DE3940164A1 - Anordnung zum auslesen licht- oder roentgenstrahlenempfindlicher sensoren - Google Patents
Anordnung zum auslesen licht- oder roentgenstrahlenempfindlicher sensorenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Auslesen eines
licht- oder röntgenstrahlenempfindlichen Sensors, welcher
ein strahlenempfindliches Sensorelement, insbesondere eine
Photodiode, aufweist, deren Ladung mittels einer Schalt
diode auslesbar ist, welche dazu mittels einer vorüber
gehend an sie angelegten Spannung in ihren leitenden
Zustand überführt wird.
Bei derartigen Anordnungen zum Auslesen licht- oder
röntgenstrahlenempfindlicher Sensoren besteht das Problem,
daß nach dem Einschalten der Spannung die Schaltdiode
insbesondere dann nicht ausreichend leitend wird, wenn die
Kapazität der Photodiode durch das Sensorelement nur
relativ gering aufgeladen wurde. Ein sicheres Auslesen der
in der Kapazität der Photodiode gespeicherten Ladung ist
also nur bei relativ großen Ladungsmengen möglich.
Insbesondere für den Anwendungsbereich der Röntgentechnik
sind die Ladungsmengen jedoch relativ gering, so daß
beispielsweise in diesem Anwendungsbereich eine solche
Anordnung nicht einsetzbar ist.
Ferner ist es, beispielsweise aus der DE-OS 35 31 448,
bekannt, zum Auslesen derartiger strahlenempfindlicher
Sensoren anstelle einer Schaltdiode Feldeffekttransistoren
in Dünnfilmtechnik vorzusehen. Derartige Feldeffekt
transistoren erzeugen aber aufgrund parasitärer
Kapazitäten einen störenden Offset beim Auslesen. Ferner
wird zur Ansteuerung des Gates jedes Feldeffekttransistors
eine weitere Leitung benötigt, so daß die Ausbeute bei der
Produktion verringert wird.
Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Anordnung der eingangs
genannten Art zu schaffen, welche mit möglichst geringem
schaltungstechnischen Aufwand auch das Auslesen geringer,
in der Kapazität gespeicherter Ladungsmengen gestattet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein
zusätzlich eingekoppeltes Signal vorgesehen ist, welches
die Schaltdiode bei Einschalten des Potentialsprungs in
einen stärker leitenden Zustand überführt als ohne das
Signal, so daß während des Auslesens eine größere Ladungs
menge abfließt. Dieses zusätzlich eingekoppelte Signal
gestattet auch ein Auslesen relativ kleiner, in der
Kapazität gespeicherter Ladungsmengen, ohne zusätzliche
Bauelemente für den Auslesevorgang zu benötigen. Infolge
des zusätzlich eingekoppelten Signals wird während des
Auslesens eine größere Ladungsmenge abfließen, als dies
ohne das eingekoppelte Signal der Fall wäre. Es ist daher
beim Messen der während des Auslesevorganges abgeflossenen
Ladungsmenge zu berücksichtigen, daß ein Teil der Ladungs
menge auf das zusätzlich eingekoppelte Signal zurückzu
führen ist. Diese Ladungsmenge ist dann rechnerisch von
der insgesamt gemessenen Ladungsmenge abzuziehen. Im
Ergebnis bleibt dann diejenige Ladungsmenge übrig, welche
auf eine Aufladung der Kapazität mittels des Sensor
elementes zurückgeht.
Ein weiterer Vorteil dieser Anordnung besteht darin, daß
die Photodiode und die Schaltdiode in den selben Arbeits
gängen herstellbar sind.
Nach einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß
als zusätzlich eingekoppeltes Signal ein konstanter
Gleichstrom vorgesehen ist, welcher in Sperrichtung der
Photodiode fließt. Ein solcher Gleichstrom führt dazu, daß
die Schaltdiode in ihrer Kennlinie bereits vor Beginn des
Auslesevorgangs stärker in ihren leitenden Bereich über
führt wird. Nach dem Einschalten der Spannung ist die
Diode nun auch bei geringen in der Kapazität gespeicherten
Ladungsmengen stärker leitend, so daß auch kleine Ladungs
mengen aus der Kapazität ausgelesen werden können. Bei der
ausgelesenen Ladungsmenge ist wiederum zu berücksichtigen,
daß infolge des Gleichstromes die Kapazität zusätzlich
aufgeladen wurde, so daß dieser Ladungswert zur Bestimmung
desjenigen Ladungswertes, der auf das Sensorelement
zugeht, zu subtrahieren ist.
