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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Folien-Anhaftvorrichtung.
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Beschreibung des Standes der Technik
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Verschiedene Bauelementchips werden aus verschiedenen plattenförmigen Werkstücken wie beispielsweise einem Halbleiterwafer, einem Kunststoff-Packungssubstrat, einem Glassubstrat und einem Keramiksubstrat hergestellt, in dem Halbleiterbauelemente ausgebildet sind, und solche Bauelementchips werden für elektronische Geräte verwendet. Jedes Substrat wird geschliffen, um dünn ausgestaltet zu werden, und wird durch eine Schneidklinge oder einen Laserstrahl bearbeitet, um geteilt zu werden. Zu diesem Zeitpunkt wird eine Kunststoffschicht wie beispielsweise ein Haftband mittels einer Folien-Anhaftvorrichtung an dem Werkstück angehaftet, um die vordere Oberfläche (Bauelement-Oberfläche) des Wafers zu schützen und zu verhindern, dass die Chips verteilt werden (siehe beispielsweise das japanische Patent Nr
. 4387879 ).
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DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Bei der Folien-Anhaftvorrichtung wird, nachdem die Folie, die eine größere Breite als das Werkstück aufweist, an dem Werkstück angehaftet ist, eine überflüssige Folie am äußeren Umfangsabschnitt durch eine Schneidklinge, wie beispielsweise eine Schneideinrichtungsklinge, abgeschnitten und entfernt. Die Schneidklinge birgt ein Problem dahingehend, dass, wenn Staub einer aus weichem Kunststoff hergestellten Folie an der Schneidklinge anhaftet, die Schärfe davon sinkt und es zu Schneidfehlern kommt, wie beispielsweise einem Phänomen, bei dem die Folie nicht vollständig geschnitten wird oder der geschnittene Endteil ausgefranst wird.
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Dementsprechend ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Folien-Anhaftvorrichtung bereitzustellen, welche die Möglichkeit eines Auftretens von Schneidfehlern leicht reduzieren kann.
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Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Folien-Anhaftvorrichtung bereitgestellt, aufweisend eine Anhafteinheit, die eine Folie an einem durch einen Einspanntisch gehaltenen Werkstück anhaftet, und eine Schneideinheit, welche die angehaftete Folie schneidet. Die Schneideinheit weist auf: eine Schneidklinge, welche die Folie schneidet, eine Bewegungseinheit, welche die Schneidklinge vom und zum Einspanntisch anhebt und absenkt oder die Schneidklinge entlang des Außenumfangs des Werkstücks bewegt, und einen Reinigungsteil, der anhaftende Stücke von der Schneidklinge entfernt. Der Reinigungsteil ist an einer Bahn der Schneidklinge angeordnet, die sich durch die Bewegungseinheit bewegt, und führt eine Reinigung aus, indem er mit der sich bewegenden Schneidklinge in Kontakt kommt.
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Bevorzugt bringt der Reinigungsteil einen Schaber oder eine Bürste in Kontakt mit der Schneidklinge. Mit der vorliegenden Erfindung kann die Möglichkeit des Auftretens von Schneidfehlern leicht verringert werden.
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Die obige und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung, sowie die Weise ihrer Umsetzung werden am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche, unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, deutlicher, und die Erfindung selbst wird hierdurch am besten verstanden.
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Figurenliste
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- 1 ist eine Schnittansicht, die ein Ausgestaltungsbeispiel einer Folien-Anhaftvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
- 2 ist eine Draufsicht, die ein Werkstück darstellt, das ein Folien-Anhaftziel der in 1 dargestellten Folien-Anhaftvorrichtung ist;
- 3 ist eine Schnittansicht, die eine in 1 dargestellte Anhafteinheit darstellt;
- 4 ist eine Schnittansicht, die eine in 1 dargestellte Schneideinheit darstellt;
- 5 ist eine Draufsicht, die einen in 1 dargestellten Reinigungsteil darstellt;
- 6 ist eine Schnittansicht, die den in 1 dargestellten Reinigungsteil darstellt; und
- 7 ist eine Schnittansicht, die einen Reinigungsteil der Folien-Anhaftvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen im Einzelnen beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist nicht durch in den folgenden Ausführungsformen beschriebene Inhalte beschränkt. Darüber hinaus sind in den nachfolgend beschriebenen Komponenten solche enthalten, die für den Fachmann leicht vorstellbar sind und die im Wesentlichen gleich sind. Zusätzlich können die im Folgenden beschriebenen Ausgestaltungen in geeigneter Weise kombiniert werden. Ferner können verschiedene Arten von Weglassungen, Austauschen oder Änderungen einer Ausgestaltung ausgeführt werden, ohne vom Kern der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
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[Erste Ausführungsform]
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Eine Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf Zeichnungen beschrieben. 1 ist eine Schnittdarstellung, die ein Ausgestaltungsbeispiel der Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausführungsform darstellt. 2 ist eine Draufsicht, die ein Werkstück 100 darstellt, das ein Folien-Anhaftziel für die in 1 dargestellte Folien-Anhaftvorrichtung 1 ist. 3 ist eine Schnittansicht zum Erklären einer in 1 dargestellten Anhafteinheit 20. 4 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung einer in 1 dargestellten Schneideinheit 30. 5 ist eine Draufsicht, die einen in 1 dargestellten Reinigungsteils 33 darstellt. 6 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung des in 1 dargestellten Reinigungsteils 33. Wie in 1 dargestellt, weist die Folien-Anhaftvorrichtung 1 einen Einspanntisch 10, die Anhafteinheit 20, die Schneideinheit 30 und eine Steuerungseinheit 40 auf.
