DE3731127A1 - Verfahren und vorrichtung zur vakuum-lichtbogenplasma-ablagerung dekorativer und abnutzungsfester beschichtungen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur vakuum-lichtbogenplasma-ablagerung dekorativer und abnutzungsfester beschichtungen

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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3941918A1 (de) * 1989-06-27 1991-01-03 Hauzer Holding Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von substraten
DE4006456C1 (en) * 1990-03-01 1991-05-29 Balzers Ag, Balzers, Li Appts. for vaporising material in vacuum - has electron beam gun or laser guided by electromagnet to form cloud or pre-melted spot on the target surface
WO1992019789A1 (en) * 1991-04-29 1992-11-12 Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh' Electric arc evaporator of metals
US5656383A (en) * 1994-05-13 1997-08-12 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Coated member having excellent hardness and, adhesive properties
EP0945526A1 (de) * 1998-03-05 1999-09-29 Leybold Systems GmbH Messingfarbige Beschichtung mit einer farbgebenden nitridischen Schicht
DE19905881A1 (de) * 1999-01-22 2000-08-03 Muerrle Norbert Verfahren zur Beschichtung eines aus Edelmetall oder einem Nicht-Edelmetall gefertigten Schmuckstücks sowie ein derartiges Schmuckstück
RU2196847C2 (ru) * 2000-05-18 2003-01-20 Уральский электрохимический комбинат Катод электродугового испарителя
EP2447978A3 (de) * 2005-03-24 2012-12-05 Oerlikon Trading AG, Trübbach Arcquelle
RU2495150C1 (ru) * 2012-06-26 2013-10-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19745407C2 (de) * 1996-07-31 2003-02-27 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Glanzbeschichtung von Kunststoffteilen, vorzugsweise für Fahrzeuge, und danach beschichtetes Kunststoffteil
DE10001381A1 (de) * 2000-01-14 2001-07-19 Hauzer Techno Coating Europ B PVD-Verfahren zur Herstellung einer gefärbten, gegenüber Fingerabdrücken unempfindlichen Beschichtung auf Gegenständen sowie Gegenstände mit einer solchen Beschichtung
JP5073998B2 (ja) * 2006-08-28 2012-11-14 眞 八藤 銀器類の改良方法
JP6426726B2 (ja) 2013-06-26 2018-11-21 エーリコン・サーフェス・ソリューションズ・アーゲー・プフェフィコン 装飾ｈｉｐｉｍｓ硬質材料層
JP7014816B2 (ja) * 2017-12-19 2022-02-01 日清エンジニアリング株式会社 複合粒子および複合粒子の製造方法

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3625848A (en) * 1968-12-26 1971-12-07 Alvin A Snaper Arc deposition process and apparatus
US3793179A (en) * 1971-07-19 1974-02-19 L Sablev Apparatus for metal evaporation coating
US3900592A (en) * 1973-07-25 1975-08-19 Airco Inc Method for coating a substrate to provide a titanium or zirconium nitride or carbide deposit having a hardness gradient which increases outwardly from the substrate
GB2058843A (en) * 1979-09-04 1981-04-15 Balzers Hochvakuum Method for the manufacture of goldcoloured coatings
DE3107914A1 (de) * 1981-03-02 1982-09-16 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zum beschichten von formteilen durch katodenzerstaeubung
DE3206622A1 (de) * 1981-02-24 1982-10-07 Welbilt Electronic Die Corp., 10451 New York, N.Y. Verfahren und vorrichtung zum aufbringen eines materials auf ein substrat
GB2105729A (en) * 1981-09-15 1983-03-30 Itt Ind Ltd Surface processing of a substrate material
US4415521A (en) * 1982-03-15 1983-11-15 Celanese Corporation Process for achieving higher orientation in partially oriented yarns
US4430184A (en) * 1983-05-09 1984-02-07 Vac-Tec Systems, Inc. Evaporation arc stabilization
DE3390292T1 (de) * 1982-10-10 1985-01-10 Vsesojuznyj naučno-issledovatel'skij instrumental'nyj institut, Moskva Verschleißfester Einschicht-Überzug von spanenden Werkzeugen zur Metallbearbeitung
DE3413701A1 (de) * 1983-10-14 1985-05-02 Multi-Arc Vacuum Systems Inc., Saint Paul, Minn. Elektroden-halterungsbaugruppe fuer eine bedampfungsmaschine
US4540596A (en) * 1983-05-06 1985-09-10 Smith International, Inc. Method of producing thin, hard coating
DE3513014A1 (de) * 1984-04-12 1985-10-24 Ramot University Authority For Applied Research And Industrial Development Ltd., Tel Aviv Verfahren zur behandlung der oberflaeche eines werkstueckes
DE3428951A1 (de) * 1984-08-06 1986-02-13 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Mit einer deckschicht aus gold oder einem goldhaltigen material ueberzogener dekorativer gebrauchsgegenstand und verfahren zu seiner herstellung
US4643952A (en) * 1985-02-08 1987-02-17 Citizen Watch Co., Ltd. Coating film by ion plating