Nach einer weiteren Ausgestaltung ist vorgesehen, daß das
zusätzlich eingekoppelte Signal mittels einer konstanten
Zusatzbestrahlung des Sensorelementes erzeugt wird. In
diesem Fall wird also mittels des Sensorelementes eine auf
die Zusatzbestrahlung zurückgehende Ladungsmenge erzeugt.
Zusätzlich wird diejenige Ladungsmenge erzeugt, welche auf
die zu messende Licht- oder Röntgenstrahlung zurückgeht.
Beim Auslesevorgang der Ladungsmenge aus der Kapazität ist
dabei wieder diejenige Ladungsmenge zu subtrahieren,
welche auf die Zusatzbestrahlung zurückgeht.
Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorge
sehen, daß zwischen zwei Auslesezyklen der ersten Schalt
diode eine weitere Spannung eingekoppelt und anschließend
abgeschaltet wird, welche in Relation zu der für den
Auslesevorgang der ersten Schaltdiode vorgesehenen
Spannung umgekehrte Polarität aufweist und welche eine
zweite Schaltdiode (8), die zur ersten Schaltdiode
antiparallel geschaltet ist, vorübergehend in ihren
leitenden Zustand überführt.
Um die Schaltdiode bei Einschalten der Spannung in einen
stärker leitenden Zustand zu überführen, als dies ohne
zusätzlich eingekoppeltes Signal der Fall wäre, ist es
vorteilhaft, eine weitere Schaltdiode vorzusehen, welche
zu der ersten Schaltdiode antiparallel geschaltet ist.
Zwischen zwei Auslesevorgängen der ersten Schaltdiode wird
dann mittels einer weiteren Spannung die zweite Schalt
diode kurzfristig in ihren leitenden Zustand überführt.
Nach Abschalten dieser Spannung ist dann in der Kennlinie
der ersten Schaltdiode, welche nach wie vor zum Auslesen
der Ladung der Kapazität eingesetzt wird, bereits ein
solcher Zustand erreicht, in dem dann das Einschalten der
dieser Diode zugeordneten Spannung ausreicht, diese auch
bei geringen, in der Kapazität gespeicherten Ladungsmengen
sicher in ihren leitenden Zustand zu überführen. Die
zweite Schaltdiode und die ihr zugeordnete Spannung
dienen also dazu, die erste Diode bei Einschalten des ihr
zugeordneten Spannung in einen stärker leitenden Zustand
zu überführen, als dies ohne die zweite Schaltdiode und
den ihr zugeordneten Potentialsprung der Fall wäre. In
jedem Falle gilt, daß vor dem Einkoppeln einer der
Spannungen die andere zuvor ausgeschaltet sein muß.
Auch in diesem Fall ist zu berücksichtigen, daß die beiden
Spannungen eine zusätzliche Ladungsmenge auf der Kapazität
zur Folge haben, welche nicht auf die Belichtung des
Sensorelementes zurückgeht. Daher ist zur Bestimmung der
von dem Sensorelement erzeugten Ladungsmenge nach einer
weiteren Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, daß die
Spannungen verschiedener Polarität die gleiche Größe
aufweisen und daß zur Ermittlung jedes Meßwertes der
Strahlungsmenge die über die erste und über die zweite
Schaltdiode nach Anlegung der jeweils zugeordneten
Spannung abfließenden Ladungsmengen aufintegriert werden.
Es werden also diejenigen Ladungsmengen aufintegriert,
welche nach dem Einschalten der ersten Spannung (und dem
Ausschalten dieser Spannung) bis zum Einschalten der
zweiten Spannung und welche nach dem Einschalten der
zweiten Spannung (und dem Ausschalten dieser Spannung) bis
zum Einschalten der ersten Spannung fließen. Die in diesen
Phasen fließenden Ladungsmengen sind annähernd gleich groß
und rauscharm. Die auf die Spannungssprünge zurückgehenden
Ladungsmengen heben sich durch die Integration auf und als
Meßsignal verbleibt diejenige Ladungsmenge, welche auf die
zu messenden Licht- oder Röntgenstrahlen zurückgeht. Von
dem so erzeugten Meßsignal braucht daher kein konstanter
Wert abgezogen zu werden.
Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorge
sehen, daß zur Ermittlung jedes Meßwertes der Strahlungs
menge nur genau eine Spannung eingekoppelt und
anschließend abgeschaltet wird, daß nur die über die in
Folge dieser Spannung in ihren leitenden Zustand über
führte Schaltdiode abfließende Ladungsmenge gemessen wird
und daß zur Ermittlung des nächsten Meßwertes eine
Spannung umgekehrter Polarität eingekoppelt und
anschließend abgeschaltet wird. Es werden bei dieser
Variante also die nach Anlegen einer der Spannungen
abfließenden Ladungen einzeln ausgewertet, so daß für
jeden Meßwert nur eine Spannung vorübergehend einzukoppeln
ist. Die nach dem Einschalten derjenigen Spannung, welche
die zweite Schaltdiode in ihren leitenden Zustand über
führt, abfließende Ladungsmenge wird dann auch zur
Bestimmung der Strahlungsmenge und damit der durch diese
in der Kapazität erzeugten Ladung herangezogen. Es ist
dabei jedoch zu berücksichtigen, daß in diesem Falle die
durch die zweite Schaltdiode abfließende Ladungsmenge
durch eine von der Kapazität mittels des Sensorelementes
aufgebrachte Ladungsmenge verringert wird. D. h. also, die
in dieser Phase ausgelesene Ladungsmenge ist umso kleiner,
je größer die durch Belichtung erzeugte Ladungsmenge ist.
Der Vorteil dieser Variante liegt darin, daß zwischen zwei
Auslesevorgängen kein zusätzlicher Rücksetzvorgang
erforderlich ist. Vielmehr wird jeder Spannungssprung
bzw. die danach fließenden Ströme direkt zur Messung des
gewünschten Signals eingesetzt.
Im Normalfall sind die Kapazitätswerte, die die Photodiode
selbst aufweist, ausreichend. Sollte dies in besonderen
Fällen nicht so sein, ist nach einer weiteren Ausge
staltung der Erfindung vorgesehen, daß zur Photodiode eine
zusätzliche Kapazität parallelgeschaltet ist.
Anhand der Zeichnung werden einige Ausführungsbeispiele
der Erfindung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine erste Ausführungsform eines licht- oder
röntgenstrahlenempfindlichen Sensors mit einer Auslese
anordnung, welche eine Schaltdiode aufweist,
Fig. 2 eine Kennlinie der Ausleseanordnung gemäß Fig. 1,
Fig. 3 eine zweite Anordnung eines Sensors mit einer
Ausleseanordnung, welche zwei antiparallel geschaltete
Schaltdioden aufweist, und
Fig. 4 eine Kennlinie der Ausleseanordnung gemäß Fig. 4.
In Fig. 1 ist ein licht- oder röntgenstrahlenempfindlicher
Sensor 1 dargestellt, welcher ein strahlungsempfindliches
Sensorelement 2 aufweist, bei dem es sich um eine Photo
diode handelt. Die Photodiode 2 weist selbst eine
Kapazität auf, welche in der Fig. 1 zur Verdeutlichung als
gesonderte Kapazität 3 dargestellt ist. Eine Schaltdiode 4
ist mit ihrer Kathode mit der Kathode der Fotodiode 2
sowie mit der Kapazität 3 verbunden. Zur Anode der Schalt
diode 4 führt eine Signalleitung mit einem externen
Anschluß 5. Die anodenseitige Verbindung der Fotodiode 2
und der Kapazität 3 ist mit einer Signalleitung verbunden,
welche einen Anschluß 6 aufweist.
Die Funktionsweise des in Fig. 1 dargestellten Sensors
wird im folgenden mittels einer in Fig. 2 dargestellten
Kennlinie der Schaltdiode 4 gemäß Fig. 1 erläutert.