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Ein Werkstück 100, das ein Folien-Anhaftziel der Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausführungsform ist, d.h. ein Anhaftziel, ist beispielsweise ein kreisförmiger plattenförmiger Halbleiterwafer oder ein Optikbauelementwafer, der Silizium, Saphir, Siliziumkarbid (SiC) oder Galliumarsenid als Basismaterial enthält. In dem Werkstück 100 sind, wie in 2 dargestellt, Bauelemente 103 in Bereichen ausgebildet, die durch mehrere geplante Teilungslinien 102 abgegrenzt sind, die gitterartig in einer vorderen Oberfläche 101 ausgebildet sind. Das Werkstück 100 ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt und könnte ein rechteckiges Kunststoff-Packungssubstrat, das mehrere durch Kunststoff verschlossene Bauelemente aufweist, ein Glassubstrat, ein Keramiksubstrat, eine Glasplatte oder dergleichen sein.
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Eine Folie 200, die durch die Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausführungsform an dem Werkstück 100 anzuhaften ist, ist beispielsweise ein sogenanntes Haftband, das eine Schicht-Stapel-Struktur aus einer aus einem Kunststoff hergestellten Basisschicht und einer aus einem aus einem Kunststoff hergestellten Haftmittelschicht ausgebildeten Klebstoffschicht aufweist. In der vorliegenden Ausführungsform schützt die Folie 200 die Seite der vorderen Oberfläche 101 des Werkstücks 100, indem sie mit der Seite der Klebstoffschicht, die eine Klebekraft aufweist, zur Seite der vorderen Oberfläche 101 des Werkstücks 100 gerichtet angehaftet wird. Die Folie 200 ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt und könnte an der Seite einer hinteren Oberfläche 104, die der der vorderen Oberfläche 101 gegenüberliegend angeordnet ist, anstelle der Seite der vorderen Oberfläche 101 des Werkstücks 100 angehaftet werden. Eine Schutzfolie, die nur die Basisschicht und nicht die Klebstoffschicht aufweist, könnte mit dem Werkstück 100 druckverbunden werden, während sie erwärmt wird. Darüber hinaus ist die Folie 200 in der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt, was im Wesentlichen als das Haftband bezeichnet wird, und könnte das sein, was Wesentlichen als eine thermoplastisches KunststoffSchicht bezeichnet wird, die durch einen thermoplastischen Kunststoff, der gedrückt und verteilt wird, während er erwärmt wird, um erweicht oder geschmolzen zu werden und seine Haftfähigkeit durch das Erwärmen erhält, in einer Schichtform ausgebildet wird.
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Der Einspanntisch 10 weist einen kreisscheibenförmigen Rahmenkörper, an dem ein vertiefter Teil ausgebildet ist, und einen Ansaug-Anhaftteil auf, der in den vertieften Teil eingepasst ist und eine kreisscheibenförmige Form aufweist. Der Ansaug-Anhaftteil des Einspanntisches 10 ist aus poröser Keramik mit einer porösen Form oder ähnlichem ausgebildet und ist mit einer nicht dargestellten Ansaugquelle durch einen nicht dargestellten Ansaugpfad verbunden. Die obere Oberfläche des Ansaug-Anhaftteils des Einspanntisches 10 ist eine Halteoberfläche 11, an der das Werkstück 100 platziert wird und die das platzierte Werkstück 100 unter Ansaugung hält. In der ersten Ausführungsform wird das Werkstück 100 mit der vorderen Oberfläche 101 nach oben gerichtet an der Halteoberfläche 11 platziert, und die Halteoberfläche 11 hält das platzierte Werkstück 100 von der Seite der hinteren Oberfläche 104 daran. Der Einspanntisch 10 ist nicht auf das beschränkt, was im Wesentlichen im Rahmen der vorliegenden Erfindung als poröser Einspanntisch einschließlich des aus poröser Keramik oder dergleichen ausgebildeten Ansaug-Anhaftteils bezeichnet wird, und könnte eine Ausgestaltung aufweisen, bei der Ansauglöcher in einem Bereich ausgebildet sind, der dem Werkstück 100 entspricht. Die Halteoberfläche 11 und die obere Oberfläche des Rahmenkörpers des Einspanntisches 10 sind in der gleichen Ebene angeordnet und sind parallel zur horizontalen Ebene ausgebildet. Am Einspanntisch 10 ist in der oberen Oberfläche des Rahmenkörpers eine kreisförmige ringförmige Nut 12 mit einem Durchmesser ausgebildet, der dem äußeren Umfangsdurchmesser des Werkstücks 100 entspricht. Die Nut 12 ist an der Bahn einer Schneidklinge 31 ausgebildet, die von einer später zu beschreibenden Bewegungseinheit 32 der Schneideinheit 30 bewegt wird und als eine Freiraumnut der Schneidklinge 31 fungiert. Zusätzlich ist der Reinigungsteil 33 der Schneideinheit 30 innerhalb der Nut 12 angeordnet.
