DE102007031628A1 - UV-Strahlungsquelle - Google Patents

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Abstract

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Strahlungsquelle, die eine Gasentladungslampe mit einer wenigstens teilweise im UV-Spektrum emittierenden Gasfüllung mit einem Druck von 0,001-0,5 bar und eine Mikrowellenapplikationseinheit aufweist, die wenigstens zwei separate Mikrowellenapplikatoren besitzt. Die Mikrowellenapplikatoren sind so konfiguriert, dass sie Mikrowellen in unterschiedliche Bereiche der Gasentladungslampe einkoppeln. Die Erfindung betrifft auch eine alternative Strahlungsquelle, die eine langgestreckte Gasentladungslampe mit einer wenigstens teilweise im UV-Spektrum emittierenden Gasfüllung mit einem Druck von 0,001-0,5 bar und eine Mikrowellenapplikationseinheit aufweist, die wenigstens einen Mikrowellenapplikator besitzt. Der wenigstens eine Mikrowellenapplikator ist so konfiguriert, dass über einen Bereich von wenigstens 50% in einer Längsrichtung der Lampe Mikrowellen in das Gas eingekoppelt werden.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Strahlungsquelle, die eine Gasentladungslampe mit einer wenigstens teilweise im UV-Spektrum emittierenden Gasfüllung aufweist. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf eine Gasentladungslampe mit einem niedrigen Gasdruck.
  • In unterschiedlichsten Anwendungsbereichen wird UV-Strahlung eingesetzt, um bestimmte Behandlungserfolge zu erzielen. Als ein Beispiel ist hier die Fixierung von UV-vernetzbaren Tonern auf einem Bedruckstoff genannt. Hier für werden in der Regel Mitteldrucklampen mit einem Gasdruck von ungefähr 10 bis 100 mbar eingesetzt. In einem hohen Leistungsbereich arbeitende UV-Gasentladungslampen dieses Typs arbeiten typischerweise mit Gasmischungen und Gasdrücken, die z. B. für eine Füllung mit Quecksilber und Argon eine UV-Ausbeute von 40% bis 50% der in die Lampe eingespeisten elektrischen Leistung erzielen. Die restliche eingespeiste elektrische Leistung wird in der Regel in außerhalb des UV-Spektrums liegende Strahlung, wie beispielsweise Strahlung im sichtbaren Bereich und Infrarotstrahlung umgewandelt.
  • Bei bestimmten Prozessen, wie beispielsweise der UV-Vernetzung von Druckfarben auf wärmeempfindlichen Substraten können elektromagnetische Strahlen außerhalb des UV-Spektrums, wie beispielsweise Infrarotstrahlung, den Prozess negativ beeinflussen.
  • Eine Absenkung des Gasdrucks innerhalb der Gasentladungslampe kann zu einer deutlicheren Ausbildung des Linienspektrums der Lampe und einer Verschiebung zum UV-Bereich und somit zu einer Erhöhung der prozentualen UV-Ausbeute führen. Eine solche Absenkung des Gasdrucks führt in der Regel jedoch auch zu einer Absenkung der pro Gasvolumen erzeugten Strahlungsleistung, was unter anderem auf die größere freie Weglänge der angeregten Gasatome und einer entsprechend geringeren Anzahl von Emissionen von Photonen zurückzuführen ist.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Strahlenquelle mit hoher UV-Leistung und einer hohen UV-Ausbeute hinsichtlich der eingespeisten elektrischen Leistung vorzusehen.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine Strahlungsquelle, die eine Gasentladungslampe mit einer wenigstens teilweise im UV-Spektrum emittierenden Gasfüllung mit einem Druck von 0,001–0,5 bar und einer Mikrowellenapplikationseinheit erreicht, die wenigstens zwei separate Mikrowellenapplikatoren besitzt, die auf unterschiedliche Bereiche der Gasentladungslampe gerichtet sind. Durch die Verwendung von Mikrowellenapplikatoren ist es möglich, elektrische Leistung direkt in unterschiedliche Bereiche der Gasentladungslampe einzukoppeln. Hierdurch kann trotz des geringen Drucks des Gases eine erhöhte Leistung gegenüber einer üblicherweise mit Elektroden erregten Gasentladungslampe vorgesehen werden. Durch die große freie Weglänge der erregten Teilchen lässt sich wiederum eine gleichmäßige Verteilung der UV-Strahlung über die Länge der Lampe hinweg erreichen.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung besitzt die Gasentladungslampe eine langgestreckte Konfiguration und die Mikrowellenapplikatoren sind auf entgegengesetzte Endbereiche derselben gerichtet, um die Gasfüllung in entsprechender Weise zur Emission anzuregen. Dabei besitzen die Mikrowellenapplikatoren vorzugsweise jeweils einen Mikrowellenresonator, in dem Teilbereiche der Gasentladungslampe aufgenommen sind.
  • Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird auch durch eine Strahlungsquelle gelöst, die eine Gasentladungslampe mit einer wenigstens teilweise im UV-Spektrum emittierenden Gasfüllung mit einem Druck von 0,001–0,5 bar und eine Mikrowellenapplikationseinheit aufweist, die auf die Gasentladungslampe gerichtet ist, und die so konfiguriert ist, dass sie über einen Bereich von wenigstens 50% in einer Längsrichtung der Lampe Mikrowellen in das Gas einkoppelt. Durch das Vorsehen einer Mikrowellenapplikationseinheit, die über einen Bereich von wenigstens 50% in einer Längsrichtung der Lampe Mikrowellen in das Gas einkoppelt, kann bei einer Gasentladungslam pe mit niedrigem Druck eine wesentlich höhere Leistung erreicht werden, als bei einer üblichen Erregung der Gasfüllung über Elektroden an den Enden der Gasentladungslampe. Insbesondere kann auch eine Niederdrucklampe mit einem Druck von kleiner 0,1 bar eingesetzt werden. Für eine noch höhere Leistungserzeugung ist die Mikrowellenapplikationseinheit vorzugsweise so konfiguriert, dass sie über einen Bereich von wenigstens 80% in einer Längsrichtung der Lampe Mikrowellen in das Gas einkoppelt.
  • Hierzu besitzt die Mikrowellenapplikationseinheit vorzugsweise eine Vielzahl von separaten Mikrowellenapplikatoren, um die Gasfüllung in unterschiedlichen Bereichen der Gasentladungslampe zu erregen. Vorteilhafterweise sind wenigstens drei Mikrowellenapplikatoren vorgesehen, die bei einer Ausführungsform der Erfindung bezüglich einer Längsmittelebene der Gasentladungslampe symmetrisch angeordnet sind. Hierdurch lässt sich ein über die Längsrichtung der Lampe gleichmäßiges Strahlungsprofil erreichen. Vorzugsweise besitzt jeder Mikrowellenapplikator eine Leistung von weniger als ungefähr 1000 W, wobei es sich hierbei um einen Mikrowellenapplikator handeln kann, der üblicherweise in Haushaltsgeräten eingesetzt wird, wodurch die Kosten gegenüber einem Hochleistungs-Mikrowellenapplikator mit einer Leistung von beispielsweise 3 kW wesentlich verringert werden kann.
