DE3716763C2 - Photoakustischer Gasanalysator - Google Patents

Photoakustischer Gasanalysator

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Description

Die Erfindung betrifft einen photoakustischen Gasanalysator nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1, wie er aus Journal of Appleid Physics, Vol. 45, 1974, Seiten 4350-4355 bekannt ist.
Das Meßverfahren nutzt die Tatsache aus, daß Moleküle Licht, z. B. Infrarotlicht bestimmter Wellenlänge, absorbieren. Die Lage der Absorptionsbänder ist materialabhängig. Das In­ frarotlicht wird moduliert, und in der Meßkammer wird ein akustisches Signal erzeugt, welches proportional zur Konzen­ tration ist und dieselbe Frequenz wie die Modulationsfre­ quenz aufweist.
Ein bekanntes Verfahren zum Messen von Gaskonzentrationen ist das Transmissionsverfahren (US 3562524). Dieses Verfahren basiert darauf, wieviel Licht beim Passieren einer Gaszelle gedämpft wird, da der Unterschied der Lichtstärke, jeweils mit und ohne das betreffende Gas in der Zelle gemes­ sen, ein Maß für die Gaskonzentration darstellt. Meßge­ nauigkeiten sind jedoch bei kleinen Gaskonzentrationen bei diesem Verfahren verhältnismäßig groß.
Der obengenannte Nachteil wird beim photoakustischen Meßver­ fahren vermieden, da das Signal in diesem Fall direkt pro­ portional zur Gaskonzentration ist und nicht, wie beim Transmissionsverfahren, die Differenz zwischen zwei beinahe gleich großen Meßgrößen. Dieses Verfahren eignet sich daher besonders zur Messung geringer Gaskonzentrationen, deren Lichtstärke in der Meßkammer ausreichend hoch ist, da das Signal auch proportional zur Lichtstärke ist.
Ein bekanntes photoakustisches Meßverfahren mit hoher Emp­ findlichkeit verwendet einen Laser als Lichtquelle (Fig. 1). Dabei nützt man sowohl die hohe Lichtstärke beispielsweise eines Kohlendioxidlasers als auch die Parallelität des aus­ gesendeten Lichts aus. Die Laserlichtquelle ist jedoch be­ züglich der Änderungen der Wellenlänge nicht sehr flexibel. Darüber hinaus ist ein Hochleistungslaser, wie der Kohlen­ dioxidlaser, groß, schwer und teuer und somit nicht für die Massenproduktion geeignet.
Der mit einem Laser arbeitende photoakustische Gasanalysator, von dem im Oberbegriff des Anspruchs 1 ausgegangen wird, ist aus dem eingangs genannten Journal of Applied Physics, Vol. 45, 1974, S. 4350-4355, insbes. Fig. 5, bekannt. Bei diesem Gasanalysator hat die Meßkammer eine zylindrische Form, wobei die Stirnwände als gekrümmte Spiegel ausgebildet sind, um den Laserstrahl mehrfach in Längsrichtung der Meßkammer zu reflektieren. Die zylindrische Seitenwand, die bei der Reflexion des Laser­ strahls nicht beteiligt ist, wird aus Aluminium hergestellt.
Man könnte sich vorstellen, daß das beinahe parallele Licht, eine Voraussetzung bei dem bekannten, photoakustischen Ver­ fahren, auch von einem anderen Lichtquellentyp stammen kann, so z. B. von einer thermischen Lichtquelle oder einer Spek­ trallampe anstatt der Laserlichtquelle. Dadurch würde man eine höhere Flexibilität bezüglich der Wahl der Wellenlänge erzielen, z. B. mittels Verwendung optischer Filter zur Se­ lektion des gewünschten Wellenlängenbereichs. Eine solche Lichtquelle ist außerdem klein, leicht und billig und eignet sich somit gut für die Massenproduktion. Die Lichtstärke eines beinahe parallelen Strahlenbündels aus einer solchen Lichtquelle ist jedoch ausgesprochen gering, da die Licht­ stärke proportional zu sin²θ ist, wobei θ für den Diver­ genzwinkel des Lichts steht.