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In der ersten Ausführungsform ist die Anhafteinheit 20 über dem Einspanntisch 10 angeordnet und weist eine Walze 21 auf, die sich in Verbindung mit einer Drehung bewegt, während sie sich um die axiale Mitte parallel zur horizontalen Richtung dreht. Wie in 3 dargestellt, bewegt die Anhafteinheit 20 in einem Zustand, in dem die Schneideinheit 30 ausreichend vom Einspanntisch 10 zur oberen Seite hin evakuiert worden ist, die Walze 21 drehend von einem Ende an der Seite der vorderen Oberfläche 101 des am Einspanntisch 10 gehaltenen Werkstücks 100 unter Zwischenanordnung der Folie 200 zum anderen Ende hin. Folglich drückt die Anhafteinheit 20, während die Folie 200 nacheinander von dem einen Ende des Werkstücks 100 zur der Seite der vorderen Oberfläche 101 platziert wird, die platzierte Folie 200 mit einer vorgegebenen Druckkraft durch die Walze 21 gegen das Werkstück 100. Folglich haftet die Anhafteinheit 20 die Folie 200 an der vorderen Oberfläche 101 des vom Einspanntisch 10 gehaltenen Werkstücks 100 an. Handelt es sich bei der am Werkstück 100 anzuhaftenden Folie 200 um eine thermoplastische Kunststofffolie, erwärmt die Anhafteinheit 20 die Folie 200 von der Seite der Walze 21 oder der Seite des Einspanntisches 10, um sie zusätzlich zur Drehbewegung der Walze 21 zu erweichen und dadurch die erweichte Folie 200 an der vorderen Oberfläche 101 des Werkstücks 100 anzuhaften.
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Die Anhafteinheit 20 ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht auf die Form, die die Walze 21 aufweist, beschränkt und könnte die Folie 200 dadurch anhaften, dass die Folie 200 durch eine Drückplatte, die eine Drückoberfläche mit ähnlicher Form und ähnlichem Bereich wie die des Einspanntisches 10 aufweist, gegen die vordere Oberfläche 101 des Werkstücks 100 gedrückt wird. Außerdem könnte die Anhafteinheit 20 die Folie 200 durch einen Blasen von Wind an der vorderen Oberfläche 101 des Werkstücks 100 anhaften. Darüber hinaus könnte das, was im Wesentlichen als eine Vakuum-Anbringeinrichtung bezeichnet wird, verwendet werden, und die Folie 200 könnte unter Verwendung einer Luftdruckdifferenz an dem Werkstück 100 anhaftet werden.
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Wie in 4 dargestellt, weist die Schneideinheit 30 die Schneidklinge 31, die Bewegungseinheit 32 und den Reinigungsteil 33 auf. Die Bewegungseinheit 32 weist eine kreisförmige Platte 34, einen Schneidklingen-Tragteil 35, einen Anhebe-Absenk-Teil 36 und einen Drehantriebsteil 37 auf. Die kreisförmige Platte 34 ist über dem Einspanntisch 10 angeordnet. Der Schneidklingen-Tragteil 35 ist in einem vorgegebenen Bereich in der Umfangsrichtung an der unteren Seite des äußeren Umfangsteils der kreisförmigen Platte 34 angeordnet und trägt die Schneidklinge 31, wobei die Seite des Schneidrands der Schneidklinge 31 an der unteren Seite zum Einspanntisch 10 hin gerichtet ist.
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Der Anhebe-Absenk-Teil 36 ist mit der kreisförmigen Platte 34 verbunden. Durch ein Anheben und Absenken der kreisförmigen Platte 34 hebt der Anhebe-Absenk-Teil 36 den Schneidklingen-Tragteil 35 entlang der vertikalen Richtung (Z-Achsen-Richtung in 4) an und senkt ihn ab, um zu veranlassen, dass sich die Schneidklinge 31 in einer solchen Richtung absenkt, dass sie sich dem Einspanntisch 10 annähert, und in sich in einer solchen Richtung anhebt, dass sie sich vom Einspanntisch 10 entfernt. Der Anhebe-Absenk-Teil 36 gibt Informationen hinsichtlich der Höhe der kreisförmigen Platte 34 zur Steuerungseinheit 40 aus.
