungsstrecken,

Fig. 4 eine den Fig. 2, 3 ähnliche Darstellung mit einer kon­ struktiv besonderen Gasentladungsstrecke, und

Fig. 5 bis 8 weitere Ausgestaltungen von Vorrichtungen ge­ mäß der Erfindung.

Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung besteht im wesentli­ chen aus einem Mikrowellenresonator 10, einem Mikrowellenzulei­ ter 11 und einer Gasentladungsstrecke 14. Der Mikrowellenreso­ nator 10 hat den aus Fig. 2 ersichtlichen rechteckigen Quer­ schnitt. In Bezug auf diesen Querschnitt ist der Resonator bzw. sein Gehäuse 18 flach ausgebildet. Dementsprechend flach ist auch der Mikrowellenzuleiter 11 ausgebildet, durch den sich die Mikrowellenenergie transportierenden Mikrowellen ausbreiten, wobei sie durch eine Einkopplungsöffnung 20 in das Gehäuse 18 des Mikrowellenresonators 10 gelangen. Ihre Energie dient dort der Anregung eines Gases in der Gasentladungsstrecke 14.

Die Gasentladungsstrecke ist in den Fig. 1, 3 und 5 bis 8 als gerades Entladungsrohr mit kreisförmigem Querschnitt darge­ stellt. Dieses Entladungsrohr besteht aus dielektrischem Werk­ stoff, z. B. Glas, Keramik oder Quarz. Es können auch anders­ runde, rechteckige oder elliptische Querschnitte verwendet wer­ den. Als Gas können alle Gase verwendet werden, insbesondere Lasergasgemische, aber auch Argon, Krypton, Xenon, Helium, Koh­ lenmonoxid, Kohlendioxid, sowie Quecksilberdampf und Stick­ stoff. Der Druckbereich der Gase erstreckt sich von 0,1 mbar bis 10 bar. Das Gasentladungsrohr kann das Gas in einem abge­ schlossenen Raum beinhalten, das Gas kann aber auch strömen, also umgewälzt werden.

Der Mikrowellenzuleiter ist in seiner Gestalt auf die zu­ geleiteten Mikrowellen abzustimmen. Es kommen bekannte Hohllei­ ter oder Streifenleiter infrage, aber auch Mikrowellenresonato­ ren. Koaxialkabel oder andere zur Mikrowellenleitung geeignete Strukturen sind ebenfalls verwendbar.

Die Einkopplung der Mikrowellenenergie aus dem Mikrowel­ lenzuleiter in einen Mikrowellenresonator erfolgt in Fig. 1 durch eine schlitzförmig ausgestaltete Einkopplungsöffnung 20. Es können jedoch auch Rundlöcher oder Langlöcher verwendet wer­ den, sowie Stifte, Schlaufen oder andere Antennenstrukturen. Die Einkopplungsmittel werden auf die Feldausbildung abge­ stimmt.

Fig. 2 zeigt eine beispielsweise räumliche Feldstärkever­ teilung in Seitenansicht. Es ergeben sich aufgrund des recht­ eckigen Querschnitts des Gehäuses 18 ovale bis rechteckig abge­ rundete Linien gleicher elektrischer Feldstärke, wobei die in­ nerste Linie 21 einen Bereich 12 als Feldstärkemaximum um­ schließt, während in den vier Ecken des Resonatorquerschnitts Bereiche 13 vorhanden sind, in denen die elektrische Feldstärke minimal ist. In Fig. 3 ist beispielsweise eine Schwellwertgrenze 13′ gestrichelt angegeben, wodurch der Bereich 13 als ein sol­ cher mit unter einem Schwellwert für die Zündung der Gasentla­ dung liegender elektrischer Feldstärke gekennzeichnet wird. Es versteht sich, daß solche Bereiche 13 an allen Wänden des Ge­ häuses 18 und an den Knotenlinien höherer Moden in unterschied­ lichem Ausmaß vorhanden sind. Das ergibt sich aus den Darstel­ lungen links und oberhalb des Gehäuses 18 der Fig. 2, wo die elektrische Feldstärke über dem Weg aufgetragen ist. Die Kurve des Schnittes v-v läßt erkennen, daß die Feldstärke vom Boden 22 des Gehäuses 18 bis zur Decke 23 sinusförmig verläuft, mit einem Maximum im Bereich 12. Dementsprechend läßt die Darstel­ lung des Schnittes h-h einen sinusförmigen Feldstärkeverlauf zwischen den Seitenwänden des Gehäuses 18 erkennen, mit einem Maximum im Bereich 12.

