DE4002700A1 - Elektrochemisch bearbeitbares werkstueck und verfahren zum elektrochemischen bearbeiten eines metallischen werkstueckes - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf das elektrochemische Bearbeiten und mehr im besonderen auf das Unterdrücken des Angreifens und Ätzens von Werkstücken, die elektrochemisch bearbeitet werden.

Das elektrochemische Bearbeiten (nachfolgend manchmal mit "ECM" bezeichnet) ist ein bekanntes Verfahren der Metallbearbeitung, bei dem das Werkstück die Anode einer elektrolytischen Zelle ist und die Kathode ein leitendes Metall umfaßt, wie Kupfer, und der Elektrolyt eine stark ionisierte wäßrige Lösung ist. Beim Durchleiten von elektrischem Strom durch die Zelle wird Metall in einem erwünschten Muster vom Werkstück gelöst, wobei die Konfiguration der Zelle und der Ort der Kathode so gewählt werden können, daß bearbeitete Gegenstände einer weiten Viel­ falt von Gestalten hergestellt werden können.

Es gibt mehrere praktische Anforderungen für ECM. Zum Beispiel muß die Stromdichte für ein wirksames Bearbeiten außerordentlich hoch sein, wobei Werte im Bereich von etwa 10 bis 500 A/cm² typisch sind. Ein direktes Ergebnis dieser Tatsache ist die Notwendigkeit, einen sehr schmalen Spalt, üblicherweise etwa 0,1 bis 2 mm, zwischen dem Werkstück und der Kathode aufrecht zu erhalten. Mit fortschreitender Bearbeitung ist es erforder­ lich, die Kathode zu bewegen, um diesen Abstand zu bewahren. Darüber hinaus wird das Bearbeiten von der Entwicklung einer sehr großen Wärmemenge, der Erzeugung von Gasblasen und der Abscheidung von Niederschlägen begleitet. Probleme, die sich aus diesen Faktoren ergeben können, werden vermieden durch rasches Pumpen des Elektrolyten durch den Spalt zwischen dem Werkstück und der Kathode. Pumpgeschwindigkeiten bis zu 150 l/s sind ty­ pisch.

Es wird häufig festgestellt, daß Streuströme durch den Elektro­ lyten fließen. Solche Ströme können die Erosion des Werkstückes durch Anfressen und/oder Ätzen an Bereichen verursachen, die häufig recht weit von der Kathode entfernt sind. In Abhängigkeit von der Natur und dem beabsichtigten Einsatz des Werkstückes mag es erforderlich sein, so langwierige, teure Prozeduren, wie ein Schleifen von Hand anzuwenden, um die Ergebnisse einer sol­ chen Erosion zu beseitigen. Wird das Schleifen zu weit geführt, dann mag es erforderlich sein, gewisse Gegenstände mit hoher Präzision zu verwerfen, was einen großen Kostenfaktor darstellt.

Es ist manchmal möglich, die Erosion zu unterdrücken, indem man einen Elektrolyten auswählt, der Streuströme minimiert, wodurch die Bearbeitung auf den erwünschten Bereich des Werkstückes be­ grenzt wird. Das Unterdrücken des Anfraßes durch Auswahl des Elektrolyten ist jedoch nicht immer möglich, insbesondere wenn das Werkstück ein Metall, wie Titan, Aluminium oder deren Legie­ rungen, umfaßt. Solche Metalle oxidieren unter Bildung passiver Oxidüberzüge, die als isolierende Schichten wirken und ECM ver­ hindern. Damit die Bearbeitung erfolgreich ist, ist es erforder­ lich, den passivierenden Überzug von dem zu bearbeitenden Bereich zu entfernen. Ein stark polarer Elektrolyt, am häufigsten ein wäßriges Alkalimetallsalz, ist in der Lage, den passivierenden Überzug zu entfernen und wird daher normalerweise bei ECM-Ver­ fahren im Zusammenhang mit solchen Metallen benutzt. Diese stark leitenden Flüssigkeiten sind jedoch auch gute Träger von Streu­ strömen. Als Ergebnis tritt häufig eine starke Erosion des Werk­ stückes an unerwünschten Bereichen auf. Es wäre erwünscht, einen Überzug zu schaffen, der das passivierende Oxid ersetzt und das Werkstück in Bereichen schützt, die nicht bearbeitet werden.

