DE3726113A1 - Vorrichtung zum beschichten von baendern - Google Patents

Vorrichtung zum beschichten von baendern

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DE3726113A1 DE19873726113 DE3726113A DE3726113A1 DE 3726113 A1 DE3726113 A1 DE 3726113A1 DE 19873726113 DE19873726113 DE 19873726113 DE 3726113 A DE3726113 A DE 3726113A DE 3726113 A1 DE3726113 A1 DE 3726113A1
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschich­ ten von Bändern im Vakuum mit einem Gehäuse, mit einem auf mindestens einer Seite angeordneten abnehmbaren Deckel zum druckdichten Verschließen des Gehäuses und einer Wickelvorrichtung mit zwischen zwei Platinen drehbar gelagerten Umlenk-, Zugmeß-, Streck- und Spann­ rollen, mindestens einer Beschichtungsrolle und jeweils mindestens einer Aufwickel- und Abwickelrolle sowie einer im Gehäuse ortsfest gehaltenen Beschichtungs­ quelle, wobei die beiden Platinen zusammen mit den Rollen als eine Einheit über ein Laufwerk zum Zwecke des Be- und Entladens soweit verfahrbar sind, daß alle Rollen von außen zugänglich sind.
Bisher ist es üblich, das Zu- und Abführen von Band­ und Folienwickeln bei Vakuum-Beschichtungsanlagen mit Hilfe von Kränen oder Staplern durchzuführen. Dieses Arbeitsverfahren ist jedoch zeit- und arbeitsaufwendig und hat insbesondere den Nachteil, daß die Beschichtungsanlage während eines relativ langen Zeitraumes außer Betrieb gesetzt werden muß, was ihre Eroduktivität verringert.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vor­ richtung der eingangs genannten Art so auszubilden, daß ein rascher Wickelwechsel möglich ist, wobei dieser Wickelwechsel weitgehend von einer einzigen Bedienperson durchführbar sein soll. Die den Wickel­ wechsel ermöglichende Vorrichtung soll preiswert her­ stellbar und leicht handhabbar sein. Schließlich soll die Vorrichtung keine Änderungen am Gehäuse oder der Wickeleinrichtung erfordern, so daß diese Teile frei dimensionierbar bleiben und ausschließlich unter dem Gesichtspunkt einer optimalen Wickelführung und Be­ schichtungsqualität gestaltet werden können.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine quer zu den Laufschienen bewegbare Transportvorrichtung mit an dieser schwenkbar gelagerten Armpaaren, deren Schwenkachse parallel zu den Laufschienen angeordnet sind, gelöst, wobei die freien Enden der Armpaare mit Lageraugen zur Halterung von je einem Rohwickel und einem Aufwickel ausgestattet sind.
Vorzugsweise ist die Transportvorrichtung auf Rollen bewegbar, wobei der Abstand, den die Schwenkachse für die Armpaare von der Aufstandsfläche aufweist, so bemessen ist, daß das sich unter einem Winkel von zum Beispiel 45° zur Aufstandsfläche schräg nach oben zu erstreckende erste Armpaar mit seinen La­ geraugen bis an die Lagerstellen für die Aufwickel­ rolle reicht, während das zweite, sich schräg nach unten zu erstreckende Armpaar gleichzeitig bis an die Lagerstellen der Abwickelrolle reicht.
Zweckmäßigerweise sind die Armpaare gleich lang bemessen, wobei der Abstand, den die Lageraugen des ersten Armpaares von den Lageraugen des zwei­ ten Armpaares aufweist, dem Abstand zwischen den Lageraugen des zweiten und denen des dritten Arm­ paares entspricht.