Gemäß der Erfindung ist die Gasentladungsstrecke aus­ schließlich außerhalb des Feldstärkemaximums angeordnet, um den Resonator dazu benutzen zu können, vor dem Zünden der Gasentla­ dung Mikrowellenenergie zu speichern. Fig. 3 zeigt in den Rand­ bereichen des Gehäuses 18 angeordnete Gasentladungsstrecken 14, die jeweils im Sinne maximaler Energiespeicherung angeordnet sind, nämlich nahe der Schwellwertgrenze 13′ und fern dem Be­ reich 12. Aber auch eine weiter diesem Bereich 12 angenäherte Anordnung einer Gasentladungsstrecke 14 vermag noch zu bewir­ ken, daß eine Energiespeicherung der Energie elektromagneti­ scher Wellen im Frequenzbereich oberhalb von 100 MHz zwischen­ gespeichert und innerhalb geringer Zeit in das Gas zu dessen Anregung eingekoppelt werden kann, wenn nur der Bereich der ma­ ximalen Feldstärke vermieden wird, da sonst sofort eine Zündung erfolgen würde, wenn die maximale Feldstärke die Zündfeldstärke erreicht, ohne daß zuvor nennenswert Energie gespeichert werden konnte.

Fig. 4 zeigt eine Anordnung, bei der die Gasentladungs­ strecke besonders geformt ist, nämlich in Gestalt eines in sich geschlossenen Rohres, das torusartig um den Bereich 12 herum angeordnet ist. Diese Gasentladungsstrecke 14 erstreckt sich also im Gegensatz zu den Gasentladungsstrecken der Fig. 1, 3 und 5 bis 8 in zwei zueinander senkrechten Richtungen und nimmt da­ bei innerhalb eines vergleichsweise kleinen Gehäuses 18 einen verhältnismäßig großen Raum ein. Im Gehäuse 18 ist ein geeigne­ tes Lichtaustrittsfenster 17 vorgesehen. Wird die Gasentla­ dungsstrecke 14 mit einem geeigneten Gas gefüllt, so ist diese Struktur besonders für Lampenlicht oder für Blitzlicht geeig­ net.

Fig. 5 zeigt eine Vorrichtung, bei der zwei Resonatoren 10 beidseitig eines Mikrowellenzuleiters 11 angeordnet sind und über kreisförmige Einkopplungslöcher 20 mit Mikrowellenenergie versorgt werden. Die Gasentladungsstrecke wird auf einer im Vergleich zu Fig. 1 doppelten Länge mit Mikrowellenenergie ange­ regt, die in beiden Resonatoren dieselbe Energiedichte haben kann.

Fig. 6 zeigt auf jeder Seite eines Mikrowellenzuleiters 11 zwei Resonatoren 10, 10′′, die auf jeder Seite hintereinanderge­ schaltet sind.

Durch die Darstellung soll angedeutet werden, daß die Re­ sonatoren 10 jeweils H₁₀₁-Resonatoren und die Resonatoren 10′′ beliebige Resonatoren anderer Moden sein können.

Fig. 7 zeigt einen Mikrowellenresonator 10′ von kreisförmi­ gem Querschnitt bzw. zylindrischer Gestalt, wobei die Mikrowel­ lenenergie durch eine rechteckförmige Einkopplungsöffnung 20 in den die Gasentladungsstrecke 14 aufweisenden Mikrowellenresona­ tor 10′ eingekoppelt wird.

Eine besondere Ausführungsform des Mikrowellenresonators ist die in Fig. 8 dargestellte gefaltete Form. Der Querschnitt 19, also der Faltungsquerschnitt ist stets rechteckig. Die aus­ einandergezogen gedachte Struktur hätte eine zumindest in einer Richtung sehr lange Erstreckung, die demgemäß mit einem ent­ sprechend großen Volumen verbunden ist. In dieses Volumen wird die Mikrowelle in Richtung des Pfeils 24 durch eine Hohlleiter­ blende 25 eingekoppelt, die mit einer Abschlußwand 26 die Reso­ natoreigenschaft der dargestellten Hohlleiterstruktur bestimmt. Zur Einstellung ist die Abschlußwand 26 in den Richtungen des Doppelpfeils 27 verstellbar, so daß die Resonatorlänge im Sinne einer stehenden Feldstärkeverteilung eingestellt werden kann, welche Feldstärkeminima im Bereich der Hohlleiterblende 25 und der Abschlußwand 26 hat und erkennen läßt, daß die Gasentla­ dungsstrecke 14 außerhalb der Feldstärkemaxima angeordnet ist, so daß die Zündfeldstärke an der Entladungsstrecke 14 erst nach gehöriger Speicherung von Mikrowellenenergie im Resonator er­ reicht wird.