Reaktionen, die mit der Oxidation des Werkstückes konkurrieren, schließen die Oxidation von Halogenid-Ionen und/oder Wasser im Elektrolyten ein, um elementare Halogene (üblicherweise Chlor oder Brom) bzw. elementaren Sauerstoff zu erzeugen. Es wäre auch erwünscht, solche konkurrierenden Reaktionen in Bereichen der ECM-Zelle zu fördern, in denen das tatsächliche Bearbeiten nicht ausgeführt wird, um die Erosion zu unterdrücken, selbst wenn geringe Fehler im Schutzüberzug vorhanden sind.

In einigen ECM-Zellen wird eine Hilfselektrode in Bereichen be­ nutzt, die nahe der tatsächlichen Bearbeitungsstelle des Werk­ stückes liegen, wobei die Hilfsanode auf einem Potential gehal­ ten wird, das gleich oder höher ist als das des Werkstückes, um die vorgenannten Streuströme zu absorbieren und zu neutralisie­ ren. Werden solche Hilfsanoden benutzt, dann sind sie ihrerseits Gegenstand der Erosion. Dies kann auch bei anderen anodischen Elementen des Systems geschehen, z.B. Halterungen für das Werk­ stück, wie metallischen Klemmen (üblicherweise aus Messing, Bronze oder korrosionsbeständigem Stahl). Solche Halterungen werden häufig mit einer isolierenden Schicht überzogen, doch können Fehler darin auftreten und die sich ergebende Erosion könnte zu einem katastrophalen Versagen führen.

Die vorliegende Erfindung beruht auf der Feststellung, daß Salze gewisser Edelmetalle benutzt werden können, um einen leitenden und schützenden Überzug auf anodischen Elementen in ECM-Zellen zu bilden. Solche Überzüge sind häufig leicht aus dem zu bear­ beitenden Bereich zu entfernen, während sie in anderen Bereichen an Ort und Stelle verbleiben. Sie katalysieren auch die Oxida­ tion von Halogenid und Sauerstoff-Ionen im Elektrolyten, was das Auftreten von Erosion in der Nähe von Fehlern im Überzug im we­ sentlichen verhindert.

Gemäß einem ihrer Aspekte betrifft die vorliegende Erfindung da­ her ein Verfahren zum elektrolytischen Bearbeiten eines metalli­ schen Werkstückes, umfassend das Anwenden eines elektrischen Gleichstromes auf das Werkstück als mindestens einer Anode in einer elektrolytischen Zelle, die auch eine Kathode und eine wäßrige Alkalimetallsalzlösung als Elektrolyten umfaßt, wobei mindestens ein anodisches Element der Zelle einen haftenden lei­ tenden Überzug trägt, der eine Verbindung mindestens eines Edel­ metalles, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Ruthenium, Rhodium, Palladium, Iridium und Platin, umfaßt und der Strom für eine Zeit auf das Werkstück angewandt wird, die wirksam für die Bearbeitung des Werkstückes ist.

Die Erfindung wird im folgenden teilweise unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Im einzelnen zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung der wesentlichen Merkma­ le einer ECM-Zelle des Standes der Technik;

Fig. 2 und 3 ähnliche Darstellungen von Ausführungsformen von ECM-Zellen nach der vorliegenden Erfindung und

Fig. 4 und 5 Fotografien elektrochemisch bearbeiteter Berei­ che von Teststücken aus Titanlegierung, hergestellt nach dem Stande der Technik (Fig. 4) und dem Verfah­ ren der vorliegenden Erfindung.

Die Erfindung ist anwendbar auf ECM-Operationen, die auf irgend­ einem metallischen Werkstück ausgeführt werden, wobei geeignete Metalle Stahl, Titan, Nickel, Kobalt, Aluminium, Chrom und de­ ren Legierungen einschließen. Die Erfindung ist besonders vor­ teilhaft bei Werkstücken, die einen Hauptanteil an Titan oder Aluminium und insbesondere Titan umfassen.

Es kann jegliches aus dem Stande der Technik bekannte Kathoden­ material und jeglicher nach dem Stande der Technik bekannter wäßrige Alkalimetallsalz-Elektrolyt in der ECM-Zelle benutzt werden. Lösungen mindestens eines Alkalimetallsalzes (vorzugs­ weise Natrium), nämlich Chloride, Bromide, Iodide, Nitrate, Chlorate, Perchlorate und/oder Sulfate, üblicherweise in der Größenordnung von etwa 5 bis 25% Gew/v sind übliche Elektro­ lyten. Die Natriumhalogenide (insbesondere Chlorid und Bromid) werden wegen ihrer Wirksamkeit und geringen Kosten häufig bevor­ zugt. Es können auch übliche Zusätze vorhanden sein.

