DE3006267C2 - Festkörper-Abbildungsanordnung - Google Patents
Festkörper-AbbildungsanordnungInfo
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 27
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 9
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
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- H—ELECTRICITY
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- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
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- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
- H04N25/67—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to fixed-pattern noise, e.g. non-uniformity of response
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
- H04N25/67—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to fixed-pattern noise, e.g. non-uniformity of response
- H04N25/671—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to fixed-pattern noise, e.g. non-uniformity of response for non-uniformity detection or correction
- H04N25/677—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to fixed-pattern noise, e.g. non-uniformity of response for non-uniformity detection or correction for reducing the column or line fixed pattern noise
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
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- H04N3/00—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages
- H04N3/10—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical
- H04N3/14—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices
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- H04N3/155—Control of the image-sensor operation, e.g. image processing within the image-sensor
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- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 vorausgesetzte Festkörper-Abbildungsanordnung
zur Verwendung in einer Fernsehkamera usw. Insbesondere bezieht sie sich auf eine
solche Festkörper-Abbildungsvorrichtung, die eine Mehrzahl von in einem Oberflächenbereich eines
Halbleiterkörpers angeordneten Bildelementen aufweist. Ganz insbesondere bezieht sie sich auf einen
Signalablesekreis in der Festkörper-Abbildungsvorrichtung, der Bildelemente zum Ablesen von darin
gespeicherter Photodiodenphotoinformation hat.
Der Stand der Technik ist in den Fig. I. 2A und 2B
veranschaulicht; darin zeigt
Fig. 1 schematisch das Schaltbild einer herkömmlichen
Festkörper-Abbildungsariordnung; und
Fig.2A und 2B die typischen Wellenformen von Abiastimpulsen bzw, die We|!enformen von Ausgangssignalen,
die in der in Fig. I dargestellten Festkörper-Abbildungsanordnung verwendet werden.
Als Bildabtasteinrichtung zur Verwendung in einer Fernsehkamera usw. wurde anstelle der herkömmlichen
Bildabtaströhre eine Festkörper-Abbildungsanordnung mit Verwendung integrierter Halbleiterschaltungen
entwickelt.
Gemäß der Darstellung in Fig. I speichert eine Photodiode 3 bei Lichteinfall Photoelektroden in ihrer
Übergangskapazität, wenn die Photodiode ein N-Kanalelement
ist Ein durch einen vertikalen Abtastkreis 2 erzeugter positiver Abtastimpuls schaltet vertikale
Schalt-MOS-Transistoren 4 ein, die mit einer ausgewählten der vertikalen Abtastleitungen 6 verbunden
sind. Andererseits schalten durch einen horizontalen Abtastkreis 1 erzeugte Abtastimpulse nacheinander
horizontale Schalt-MOS-Transistoren 5 ein, so daß die in den Photodiodeu 3 gespeicherten Photoelektronen
davon zu einem Signalausgangsanschluß 15 abgegeben »> werden- um ein Videosignal zu liefern. Üblicherweise
wird das Videosignal in der Form einer Spannungsschwankung ausgenutzt die durch einen Lastwiderstand
11 abgeleitet wird. Die Bezugsziffer 12 deutet eine Spannungsquelle für Videovorspannung an.
Bei dieser Festkörper-Abbildungsanordnung wird,
wenn kontinuierlich verkettete Abtastimpulse ohne Intervalle als eine horizontale Abtastimpulskette
verwendet werden, der (n + l)te horizontale Schalt-MOS-Transistor
beim Ausschalten des n-ten horizontalen Schalt-MOS-Transistors eingeschaltet Demgemäß
wird der unter dem Tor des n-ten horizontalen Schalt-MOS-Transistors festgehaltene Restteil der
Ladung zum Leiten als das (n + l)te Signal geliefert was zu einer Art von Festmusterrauschen führt
Die Erfinder schlugen daher ein Abtastsystem vor, bei dem diskontinuierlich folgende Kettenabtastimpulse mit
Intervallen als eine horizontale Abtastimpulskette verwendet werden (JP-OS 27 313/79). Fig.2A zeigt
solche diskontinuierlichen Abtastimpulse Hi, H2, H3, JO
H4... Vertikale Abtastimpulse sind darin mit V(n)und
V(n + 1) angedeutet Die horizontalen Abtastimpulse Hi, H2, 113, H4 ... haben dazwischenliegende
Intervallzeiten T.