Mit Vorteil ist eine zwischen den Armpaaren einer seits und der Gabel zur Halterung der Schwenkachse andererseits angeordnete Arretiervorrichtung vor­ gesehen, die geeignet ist, die Armpaare gegen ein Verschwenken um ihre gemeinsame Achse zu blockieren.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungs­ möglichkeiten zu; eine davon ist in der anhängenden Zeichnung rein schematisch dargestellt, und zwar zweigen:
Fig. 1 die Draufsicht auf einen Teil einer Bandbeschichtungsanlage, deren Wik­ kelvorrichtung für den Ladevorgang aus der als Hohlzylinder ausgebilde­ ten Beschichtungskammer herausge­ fahren ist, und
Fig. 2 die Seitenansicht der Anlage nach Fig. 1, und zwar im Schnitt gemäß den Linien A-B nach Fig. 1, wobei einige der in Fig. 1 dargestellten Umlenk- und Spannrollen der besseren Übersichtlichkeit wegen nicht näher dargestellt sind.
Die Bandbeschichtungsanlage besteht im wesentlichen aus den zwischen zwei Platinen 3, 4 gelagerten Um­ lenk-, Zugmeß-, Streck- und Spannrollen 5 bis 17 bzw. der gekühlten Beschichtungswalze 18, der Ab­ wickelrolle 37′ und der Aufwickelrolle 35′, der in der von einem Hohlzylinder 32 gebildeten Beschich­ tungskammer 28 angeordneten Verdampfungsquelle 19 mit Aluminiumdraht-Spule 20 und dem Verdampfungs­ schiffchen 21 sowie einer Fernsehkamera 22 zur Be­ obachtung des Beschichtungsprozesses. Die beiden am Stützgestell 52 befestigten Elatinen 3, 4 können über Rollen 26, 27 auf Laufschienen 24, 25, zusam­ men mit den Rollen 5 bis 17 und der Beschichtungs­ walze 18, die Wickeleinrichtung 29 bilden, in Pfeil­ richtung R in die Beschichtungskammer 28 bzw. aus dieser herausgefahren werden. Bei eingefahrener Wickeleinrichtung 29 legt sich der am Stützgestell 52 fest angeordnete scheibenförmige Deckel 30 mit seiner Randpartie gegen die flanschförmige Stirn­ fläche 31 des Hohlzylinders 32 und wird dort von nicht näher dargestellten Klammern am Hohlzylin­ der 32 fixiert bzw. durch den während der Betriebs­ phase in der Kammer 45 herrschenden Unterdruck vom Atmosphäredruck gegen die Stirnfläche 31 gezogen.
Wie die Abbildungen zeigen, ist eine mit Rollen 34, 34′; 47, 47′) ausgestattete Transportvorrichtung 33 nahe an die Wickelvorrichtung 29 heranfahrbar. Die Transportvorrichtung 33 ist mit einer Halterung für den Aufwickler 35, den Rohwickel 36 und den Abwick­ ler 37 versehen. Sie weist dazu drei auf der Gabel 38 schwenkbar gelagerte, drehfest miteinander ver­ bundene Armpaare 39, 40, 41 auf, an deren Enden sich jeweils die Lageraugen 42, 42′ bzw. 43, 43′ der Arm­ paare 39, 40, 41 befinden. Ist nun nach einem Be­ schichtungsprozeß auf der Aufwickelrolle 35, ein beschichtetes Band vollständig aufgewickelt, dann kann dieser Aufwickel 35 in Pfeilrichtung A mit Hilfe der Transportvorrichtung 33 nach dem Lösen der Aufwickelrolle 35′ zwischen den Elatinen 3, 4 herausgefahren werden. Zweckmäßigerweise wurde vor­ her ein Rohwickel 36 in das Armpaar 41, 41′ bzw. in die Lageraugen 43, 43′ eingehängt, so daß das Gewicht des Aufwickels 35 etwa kompensiert wird und das den Aufwickel 35 haltende Armpaar 39, 39′ mühelos im Uhrzeigersinn (Pfeilrichtung B) um die Achse 44 geschwenkt werden kann, bis der Rohwickel 36 in die strichliert eingezeichnete Position des Abwik­ kels 37 gelangt ist, wo dann der Rohwickel 36′ als Abwickel 37 zwischen den beiden Platinen 3, 4 ein­ setzbar bzw. lagerbar ist. Zweckmäßigerweise sind alle Armpaare 39, 39′ bzw. 40, 40′ bzw. 41, 41′ gleich lang ausgebildet, so daß bei etwa gleich schweren Roh­ bzw. Aufwickeln 35, 36 ein problemloses Rangieren bzw. Be- und Entladen der Anlage möglich ist. An der Gabel 38 ist schließlich eine Arretiervorrichtung 46 ange­ ordnet, über die die Schwnkachse 44 der Armpaare 39, 40, 41 gegen unbeabsichtigtes Verdrehen gesichert werden kann.
