DE4006070C2 - - Google Patents
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-
- H10P52/00—
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4006070A DE4006070A1 (de) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | Verfahren und einrichtung zum zerteilen einer scheibe aus halbleitermaterial |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4006070A DE4006070A1 (de) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | Verfahren und einrichtung zum zerteilen einer scheibe aus halbleitermaterial |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4006070A1 DE4006070A1 (de) | 1991-09-12 |
| DE4006070C2 true DE4006070C2 (enExample) | 1992-03-19 |
Family
ID=6401018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE4006070A Granted DE4006070A1 (de) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | Verfahren und einrichtung zum zerteilen einer scheibe aus halbleitermaterial |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE4006070A1 (enExample) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4425879A1 (de) * | 1994-07-09 | 1996-01-11 | Ges Zur Foerderung Angewandter Optik Optoelektronik Quantenelektronik & Spektroskopie Ev | Vorrichtung zum Ritzen von im wesentlichen einkristallinen Substraten |
| DE10221549C1 (de) * | 2002-05-14 | 2003-11-20 | Maier & Fabris Gmbh | Vorrichtung zur Detektion von Metallgegenständen |
| JP5121746B2 (ja) * | 2009-01-29 | 2013-01-16 | 昭和電工株式会社 | 基板切断方法および電子素子の製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE2816445C2 (de) * | 1978-04-15 | 1982-03-04 | Telefonbau Und Normalzeit Gmbh, 6000 Frankfurt | Einrichtung zum Brechen von Substraten |
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| DE3137301A1 (de) * | 1981-09-18 | 1983-04-14 | Presco Inc., Beverly Hills, Calif. | "verfahren und vorrichtung zur handhabung kleiner teile in der fertigung" |
| KR920004514B1 (ko) * | 1987-05-01 | 1992-06-08 | 스미도모덴기고오교오 가부시기가이샤 | 반도체소자 제조장치 |
-
1990
- 1990-02-27 DE DE4006070A patent/DE4006070A1/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4006070A1 (de) | 1991-09-12 |
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