F i g. 2B zeigt die Wellenform 21 eines horizontalen Abtastimpulses, der der Steuerelektrode des horizontalen
Schalt-MOS-Transistors 5 zugeführt wird, und auch die Wellenform 22 eines am Signalausgangsanschluß 15
erhaltenen Signalimpulses. Spannungsschwankungen 23 und 24, die aufgrund der zwischen der Steuerelektrode
des MOS-Transistors 5 (oder der horizontalen Abtastleitung 7) und einer horizontalen Signalausgangaleitung
9 gebildeten parasitären Kapazität auftreten, werden Spitzenrauschen genannt Eine gestrichelte Kurve 25
tritt in dem Fall auf, wo die Signalladungen anwesend sind. Wenn das Spitzenrauschen die gleiche Form an
jedem gegebenen Abtastpunkt hat, kann es leicht durch die Einschaltung eines Tiefpaßfilters beseitigt werden,
so daß seine Störung beim erzeugten Videosignal kaum beträchtlich ist. In der Praxis variieren jedoch die Form
und die Amplitude des Spitzenrauschens sehr weit in Abhängigkeit von den Änderungen der Impulswellenform
21 und der Schwellenspannung Vth des MOS-Transistors 5, und dahf:r verursacht das Spitzenrauschen
ein Störsignal. Dieses Störsignal überlagert sich den jeweiligen Signalen von den gemeinsam an eine
vertikale Signalausgangsleitung 8 angeschlossenen Photodioden 3 und wird daher Ursache ein-jr Störung
festen Musters, die sich als vertikaler Streifen (oder Gürtel) auf einem Wiedergabebildschirm bemerkbar &°
macht und die Bildqualität stark beeinträchtigt. Die von der Photodiode 3 abgeleiteten Signalladungen sind von
sehr geringer Menge. Daher ist es sehr schwierig, die Abweichungen der Abtastimpulswellenform und der
Eigenschaften des MOS Transistors befriedigend klein ί>5
im Vergleich mit der geringen Menge der Signalladungen zu machen. Dies ergibt ein Hindernis für die
praktische Verwendung der Festkörper-Abbildungsanordnungen.
Die Erfinder schlugen ebenfalls Signalyerarbeitungsschaltungen
für Festkörper-Abbilduhgsanördnungen unter Verwendung einer diskontinuierlichen horizontalen
Abtastimpulskette vor, in denen das ■Videoausgangssignal durch Verwendung einer Emitterfbigerschaltung
integriert wird (JP-GM 155 426/79 und DE-OS
30 03 992). Obwohl dieser die Integrierende Schaltung verwendende Signalverarbeitungskreis die Festmusterstörung
wirksam beseitigen kann, ist die Schaltung selbst kompliziert Sie erfordert eine integrierte
Schaltung mit Verwendung einer Emitterfolgerschaltung.
Eine der Erfindung etwas ferner liegende Festkörper-Abbildungsanordnung
ist aus der DE-AS 26 09 731 bekannt
Aus der DE-OS 26 42 209 ist eine Ausleseyorrichtung bekannt die auf Basis von matrixförmig angeordneten
Isolierschichtkondensatoren arbeitet wobei zusätzliche Schwellenwertelemente und Schaltelemente in Form
von Feldeffekttransistoren vorgesehen sind.
Aus der DE-AS 25 43 083 ist es bekannt, Streifen aus
dotiertem Halbleitermaterial in einem Bildsensor über je einem MIS-Schalttransistor mit dem Eingang eines
Signalverstärkers zu verbinden.
Aus der DE-AS 25 27 625 ist es ebenfalls bekannt, bei
einem dem nach der DE-AS 25 43 083 ähnlichen Sensor die vergrabenen Doüerkanäle der einzelnen Streifen
durch Ein-Aus-Schalter in Form von MiSSchalttransistören
mit einem Eingang eines Verstärkers zu verbinden. Außerdem ist es daraus bekannt, daß ein
MOS-Schalttransistor zwischen den horizontalen MOS-Transistoren und dem zugehörigen Signalausgangsanschluß
angeschlossen ist und daß dieser MOS-Schalttransistor eingeschaltet wird, wenn der horizontale
Schalt-MOS-Transistor ausgeschaltet wird.