  • Vorzugsweise besitzt die Gasentladungslampe eine langgestreckte Konfiguration und die Mikrowellenapplikationseinheit ist auf eine Vielzahl von in Längsrichtung des Lampenkörpers beabstandete Bereiche gerichtet, um eine entsprechende Verteilung der Einbringung der Mikrowellenenergie vorzusehen. Vorteilhafterweise ist die Gasentladungslampe eine elektrodenlose Lampe, was einerseits die Kosten für die Lampe reduziert, und andererseits die Gefahr eines Elektrodenabbrands im Bereich der Elektroden vermeidet. Hierdurch kann die Lebenszeit der Gasentladungslampe wesentlich verlängert werden.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung besitzt die Gasentladungslampe eine durchgängige Kammer zur Aufnahme des Gases. Bei einer alternativen Ausführungsform der Erfindung besitzt die Gasentladungslampe wiederum wenigstens zwei getrennte Kammern zur Aufnahme des Gases. Hierdurch lässt sich eine örtliche Einstellung des Strahlungsprofils der Lampe über das in den getrennten Kammern befindliche Gas erreichen. Für eine entsprechende Ansteuerung der unterschiedlichen Kammern sind diese vorzugsweise mit Mikrowelleneinkopplungsbereichen der Mikrowellenapplikationseinheit ausgerichtet, um eine entsprechende Einkopplung in jeder Kammer vorzusehen. Für eine Einstellung eines Strahlungsprofils der Gasentladungslampe können in den getrennten Kammern unterschiedliche Gaszusammensetzungen vorgesehen sein, wobei z. B. unterschiedliche Drücke und/oder unterschiedliche Gase in den jeweiligen Kammern vorgesehen sein können. Hierdurch kann beispielsweise auch das UV-Linienspektrum über die Gasentladungslampe hinweg eingestellt werden.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung besitzt die Strahlungsquelle wenigstens ein für UV-Strahlung im Wesentlichen durchlässiges, die Mikrowellenstrahlung hingegen abschirmendes Element, das auf einer der Mikrowellenapplikationseinheit abgewandten Seite des Lampenkörpers angeordnet ist. Hierdurch wird erreicht, dass die UV-Strahlung auf ein zu behandelndes Objekt gelangen kann, die Mikrowellenstrahlung hingegen zuverlässig abgeschirmt wird. Vorzugsweise ist wenigstens ein für Mikrowellen durchlässiges, UV-Strahlung jedoch wenigstens teilweise reflektierendes Element zwischen Wänden der Mikrowellenapplikationseinheit und dem Gas in der Gasentladungslampe angeordnet. Hierdurch kann sichergestellt werden, dass in Richtung der Mikrowellenapplikationseinheit emittierte UV-Strahlung in Richtung eines zu behandelnden Objekts reflektiert wird. Hierzu kann beispielsweise eine Teflonbeschichtung des Lampenkörpers vorgesehen sein.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung besitzt die Mikrowellenapplikationseinheit eine Resonatorstruktur, wobei die Gasentladungslampe in einer Resonatorkammer der Mikrowellenapplikationseinheit liegt. Dabei besitzt die Resonatorstruktur vorzugsweise ein Fenster zur Auskopplung der von der Gasentladungslampe emittierten elektromagnetischen Strahlung. Insbesondere ist das Fenster vorzugsweise in einer Bodenwand der Resonatorstruktur ausgebildet. Vorteilhafterweise ist wenigstens ein, eine elektromagnetische Strahlung der Gasladungslampe reflektierendes Element gegenüber dem die elektromagnetische Strahlung auskoppelnden Fenster der Resonatorstruktur vorgesehen.
  • Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird auch bei einer Vorrichtung zum Behandeln eines Substrats mit UV-Strahlung gelöst, die eine Strahlungsquelle des oben beschriebenen Typs sowie eine Transportvorrichtung zum Transport des Substrats an der Strahlungsquelle vorbei aufweist. Vorzugsweise besitzt die Strahlungsquelle eine Längserstreckung, die quer zu einer Transportrichtung der Transportvorrichtung verläuft.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung liegen die Mikrowellenapplikatoren außerhalb eines Bewegungsbereichs der Transportvorrichtung, um diese nicht zu beeinträchtigen. Bei einer Ausführungsform der Erfindung besitzt der Mikrowellenapplikator eine Resonatorstruktur, die sich im Wesentlichen parallel zur Transportrichtung erstreckt, um eine Anordnung, beabstandet von der Transportvorrichtung, zu ermöglichen. Dabei ist vorzugsweise ein Reflektor auf der der Transporteinheit abgewandten Seite der Gasentladungslampe vorgesehen, um in diese Richtung emittierte elektromagnetische Strahlung in Richtung der Transporteinheit zu reflektieren.
  • Vorteilhafterweise ist die Vorrichtung eine Vorrichtung zum Fixieren eines Druckmediums auf einem Substrat, wie beispielsweise eine Fixiervorrichtung für einen UV-vernetzbaren Toner.
  • Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert; in den Zeichnungen zeigt:
  • 1 eine schematische Schnittdarstellung durch eine Substratbehandlungsvorrichtung mit einer Strahlungsquelle gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 2 eine schematische Schnittdarstellung durch eine Substratbehandlungsvorrichtung mit einer Strahlungsquelle gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 3 eine schematische Schnittdarstellung der Strahlungsquelle gemäß der zweiten Ausführungsform entlang der Linie II-II in 2;
  • 4 eine Draufsicht auf eine Substratbehandlungsvorrichtung mit einer Strahlungsquelle gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 5 eine schematische Schnittdarstellung der Strahlungsquelle gemäß 4, entlang der Linie V-V;
  • 6 eine schematische Darstellung einer Gasentladungslampe gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 1 zeigt eine schematische Schnittansicht durch eine Substratbehandlungsvorrichtung, insbesondere eine Fixiervorrichtung 1, für ein auf einem Bedruckstoff 2 befindliches Druckmedium.
  • Die Fixiervorrichtung 1 besitzt eine Transporteinheit 4 für den Bedruckstoff, sowie eine Strahlungsquelle 6. Die Transporteinheit 4 ist irgendeine geeignete Transporteinheit, die zur Aufnahme eines Bedruckstoffs und zum Transport des Bedruckstoffs an der Strahlungsquelle vorbei geeignet ist. Beispielsweise kann die Transporteinheit 4, wie dargestellt, ein Transportband 5 aufweisen, das den Bedruckstoff 2 aufnimmt, und an der Strahlungsquelle 6 vorbeibewegt. Hierzu kann für das Transportband 5 ein geeigneter Transportmechanismus, der nicht näher dargestellt ist, vorgesehen sein. Dabei wird das Transportband 5 gemäß 2 aus der Blattebene heraus transportiert. Beispielsweise könnte die Transporteinheit 4 jedoch auch eine Trommel aufweisen, um die der Bedruckstoff 2 wenigstens teilweise herumgeführt werden kann, wobei die Strahlungsquelle 6 auf einen Außenumfang der Trommel gerichtet ist, so dass der Bedruckstoff 2 bei einer Drehung der Trommel an der Strahlungsquelle 6 vorbeibewegt wird.
  • Die Strahlungsquelle 6 besitzt eine Gasentladungslampe 10, sowie zwei Mikrowellenapplikatoren 12, 14. Die Gasentladungslampe 10 ist eine langgestreckte elektrodenlose Lampe und insbesondere eine UV-Lampe, d. h. das Gas in der Gasentladungslampe 10 emittiert im angeregten Zustand elektromagnetische Strahlung hauptsächlich im UV-Bereich. Die Gasentladungslampe 10 ist quer zur Transportrichtung der Transporteinheit angeordnet. Dabei handelt es sich bei der Gasentladungslampe 10 speziell um eine Lampe mit einem Innendruck von 0,001–0,5 bar.
  • Die Endbereiche der Gasentladungslampe 10 sind jeweils in einer Kammer eines Mikrowellenapplikators 12 bzw. 14 angeordnet.
  • Die Mikrowellenapplikatoren 12, 14 sind jeweils Applikatoren des Resonanztyps und weisen jeweils einen nicht näher dargestellten Mikrowelleneingang auf. Die Mikrowellenapplikatoren 12, 14 sind jeweils links und rechts bezüglich der Transporteinheit 4 angeordnet, und befinden sich somit außerhalb eines Transportbereichs der Transporteinheit 4.
  • Oberhalb der Gasentladungslampe 10 ist ein Reflektor 15 vorgesehen, der nach oben emittierte Strahlung in Richtung der Transporteinheit 4 und somit des Substrats 2 reflektiert. Zur Erhöhung des UV-Anteils der auf das Substrat 2 gelangenden Strahlung handelt es sich um einen Kaltlichtreflektor 15 mit einer integrierten Kühleinheit.
  • Der Betrieb der Fixiervorrichtung 1 wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figuren noch näher erläutert.
  • Für eine Fixierung eines auf einem Bedruckstoff 2 befindlichen Druckmediums wird der Bedruckstoff über die Transporteinheit 4 unter der sich quer zur Transportrichtung der Transporteinheit 4 erstreckenden Gasentladungslampe 10 hindurchbewegt. Bei dem Druckmedium handelt es sich beispielsweise um einen UV-vernetzbaren Toner. Die Gasentladungslampe 10 wird zunächst in geeigneter Weise über den Mikrowellenapplikator 12 während einer nicht nä her beschriebenen Zündsequenz gezündet, d. h. in der Gasentladungslampe 10 befindliches Gas wird derart erregt, dass es ein UV-Strahlen abgebendes Plasma bildet. Anschließend wird die in die Gasentladungslampe 10 eingekoppelte Mikrowellenleistung derart eingestellt, dass über die Gasentladungslampe 10 hinweg eine im Wesentlichen gleichmäßige UV-Abstrahlung erfolgt. Durch die Verwendung einer Gasentladungslampe mit einem inneren Gasdruck von ungefähr 0,001–0,5 bar ergibt sich eine gute UV-Ausbeute hinsichtlich der eingekoppelten Mikrowellenenergie. Durch die Mikrowelleneinkopplung in unterschiedlichen Bereichen der Gasentladungslampe, insbesondere den Endbereichen derselben, lässt sich trotz des niedrigen Gasdrucks eine wesentliche UV-Strahlungsleistung erhalten. Aufgrund des niedrigen Drucks und der sich daraus ergebenden großen freien Weglänge der in der Mikrowellenkammer erregten Elektronen- und Gasteilchen können sich diese gut über die Gasentladungslampe hinweg verteilen. Dabei kommt es aufgrund der freien Weglänge zwar zu einer geringen Anzahl von Stoßionisierungen, was aber dadurch zum Erhalten einer hohen UV-Leistung durch eine direkte Ionisierung der Teilchen in den Mikrowellenapplikatoren kompensiert wird.
  • Die 2 und 3 zeigen schematische Schnittansichten durch eine alternative Substratbehandlungsvorrichtung, und speziell eine Fixiervorrichtung 1 für ein auf einem Bedruckstoff 2 befindliches Druckmedium. In den 2 und 3 werden dieselben Bezugszeichen wie bei dem vorhergehenden Ausführungsbeispiel verwendet, sofern ähnliche oder gleiche Elemente beschrieben werden.
  • Die Fixiervorrichtung besitzt wiederum eine Transporteinheit 4, sowie eine Strahlungsquelle 6. Die Transporteinheit 4 kann wiederum irgendeine geeignete Transporteinheit sein, und besitzt in der dargestellten Ausführungsform ein Transportband 5 zur Aufnahme und zum Transport des Bedruckstoffs 2. Bei der Ansicht gemäß 2 ist die Transportrichtung des Transportbands 5 wiederum aus der Blattebene heraus gerichtet, wie durch den Pfeil A in 3 angedeutet ist.
  • Die Strahlungsquelle 6 besitzt eine Gasentladungslampe 10, sowie eine Vielzahl von Mikrowellenapplikatoren 16, die jeweils einen Teilbereich der Gasentladungslampe 10 aufnehmen, wie nachfolgend noch näher erläutert wird. Die Gasentladungslampe 10 ist wiederum eine elektrodenlose UV-Lampe des oben genannten Typs.
  • In 2 sind insgesamt fünf Mikrowellenapplikatoren 16 vorgesehen, wobei jedoch eine hiervon abweichende Anzahl von Applikatoren vorgesehen sein kann. Die Mikrowellenapplikatoren 16 besitzen jeweils eine Kammer 18, in die über einen nicht näher dargestellten Eingang Mikrowellen eingespeist werden. Die Kammern 18 besitzen jeweils eine Durchgangsöffnung zur Aufnahme der Gasentladungslampe 10 dort hindurch, wie in 2 zu erkennen ist. Unterhalb der Gasentladungslampe 10 ist ein die jeweilige Kammer 18 abschließendes Abschirmgitter 20 vorgesehen, das eine von der Gasentladungslampe 10 ausgehende UV-Strahlung im Wesentlichen ungehindert durchlässt, die Mikrowellenstrahlung hingegen abschirmt. Dies kann beispielsweise durch eine geeignete Auswahl der Maschenweite des Gitters 20 erreicht werden.
  • Die Gasentladungslampe 10 und die Mikrowellenapplikatoren 16 sind derart bemessen und angeordnet, dass wenigstens 50% der Gasentladungslampe 10 innerhalb der Kammern 18 der Mikrowellenapplikatoren angeordnet sind. Das heißt, es können in wenigstens 50% der Gasfüllung der Gasentladungslampe gleichzeitig Mikrowellen eingekoppelt werden, wodurch eine hohe UV-Leistung erreicht werden kann. Vorteilhafterweise befinden sich wenigstens 80% der Gasentladungslampe 10 innerhalb der Kammern 18, um eine Mikrowelleneinkopplung über einen großen Bereich der Gasentladungslampe hinweg zu gewährleisten.
  • Bei den in 2 dargestellten Mikrowellenapplikatoren handelt es sich vorzugsweise um Mikrowellenapplikatoren mit einer Leistung von weniger als ungefähr 1000 W, da Mikrowellenquellen in dieser Leistungsklasse aufgrund ihrer Verwendung in vielen Haushaltsgeräten gegenüber Mikrowellenquellen mit höherer Leistung wesentlich kostengünstiger sind. Obwohl in 2 fünf sepa rate Mikrowellenapplikatoren 16 dargestellt sind, ist auch möglich, einen einzelnen Mikrowellenapplikator, der wenigstens 50% der Gasentladungslampe 10 aufnimmt, und eine höhere Eingangsleistung besitzt, vorzusehen.
  • Der Betrieb der Fixiervorrichtung 1 gleicht im Wesentlichen dem zuvor beschriebenen Betrieb der Fixiervorrichtung gemäß 1, so dass eine nähere Erläuterung hier nicht notwendig erscheint.
  • Die 4 und 5 zeigen eine schematische Draufsicht bzw. eine Schnittansicht durch eine Substratbehandlungsvorrichtung, insbesondere eine Fixiervorrichtung 1 für ein auf einem Bedruckstoff 2 befindliches Druckmedium. In den 4 und 5 werden wiederum dieselben Bezugszeichen wie bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen verwendet, sofern ähnliche oder gleiche Elemente beschrieben werden.
  • Die Fixiervorrichtung 1 besitzt eine Transporteinheit 4, sowie eine Strahlungsquelle 6. Die Transporteinheit 4 ist wieder irgendeines geeigneten Typs zur Aufnahme und zum Transport des Bedruckstoffs 2 an der Strahlungsquelle 6 vorbei. Die Strahlungsquelle 6 besitzt wiederum eine elektrodenlose UV-Gasentladungslampe des oben genannten Typs.
  • Zur Erregung des Gases in der Gasentladungslampe 10 ist eine Vielzahl von Mikrowellenapplikatoren 24 vorgesehen. Die Mikrowellenapplikatoren 24 besitzen jeweils eine Resonatorstruktur, mit einer im Wesentlichen geschlossenen Resonatorkammer 26, in die über einen nicht näher dargestellten Eingang Mikrowellen eingekoppelt werden. Die Resonatorkammer besitzt jeweils Durchgangsöffnungen zum Durchführen der Gasentladungslampe 10, wie in den 4 und 5 zu erkennen ist. Dabei sind die Gasentladungslampe 10 und die Resonatorkammern 26 der Mikrowellenapplikatoren 24 jeweils so aufgebaut, dass sie wenigstens 50% der Gasentladungslampe aufnehmen.
  • In einer unteren Seitenwand der Resonatorkammer 26 ist jeweils wenigstens ein sich über die Kammerbreite hinweg erstreckender Fensterbereich 28 vor gesehen, über den von der Gasentladungslampe 10 emittierte UV-Strahlung aus der Resonatorkammer 26 ausgeleitet werden kann. Dabei ist der Fensterbereich 28 derart ausgebildet, dass ein Austritt von Mikrowellen hierüber nicht möglich ist. Innerhalb der Resonatorkammer 26 kann wenigstens ein, die Mikrowellenstrahlung nicht beeinträchtigender, UV-Strahlung reflektierender Reflektor vorgesehen sein, um UV-Strahlung in Richtung des Fensterbereichs 28 zu reflektieren. Dies kann beispielsweise durch eine wenigstens teilweise Beschichtung der Gasentladungslampe 10 mit Teflon erreicht werden, das eine gewisse Reflektivität für die UV-Strahlung bietet, die Mikrowellen hingegen nicht wesentlich beeinträchtigt.