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50123579A (enrdf_load_stackoverflow) * 1974-03-19 1975-09-29
CH619344B (de) * 1977-12-23 Balzers Hochvakuum Verfahren zur herstellung goldfarbener ueberzuege.
EP0211413A3 (en) * 1985-08-09 1989-03-15 The Perkin-Elmer Corporation Arc ignition device

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3625848A (en) * 1968-12-26 1971-12-07 Alvin A Snaper Arc deposition process and apparatus
US3793179A (en) * 1971-07-19 1974-02-19 L Sablev Apparatus for metal evaporation coating
US3900592A (en) * 1973-07-25 1975-08-19 Airco Inc Method for coating a substrate to provide a titanium or zirconium nitride or carbide deposit having a hardness gradient which increases outwardly from the substrate
GB2058843A (en) * 1979-09-04 1981-04-15 Balzers Hochvakuum Method for the manufacture of goldcoloured coatings
DE3206622A1 (de) * 1981-02-24 1982-10-07 Welbilt Electronic Die Corp., 10451 New York, N.Y. Verfahren und vorrichtung zum aufbringen eines materials auf ein substrat
DE3107914A1 (de) * 1981-03-02 1982-09-16 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zum beschichten von formteilen durch katodenzerstaeubung
GB2105729A (en) * 1981-09-15 1983-03-30 Itt Ind Ltd Surface processing of a substrate material
US4415521A (en) * 1982-03-15 1983-11-15 Celanese Corporation Process for achieving higher orientation in partially oriented yarns
DE3390292T1 (de) * 1982-10-10 1985-01-10 Vsesojuznyj naučno-issledovatel'skij instrumental'nyj institut, Moskva Verschleißfester Einschicht-Überzug von spanenden Werkzeugen zur Metallbearbeitung
US4540596A (en) * 1983-05-06 1985-09-10 Smith International, Inc. Method of producing thin, hard coating
US4430184A (en) * 1983-05-09 1984-02-07 Vac-Tec Systems, Inc. Evaporation arc stabilization
DE3413701A1 (de) * 1983-10-14 1985-05-02 Multi-Arc Vacuum Systems Inc., Saint Paul, Minn. Elektroden-halterungsbaugruppe fuer eine bedampfungsmaschine
DE3513014A1 (de) * 1984-04-12 1985-10-24 Ramot University Authority For Applied Research And Industrial Development Ltd., Tel Aviv Verfahren zur behandlung der oberflaeche eines werkstueckes
DE3428951A1 (de) * 1984-08-06 1986-02-13 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Mit einer deckschicht aus gold oder einem goldhaltigen material ueberzogener dekorativer gebrauchsgegenstand und verfahren zu seiner herstellung
US4643952A (en) * 1985-02-08 1987-02-17 Citizen Watch Co., Ltd. Coating film by ion plating

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
CH-Z: Thin Solid Films 28, 1975, S. L39-L40 *
CH-Z: Thin Solid Films 40, 1977, S. 211-216 *
Sciene and Technology of Surface Coating, 1974, S. 361-368 *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3941918A1 (de) * 1989-06-27 1991-01-03 Hauzer Holding Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von substraten
DE4006456C1 (en) * 1990-03-01 1991-05-29 Balzers Ag, Balzers, Li Appts. for vaporising material in vacuum - has electron beam gun or laser guided by electromagnet to form cloud or pre-melted spot on the target surface
WO1992019789A1 (en) * 1991-04-29 1992-11-12 Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh' Electric arc evaporator of metals
US5656383A (en) * 1994-05-13 1997-08-12 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Coated member having excellent hardness and, adhesive properties
EP0945526A1 (de) * 1998-03-05 1999-09-29 Leybold Systems GmbH Messingfarbige Beschichtung mit einer farbgebenden nitridischen Schicht
DE19905881A1 (de) * 1999-01-22 2000-08-03 Muerrle Norbert Verfahren zur Beschichtung eines aus Edelmetall oder einem Nicht-Edelmetall gefertigten Schmuckstücks sowie ein derartiges Schmuckstück
RU2196847C2 (ru) * 2000-05-18 2003-01-20 Уральский электрохимический комбинат Катод электродугового испарителя
EP2447978A3 (de) * 2005-03-24 2012-12-05 Oerlikon Trading AG, Trübbach Arcquelle
RU2495150C1 (ru) * 2012-06-26 2013-10-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

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