Es ist klar, daß die vorstehend beschriebene Transport­ vorrichtung 30 auch geeignet ist, die nach einem Be­ schichtungsvorgang leere Abwickelrolle 37′ beim Aus­ schwenken des Aufwickels 35 in Pfeilrichtung B bis in die Position der Aufwickelrolle 35′ zu heben, wo diese dann anstelle der gerade vorher ausgehängten bzw. ausgeschwenkten vollen Aufwickel 35 plazierbar ist, wobei der Rohwickel 36 gleichzeitig in die in Fig. 2 strichliert eingezeichnete Position verschwenkt wird. Taktweise durchgeführt, ermöglicht die geschilderte Arbeitsweise einen erheblichen Zeitgewinn, insbeson­ dere auch weil das bisher übliche Hantieren mit einem Kran und einem Stapler vollständig entfällt. Das An­ koppeln der Wickelrollen 35′, 36′, 37′ an die in den Elatinen 3, 4 gelagerten Wellstümpfen 49, 49′ ist in den Zeichnungen nicht näher dargestellt; beispiels­ weise können die Wellenstümpfe 49, 49′ teilweise zwei­ schalig ausgebildet sein, so daß nach dem Abnehmen des einen Lagerauges das jeweile Ende der Wickelrolle 35′, 36′, 37′ in das offene Lagerauge eingelegt und anschließend mit dem zugehörigen zweitem Lagerauge fest gelagert werden kann, mühelos im Uhrzeigersinn (Pfeilrichtung B) um die Achse 44 geschwenkt werden kann, bis der Rohwickel 36 in die strichliert einge­ zeichnete Position des Abwickels 37 gelangt ist, wo dann der Rohwickel 36′ als Abwickel 37 zwischen den beiden Platinen 3, 4 einsetzbar bzw. lagerbar ist. Zweckmäßigerweise sind alle Armpaare 39, 39′ bzw. 40, 40′ bzw. 41, 41′ gleich lang ausgebildet, so daß bei etwa gleich schweren Roh- bzw. Aufwickeln 35, 36 ein problemloses Rangieren bzw. Be- und Entladen der An­ lage möglich ist. An der Gabel 38 ist schließlich eine Arretiervorrichtung 46 angeordnet, über die die Schwenk­ achse 44 der Armpaare 39, 40, 41 gegen unbeabsichtigtes Verdrehen gesichert werden kann.