Ein wesentliches Merkmal der Erfindung ist die Bildung eines Schutzüberzuges auf mindestens einem anodischen Element in der Zelle mittels einem oder mehreren Edelmetallverbindungen, ausge­ wählt aus einer bestimmten Klasse. Unter "anodischem Element" wird irgendein leitendes Element der Zelle verstanden, das als Anode dient, d.h., das an einem positiven Potential mit Bezug auf die Kathode liegt. Eingeschlossen sind das Werkstück selbst, irgendwelche Klammern oder andere Halterungen für das Werkstück und irgendwelche Hilfsanoden. Es ist im allgemeinen sehr wich­ tig, das Werkstück selbst zu schützen und eine besonders bevor­ zugte Ausführungsform der Erfindung schließt daher das Aufbrin­ gen eines Überzuges auf das Werkstück ein.

Der Überzug wird üblicherweise durch Aufbringen einer Lösung eines Salzes des Edelmetalles in einem geeigneten Lösungsmittel auf das Werkstück geschaffen. Das tatsächliche Metall dieser Klasse, das benutzt wird, hängt zu einem gewissen Grade von den Umständen ab.

Zum überziehen des Werkstückes selbst sind Palladiumsalze allge­ mein bevorzugt, da der dadurch erhaltene Überzug in der ECM-Zelle durch einen Alkalimetallchlorid- und /oder -fluorid-Elektrolyten häufig spontan entfernt wird, um die metallische Oberfläche in Bereichen hoher Stromdichte freizulegen, insbesondere solche, die tatsächlich bearbeitet werden. Andererseits findet das Ent­ fernen in Bereichen geringerer Stromdichte, die entfernt von der Kathode liegen, nicht statt. Als Ergebnis schützt der Palladium­ salz-Überzug wirksam dort, wo es erwünscht ist und behindert das Bearbeiten in Bereichen nicht, wo ein solches Bearbeiten beab­ sichtigt ist.

Für das Überziehen von Hilfselektroden und Halterungen ist ein Rutheniumsalz häufig bevorzugt. Rutheniumverbindungen verbleiben auf der Oberfläche des anodischen Elementes bei im wesentlichen allen Stromdichten, die in ECM-Operationen auftreten und mit allen verwendeten Elektrolyten, so daß die Rutheniumverbindun­ gen umfassenden Überzüge relativ dauerhaft sind. Die Erfindung umfaßt auch die Anwendung eines Überzuges aus einer Ruthenium­ verbindung auf dem Werkstück und das Entfernen dieses Überzuges in dem zu bearbeitenden Bereich durch an sich bekannte Mittel, wie Abschleifen oder Abkratzen, vor der eigentlichen ECM-Opera­ tion. Es mag auch erforderlich sein, solche Hilfsschritte zum Entfernen bei einem Palladiumsalzüberzug anzuwenden, wenn der Elektrolyt ein Alkalimetallbromid umfaßt.

Überzüge, die Iridium- und Platinsalze umfassen, sind dauerhaf­ ter als die aus Palladiumsalzen. Sie können bevorzugt sein, wenn ein Alkalimetallbromid-Elektrolyt benutzt wird, doch müssen sie aus dem zu bearbeitenden Bereich, wie oben beschrieben, entfernt werden.

Das Lösungsmittel für die Lösung des Edelmetallsalzes kann ir­ gendeine Flüssigkeit sein, die dieses Salz löst. Wasser und or­ ganische Flüssigkeiten, insbesondere relativ flüchtige organi­ sche Flüssigkeiten, sind beispielhaft. Die Flüchtigkeit ist be­ vorzugt, um die Entfernung des Lösungsmittels durch Verdampfen zu erleichtern. Niedere Alkanole, insbesondere solche die bis zu etwa 5 Kohlenstoffatomen enthalten, sind häufig besonders geeignet. Die Konzentration der Lösung ist nicht kritisch, etwa 1 bis 10 Gew.-% des Edelmetallsalzes sind üblich.

Es ist häufig vorteilhaft, in die Überzugslösung ein die Visko­ sität erhöhendes Material einzubringen, allgemein in der Menge von etwa 5 bis 15 Gew.-% der Lösung. Die sich ergebende Viskosi­ tätserhöhung unterstützt die gleichmäßige Ausbreitung der Über­ zugslösung auf dem Werkstück.

Als die Viskosität erhöhendes Material kann irgendeine relativ inerte Substanz benutzt werden, die in der Überzugslösung lös­ lich ist. Harzartige Materialien, insbesondere synthetische Polymere, sind häufig bevorzugt. Die Identität des harzartigen Materials ist nicht kritisch, es kann irgendein solches Material, das leicht entfernt werden kann (z.B. durch Abbrennen vor dem Beginn der ECM-Operation) geeignet sein.

Geeignete Mittel, wie Bürsten, Walzen, Eintauchen, Sprühen oder Vorhangüberziehen können benutzt werden, um das metallische Werkstück mit der Lösung des Edelmetallsalzes zu überziehen. Es können mehr als eine Überzugsstufe benutzt werden, um einen Überzug gewünschter Dicke zu erhalten.

Nach dem Überziehen wird das Lösungsmittel üblicherweise durch Verdampfen entfernt. Dann erhitzt man das Werkstück oxidierend, üblicherweise auf eine Temperatur von mindestens etwa 350°C und häufig im Bereich von etwa 350 bis 500°C. Dieses Erhitzen entfernt irgendein die Viskosität erhöhendes Material und bil­ det den erwünschten haftenden leitenden und schützenden Überzug auf dem Werkstück. Es wird angenommen, daß der Überzug ein oder mehrere Oxide des Edelmetalles umfaßt, wahrscheinlich in Kombi­ nation mit Oxiden des Werkstückmetalles. Die Dicke des so gebil­ deten Überzuges liegt üblicherweise im Bereich von etwa 25 bis 300 µg an Edelmetall/cm². Werte im Bereich von etwa 100 bis 200 µg/cm² sind bevorzugt.

Ein anderer Aspekt der Erfindung sind elektrochemisch bearbeit­ bare anodische Werkstücke, die hauptsächlich mindestens eines von metallischem Titan und Aluminium umfassen und einen haften­ den leitenden und schützenden Überzug auf nur einem Teil tragen, der nicht bearbeitet werden soll, wobei der Überzug eine Ver­ bindung der genannten Edelmetallsalze umfaßt und eine Dicke hat, die die Erosion beim elektrochemischen Bearbeiten des Werkstük­ kes wirksam verhindert.

Das Werkstück wird in der ECM-Zelle als Anode montiert, wobei vorher der Überzug aus dem Bearbeitungsbereich entfernt wird, falls erforderlich, und dann beginnt man die ECM-Operation. Der haftende Überzug schützt das Werkstück durch physikalisches Blockieren der Erosion durch Streuströme sowie durch Katalysie­ ren der Oxidation von Halogenid-Ionen und/oder Wasser im Elek­ trolyten zu elementarem Halogen und/oder Sauerstoff, wobei diese Reaktionen erfolgreich mit der oxidativen Erosion konkurrieren.

Nach dem Bearbeiten des Werkstückes im erwünschten Ausmaß kann der Schutzüberzug entfernt werden. Für die Entfernung von Palla­ diumverbindungen ist es häufig geeignet, das Werkstück als Katho­ de zu schalten und dadurch das Palladium des Überzuges zum ele­ mentaren Zustand zu reduzieren, woraufhin es leicht in üblicher Weise abgewischt werden kann. Für die Entfernung anderer Edel­ metalle, wie Ruthenium, können die vorerwähnten physikalischen Verfahren zum Entfernen erforderlich sein.

In der Zeichnung stellt die Fig. 1 die wesentlichen Teile einer üblichen ECM-Zelle dar, einschließlich einer Kathode 101, die teilweise von einem isolierenden Überzug 103 bedeckt ist und dem anodischen Werkstück 105, das durch eine Stahlklammer 107 , die einen isolierenden Überzug 109 trägt, an Ort und Stelle ge­ halten wird. Elektrolyt kann durch eine Öffnung 111 in der Ka­ thode 101 in die Zelle gepumpt werden, woraufhin er in Kontakt mit dem Werkstück 105 und um dieses herum gelangt, wie durch die Pfeile angedeutet oder der Elektrolyt kann aus einem ande­ ren Teil der Zelle gepumpt werden. Ein elektrischer Gleichstrom wird durch die Zelle geleitet, wobei sich die Anode 105 auf einem positiven Potential mit Bezug auf die Kathode 101 befin­ det, und das Bearbeiten führt zur Bildung einer Ausnehmung 113 im Werkstück.