Der Erfindung Hegt die Aufgabe zugrunde, eine Festkörper-Abbildungsanordnung der im Obsrbegriff
des Patentanspruchs 1 vorausgesetzten Art zu entwikkein, die in einer einfachen Schaltungsgestaltung einen
Signalv.-rarbeitungskreis enthält, der die Festmusterstörung
aufgrund des Spitzenrauschens beseitigen kann« damit bei der Festkörper-Abbildungsanordnusg vertikale
Streifen infolge der Festmusterstörungen auf dem Bildschirm nicht mehr auftreten können.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst
Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Die Erfindung wird anhand der in den F i g. 3 bis 11
veranschaulichten Ausführungsbeispiele näher erläutert; darin zeigt
F i g. 3 das Schaltbild eines Ausführungsbeispiels der
Festkörper-Abbildungsanordnung gemäß der Erfindung;
Fig.4 die Wellenformen verschiedene! in der in
F i g. 3 gezeigten Schaltung auftretenden Signale;
F i g. 5 und 6 Schaltbilder weiterer Ausführungsbeispiele der Festkörper-Abbildungsanordnung gemäß der
Erfindung;
F i g. 7 im Querschnitt eine im Ausführungsbeispiel
nach F i g. 6 verwendete MIS-Kapazität;
F i g. 8 die Wellenformen verschiedener in der Schaltung nach F i g. 6 auftretender Signale;
F i g. 9 und 10 Schaltbilder weiterer Ausführungsbeispiele
der Festkörper-Abbildungsanordnung gemäß der Erfindung; und
Fig. 11 die Wellenformen verschiedener in der
Schaltung nach Fig. 10 auftretender Signale.
Fig.3 zeigt das Schaltbild des wesentlichen Teils
eines Ausführungsbeispiels der Festkörp>sr-Abbildungsanordnung gemäß der Erfindung. Ein Signalschaltsteuerelement,
nämlich ein MOS-Feldeffekttransistor 30, der sich leicht herstellen läßt, ist zwischen der horizontalen
Signalausgangsleitung 9 und dem Signalausgangsanschluß 15 eingefügt. Die Teile 5, 7, 10, 11, 12 und 14
entsprechen gleichen Teilen im Schaltbild nach Fig. 1. Fig.4 zeigt die Wellenform 21 eines horizontalen
Abtastimpulses (aus einer Reihe von diskontinuierlich verketteten Abtastimpulsen mit Intervallen), die Wellenform
26 eines der Steuerelektrode 31 des MOS-Transisilors
30 zugeführten Schaltimpulses, die Wellenform 27, die die Änderung der Spannung an der horizontalen
Signalausgangsleitung 9 darstellt, und die Wellenform 22 eines am Signalausgangsanschluß IS verfügbaren
Signals. In den Wellenformen 27 und 22 entsprechen voll ausgezogene Kurven den Fällen, wo keine
Signalladungen existieren, während gestrichelte Kurven dem Fall entsprechen, wo Signalladungen existieren.
Der MOS-Transistor 30 wird eingeschaltet, nachdem der horizontale Schalt-MOS-Transistor 5 ausgeschaltet
ist i[d. h. nachdem die Spannung an der Signalleitung 9
von der Beeinflussung durch die parasitäre Kapazität befreit ist und ihren Anfangszustand wieder einstellt),
und der MOS-Transistor 30 wieder abgeschaltet, bevor der horizontale Schalt-MOS-Transistor in der nächsten
Reiihe eingeschaltet wird. Während der horizontale Ablastimpuls zugeführt wird, wird die horizontale
Signalausgangsleitung 9 elektrisch vom Signalausgangsanschluß 15 oder dem Lastwiderstand 11 getrennt.