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Der Drehantriebsteil 37 ist mit der kreisförmigen Platte 34 verbunden. Durch ein drehendes Antreiben der kreisförmigen Platte 34 um die axiale Mitte parallel zur vertikalen Richtung bewegt der Drehantriebsteil 37 den Schneidklingen-Tragteil 35 drehend entlang der Umfangsrichtung der kreisförmigen Platte 34 und bewegt die Schneidklinge 31 drehend entlang der Umfangsrichtung der kreisförmigen Platte 34. Der Drehantriebsteil 37 gibt Informationen hinsichtlich des Drehwinkels der kreisförmigen Platte 34 zur Steuerungseinheit 40 aus.
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Wie in 4 dargestellt, veranlasst die Schneideinheit 30 durch den Anhebe-Absenk-Teil 36 die kreisförmige Platte 34 und den Schneidklingen-Tragteil 35, sich in einer solchen Richtung abzusenken, dass sie sich dem Einspanntisch 10 nähern. Infolgedessen veranlasst die Schneideinheit 30 die Seite des Schneidrandes der Schneidklinge 31, in die Folie 200 zu schneiden, die an der Seite der vorderen Oberfläche 101 des vom Einspanntisch 10 gehaltenen Werkstücks 100 angehaftet ist. In der ersten Ausführungsform bewegt außerdem durch ein Drehen der kreisförmigen Platte 34 um die axiale Mitte durch den Drehantriebsteil 37 in einem Zustand, in dem die Schneidklinge 31 leicht in die Nut 12 eingebracht ist, die Schneideinheit 30 die Schneidklinge 31 drehend entlang des äußeren Umfangsrandes des Werkstücks 100 und schneidet einen vorstehenden Abschnitt 201 der Folie 200 ab, der in der radialen Richtung vom äußeren Umfangsrand des Werkstücks 100 vorsteht. In der ersten Ausführungsform schneidet die Schneideinheit 30 die Folie 200, wobei der Schneidrand der Schneidklinge 31 in einer solchen Höhe positioniert ist, dass er leicht in die Nut 12 eingebracht wird. Die Ausgestaltung ist jedoch im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt, und die Folie 200 könnte mit dem Schneidrand der Schneidklinge 31 geschnitten werden, der in einer solchen Höhe positioniert ist, dass er leicht von der Nut 12 angehoben ist. Darüber hinaus schneidet die Schneideinheit 30 in der ersten Ausführungsform die Folie 200 durch die Schneidklinge 31 von der Seite der Folie 200, die an dem Werkstück 100 angehaftet ist. Die Ausgestaltung ist jedoch im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt und die Folie 200 könnte von der Seite des Werkstücks 100 geschnitten werden.
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Die Schneideinheit 30 ist mit einem nicht dargestellten Schneidklingen-Erwärmungsteil ausgestattet, der den Schneidrand der Schneidklinge 31 erwärmt. Die Schneideinheit 30 erwärmt und erweicht die Folie 200 durch den Schneidrand der Schneidklinge 31 und erleichtert ein Schneiden durch ein Erwärmen des Schneidrandes der Schneidklinge 31 durch den Schneidklingen-Erwärmungsteil. Dadurch wird das Auftreten eines Grats in der Folie 200 verringert, und die Folie 200 kann durch die Schneidklinge 31 genauer in Übereinstimmung mit der Form des äußeren Umfangsrands des Werkstücks 100 geschnitten werden.
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Wie in 5 und 6 dargestellt, weist der Reinigungsteil 33 mehrere Reinigungskomponenten 38 auf. In der ersten Ausführungsform sind die mehreren Reinigungskomponenten 38 gemeinsam in einem vorgegebenen Bereich in der Umfangsrichtung in der Nut 12 des Einspanntisches 10 angeordnet, wie in 5 dargestellt. Die Ausgestaltung ist jedoch im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt, und die mehreren Reinigungskomponenten 38 könnten in mehreren Bereichen in einer aufgeteilten Weise angeordnet oder gleichmäßig über den gesamten Umfang angeordnet sein. In jeder der mehreren Reinigungskomponenten 38 ist ein Abschnitt, der den Schneidrand der Schneidklinge 31 reinigt (Reinigungsabschnitt), so angeordnet, dass er sich in Richtung der Bahn der Schneidkante der Schneidklinge 31 in der Nut 12 des Einspanntisches 10 orientiert und sich mit dieser Bahn überlappt. Ein Teil der Reinigungskomponente 38 ist an der inneren Umfangsseite der Bahn des Schneidrandes der Schneidklinge 31 so angeordnet, dass sich der den Schneidrand reinigende Abschnitt zur äußeren Umfangsseite hin erstreckt, und der übrige Teil der Reinigungskomponente 38 ist an der äußeren Umfangsseite der Bahn des Schneidrandes der Schneidklinge 31 so angeordnet, dass sich der Reinigungsabschnitt zur inneren Umfangsseite hin erstreckt.