Während des ECM-Verfahrens verteilen sich Streuströme durch den Elektrolyten, und sie sind dargestellt als die passivierende Oxid­ schicht an verschiedenen Punkten zwischen der Ausnehmung 113 und der Klammer 107 durchdringend, wodurch eine Erosion unter Bildung geätzter Bereiche und/oder Lochfraß verschiedener Größen verursacht wird. Solche Streuströme können auch die Klam­ mer 107 durch den Fehler 115 in der isolierenden Schicht 109 angreifen, was ein feststellbares Loch 117 in der Klammer ver­ ursacht. Gibt es zahlreiche Fehler in der isolierenden Schicht und setzt sich der Lochfraß fort, dann kann ein Versagen der Klammer auftreten.

Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist in Fig. 2 dargestellt, die jedoch die Klammer nicht zeigt, da ihre Anwe­ senheit für diese Ausführungsform irrelevant ist. Das Werkstück weist einen leitenden und schützenden Überzug 202 auf, der üblicherweise erhalten ist durch Aufbringen einer Lösung eines Palladiumsalzes und eines löslichen Polymers in einem niederen Alkanol, gefolgt durch Verdampfen des Alkanols und Erhitzen. Diese Operationen verursachen die Bildung einer Palladiumver­ bindung (wahrscheinlich eines Oxids und/oder eines Mischoxids mit dem Werkstückmetall), die die Oberfläche des Werkstückes 105 sowohl durch seine physikalische Anwesenheit als auch sei­ ne katalytische Wirkung hinsichtlich der Oxidation von Halogenid und Wasser im Elektrolyten schützt. Auf diese Weise wird die Erosion beseitigt oder wesentlich vermindert.

In der in Fig. 3 gezeigten Ausführungsform weist die Klammer 107 einen leitenden und schützenden Überzug 302 auf, der übli­ cherweise durch eine ähnliche Anwendung einer Rutheniumverbin­ dung erhalten wurde. Sie kann auch eine isolierende Schicht 109 tragen. Das Rutheniumsalz ist in ähnlicher Weise durch Erhitzen in einen haftenden Überzug umgewandelt worden, der die Klammer gegen Erosion durch Streuströme schützt.

Die Erfindung ist veranschaulicht durch ein Verfahren, bei dem ein Zylinder aus einer Titanlegierung mit einem Durchmesser von 25,4 mm und einer Länge von 17,8 mm an einem Ende poliert und das polierte Ende mit einer Lösung aus 0,25 g Palladium(II)- Chlorid und 0,65 g Polyvinylbutyral in 10 g 1-Butanol bestri­ chen wurde, woraufhin man den Zylinder trocknete und in Luft ½ Stunde auf 400°C erhitzte. Es wurden zwei weitere Überzüge aufgebracht und in der gleichen Weise erhitzt, ausgenommen daß das endgültige Erhitzen bei 450°C erfolgte. Der Überzug wurde dann unter Verwendung eines Anreißgerätes mit Karbidspitze mit 5 konzentrischen Kreisen, die einen Abstand von 1 bis 4 mm hat­ ten, angeritzt, um die Bildung von Fehlern im Schutzüberzug zu simulieren.

Der überzogene Zylinder wurde in einer ECM-Zelle in der Nähe einer Kupferkathode angeordnet, die eine Endfläche mit einem Durchmesser von 3,2 mm und einen Abstand von 0,5 mm von der Zylinderfläche nahe seiner Kante hatte. Als Elektrolyt be­ nutzte man eine wäßrige Lösung aus 90 g Natriumchlorid/l der Lösung.

Es wurde ein elektrischer Strom mit einer Dichte von 31 A/cm² für eine ausreichende Dauer durch die Zelle geleitet, um eine Vertiefung von 0,18 bis 0,25 mm zu ätzen, wobei das Titanwerk­ stück als Anode diente und keine Chlor- oder Sauerstoff-Gasent­ wicklung auftrat. Als Vergleich wurde ein identischer, aber nicht überzogener Zylinder in der gleichen Weise geätzt.

Beim Vergleichsversuch betrug die Geschwindigkeit der Metall­ entfernung 7,7 mg/A-min. Der Zylinder wies starken Lochfraß auf, wie in Fig. 4 gezeigt. Die Entfernung des Metalles nach der Erfindung erfolgte mit 7,2 mg/A-min und es gab im wesentlichen keinen Lochfraß, wie Fig. 5 zeigt. Ähnliche Ergebnisse wurden mit einer Stromdichte von 62 A/cm² erhalten.

Ähnliche Ergebnisse wurden auch erhalten, wenn anstelle des Palladiumchlorids Ruthenium(II) -Chlorid benutzt wurde. Das Pal­ ladium konnte jedoch durch kathodische Reduktion, gefolgt von einem Abreiben mit einem Tuch nach Beendigung der ECM-Operation entfernt werden, während dies bei dem Ruthenium nicht möglich war. Überzüge mit Platin, Rhodium und Iridium konnten in der gleichen Weise hergestellt werden, wie die mit Ruthenium und sie wirkten schützend in Elektrolyten mit wäßrigem Natriumbromid.

Claims (20)

1. Verfahren zum elektrochemischen Bearbeiten eines metalli­ schen Werkstückes, umfassend die Anwendung eines elektri­ schen Gleichstromes auf das Werkstück als mindestens einer Anode in einer elektrolytischen Zelle, die auch eine Kathode und eine wäßrige Alkalimetallsalzlösung als Elektrolyt umfaßt, wobei mindestens ein anodisches Element der Zelle einen haftenden leitenden Überzug trägt, der eine Verbindung mindestens eines Edelmetalles, aus­ gewählt aus der Gruppe bestehend aus Ruthenium, Rhodium, Palladium, Iridium und Platin, umfaßt und der Strom für eine zum Bearbeiten des Werkstückes wirksame Zeit ange­ wandt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, worin das Werkstück hauptsäch­ lich Titan oder Aluminium umfaßt.

3. Verfahren nach Anspruch 2, worin der Elektrolyt minde­ stens einer aus Natriumchlorid und Natriumbromid ist.

4. Verfahren nach Anspruch 2, worin der Überzug aufgebracht wird durch Anwenden einer Lösung eines Salzes des Edel­ metalles in einem Lösungsmittel auf das Werkstück, ge­ folgt von dem Verdampfen des Lösungsmittels und einem oxidativen Ausheizen.

5. Verfahren nach Anspruch 4, worin das Lösungsmittel ein niederes Alkanol ist.

6. Verfahren nach Anspruch 5, worin das Werkstück hauptsäch­ lich Titan umfaßt.

7. Verfahren nach Anspruch 6, worin die Dicke des Überzuges dem Bereich von etwa 25 bis 300 µg an Metall/cm² ent­ spricht.

8. Verfahren nach Anspruch 7, worin das Werkstück mit einer Palladiumverbindung überzogen ist.

9. Verfahren nach Anspruch 8, worin der Elektrolyt minde­ stens eines aus Natriumchlorid und Natriumbromid umfaßt.

10. Verfahren nach Anspruch 9, worin die Edelmetallsalzlösung auch ein die Viskosität erhöhendes Material enthält.

11. Verfahren nach Anspruch 10, worin das die Viskosität er­ höhende Material ein synthetisches Polymer ist.

12. Verfahren nach Anspruch 11, worin die Dicke des Überzuges im Bereich von etwa 100 bis 200 µg an Metall/cm² liegt.

13. Verfahren nach Anspruch 12, worin andere anodische Ele­ mente als das Werkstück mit einer Rutheniumverbindung überzogen sind.

14. Verfahren nach Anspruch 13, worin das Werkstück mit einem Palladiumsalz überzogen ist.

15. Verfahren nach Anspruch 14, worin der Elektrolyt minde­ stens eines von Natriumchlorid und Natriumbromid umfaßt.

16. Elektrochemisch bearbeitbares anodisches Werkstück, um­ fassend hauptsächlich mindestens eines aus metallischem Titan und Aluminium und mit einem haftenden leitenden und schützenden Überzug auf nur einem Teil davon, der nicht zu bearbeiten ist, wobei der Überzug eine Verbin­ dung mindestens eines Edelmetalles, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Ruthenium, Rhodium, Palladium, Iri­ dium und Platin, umfaßt und eine Dicke aufweist, die wirksam ist, die Erosion des Werkstückes beim elektro­ chemischen Bearbeiten zu verhindern.

17. Werkstück nach Anspruch 16, worin die Dicke des Überzuges im Bereich von etwa 25 bis 300 µg an Metall/cm² liegt.

18. Werkstück nach Anspruch 17, das hauptsächlich Titan um­ faßt.

19. Werkstück nach Anspruch 18, worin die Dicke des Überzuges im Bereich von etwa 100 bis 200 µg an Metall/cm² liegt.

20. Werkstück nach Anspruch 19, worin der Überzug eine Palla­ diumverbindung umfaßt.