In Fig. 8 wird durch den Doppelpfeil 28 angedeutet, daß der Abstand der Gasentladungsstrecke 14 zu einem Bezugspunkt des Gehäuses 18 des Mikrowellenresonators 10′′′ einstellbar sein soll. Es wird damit erreicht, die Gasentladungsstrecke 14 expe­ rimentell so anordnen zu können, daß sich ein optimales Ener­ giespeicherungsverhalten ergibt. Eine derartige Einstellmög­ lichkeit ist insbesondere von Vorteil, wenn Mikrowellenresona­ toren mit höheren Moden verwendet werden, um durch Einstellung auf den Betrieb der Vorrichtung reagieren zu können.

Claims (13)

1. Vorrichtung zur Anregung eines Gases einer Gasentladungs­ strecke (14) mit Mikrowellenenergie, mit einem die Gasent­ ladungsstrecke (14) zumindest auf einer Teillänge um­ schließenden und an einen Mikrowellenzuleiter (11) ange­ schlossenen Mikrowellenresonator (10 bis 10′′′) mit ört­ lich elektrischer inhomogener Feldstärke-Verteilung, die mindestens einen Bereich (12) maximaler Feldstärke und mindestens einen Bereich (13) mit unter einem Schwellwert für die Zündung der Gasentladung liegender Feldstärke auf­ weist, dadurch gekennzeichnet, daß die von impulsweise zugeführter Mikrowellenenergie anregbare Gasentladungs­ strecke (14) ausschließlich innerhalb eines zwischem dem Feldstärkemaximum (Bereich 12) und einer Schwellwertgrenze (13′) für die Zündung der Gasentladung vorhandenen Be­ reichs (15) angeordnet ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasentladungsstrecke (14) näher an einer durch den Resonatormode bestimmten Schwellwertgrenze (13′) angeord­ net ist, als an dem Feldstärkemaximum (Bereich 12).

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß der Mikrowellenresonator (10 bis 10′′′) ein Grundmode-Resonator und die Gasentladungsstrecke (14) aus­ serhalb des Grundmodemaximums (Bereich 12) angeordnet ist.

4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellenresonator einen Mode aufweist, dessen Schwingungsmaximum oder -maxi­ ma exzentrisch angeordnet ist bzw. sind, und daß die Gas­ entladungsstrecke zentrisch angeordnet ist.

5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenraum des Mikro­ wellenresonators zumindest auf einem Teil seines Quer­ schnitts mit dielektrischem Werkstoff ausgefüllt ist.

6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellenresonator (10) quer oder längs zu einer sich linear erstreckenden Gasentladungsstrecke (14) einen rechteckigen Querschnitt aufweist.

7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellengenerator (10′) quer oder längs zu einer sich linear erstreckenden Gasentladungsstrecke einen kreisförmigen Querschnitt auf­ weist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeich­ net, daß in der Richtung der Gasentladungsstrecke (14) mehrere von dem Mikrowellenzuleiter (11) mit Mikrowellen­ energie versorgte Mikrowellenresonatoren (10 bis 10′′′) angeordnet sind, die bedarfsweise für unterschiedliche Schwingungsmoden ausgelegt sind.

9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellenresonator (10′′′) ein wellenartig gefaltetes mit rechteckigem Fal­ tungsquerschnitt (19) ausgebildetes Gehäuse (18) hat, das von der Gasentladungsstrecke (14) quer durchsetzt ist.

10. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Lage der Gasentla­ dungsstrecke (14) relativ zum Mikrowellenresonator (10 bis 10′′′) einstellbar ist.

11. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine von einem sich in zumindest zwei Richtungen erstreckenden Rohr (16) gebilde­ te Gasentladungsstrecke (14) vorhanden ist, die ein Feld­ stärkemaximum (Bereich 12) eines Resonatormodes zumindest teilweise umgibt.

12. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (18) des Mikrowellenresonators (10 bis 10′′′) ein mikrowellendich­ tes Lichtaustrittsfenster (17) für Lampenlicht oder für Blitzlicht einer entsprechend ausgelegten Gasentladungs­ strecke (14) hat.

13. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasentladungs­ strecke mit Lasergas oder -Gasgemisch von 0,1 mbar bis 10 bar gefüllt ist.