Demgemäß fließt kein Strom durch die betrachtete Bahn, und daher können die Einflüsse aufgrund der
Abweichungen der Wellenformen der Abtastimpulse und der Eigenschaften der MOS-Transistoren eliminiert
werden. Wie in Fig.4 gezeigt ist. hai das Spitzcnrauschen.
das durch die Schaltwirkung des MOS-Transistors 30 allein erzeugt wird, in diesem Fall eine
konstante Form und ist daher unschädlich, da es leicht durch Vorsehen eines Tiefpaßfilters od. dgl. beseitigt
werden kann. Dies gilt ebenfalls für die folgenden Auiiführungsbeispiele.
F i g. 5 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist eine
zusiitzliche Kapazität 32 mit der horizontalen Signalausgan gsleitung 9 verbunden. Die Wirkungsweise dieses
Auüführungsbeispiels ist ähnlich der des Ausführungsbeiüpiels
nach F i g. 3.
Da die vertikale Signalausgangsleitung 8 eine parasitäre Kapazität 13 bezüglich des Substrats (Erde)
hat und die parasitäre Kapazität 14 der horizontalen Signalausgangsleitung 9 in Reihe mit der parasitären
Kapazität 13 zwischen den vertikalen und horizontalen Signalausgangsleitungen 8 und 9 ist, bleiben Signalladungen
mit ihrer der parasitären Kapazität 13 proportionalen Menge auf der vertikalen Signalausgangsleitung
8. Wenn die parasitäre Kapazität 14 viel größer als die parasitäre Kapazität 13 ist, ergibt sich
kein Problem (dies ist der übliche Fall). Wenn dagegen die parasitäre Kapazität 14 im Vergleich mit der
parasitären Kapazität 13 nicht so groß ist. so überlagern sich die verbleibenden Signalladungen dem nächsten
Signal unter Verschlechterung der Bildauflösung in der Ventikairichtung auf dem Bildschirm. Dieses Problem
läßt sich leicht durch Vorsehen der zusätzlichen Kapazität 32 beseitigen, die viel größer als die
parasitäre Kapazität 13 isL
Fig. 6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dieses Ausführungsbeispiel verwendet eine
Metall-Isolator-Halbleiter (MIS)-Kapazität 33 zur Schaffung einer zusätzlichen Kapazität, deren Wert
variabel ist. Der Aufbau der MIS-Kapazität 33 ist im Querschnitt in Fig. 7 dargestellt. Wenn eine isolierte
Steuerelektrode 41 mit einem ähnlichen Aufbau wie dem der Steuerelektrode eines MOS-Transistors an ein
ausreichend hohes Potential bezüglich einer Diffusionsschicht 42 gelegt wird, dehnt sich eine aufgrund von aus
der Diffusionsschicht 42 gezogenen Elektronen gebildete N-Inversionsschicht 47 in den Oberflächenbereich
eines Halblcitersubstrats 43 unter der Elektrode 41 aus, so daß die Kapazität zwischen den Anschlüssen 45 und
46 groß wird. Wenn die hohe Spannung beseitigt wird, verschwindet die Inversionsschicht 47, und auch die
große Kapazität verschwindet. In dem in Fig. 7 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Anschluß 46
mit der horizontalen Signalausgangsleitung 9 verbunden.
und der Anschluß 45 entspricht dem Anschluß 34.
Fig.8 zeigt die Wellenform 50 eines dem Anschluß
34 zugeführten Spannungsimpulses. Während der MOS-Transistor 5 leitend ist, wird dem Anschluß 34 ein
positiver Impuls zugeführt, und wenn der MOS-Transistör
30 eingeschaltet wird, entfällt die Spannung. Als Ergebnis wird die Kapazität 33 groß, wenn die
Signalladimgen zur Signalausgangsleitung 9 abgezogen
wert/en. Dies ist der gleiche Effekt wie durch die Kapazität 32 im Ausführungsbeispiel nach F i g. 5.
Andererseits wird, während das Signal abgelesen wird
(wobei der MOS-Transistor 30 leitend ist), die Kapazität 33 klein, was zu einer kleinen Zeitkontansten für die
Signalablesung und damit zu einer erhöhten Betriebsgeschwindigkeit führt.
J:5 Auch wenn die MIS-Kapazität 33 mit umgekehrter
Polarität angeschlossen wird, läßt sich eine gleichartige TTUKUlIg CItKlIlCIl. Ill UlV-IVlIl I Uli HlUU VlIV tt tllvlllOi III
des dem Anschluß 46 zugeführten Spannungsimpulses bezüglich der in F i g. 8 dargestellten Wellenform 50 von
umgekehrter Polarität sein.