Um die in der Kapazität 3 gespeicherte Ladung auslesen zu
können, wird die Spannung über der Schaltdiode 4 dadurch
geändert, daß entweder über die Signalleitung 6 oder die
Ausleseleitung 5 ein Potentialsprung, d. h. also eine
zusätzliche oder veränderte Spannung, eingekoppelt wird,
welche dazu führt, daß die Diode in ihren leitenden
Zustand überführt wird, der in der Kennlinie gemäß Fig. 2
mit A bezeichnet ist. Da die Diode nunmehr leitet, wird
während des Auslesens infolge der abfließenden Ladung die
Spannung über die Diode allmählich abfallen, so daß diese
allmählich den Strom sperrt. Es ist nunmehr der Punkt B in
der Kennlinie erreicht. Um den Auslesevorgang zu beenden,
wird die eingekoppelte Spannung abgeschaltet. Die Diode 4
sperrt nunmehr; es ist in der Kennlinie der Punkt C
erreicht. Infolge auf das Sensorelement 2 auftreffender
Strahlung erzeugt dieses einen Strom, welcher wiederum
dazu führt, daß die Kapazität 3 aufgeladen wird. In der
Kennlinie gemäß Fig. 2 ist nunmehr der Punkt C′ erreicht.
Zum Auslesen dieser Ladung wird die Spannung wieder einge
schaltet, so daß der Punkt B′ in der Kennlinie erreicht
wird. Es handelt sich hierbei jedoch um einen Bereich der
Kennlinie, in dem die Schaltdiode 4 kaum leitend wird, so
daß die relativ geringe Ladung der Kapazität 3 nicht
sicher auslesbar ist. Nach Ausschalten der Spannung wird
wieder der Punkt C erreicht.
Es wird deutlich, daß der Auslesevorgang, welcher bei
gespeicherter Ladung bei Punkt B′, bei nicht gespeicherter
Ladung bei Punkt B beginnt, in einem solchen Bereich der
Kennlinie liegt, daß die Schaltdiode 4 nicht ausreichend
leitend wird. Um auch kleine Ladungen sicher auslesen zu
können, kann daher z. B. vorgesehen sein, das Sensor
element 2 mittels einer Zusatzbelichtung zu bestrahlen. Es
würde in diesem Falle nach Anschalten der Spannung nicht
der Punkt B bzw. B′ erreicht werden, sondern der Punkt A
bzw. A′. Es kann dann ein Auslesevorgang stattfinden, im
Verlaufe dessen in der Kennlinie ausgehend vom Punkt A
bzw. A′ der Punkt B erreicht wird. Ein Ausschalten der
Spannung führt dann wiederum zu Punkt C. Die
anschließend sehr viel größere Ladungsmenge, die auf die
Kapazität 3 aufgebracht wird, führt dann nach dem Ein
schalten der Spannung wieder zu Punkt A, so daß wiederum
ein einwandfreier Auslesevorgang möglich ist.
Bezüglich der in dem Auslesevorgang abfließenden Ladungs
menge ist jedoch zu berücksichtigen, daß ein großer Teil
der Ladungsmenge auf die Zusatzbestrahlung zurückgeht.
Daher ist diese Ladungsmenge von der gemessenen zu
subtrahieren, so daß im Ergebnis die durch das Sensor
element 2 auf die Kapazität 3 aufgebrachte Ladungsmenge
übrigbleibt.
Eine weitere erfindungsgemäße Möglichkeit besteht darin,
in in der Figur nicht dargestellter Weise in die Signal
leitung 6 oder die Ausleseleitung 5 einen konstanten
Gleichstrom einzukoppeln, welcher in Sperrichtung der
Photodiode 2 fließt. Auch in diesem Fall wird damit
erreicht, daß der Auslesevorgang in einem solchen Punkt
der Kennlinie beginnt, in dem die Schaltdiode sicher
leitend ist; es kann sich dabei beispielsweise wiederum um
den Punkt A der Kennlinie handeln. Bezüglich der
Auswertung der während des Auslesevorganges abfließenden
Ladungsmenge gilt das gleiche wie für den Fall der zusätz
lichen Bestrahlung des Sensorelementes.
Eine in Fig. 3 dargestellte Anordnung weist einen licht-
oder röntgenstrahlenempfindlichen Sensor 7 auf, der bezüg
lich des Sensors 2, der Kapazität 3, der Schaltdiode 4,
der Ausleseleitung 5 und der Signalleitung 6 in gleicher
Weise wie der in Fig. 1 dargestellte Sensor aufgebaut
ist. Der Sensor 7 gemäß Fig. 3 weist jedoch eine zusätz
liche Schaltdiode 8 auf, welche zu der Schaltdiode 4
antiparallel geschaltet ist.
Die Schaltdiode 8 kann entweder dazu eingesetzt werden,
die Schaltdiode 4 mit Einschalten einer an die Schalt
diode 4 angelegten Spannung in einen stärker leitenden
Zustand zu überführen. Eine weitere Möglichkeit besteht
darin, eine an die Schaltdiode 8 angelegte Spannung dazu
zu nutzen, auch durch die Schaltdiode 8 einen Auslese
vorgang durchzuführen, bei dem die abfließende Ladungs
menge gesondert ausgewertet wird. Diese beiden möglichen
Funktionsweisen der Schaltung gemäß Fig. 3 werden im
folgenden anhand der Kennlinie gemäß Fig. 4 näher
erläutert, welche eine gemeinsame Kennlinie der beiden
Schaltdioden 4 und 8 darstellt.
Im folgenden wird zunächst die erste Einsatzmöglichkeit
der Schaltung gemäß Fig. 3 beschrieben, bei der die
Schaltdiode 8 lediglich dazu dient, den über die Schalt
diode 4 vorgenommenen Auslesevorgang in einem möglichst
günstigen Bereich der Kennlinie der Schaltdiode 4 einzu
leiten.
Die folgende Erläuterung eines solchen Auslesevorganges
bzw. dessen Vorbereitung wird anhand der in der Kennlinie
gemäß Fig. 4 eingetragenen Punkte A bis F näher
erläutert. Die mit einer Strichmarkierung versehenen
Punkte werden in den Fällen erreicht, in denen mittels des
Sensorelementes 2 eine Ladung auf die Kapazität 3 aufge
bracht wurde.
Bei dem im folgenden beschriebenen Ablauf handelt es sich
um einen geschlossenen Vorgang. Die Beschreibung wird
begonnen bei Punkt F. Bei Aufbringen einer Ladung auf die
Kapazität 3 wird der Punkt F′ erreicht. Es wird nun eine
Spannung eingeschaltet, die die Schaltdiode 4 in ihren
leitenden Zustand überführt. Mit Erreichen des Punktes A,
bzw. A′ bei auf die Kapazität 3 aufgebrachter Ladung, wird
die Schaltdiode 4 leitend. Es wird nunmehr der Punkt B in
der Kennlinie erreicht. Die der Schaltdiode 4 zugeordnete
Spannung wird nunmehr abgeschaltet, so daß in der
Kennlinie Punkt C erreicht. wird. Es wird nun eine weitere
Spannung, die die Schaltdiode 8 in ihren leitenden Zustand
überführt und die gegenüber der der Schaltdiode 4 zuge
ordneten Spannung gleiche Größe, jedoch umgekehrte
Polarität aufweist, eingeschaltet. Damit wird in der
Kennlinie der Punkt D erreicht. Die Schaltdiode 8 ist
nunmehr leitend, so daß Ladung abfließt und in der
Kennlinie der Punkt E erreicht wird. Nach Ausschalten der
der Schaltdiode 8 zugeordneten Spannung wird in der
Kennlinie wieder der Punkt F erreicht.
Zur Messung der auf die Kapazität 3 aufgebrachten Ladung
ist es vorteilhaft, nicht nur diejenige Ladungsmenge zu
messen, welche während des leitenden Zustandes der Schalt
diode 4 abfließt, sondern vielmehr auch die Ladungsmenge,
welche während des leitenden Zustandes der Schaltdiode 8
abfließt. Werden diese beiden Ladungsmengen nämlich
aufintegriert, so braucht von dem so erhaltenen Meßsignal
kein konstanter Wert mehr abgezogen zu werden; es handelt
sich vielmehr direkt um das gewünschte Meßsignal, welches
die mittels der Photodiode 2 auf die Kapazität 3 aufge
brachte Ladungsmenge angibt.
Bei dieser Einsatzvariante der Anordnung gemäß Fig. 3 ist
es also so, daß für jeden gewünschten Meßwert der oben
beschriebene Zyklus mit den beiden Spannungen entgegenge
setzter Polarität einmal durchlaufen wird. Die dabei
erhaltenen Signale werden aufintegriert und stellen direkt
das gewünschte Meßsignal dar.
In einer zweiten Einsatzvariante der Anordnung gemäß
Fig. 3 besteht jedoch auch die Möglichkeit, die durch die
Schaltdiode 4 bzw. durch die Schaltdiode 8 abfließenden
Ladungsmengen einzeln auszuwerten. Es wird dann also für
jedes gewünschte Meßsignal nur eine Spannung eingekoppelt
und die dann abfließende Ladungsmenge gemessen.
Anschließend wird diese Spannung wieder abgeschaltet. Für
das nächste Meßsignal wird dann eine Spannung entgegenge
setzter Polarität erzeugt, wiederum die dabei abfließende
Ladungsmenge gemessen und anschließend die Spannung wieder
abgeschaltet, usw. In diesem Falle ist eine Aufintegra
tion nicht mehr möglich. Es muß vielmehr das dem eigent
lichen Meßsignal überlagerte Zusatzsignal, das jeweils
durch die Spannungen verschiedener Polarität erzeugt
wird, rechnerisch korrigiert werden. Bei dieser Variante
entsteht also ein erhöhter rechnerischer Aufwand.
Gegenüber der ersten Einsatzvariante besteht jedoch der
Vorteil, daß für jeden Meßwert nur eine Spannung vorüber
gehend eingekoppelt werden muß.
Claims (9)
1. Anordnung zum Auslesen eines licht- oder röntgen
strahlenempfindlichen Sensors (1, 7), welcher ein
strahlenempfindliches Sensorelement, insbesondere eine
Photodiode (2) , aufweist, deren Ladung mittels einer
Schaltdiode (4) auslesbar ist, welche dazu mittels einer
vorübergehend an sie angelegten Spannung in ihren
leitenden Zustand überführt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß ein zusätzlich eingekoppeltes
Signal vorgesehen ist, welches die Schaltdiode (4) bei
Einschalten des Potentialsprungs in einen stärker
leitenden Zustand überführt als ohne das Signal, so daß
während des Auslesens eine größere Ladungsmenge abfließt.
2. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß als zusätzlich eingekoppeltes
Signal ein konstanter Gleichstrom vorgesehen ist, welcher
in Sperrichtung der Photodiode (2) fließt.
3. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das zusätzlich eingekoppelte
Signal mittels einer konstanten Zusatzbestrahlung des
Sensorelementes (2) erzeugt wird.
4. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen zwei Auslesezyklen
der ersten Schaltdiode (4) eine weitere Spannung einge
koppelt und anschließend abgeschaltet wird, welche in
Relation zu der für den Auslesevorgang der ersten Schalt
diode (4) vorgesehenen Spannung umgekehrte Polarität
aufweist und welche eine zweite Schaltdiode (8), die zur
ersten Schaltdiode (4) antiparallel geschaltet ist,
vorübergehend in ihren leitenden Zustand überführt.
5. Anordnung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die Spannungen verschiedener
Polarität die gleiche Größe aufweisen und daß zur
Ermittlung jedes Meßwertes der Strahlungsmenge die über
die erste (4) und über die zweite (8) Schaltdiode nach
Anlegung der jeweils zugeordneten Spannung abfließenden
Ladungsmengen aufintegriert werden.
6. Anordnung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung jedes Meßwertes
der Strahlungsmenge nur genau eine Spannung eingekoppelt
und anschließend abgeschaltet wird, daß nur die über die
in Folge dieser Spannung in ihren leitenden Zustand über
führte Schaltdiode (4 oder 8) abfließende Ladungsmenge
gemessen wird und daß zur Ermittlung des nächsten Meß
wertes eine Spannung umgekehrter Polarität eingekoppelt
und anschließend abgeschaltet wird.
7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Photodiode (2) mit einer
röntgenstrahlenempfindlichen Phosphorschicht versehen ist.
8. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß zur Photodiode (2) eine
zusätzliche Kapazität parallelgeschaltet ist.
9. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Sensoren (1, 7) in
Form einer oder mehrerer Zeilen angeordnet sind.
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