Auflistung der Einzelteile
 3 Platine
 4 Platine
 5 Umlenkrolle
 6 Spannrolle
 7 Umlenkrolle
 8 Umlenkrolle
 9 Breitstreckrolle
10 Umlenkrolle
11 Zugmeßrolle
12 Zugrolle
13 Meßwalze
14 Umlenkrolle
15 Breitstreckrolle
16 Zugmeßrolle
17 Umlenkrolle
18 gekühlte Beschichtungswalze
19 Verdampfungsquelle
20 Aluminiumdraht-Spule
21 Verdampfungsschiffchen
22 Fernsehkamera
23 Drahtzuführung
24 Laufschiene
25 Laufschiene
26 Rolle
27 Rolle
28 Beschichtungskammer
29 Wickeleinrichtung
30 Deckel
31 Stirnfläche
32 Hohlzylinder, Gehäuse
33 Transportvorrichtung
34 Rolle
34′ Rolle
35 Aufwickel
35′ Aufwickelrolle
36 Rohwickel
36′ Rohwickelrolle
37 Abwickel
37′ Abwickelrolle
38 Gabel
39, 39′ Armpaar
40, 41′ Armpaar
41, 41′ Armpaar
42, 42′ Lagerauge
43, 43′ Lagerauge
44 Schwenkachse
45 Kammer
46 Arreturvorrichtung
47, 47′ Rolle
48 Aufstandsfläche
49, 49′ Wellstrümpfe
50 Wickelbahn
51 Schaltschrank
52 Stützgestell

Claims (4)

1. Vorrichtung zum Beschichten von Bändern im Vakuum, mit einem Gehäuse (32), mit einem auf mindestens einer Seite angeordneten, abnehmbaren Deckel (30) zum druckdichten Verschließen des Gehäuses und einer Wickeleinrichtung (29), mit zwischen zwei Platinen (3, 4) drehbar gelagerten Umlenk-, Zug­ meß-, Streck- und Spannrollen (5 bis 17), minde­ stens einer Beschichtungsrolle (18) und jeweils mindestens einer Aufwickel- und Abwickelrolle (35′, 37′) sowie einer im Gehäuse (32) ortsfest gehalte­ nen Beschichtungsquelle (19), wobei die beiden Platinen (3, 4) zusammen mit den Rollen (15 bis 18, 35′, 37′) als eine Einheit über ein Laufwerk zum Zwecke des Be- und Entladens soweit verfahrbar sind, daß alle Rollen (15 bis 18, 35′, 37′) von außen frei zugänglich sind, gekennzeichnet durch eine quer zu den Laufschienen (24, 25) des Laufwerks bewegbare Transportvorrichtung (33) mit an dieser schwenkbar gelagerten Armpaaren (39, 39′; 40, 40′; 41, 41′), deren Schwenkachse (44) parallel zu den Laufschie­ nen (24, 25) angeordnet ist, wobei die freien Enden der Armpaare (39, 39′; 40, 40′; 41, 41′) mit Lager­ augen (43, 43′) zur Halterung von je einem Rohwickel (36) und einem Aufwickel (35) ausgestattet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportvorrichtung auf Rollen (34, 34′ bzw. 47, 47′) bewegbar ist, wobei der Abstand (a), den die Schwenkachse (44) für die Armpaare (39, 39′; 40, 40′; 41, 41′) von der Aufstandsfläche (48) aufweist, so be­ messen ist, daß das sich unter einem Winkel von 45° zur Aufstandsfläche schräg nach oben zu erstreckende Armpaar (39, 39′) mit seinen Lageraugen bis an die Lagerstellen (49, 49′) für die Aufwickelrolle (35,) reicht, während das zweite, sich schräg nach unten zu erstreckende Armpaar (40, 40′) gleichzeitig bis an die Lagerstellen der Abwickelrolle (37′) reicht.
3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Armpaare (39, 39′; 40, 40′; 41, 41′) gleich lang bemessen sind und der Abstand (b), den die Lageraugen des ersten Armpaares (39, 39′) von den Lageraugen des zweiten Armpaares (40, 40′) aufweist, dem Abstand (c) zwischen den Lageraugen des zweiten und denen des dritten Armpaares (41, 41′) entspricht.
4. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen, ge­ kennzeichnet durch eine zwischen den Armpaaren (39, 39′; 40, 40′; 41, 41′) einerseits und der Gabel (38) zur Halterung der Schwenkachse (44) andererseits an­ geordnete Arretiervorrichtung (46), die geeignet ist, die Armpaare (39, 39′; 40, 40′; 41, 41′) gegen ein Verschwenken um ihre gemeinsame Achse (44) zu blok­ kieren.
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