F i g. 9 zeigt ein weiteres Ausfülirungsbeispiel der
Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist eine zusätzliche Kapazität 35 mit der horizontalen Signalausgangsleitung
9 an der Seite des Ausgangsanschlusses 15 des Ausführungsbeispiels nach F i g. 3 verbunden. Die
Kapazität 35 dient zur Absorption der Signalladungen von der horizontalen Signalausgangsleitung 9, wodurch
die Schaltfunktion des MOS-Transistors 30 unterstützt wird und die Menge der Restladungen auf der
horizontalen Signalausgangsleitung 9 sink'- Diese Kapazität 35 kann auch in den Ausführungsbeispielen
nach F i g. 5 und 6 verwendet werden.
Fig. 10 zeigt noch ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dieses Ausfühmngsbeispiel läßt sich
verwirklichen, indem man einfach eine MIS-Kapazität 36 als variable Kapazität für die Kapazität 35 im
Ausführungsbeispiel nach F i g. 9 einsetzt. Durch Zuführen einer Impulsspannung mit einer in F i g. Il gezeigten
Wellenform 51 zur Elektrode 37 wird die Kapazität 36 groß, während der MOS-Transistor 30 leitend ist, so daß
die Signalladungen rasch von der horizontalen Signalausgangsleitung 9 zum Signalausgangsanschluß 15
überführt werden. Danach wird die Kapazität 36 klein gemacht, so daß die Zeitkonstante für die Signalable-
S5 sung verringert wird und sich die Arbeitsgeschwindigkeit
erhöht. Diese Kapazität 36 kann auch bei den Ausführungsbeispielen nach Fig.5 und 6 verwendet
werden.
Ähnlich dem Fall des Ausführungsbeispiels nach Fig. 6 kann der vorstehend erwähnte Effekt auch
erhalten werden, wenn der Anschluß der MIS-Kapazität 36 umgekehrt wird, wobei unter Annahme des Aufbaus
der Kapazität 36 nach F i g. 7 der Anschluß 45 mit dem Anschluß 15 von Fig. 10 verbunden wird, während der
Anschluß 46 mit dem Anschluß 37 von Fig. 10 Verbunds-:/ wird, und wenn die Impulsspannung mit der
der Polarität der Impulsspannung der Wellenform 51 entgegengesetzten Wellenform 52 (Fig. II) an den
Anschluß 37 angelegt wird.
Das in Fig. 10 dargestellte Ausführungsbeispiel ergibt eine weitere Maßnahme zur Verbesserung. Wenn
der Leitzustand des MOS-Transistors 30 so hoch wird, daß er von den mit dem Lastwiderstand 11. der
horizontalen Signalausgangsleitung 9 und dem Signalausgangsanschluß 15 verbundenen parasitären Kapazitäten
unabhängig ist, dann kann nämlich die MIS-Kapa-
• .. -., r . ι _j__ _i ι u.:^u^nMn ctt~u*r
Zitat JO aUIgrilllU UCS UUC(I UCAl.uiaui.tlt.il L~it%.fvt.j
entfallen. Jedoch ist ein MOS-Transistor mit so hoher Leitfähigkeit üblicherweise von großer Abmessung, so
daß der MOS-Transistor hoher Leitfähigkeit starkes Spitzenrauschen der weiter oben beschriebenen Art
erzeugt. Obwohl das Spitzenrauschen durch Vorsehen eines Tiefpaßfilters beseitigt werden kann, ist es
schädlich im Verstärkungsverfahren und sollte daher am Enstehen gehindert werden. Gemäß diesem Ausführungsbeispiel
wird durch Zuführen eines Impulses mit einer in F i g. 11 dargestellten Wellenform 52 zur
Elektrode 37 der MIS-Kapazität 36, wobei die Polarität der Wellenform 52 derjenigen der Wellenform 26 des
der Steuerelektrode 31 des MOS-Transistors 30 zugeführten Impulses entgegengesetzt ist, das Spitzenrauschen
aufgrund der inversen kapazitiven Kopplung zum Signalausgangsanschluß geleitet, um das Spitzen
ίο rauschen zu beseitigen. Demgemäß kann das Signal
unabhängig vom Rauschen abgeleitet werden, so daß sich die Signalverarbeitung erleichtern läßt.