  • Alternativ könnten auch andere Reflektoren vorgesehen sein, wobei es sich hierbei vorzugsweise um Kaltlichtreflektoren handeln sollte, die bevorzugt UV-Strahlung reflektieren. Hierdurch kann der UV-Anteil der aus dem Fenster 28 austretenden Strahlung noch weiter erhöht werden, wobei allerdings eine entsprechende Kühlung der Reflektoren, die beispielsweise IR-Strahlung absorbieren, vorgesehen werden sollte. Zur Erhöhung der Reflexion an der Innenwandung der Applikatoren kann beispielsweise auch eine Beschichtung aus Aluminium mit einer zusätzlichen Schutzbeschichtung aufgebracht werden. Typische Reflexionswerte einer solchen Beschichtung für UV liegen beispielsweise bei 90%.
  • 4 zeigt eine alternative Ausführungsform einer Gasentladungslampe 10, die in den Fixiervorrichtungen 1 gemäß den 1 bis 5 eingesetzt werden kann.
  • Die Gasentladungslampe 10 besitzt einen langgestreckten Lampenkolben 35. Der Lampenkolben 35 weist Einschnürungen 37 auf, um getrennte Kammern 40 bis 44 innerhalb des Lampenkolbens 35 zu bilden. Die Kammern 40 bis 44 sind jeweils mit einem geeigneten Gas bzw. Gasgemisch mit niedrigem Druck gefüllt. Die Kammern 40 bis 44 werden bei der Verwendung in einer Fixiervorrichtung 1 derart angeordnet, dass jede der Kammern wenigstens teilweise innerhalb eines Mikrowellenapplikators liegt, um eine entsprechende Ankopp lung von Mikrowellenenergie in das in den Kammern enthaltene Gas ermöglicht.
  • Das Vorsehen unterschiedlicher Kammern ermöglicht es unter anderem unterschiedliche Gasgemische entlang der Gasentladungslampe 10 vorzusehen, um über deren Länge hinweg ggf. unterschiedliche UV-Abstrahlungsprofile vorzusehen.
  • Obwohl in 4 Einschnürungen 37 zur Unterteilung der Kammern 40 bis 44 vorgesehen sind, kann der Lampenkörper 35 auch auf unterschiedliche Arten unterteilt sein.
  • Die Erfindung wurde zuvor anhand bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung näher erläutert, ohne auf die konkret dargestellten Ausführungsformen beschränkt zu sein. Insbesondere ist die Strahlungsquelle 6 nicht auf einen Einsatz für eine Fixierung eines Druckmediums auf einem Bedruckstoff beschränkt. Vielmehr kann die Strahlungsquelle auch in anderen Substratbehandlungsvorrichtungen, welche eine Strahlung hauptsächlich im UV-Spektrum mit hoher Leistung erfordern, eingesetzt werden.

Claims (28)

  1. Strahlungsquelle die eine Gasentladungslampe mit einer wenigstens teilweise im UV-Spektrum emittierenden Gasfüllung mit einem Druck von 0,001–0,5 bar und eine Mikrowellenapplikationseinheit aufweist, die wenigstens zwei separaten Mikrowellenapplikatoren besitzt, die so konfiguriert sind, dass sie Mikrowellen in unterschiedliche Bereiche der Gasentladungslampe einkoppeln.
  2. Strahlungsquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasentladungslampe eine langgestreckte Konfiguration besitzt und die Mikrowellenapplikatoren auf entgegengesetzte Endbereiche der Gasentladungslampe gerichtet sind.
  3. Strahlungsquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellenapplikatoren jeweils einen Mikrowellenresonator besitzen.
  4. Strahlungsquelle die eine langgestreckte Gasentladungslampe mit einer wenigstens teilweise im UV-Spektrum emittierenden Gasfüllung mit einem Druck von 0,001–0,5 bar und eine Mikrowellenapplikationseinheit, die wenigstens einen Mikrowellenapplikator besitzt, und die so konfiguriert ist, dass sie über einen Bereich von wenigstens 50% in einer Längsrichtung der Lampe Mikrowellen in das Gas einkoppelt.
  5. Strahlungsquelle nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellenapplikationseinheit so konfiguriert ist, dass sie über einen Bereich von wenigstens 80% in einer Längsrichtung der Lampe Mikrowellen in das Gas einkoppelt.
  6. Strahlungsquelle nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellenapplikationseinheit eine Vielzahl von separaten Mikrowellenapplikatoren aufweist.
  7. Strahlungsquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens drei Mikrowellenapplikatoren vorgesehen sind.
  8. Strahlungsquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellenapplikatoren bezüglich einer Längsmittelebene der Gasentladungslampe symmetrisch angeordnet sind.
  9. Gasentladungslampe dadurch gekennzeichnet, dass jeder Mikrowellenapplikator eine Leistung von ungefähr 1000 Watt oder weniger besitzt.
  10. Strahlungsquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, das die Gasentladungslampe eine langgestreckte Konfiguration besitzt und die Mikrowellenapplikationseinheit in eine Vielzahl von in Längsrichtung des Lampenkörpers beabstandete Bereiche Mikrowellen einkoppelt.
  11. Strahlungsquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, das die Gasentladungslampe eine elektrodenlose Gasentladungslampe ist.
  12. Strahlungsquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasentladungslampe eine durchgängige Kammer zur Aufnahme der wenigstens teilweise im UV-Spektrum emittierenden Gasfüllung besitzt.
  13. Strahlungsquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasentladungslampe wenigstens zwei getrennte Kammern zur Aufnahme der wenigstens teilweise im UV-Spektrum emittierenden Gasfüllung besitzt.
  14. Strahlungsquelle nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Kammern der Gasentladungslampe mit Mikrowelleneinkopplungsbereichen der Mikrowellenapplikationseinheit ausgerichtet sind.
  15. Strahlungsquelle nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass in den getrennten Kammern unterschiedliche Gaszusammensetzungen vorgesehen sind.
  16. Strahlungsquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch wenigstens ein für UV-Strahlung im Wesentlichen durchlässiges, die Mikrowellenstrahlung abschirmendes Element, wobei das Element auf einer der Mikrowellenapplikationseinheit abgewandten Seite des Lampenkörpers angeordnet ist.
  17. Strahlungsquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein für Mikrowellen im Wesentlichen durchlässiges, UV-Strahlung wenigstens teilweise reflektierendes Element, das zwischen Mikrowellenapplikationseinheit und der Gasfüllung der Gasentladungslampe angeordnet ist.
  18. Strahlungsquelle nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass das für Mikrowellen im Wesentlichen durchlässiges, UV-Strahlung wenigstens teilweise reflektierendes Element durch eine teilweise Teflonbeschichtung des Lampenkörpers gebildet ist.
  19. Strahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellenapplikationseinheit wenigstens eine Resonatorstruktur besitzt, und die Gasentladungslampe wenigstens teilweise in einer Resonatorkammer der Mikrowellenapplikationseinheit angeordnet ist.
  20. Strahlungsquelle nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Resonatorstruktur ein Fenster zur Auskopplung der von der Gasentla dungslampe emittierten elektromagnetischen Strahlung, mit einer Mikrowellenstrahlung abschirmenden Struktur besitzt.
  21. Strahlungsquelle nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass das Fenster in einer sich parallel zur Gasentladungslampe erstreckenden Seitenwand der Resonatorstruktur ausgebildet ist.
  22. Strahlungsquelle nach Anspruch 20 oder 21, gekennzeichnet durch wenigstens ein elektromagnetische Strahlung der Gasladungslampe reflektierendes Element, das in der Resonatorstruktur angeordnet ist und so konfiguriert ist, dass es von der Gasentladungslampe emittierte elektromagnetische Strahlung in Richtung des Fensters reflektiert.
  23. Vorrichtung zum Behandeln eines Substrats mit UV-Strahlung, die eine Strahlungsquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche und eine Transportvorrichtung zum Transport des Substrats an der Strahlungsquelle vorbei aufweist.
  24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle eine Längserstreckung besitzt, die quer zu einer Transportrichtung der Transportvorrichtung verläuft.
  25. Vorrichtung nach Anspruch 23 oder 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellenapplikatoren beiderseits eines Bewegungsbereichs der Transportvorrichtung liegen.
  26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 23 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass sich Resonatorstruktur im Wesentlichen parallel zur Transportrichtung erstreckt.
  27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 23 bis 26, gekennzeichnet durch einen Reflektor auf einer der Transporteinheit abgewandten Seite der Strahlungsquelle.
  28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 23 bis 27, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine Fixiervorrichtung zum Fixieren eines Druckmediums auf einem Bedruckstoff ist.
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