Es sind bereits Gasanalysatoren bekannt, bei denen eine her­ kömmliche Lichtquelle wie z. B. eine Glühlampe in Verbindung mit einem Parabolspiegel verwendet wird, so daß die Licht­ strahlung in die Meßkammer divergierend einfällt, vgl. die US 3 562 524 und die Firmenschrift der Brüel & Kjar GmbH, Naerum, Dänemark "Gift­ gaswächter Typ 1306, Impressum BG 0485-11. Bei dem Gasanaly­ sator nach der US 3 562 524 ist die Meßkammer kugelförmig ausgebildet, wobei die Innenfläche der kugelförmigen Wand lichtreflektierend ausgebildet ist.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen photoakustischen Gasana­ lysator gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 so weiterzubilden, daß eine hohe Empfindlichkeit er­ reicht wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Bei dem erfindungsgemäß ausgebildeten photoakustischen Gas­ analysator wird das Licht, das in die Meßkammer divergierend einfällt, von den Wänden wiederholt reflektiert, bevor es wieder austritt. Hierdurch wird eine Lichtstärkeverstärkung mit maximal Faktor 4 erzielt. Als Beispiel kann eine kugel­ förmige Meßkammer genannt werden, wenngleich die Meßkammer aus einem hohlen Körper beliebiger Form bestehen kann. Da ferner alle Wände der Meßkammer aus dem Material hoher Wär­ meleitfähigkeit und der lichtreflektierenden Schicht beste­ hen, werden störende Hintergrundsignale auf ein Minimum re­ duziert.
Eine weitere Lichtstärkeverstärkung kann mit Hilfe eines Lichtkonzentrators erreicht werden, der die Eigenschaft hat, die Zuführung von Licht mit einem Einfallswinkel θ < θmax zu ermöglichen. Das Licht wird herausreflektiert, wenn θ < θmax. Die Divergenz des aus dem Konzentrator austretenden Lichts wie auch dessen Lichtstärke sind somit erhöht.
In einem Infrarotgasanalysator, bei dem die Meßkammer an zwei grundsätzlich identische Mikrophone angeschlossen ist, können Schwingungen kompensiert werden, wenn die zwei identischen Mikrophone symmetrisch zum Schwerpunkt der in der Meßkammer eingeschlossenen Gasmenge angebracht sind und die Signale von den zwei Mikrophonen addiert werden.
Wird der Umwandler mit einem zusätzlichen optischen Filter (Referenzfilter) und einer Anordnung zum Auswechseln der zwei Filter versehen, kann man den Einfluß von Störsignalen, beispielsweise von Hintergrundsignalen, Signalen von even­ tuell störenden Gasen sowie von Wasserkontinuumsignalen kompensieren. Letzteres Signal stammt von einer schwachen Breitbandabsorption in Wasserdampf, der sogenannten Wasser­ kontinuumabsorption.
In einer anderen Ausführungsform der obengenannten Refe­ renzfilterkompensation werden der Modulator und die zwei Filter zu einer rotierenden Einheit, dem sogenannten diffe­ rentiellen Filtermodulator, zusammengefaßt. Dadurch spart man die getrennt angebrachte, mechanische Filterauswechsel­ anordnung. Außerdem wird das Signal-Geräusch-Verhältnis um 6 dB verbessert.
Anstatt der Verwendung eines getrennt angebrachten Refe­ renzfilters kann der Ausgleich des Wasserkontinuumsignals auch über eine photoakustische Messung der Wasserkonzentra­ tion unter Verwendung einer elektrisch modulierten Glühlampe als Lichtquelle erfolgen. Dieses Verfahren basiert auf der Tatsache, daß die spektrale Verteilung des Glühlampenlich­ tes, die durch die spektrale Verteilungscharakteristik der Glühlampe und der Transmissionscharakteristik des Lampen­ glases bestimmt ist, mit einem Absorptionsband im Wellen­ längenbereich 1,5-2,7 µ zusammenfällt. Dieses Verfahren ist einfach und billig.
In einer anderen Ausführungsform sind akustische L.P. Filter vorgesehen, die von außen kommende Störsignale mit Hilfe der Modulationsfrequenz kräftig unterdrücken. Dadurch wird eine kontinuierliche Messung während des Gasdurchstroms ermöglicht, was eine kurze Reaktionszeit mit sich führt. Die Empfindlichkeit wird dadurch allerdings auch verringert.
In einer besonders geeigneten Ausführungsform der akusti­ schen Filter besteht die akustische Kapazität aus einer Seitenkammer, die nicht vom zu messenden Gas durchströmt werden soll. Dadurch kann man eine kräftige Unterdrückung mittels der Modulationsfrequenz erreichen, ohne daß man aus diesem Grund auf die kurze Reaktionszeit verzichten muß.
Wird der Umwandler mit einer Anzahl optischer Filter sowie einer mechanischen Anordnung zum aufeinanderfolgenden Ein­ schalten derselben versehen, kann man eine folgeabhängige Messung der Gaskonzentration in einer Mischung aus mehreren Gasen vornehmen. Eine schnelle, gleichzeitige Messung von verschiedenen Gasen kann dadurch erreicht werden, daß der Umwandler so beschaffen ist, daß das Licht zwischen einer Anzahl fest angebrachter, optischer Filter verteilt wird und gleichzeitig der Modulator so beschaffen ist, daß das diesen Filtern entsprechende Licht mit ihrer jeweiligen Frequenz moduliert wird. Die den verschiedenen Gasen ent­ sprechenden Signale werden mittels elektrischer Filtrierung des Mikrophonsignals getrennt.
Der Infrarotgasanalysator kann auch mit einer paramagne­ tischen Meßausrüstung unter Verwendung derselben Mikrophone kombiniert werden. Der paramagnetische Gasanalysator kann dann zur Messung des Sauerstoffgehalts verwendet werden, wohingegen der Infrarotgasanalysator zur Messung der übrigen Gasgehalte verwendet werden kann.
Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Zeichnungen er­ läutert. Es zeigen
Fig. 1 eine bekannte photoakustische Meßvorrichtung mit Laserlicht,
Fig. 2 eine Meßkammer mit reflektierenden Wänden, die die Anwendung von divergentem Licht von einer thermischen Licht­ quelle ermöglicht,
Fig. 3 eine andere Ausführungsform der Meßkammer,
Fig. 4 eine Meßkammer mit Konzentrator,
Fig. 5 eine nicht im Schutzbereich des Patentes liegende Meßkammer aus transparentem, nichtleitendem Material mit reflektierender Schicht an der Außenseite,
Fig. 6 eine Schwingungskompensationsanordnung mit zwei Mikrophonen,
Fig. 7 einen differentiellen Filtermodulator,
Fig. 8 eine Meßkammer mit Magnetventilen oder akustischem L.P. Filter in den Zuleitungen,
Fig. 9a und 9b akustische Filter,
Fig. 10 einen photoakustichen Umwandler für die gleichzei­ tige Messung mehrerer Gase in einem Gasgemisch,
Fig. 11 den Modulator aus Fig. 10, Vorderansicht,
Fig. 12 eine Meßkammer in der Perspektive und
Fig. 13 einen photoakustischen Gasanalysator zusammen mit einem paramagnetischen Gasanalysator.
Der in Fig. 10 gezeigte Gasanalysator besteht aus einer Meßkammer 2 und einer Lichtquelle 4. Zwischen der Meßkammer 2 und der Lichtquelle 4 ist ein Modulator 6 und ein Filter 8 angebracht. Der Modulator 6 besteht aus einer rotierenden Scheibe mit Lochungen 7 (Fig. 11). Der Modulator 6 bewirkt das Aussenden eines pulsierenden Lichtstroms zur Meßkammer. Aufgrund der Absorption in der Meßkammer 2 und der dadurch auftretenden Erwärmung der in der Meßkammer eingeschlossenen Gase, wird ein akustisches Signal in der Meßkammer 2 er­ zeugt. Dieses Signal wird mit Hilfe des Mikrophons 10 er­ faßt, das mit der Meßkammer verbunden ist. Das akustische Signal ist proportional zur Konzentration des zu unter­ suchenden Gases und hat eine der Modulatorfrequenz ent­ sprechende Frequenz.
Fig. 11 zeigt einen Modulator 6 zusammen mit fest ange­ brachten Filteröffnungen 11a, 11b und 11c, der Infrarotlicht der Wellenlängen, die N₂O, CO₂ bzw. Anästhetika absorbieren, aussendet. Das Licht wird mit drei verschiedenen Frequenzen gleichzeitig moduliert. Dadurch wird das gleichzeitige Messen von drei verschiedenen Gaskonzentrationen ermög­ licht.
Der Schalldruck des akustischen Signals ist
Dabei gilt:
I = mittlere Lichtstärke in der Meßkammer
C = Gaskonzentration
K = Absorptionskoeffizient
ω = Modulationsfrequenz
wobei CP die Wärmemenge darstellt,
die zugeführt werden muß, um ein Mol der zu untersuchenden Gasart bei konstantem Druck um ein Grad zu erwärmen (Molwärme CP) und CV die Wärmemenge darstellt, die zugeführt werden muß, um ein Mol der zu untersuchenden Gasart bei konstantem Volumen um ein Grad zu erwärmen (Molwärme CV).
Die Empfindlichkeit ist somit proportional zur Lichtstärke I und umgekehrt proportional zur Modulationsfrequenz ω Die Formel gilt jedoch, je nach Kammergröße, nur bis zu einer bestimmten minimalen Grenzfrequenz.
Um die Empfindlichkeit zu erhöhen, ist man somit auch an der Erhöhung der Lichtstärke interessiert.
Fig. 3 zeigt eine sphärische Meßkammer 12 mit einem ver­ hältnismäßig kleinen Fenster 13. Das Licht von der Licht­ quelle wird mit Hilfe eines Spiegels fokussiert. Das Licht ist hochdivergent, was gleichbedeutend mit einer hohen Lichtstärke des einfallenden Lichts ist. Die innere Ober­ fläche der sphärischen Meßkammer 12 ist poliert und mit einem im gewünschten Wellenlängenbereich reflektierenden Material (Gold, Rhodium) beschichtet. Das Licht, das in die Meßkammer 12 einfällt, wird wiederholt reflektiert, bevor es wieder austritt. Dadurch wird die Lichtstärke in der Meßkammer 12 im Vergleich zur einfallenden Lichtstärke maximal um das vierfache verstärkt. Mit divergent einfallen­ dem Licht zusammen mit einer Verstärkung mittels Vielfachre­ flexion erzielt man eine hohe Empfindlichkeit. Dieses Ver­ fahren setzt eine hohe Reflexionsfähigkeit voraus, sowohl um so weit wie möglich eine maximale Verstärkung zu errei­ chen, als auch um das Hintergrundsignal zu verringern, das unweigerlich aufgrund der teilweisen Lichtabsorption durch die Wände der Meßkammer auftritt. Das Hintergrundsignal kann auch durch die geeignete Wahl des Wandmaterials (Tel­ lurkupfer, Kupfer) verringert werden. Ein solches Material muß eine hohe Wärmeleitfähigkeit sowie eine hohe Wärmeka­ pazität aufweisen.
Eine weitere Lichtstärkeverstärkung kann mit Hilfe eines Konzentrators, der sich an den Öffnung der Meßkammer be­ findet (Fig. 4), erzielt werden. Ein Konzentrator hat die Eigenschaft, Licht mit einem Einfallswinkel θ < θmax passie­ ren zu lassen. Wenn θ < θmax wird das Licht wieder heraus­ reflektiert. Die Divergenz des aus dem Konzentrator austre­ tenden (und in die Meßkammer einfallenden) Lichts ist höher genauso wie die Lichtstärke
Das aus dem Konzentrator austretende Licht kann divergenter sein (bis zu ) als das mit Hilfe einer Linse erreichte.
Der differentielle Filtermodulator besteht aus zwei rotie­ renden, optischen Filtern, z. B. wie in der in Fig. 7 gezeig­ ten Anordnung mit zwei halbmondförmigen Filtern, dem Proben­ filter bzw. dem Referenzfilter. Der Referenzfilter kann entweder das Hintergrundsignal, Signale von störenden Gasen oder das Wasserkontinuumsignal kompensieren.
An Stelle des differentiellen Filtermodulators kann auch folgeabhängig gemessen werden: zuerst wird der eine Filter, dann der andere Filter eingeschaltet und anschließend arith­ metisch kompensiert. Die Vorteile des Filtermodulators sind, daß eine Filterauswechselanordnung unnötig wird und daß ein um 6 dB besseres Signal-Störgeräusch-Verhältnis im selben Meßzeitraum erzielt wird (3 dB aufgrund der Aus­ nutzung der dunklen Intervalle des Modulators und 3 dB aufgrund der direkten Differenzmessung).
In einer herstellungsfreundlichen Ausführungsform wird eine zylindrische Meßkammer verwendet (Fig. 2). Eine solche Kammer ist leicht zu polieren, verringert allerdings auch die Lichtstärkeverstärkung verglichen mit der kugelförmigen Ausführungsform um die Hälfte.
Fig. 12 zeigt eine perspektivisch dargestellte Meßkammer. Man sieht, daß die Möglichkeit für die Anbringung eines optischen Filters vor der Meßkammer besteht. Die Meßkammer befindet sich vorzugsweise in einem Block aus Tellurkupfer, da dieses Material leichter zu bearbeiten ist als reines Kupfer. Die inneren Wände der Meßkammer sind vorzugsweise mit Nickel oder Gold beschichtet.
Um das Wasserkontinuumsignal kompensieren zu können, ist eine Messung der Wasserkonzentration notwendig. Diese er­ folgt photoakustisch (mit Hilfe von Mikrophonen und einer elektrisch modulierten Glühlampe, deren Frequenzcharak­ teristik zum 2,7 µ-Band des Wassers paßt), wobei anschlie­ ßend eine arithmetische Kompensation ausgehend von den Charak­ teristika der jeweiligen Filter erfolgt. Die maximale Grenz­ frequenz des Lampenglases liegt bei 3 µ und wird somit vom CO₂-Band bei 4,27 µ nicht wesentlich beeinflußt. Ein op­ tischer Filter wird damit unnötig. Mit Hilfe einer elek­ trisch modulierten Glühlampe vermeidet man außerdem das mechanische Auswechseln der Filter.
Die Wasserkontinuumabsorption ist eine Breitbandabsorption in Wasserdampf. Sie variiert "weich" mit der Wellenlänge und ist, im Gegensatz zum eigentlichen Absorptionsband, das eine Linienstruktur aufweist und dessen Absorption proportional zur Konzentration ist, im großen und ganzen proportional zur Wasserdampfkonzentration in der zweiten Potenz.
Die oben beschriebenen Ausführungsformen sind Schwingungen gegenüber empfindlich. Diese Schwingungsempfindlichkeit beruht sowohl auf der Membranmasse des Mikrophons (daher muß die Membran dünn sein) als auch auf der in der Meßkammer eingeschlossenen Gasmenge. Um diese Empfindlichkeit herab­ zusetzen, werden zwei Mikrophone 15 und 16 verwendet. Die zwei Mikrophone werden (Fig. 6) einander gegenüber und dar­ überhinaus symmetrisch zum Schwerpunkt der eingeschlosse­ nen Gase angeordnet. Die Signale der zwei Mikrophone 15 und 16 werden addiert, wodurch der Schwingungsbeitrag weg­ fällt. Dies erfordert identische Mikrophone, damit gleich­ zeitig sowohl die Schwingungssignale des Gases als auch die der Membran kompensiert werden können. Darüber hinaus bewirkt diese Anordnung eine Erhöhung der Signalstärke um 6 dB sowie eine Verbesserung des Signal-Störgeräusch-Verhält­ nisses um 3 dB.
Das jeweilige Mikrophon kann darüber hinaus so beschaffen sein, daß der Druckausgleichskanal mit der Meßkammer ver­ bunden ist und nicht nach außen geht. Dies erfolgt aufgrund der Dämpfung der von außen kommenden, akustischen Störungen.
Als Beispiel für die hohe Lichtstärke, die mit divergentem Licht aus einer thermischen Lichtquelle in die Meßkammer gesendet werden kann, kann genannt werden, daß bei 9,8 µ und einer Bandbreite von 0,7 µ ca. 13 mW erzielt werden.
Fig. 13 stellt eine photoakustische Meßanordnung in Ver­ bindung mit einer paramagnetischen Meßanordnung dar. Dabei wird ausgenutzt, daß in beiden Fällen dieselben Mikrophone verwendet werden können. Das photoakustische Meßverfahren ist besonders zur Messung beispielsweise des N₂O-Gehalts geeignet, während sich das paramagnetische Meßverfahren besonders zur Messung des Sauerstoffgehalts eignet.
Zur Ausschaltung unerwünschter akustischer Signale in den Zuleitungen zur Meßkammer können dort vorteilhaft akustische Filter angebracht werden. Die akustischen Filter bestehen aus akustischen RC-Gliedern. Fig. 9a zeigt ein konventio­ nelles, akustisches RC-Glied, während Fig. 9b ein akusti­ sche RC-Glied darstellt, bei dem die akustische Kapazität durch eine Seitenkammer dargestellt wird. Ein großer Vorteil einer solchen Seitenkammer ist die Erzielung einer hohen akustischen Dämpfung ohne die Herabsetzung der Reaktions­ zeit. Dadurch wird eine schnelle Messung mehrerer Gase mit einer Zeitkonstante von wenigen Zehnteln einer Sekunde ermöglicht.

Claims (13)

1. Photoakustischer Gasanalysator, mit
  • - einer Meßkammer zur Aufnahme des zu untersuchenden Gases, die gekrümmte lichtreflektierende und gekrümmte, aus einem Material hoher Wärmeleitfähigkeit bestehende Wände und ein Lichteinlaßfenster aufweist,
  • - einer mit einen Modulator mit einer vorbestimmten Frequenz modulierbaren Lichtquelle zur Erzeugung einer vom zu untersuchenden Gas absorbierbaren Lichtstrahlung infolge ihrer Mehr­ fachreflexion in der Meßkammer,
  • - mindestens einem Mikrophon zur Messung der Druckände­ rung infolge der Absorption der Lichtstrahlung im zu untersuchenden Gas, und mit
  • - einer Auswerteeinrichtung,
dadurch gekennzeichnet, daß
  • - alle Wände der Meßkammer aus dem Material hoher Wärme­ leitfähigkeit und einer lichtreflektierenden Schicht bestehen, und daß
  • - die Lichtstrahlung zur Erzeugung der Mehrfachreflexion divergierend in die Meßkammer einfällt.
2. Photoakustischer Gasanalysator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Material hoher Wärmeleitfä­ higkeit Kupfer oder Tellurkupfer ist, und die lichtreflek­ tierende Schicht aus Gold oder Nickel besteht.
3. Photoakustischer Gasanalysator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßkammer zylin­ drisch oder kugelförmig ausgebildet ist.
4. Photoakustischer Gasanalysator nach einem der vor­ hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich die reflektierende Schicht außen auf der Meßkammer befindet.
5. Photoakustischer Gasanalysator nach einem der vor­ hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Meßkammer ein Lichtkonzentrator angeordnet ist.
6. Photoakustischer Gasanalysator nach einem der vor­ hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein wei­ teres identisches Mikrophon symmetrisch zum ersten Mikrophon an der Meßkammer angebracht ist, und daß die Signale der zwei Mikrophone addiert werden.
7. Photoakustischer Gasanalysator nach einem der vor­ hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Licht­ weg eine Anzahl fest angebrachter optischer Filter angeord­ net ist, und daß der Modulator so ausgebildet ist, daß das diesen Filtern entsprechende Licht mit jeweils verschiedener Frequenz moduliert wird.
8. Photoakustischer Gasanalysator nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Modulator und die Filter zu einer optischen Einheit zusammengefaßt sind.
9. Photoakustischer Gasanalysator nach einem der vor­ hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in Zulei­ tungen zur Meßkammer jeweils ein akustischer Filter in Form eines oder mehrerer akustischer RC-Glieder angebracht ist.
10. Photoakustischer Gasanalysator nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der akustische Filter ein aku­ stisches RC-Glied mit Seitenkammer ist.
11. Photoakustischer Gasanalysator nach einem der vor­ hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Kom­ pensation einer Wasserkonzentration eine photoakustische Messung mittels eines Mikrophons und einer elektrisch modu­ lierten Glühlampe durchführbar wird ist.
12. Verwendung des photoakustischen Gasanalysators nach einem der vorhergehenden Ansprüche in Verbindung mit einem paramagnetischen Gasanalysator.
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