In allen vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen
der Erfindung kann man als Schaltsteuer-MOS-
Transistor 30 irgendeinen Schalttransistor, wie z. B.
einen Übergangstor- oder Feldeffekttransistortyp, einen Schottky-Sperrschicht-Feldeffekttransistor oder
einen bipolaren Transistor anstelle des dargestellten Feldeffekttransistors mit isoliertem Tor verwenden
Wie vorstehend beschrieben, kann erfindungsgemäß die Festmusterstörung, die bei einer Festkörper-Abbildungsanordnung
sehr ernstliche Nachteile bringt, leicht beseitigt werden, und daher wird erfindungsgemäß eine
praktisch einsatzfähige Festkörper-Abbildungsanord-
>5 nung geboten, die zur Erzeugung von Bildern hoher
Güte geeignet ist.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (10)
1. Festkörper-Abbildungsanordnung mit einer zweidimensionalen Matrix von photoelektrischen
Wandlerelementen, einer Mehrzahl vertikaler s Schalt-MOS-Transistoren und einer Mehrzahl horizontaler
Schalt-MOS-Transistoren zum Obertragen von durch die photoelektrischen Wandlerelemente
erfaßten Signalen zu einem Signalausgangsanschluß, einem vertikalen Abtastkreis zum Zuführen vertikaler
Abtastsignale zu den Steuerelektroden der vertikalen Schalt-MOS-Transistoren, einem horizontalen
Abtastkreis zum Zuführen diskontinuierlich verketteter horizontaler Abtastimpulse, die also
Intervalle zwischen aufeinanderfolgenden Abtastim- is
pulsen aufweisen, zu den Steuerelektroden der horizontalen Schalt-MOS-Transistoren und mit
einer mit dem Signalausgangsanschluß verbundenen Störunt£s~4rückungsschaltung zur Beseitigung des in
der Anordnung erzeugten Spstzenrausehens, dadurch
gekennzeichnet,
daß ein Schaltsteuer-MOS-Transistor (30), der eingeschaltet wird, nachdem einer der horizontalen Schalt-MOS-Transistoren (5) einer gegebenen Spalte ausgeschaltet ist, und der ausgeschaltet wird, bevor der horizontale Schalt-MOS-Transistor der nächsten Spalte eingeschaltet wird, in der horizontalen Signalausgangsleitung (9) der horizontalen Schalt-MOS-Transistoren (5) vor dem Signalausgangsansch'.'iß (15) liegt, so daß am Ausgang der horizontalen Schalt-MOS-Transistoren (5) auftretende, variierende Spitzenstörungen vom Schaltsteuey-MQ.S.-Transistor (30) ausgeblendet werden und daher nur Spitzenstörungen mit einer konstanten Form, die in Verbindung mit der Schaltwirkung des Schaltsteuer-MOS-Transistors (30) entstehen, an der horizontalen Signalausgangsleitung (9) nach dem Schaltsteuer-MOS-Transistor (30) auftreten,
daß ein Schaltsteuer-MOS-Transistor (30), der eingeschaltet wird, nachdem einer der horizontalen Schalt-MOS-Transistoren (5) einer gegebenen Spalte ausgeschaltet ist, und der ausgeschaltet wird, bevor der horizontale Schalt-MOS-Transistor der nächsten Spalte eingeschaltet wird, in der horizontalen Signalausgangsleitung (9) der horizontalen Schalt-MOS-Transistoren (5) vor dem Signalausgangsansch'.'iß (15) liegt, so daß am Ausgang der horizontalen Schalt-MOS-Transistoren (5) auftretende, variierende Spitzenstörungen vom Schaltsteuey-MQ.S.-Transistor (30) ausgeblendet werden und daher nur Spitzenstörungen mit einer konstanten Form, die in Verbindung mit der Schaltwirkung des Schaltsteuer-MOS-Transistors (30) entstehen, an der horizontalen Signalausgangsleitung (9) nach dem Schaltsteuer-MOS-Transistor (30) auftreten,
daß die horizontalen Schalt-MOS-Transistoren (5) unmittelbar mit dem Schaltsteuer-MOS-Transis'or
(30) verbunden sind und
daß die Störunterdrückungsschaltung (z. B. 36, 37) die in Verbindung mit der Schaltwirkung des
Schaltsteuer-MOS-Transistors (30) auftretenden konstanten Spitzenstörungen beseitigt.