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In jeder der Reinigungskomponenten 38 kommt der Reinigungsabschnitt mit der Seitenoberfläche des Schneidrandes der Schneidklinge 31 an der inneren Umfangsseite oder der äußeren Umfangsseite in Kontakt. Dementsprechend wird der Reinigungsabschnitt gegen die Seitenoberfläche und die Spitze des Schneidrands der Schneidklinge 31 gedrückt, während er entlang der Seitenoberfläche des Schneidrands der Schneidklinge 31 verformt wird. Dies veranlasst den Reinigungsabschnitt, Stücke zu entfernen, die an der Seitenoberfläche und der Spitze des Schneidrandes der Schneidklinge 31 angehaftet haben, und die Seitenoberfläche und die Spitze des Schneidrandes der Schneidklinge 31 zu reinigen. Daher kann bei der Reinigungskomponente 38 die Kraft, mit der der Reinigungsabschnitt gegen den Schneidrand der Schneidklinge 31 gedrückt wird, in geeigneter Weise eingestellt werden, indem das Ausmaß (beispielsweise die Länge) der Überlappung mit der Bahn des Schneidrandes der Schneidklinge 31 durch den Reinigungsabschnitt oder eine Eigenschaft (beispielsweise eine elastische Kraft) einer Verformung des Materials, das den Reinigungsabschnitt ausbildet, eingestellt wird. Das anhaftende Stück, das am Schneidrand der Schneidklinge 31 anhaftet, ist beispielsweise Staub, der aus dem Kunststoff der Folie 200 hergestellt ist, der am Schneidrand der Schneidklinge 31 aufgrund eines Schneidens der Folie 200 durch die Schneidklinge 31 anhaftet.
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In der ersten Ausführungsform sind, wie in 5 und 6 dargestellt, die Reinigungskomponenten 38 Schaber oder Spatel, die aus einer elastischen Komponente wie beispielsweise einem gummiartigen Kunststoff ausgebildet sind und den Schneidrand der Schneidklinge 31 durch einen Kontakt eines Spitzenabschnitts, der den Reinigungsabschnitt darstellt, damit reinigen. In der ersten Ausführungsform sind mehrere Paare (in dem in 5 dargestellten Beispiel acht Paare) von Schabern oder Spateln, die die Reinigungskomponenten 38 darstellen, angeordnet, und die Reinigungsabschnitte sind einander gegenüberliegend so angeordnet, dass sie zur Bahn des Schneidrandes der Schneidklinge 31 ausgerichtet sind. Die Reinigungskomponenten 38 sind im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt und könnten Drehwalzen sein, die aus einer elastischen Komponente wie beispielsweise einem gummiartigem Kunststoff ausgebildet sind und den Schneidrand der Schneidklinge 31 durch einen Kontakt eines äußeren Umfangsabschnitts, der den Reinigungsabschnitt darstellt, damit reinigen. Darüber hinaus könnte es sich bei den Reinigungskomponenten 38 um Bürsten handeln, die den Schneidrand der Schneidklinge 31 durch einen Kontakt eines Haarmaterialabschnitts, der den Reinigungsabschnitt darstellt, damit reinigen. Darüber hinaus könnten die Reinigungskomponenten 38 eine Ausgestaltung aufweisen, bei der sie gegen den Schneidrand der Schneidklinge 31 gedrückt werden und entlang des Schneidrandes der Schneidklinge 31 verformt werden können, indem sie an einer elastischen Komponente wie beispielsweise einem gummiartigen Kunststoff befestigt werden.
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Die Steuerungseinheit 40 steuert einen Betrieb verschiedener Komponenten der Folien-Anhaftvorrichtung 1, um die Folien-Anhaftvorrichtung 1 dazu zu veranlassen, eine Anhaftbearbeitung eines Anhaftens der Folie 200 an der vorderen Oberfläche 101 des Werkstücks 100, eine Abschneidebearbeitung eines Abschneidens des vorstehenden Abschnitts 201 der Folie 200 und eine Reinigungsbearbeitung eines Reinigens des Schneidrandes der Schneidklinge 31 auszuführen. In der ersten Ausführungsform weist die Steuerungseinheit 40 ein Computersystem auf. Das Computersystem, das in der Steuerungseinheit 40 vorhanden ist, weist eine Rechenbearbeitungsvorrichtung mit einem Mikroprozessor, beispielsweise eine zentrale Verarbeitungseinheit (central processing unit, CPU), eine Speichervorrichtung mit einem Speicher, beispielsweise einem Festspeicher (read only memory, ROM) oder einem Arbeitsspeicher (random access memory, RAM), und eine Eingabe-Ausgabe-Schnittstellenvorrichtung auf. Die Rechenbearbeitungsvorrichtung der Steuerungseinheit 40 führt eine Berechnungsbearbeitung gemäß einem in der Speichereinrichtung der Steuerungseinheit 40 gespeicherten Computerprogramm aus und gibt ein Steuersignal zum Steuern der Folien-Anhaftvorrichtung 1 zu den jeweiligen Bestandteilen der Folien-Anhaftvorrichtung 1 über die Eingabe-Ausgabe-Schnittstelleneinrichtung der Steuerungseinheit 40 aus.
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Als nächstes wird die vorliegende Spezifikation den Betrieb der Reinigungsbearbeitung der Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausführungsform anhand von Zeichnungen erläutern. Die Folien-Anhaftvorrichtung 1 führt die Reinigungsbearbeitung beispielsweise nach einem Schneiden der Folie 200 durch die Schneidklinge 31 oder vor einem Schneiden der nächsten Folie 200 durch die Schneidklinge 31 oder dergleichen aus.
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Bei der Reinigungsbearbeitung steuert zunächst die Steuerungseinheit 40 der Folien-Anhaftvorrichtung 1 die Schneidklinge 31 drehend entlang der Umfangsrichtung der kreisförmigen Platte 34, indem der Drehantriebsteil 37 gesteuert wird und die kreisförmige Platte 34 gedreht wird, und stellt, wie in 5 dargestellt, die Position des Schneidrands der Schneidklinge 31 in der Umfangsrichtung auf einen vorbestimmten Bereich ein, in dem die Reinigungskomponenten 38 angeordnet sind und auf den die Reinigungsabschnitte der Reinigungskomponenten 38 ausgerichtet sind. Bei der Reinigungsbearbeitung hebt und senkt als nächstes, wie in 6 dargestellt, die Steuerungseinheit 40 wiederholt die Schneidklinge 31 durch ein Steuern des Anhebe-Absenk-Teils 36 und ein wiederholtes Anheben und Absenken der kreisförmigen Platte 34 und bewirkt, dass der Schneidrand der Schneidklinge 31 durch den Bereich, auf den die Reinigungsabschnitte der Reinigungskomponenten 38 gerichtet sind, in der Anheberichtung und der Absenkrichtung eine vorgegebene Anzahl von Durchläufen oder mehr durchläuft. Infolgedessen entfernen die Reinigungskomponenten 38 jedes Mal, wenn der Schneidrand der Schneidklinge 31 diesen Bereich durchläuft, anhaftende Stücke, die am Schneidrand der Schneidklinge 31 angehaftet haben, und reinigen den Schneidrand der Schneidklinge 31.
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In der Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausgestaltung, welche die obige Ausgestaltung aufweist, ermöglicht ein Anordnen des Reinigungsteils 33, der die anhaftenden Stücke der Schneidklinge 31 entfernt, an der Bahn, entlang der sich die Schneidklinge 31 bewegen kann, die anhaftenden Stücke der Schneidklinge 31 zu entfernen, ohne dass ein Aktuator verstärkt werden muss, und verhindert auch ein Nachlassen der Schärfe der Schneidklinge 31. Dies stellt einen Betrieb und einen Effekt dahingehend bereit, dass die Möglichkeit eines Auftretens von Schneidfehlern leicht reduziert werden kann.
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Ferner ist in der Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausführungsform der Reinigungsteil 33 durch die Reinigungskomponenten 38 ausgestaltet, die gegen den Schneidrand der Schneidklinge 31 gedrückt werden und verformbar werden können, wie beispielsweise Schaber oder Bürsten, die aus einer elastischen Komponente ausgebildet sind, oder der Reinigungsteil 33 ist an einer elastischen Komponente befestigt. Dies stellt einen solchen Betrieb und eine solche Wirkung bereit, dass der Reinigungsteil 33 mit einer mäßigen Kraft in Kontakt mit der Schneidklinge 31 gebracht werden kann und die Reinigung vorteilhaft ohne eine Verwendung eines Aktuators ausgeführt werden kann.
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(Zweite Ausführungsform)
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Die Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf eine Zeichnung beschrieben. 7 ist eine Schnittdarstellung, die einen Reinigungsteil 33-2 der Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform darstellt. In 7 ist der gleiche Teil wie in der ersten Ausführungsform mit dem gleichen Bezugszeichen versehen, und auf eine Beschreibung davon wird verzichtet.
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Die Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform ist das, was erhalten wird, indem der Reinigungsteil 33 in der ersten Ausführungsform durch den Reinigungsteil 33-2 ändert, und die andere Ausgestaltung ist die gleiche wie bei der ersten Ausführungsform. Der Reinigungsteil 33-2 weist ein Paar Reinigungskomponenten 38-2, eine Nut-Komponente 51, eine Feder 52, einen Verbindungsmechanismus 53 und eine Dämpfungskomponente 54 auf, wie in 7 dargestellt. Das Paar Reinigungskomponenten 38-2 sind Abstreifer, die aus einer elastischen Komponente ausgebildet sind, die denjenigen der Reinigungskomponente 38 der ersten Ausführungsform ähnlich ist. Die Reinigungskomponenten 38-2 unterscheiden sich jedoch von den Reinigungskomponenten 38 der ersten Ausführungsform dadurch, dass sie in einer gebogenen Form ausgebildet sind.
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Die Nut-Komponente 51 ist in der Nut 12 des Einspanntisches 10 angeordnet und weist eine Basis 55 und ein Paar Seitenwandteile 56 auf, die von der Basis 55 nach oben errichtet sind, wie in 7 dargestellt. Das Paar Seitenwandteile 56 ist in einem Abstand in der Breitenrichtung der Nut 12, d.h. in der radialen Richtung des Einspanntisches 10, angeordnet, und der Abstand zwischen ihnen weist eine Breite auf, die größer als die Dicke des Schneidrandes der Schneidklinge 31, aber kleiner als die Nut 12 ist. Das Paar der Seitenwandteile 56 bildet zwischen sich eine Nut 57 aus.
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Ein Ende der Feder 52 ist mit der unteren Oberfläche der Nut 57, d.h. der oberen Oberfläche der Basis 55 verbunden, und das andere Ende ist mit einem Gelenkteil 59 des Verbindungsmechanismus 53 verbunden. Der Verbindungsmechanismus 53 weist Verbindungsteile 58, bei denen es sich um ein Paar stangenförmiger Komponenten handelt, und den Gelenkteil 59 auf, bei dem es sich um eine Drehachse-Komponente handelt, die die einen Enden des Paars von Verbindungsteilen 58 so miteinander verbindet, dass die Verbindungsteile 58 umeinander drehen können. Das eine Ende jedes der Verbindungsteile 58 ist mit dem Gelenkteil 59 verbunden, und das andere Ende ist in einer bestimmten Höhe von der unteren Seite durch die obere Oberfläche des Seitenwandteils 56 oder dergleichen getragen. Der Gelenkteil 59 ist an der Bahn des Schneidrandes der Schneidklinge 31 positioniert und wird durch die Feder 52 so nach oben gespannt, dass er höher als die andere Endseite der Verbindungsteile 58 wird, wenn keine Kraft darauf aufgebracht wird.
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Die Reinigungskomponente 38-2 ist jeweils am anderen Ende der Verbindungsteile 58 aufrecht angeordnet. In dem Paar Reinigungskomponenten 38-2, die jeweils an dem Paar von Verbindungsteilen 58 angeordnet sind, biegen sich Spitzenabschnitte (Reinigungsabschnitte), welche den Schneidrand der Schneidklinge 31 reinigen, in solche Richtungen, dass sie einander zugewandt sind. In dem Paar Reinigungskomponenten 38-2 sind die Reinigungsabschnitte in solche Richtungen gespannt, dass sie in Verbindung mit der Spannung des Gelenkteils 59 in Richtung der oberen Seite durch die Feder 52 weiter voneinander entfernt werden. Wie oben beschrieben, spannt der Verbindungsmechanismus 53 die Reinigungsabschnitte des Paares Reinigungskomponenten 38-2 in solche Richtungen, dass sich die Reinigungsabschnitte weiter voneinander entfernen, und ermöglicht es den Reinigungsabschnitten des Paares Reinigungskomponenten 38-2, sich in solche Richtungen zu bewegen, dass sie sich gegen die Spannung in Verbindung mit einem Absenken des Schneidrandes der Schneidklinge 31 durch den Anhebe-Absenk-Teil 36 und einem Bewegen des Gelenkteils 59 nach unten gegen die Spannung durch den Schneidrand der Schneidklinge 31 einander nähern.
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Die Dämpfungskomponente 54 ist über dem Gelenkteil 59 des Verbindungsmechanismus 53 angeordnet und dämpft einen Stoß, der von dem Schneidrand der Schneidklinge 31 empfangen wird, der durch den Anhebe-Absenk-Teil 36 abgesenkt wird. Vorzugsweise ist die Dämpfungskomponente 54 aus einem Material ausgebildet, das von dem Schneidrand der Schneidklinge 31 nicht geschnitten wird und durch den Schneidrand der Schneidklinge 31 aufgrund eines Kontakts des Schneidrand der Schneidklinge 31 von der oberen Seite her flexibel verformt werden kann, beispielsweise eine elastische Komponente, die derjenigen der Reinigungskomponenten 38 und 38-2 ähnlich ist.
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In der Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform könnte ein Reinigungsteil 33-2 oder mehrere Reinigungsteile 33-2 so angeordnet sein, dass sie in der Erstreckungsrichtung der Nut 57 (Umfangsrichtung des Einspanntisches) angeordnet sind.
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Als nächstes wird die vorliegende Spezifikation einen Betrieb der Reinigungsbearbeitung der Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform unter Verwendung der Zeichnung erläutern. Bei der Reinigungsbearbeitung stellt zunächst die Steuerungseinheit 40 der Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform die Position des Schneidrandes der Schneidklinge 31 in der Umfangsrichtung auf einen vorgegebenen Bereich ein, in dem die Reinigungskomponenten 38-2 wie bei der ersten Ausführungsform angeordnet sind. Bei der Reinigungsbearbeitung der zweiten Ausführungsform senkt als nächstes, wie in 7 dargestellt, die Steuerungseinheit 40 den Schneidrand der Schneidklinge 31 durch ein Steuern des Anhebe-Absenk-Teils 36 und ein Absenken der kreisförmigen Platte 34, und bewegt den Gelenkteil 59 nach unten gegen die Spannung durch den Schneidrand der Schneidklinge 31 durch die Dämpfungskomponente 54. Infolgedessen bewegen sich die Reinigungsabschnitte in dem Paar von Reinigungskomponenten 38-2 in solche Richtungen, dass sie sich gegen die Spannung einander annähern, und die Reinigungsabschnitte werden jeweils mit einer jeweiligen Seitenoberfläche des Schneidrands der Schneidklinge 31 an der inneren Umfangsseite und der äußeren Umfangsseite in Kontakt gebracht. Darüber hinaus werden die Reinigungsabschnitte in Richtung der Spitzenseite des Schneidrands der Schneidklinge 31 bewegt, während sie mit einer moderaten Kraft gegen die Seitenoberflächen des Schneidrands der Schneidklinge 31 gedrückt werden. Folglich werden anhaftende Stücke, die am Schneidrand der Schneidklinge 31 angehaftet haben, entfernt, und der Schneidrand der Schneidklinge 31 wird gereinigt.
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Ferner hebt die Steuerungseinheit 40 bei der Schneidbearbeitung der zweiten Ausführungsform den Schneidrand der Schneidklinge 31 an, indem sie den Anhebe-Absenk-Teil 36 steuert und die kreisförmige Platte 34 anhebt, und hebt die nach unten gerichtete Kraft auf, die von dem Schneidrand der Schneidklinge 31 über die Dämpfungskomponente 54 auf den Gelenkteil 59 aufgebracht wird. Infolgedessen bewegt das Paar Reinigungskomponenten 38-2 die gegen die Seitenoberflächen des Schneidrandes der Schneidklinge 31 an der inneren Umfangsseite und der äußeren Umfangsseite gedrückten Reinigungsabschnitte mit der moderaten Kraft in Richtung der Basis-Endseite des Schneidrandes der Schneidklinge 31, während die Kraft des Drückens allmählich aufgehoben wird. Folglich werden nach einem Entfernen der anhaftenden Teile, die an dem Schneidrand der Schneidklinge 31 angehaftet haben, und einem Reinigen des Schneidrandes der Schneidklinge 31 die Reinigungsabschnitte jeweils von der jeweiligen Seitenoberfläche des Schneidrandes der Schneidklinge 31 an der inneren Umfangsseite und der äußeren Umfangsseite getrennt und geben den Schneidrand der Schneidklinge 31 frei.
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Die Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform, welche die obige Ausgestaltung aufweist, ist das, was durch ein Austauschen des Reinigungsteils 33 gegen den Reinigungsteil 33-2 in der ersten Ausführungsform erhalten wird und weist somit einen solchen Betrieb und solche Effekte auf, die denjenigen der ersten Ausführungsform ähnlich sind. Darüber hinaus entfernt die Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform anhaftende Stücke, die an dem Schneidrand der Schneidklinge 31 angehaftet haben, indem die Reinigungsabschnitte der Reinigungskomponenten 38-2 in Richtung der Spitzenseite des Schneidrandes der Schneidklinge 31 bewegt werden, während die Reinigungsabschnitte mit einer mäßigen Kraft gegen die Seitenoberflächen des Schneidrandes der Schneidklinge 31 an der inneren Umfangsseite und der äußeren Umfangsseite gedrückt werden. Die Folien-Anhaftvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform stellt einen solchen Betrieb bereit und einen solchen Effekt bereit, dass die anhaftenden Stücke zuverlässiger entfernt werden können und ein Zerkratzen der Reinigungsabschnitte der Reinigungskomponenten 38-2 durch den Schneidrand der Schneidklinge 31 reduziert werden kann.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der Schutzbereich der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert und sämtliche Änderungen und Abwandlungen, die in den äquivalenten Schutzbereich der Ansprüche fallen, sind folglich durch die Erfindung einbezogen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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