2. Abbildungsanordnung nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß eine Kapazität (32; 33) an
einem Ende mit der horizontalen Signalausgangsleitung (9) zwischen dem Schaltsteuer-MOS-Transistor
(30) und den horizontalen Schalt-MOS-Transistoren (5) verbunden ist.
3. Abbildungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität (33) vom
MIS-Typ variabler Kapazität ist.
4. Abbildungsanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß je nach Anschluß der
MIS-Kapazität (33) ein positiver oder negativer Impuls an das andere Ende (34) der variablen
MIS-Kapazität (33) angelegt wird, während der horizontale Schalt-MOS-Transistor (5) eingeschaltet
wird, wodurch der Wert der Kapazität (33) groß gemacht wird, und der Impuls entfernt wird, wenn
der Schaltsteuer-MOS-Transistor (30) eingeschaltet wird, wodurch der Wert der Kapazität klein
gemacht wird.
5. Abbildungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine
Kapazität (35; 36) an ihrem einen Ende mit der horizontalen Signalausgangsleitung (9) zwischen
dem Schaltsteuer-MOS-Transistor (30) und dem Signalaüsgangsanschluß (15) verbunden ist
6. Abbildungsanordnung nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kapazität (36) vom MIS-Typ variabler Kapazität ist.
7. Abbildungsaliordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß je nach Anschluß der
MIS-Kapazität (36) ein positiver oder negativer Impuls an das andere Ende (37) der variablen
MIS-Kapazität (36) angelegt wird, während der Schaltsteuer-MOS-Transistor (30) eingeschaltet
wird, wodurch der Wert der Kapazität (36) groß
gemacht wird, und der Impuls entfernt wird, wenn
der Schaltsteuer-MOS-Transistor (30) ausgeschaltet wird, wodurch der Wert der Kapazität (36) klein
gemacht wird.
8. Abbildungsanordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet daß der an die Kapazität (36)
angelegte Impuls die gleiche Polarität wie der der Steuerelektrode (31) des Schaltsteuer-MOS-Transistors
(30) zugeführte Abtastimpuls hat
9. Abbildungsanordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet daß der an die Kapazität (36)
angelegte Impuls eine dem der Steuerelektrode (31) des Schaltsteuer-MOS-Transistors (30) zugeführten
Abtastimpuls entgegengesetzte Polarität aufweist so daß die dabei entstandenen Spitzenstörungen
aufgrund einer inversen kapazitiven Kopplung die im Zusammenhang mit der Schaltwirkung des
Schaltsteuer-MOS-Transistors (30) entstehenden Spitzenstörungen beseitigen, wobei die Kapazität
(36) als die Störunterdrückungsschaltung dient.
10. Abbildungsanordnung nach einem der Ansprüche
1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Störunterdrückungsschaltung ein mit dem Signalausgangsanschluß
(15) vcrbunterss Tiefpaßfilter ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1834379A JPS55112081A (en) | 1979-02-21 | 1979-02-21 | Solid state pickup device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3006267A1 DE3006267A1 (de) | 1980-08-28 |
DE3006267C2 true DE3006267C2 (de) | 1983-11-17 |
Family
ID=11969003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3006267A Expired DE3006267C2 (de) | 1979-02-21 | 1980-02-20 | Festkörper-Abbildungsanordnung |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4301477A (de) |
JP (1) | JPS55112081A (de) |
CA (1) | CA1127744A (de) |
DE (1) | DE3006267C2 (de) |
FR (1) | FR2450012B1 (de) |
GB (1) | GB2045572B (de) |
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- 1980-02-19 NL NL8001011A patent/NL8001011A/nl not_active Application Discontinuation
- 1980-02-20 FR FR8003741A patent/FR2450012B1/fr not_active Expired
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Legal Events
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8125 | Change of the main classification |
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8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |