DE4411853C2 - Optoakustischer Gassensor zur gleichzeitigen Detektion von mehreren Komponenten eines Gasgemisches - Google Patents
Optoakustischer Gassensor zur gleichzeitigen Detektion von mehreren Komponenten eines GasgemischesInfo
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- DE4411853C2 DE4411853C2 DE19944411853 DE4411853A DE4411853C2 DE 4411853 C2 DE4411853 C2 DE 4411853C2 DE 19944411853 DE19944411853 DE 19944411853 DE 4411853 A DE4411853 A DE 4411853A DE 4411853 C2 DE4411853 C2 DE 4411853C2
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Description
Die Erfindung betrifft einen optoakustischen Gassensor zur
gleichzeitigen Detektion von mehreren Komponenten eines
Gasgemisches gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Derartige Sensoren sind beispielsweise aus der DE
37 16 763 A1 bekannt. Die dort beschriebene Anordnung besteht
aus einer innen verspiegelten Meßkammer, welche mit einem
Gasgemisch befüllt werden kann, das ein zu detektierendes
Gas zumindest anteilig enthält. Durch ein an der Meßkammer
angeordnetes optisches Fenster wird moduliertes Licht
eingestrahlt, welches durch einen geeigneten optischen
Filter auf einen bestimmten Wellenlängenbereich begrenzt
ist. Der verwendete Wellenlängenbereich wird dabei durch
eine ausgewählte Absorptionswellenlänge des zu
detektierenden Gases bestimmt.
Durch die Absorption des eingestrahlten Lichtes kommt es zu
einer Temperaturerhöhung des Gases und damit zu einer
Drucksteigerung innerhalb, der Meßkammer. Die Verwendung
einer modulierten- Lichtquelle erzeugt bei einer geeigneten
Abstimmung zwischen der Modulationsfrequenz des
eingestrahlten Lichtes und den thermischen Eigenschaften von
-Meßkammerwerkstoff und -geometrie Temperatur- bzw.
Druckschwankungen innerhalb der Meßkammer. Mittels eines an
das Volumen in der Meßkammer akustisch angekoppelten
Mikrofons können diese Druckschwankungen detektiert und mit
einer üblichen elektronischen Schaltung ausgewertet werden.
Zwischen der Höhe der Druckschwankungen und der
Konzentration des zu detektierenden Gases besteht ein
direkter, nicht völlig linearer Zusammenhang.
Der oben genannten Offenlegungsschrift ist weiter entnehmbar, daß in
einem Abstand vor dem Fenster der Meßkammer auch mehrere
optische Filter angeordnet werden können, deren
Durchlaßbereiche verschiedenen zu detektierenden Gasen
zugeordnet sind. Dabei wird die Strahlung aus einer vor den
Filtern angeordneten Lichtquelle durch eine zwischen diesen
Filtern und der Lichtquelle angebrachten, rotierenden
Lochscheibe mit für jeden Filter unterschiedlichen
Frequenzen moduliert. Eine elektronische,
modulationsfrequenzselektive Auswertung des Mikrofonsignals
erlaubt damit die zeitlich- parallele Messung der
Konzentrationen mehrerer zu detektierender Gaskomponenten.
Ein derartiger Sensoraufbau führt durch die notwendigen
Abstände zwischen den verschiedenen optischen Komponenten im
Lichtweg in Umgebungen, die ebenfalls Komponenten der zu
detektierenden Gase enthalten, zu Fehlmessungen, da durch im
Lichtweg befindliche absorbierende Gaskonzentrationen
(außerhalb der Meßkammer) die in die Meßkammer eingestrahlte
Lichtintensität selektiv verringert wird. Außerdem wird
durch die herstellungsbedingte Geometrie der nebeneinander
anzuordnenden optischen Filter ein für die elektronische
Auswertung der Drucksignale ungünstiger Verlauf der
Lichtmodulation bewirkt, der nur durch eine komplexe,
fertigungstechnisch schwierig zu verwirklichende Form der
Durchbrüche in der Lochscheibe kompensiert werden kann.
Aus der DE-OS 19 48 192 ist eine Anordnung zur Bestimmung
einer einzelnen Komponente eines Gasgemisches mittels eines
Strahlungsempfängers durch Differenzbildung zwischen der
Strahlungsabsorption des Meßgasgemisches und eines die zu
bestimmende Komponente nicht oder in bekannter Konzentration
enthaltenden Vergleichsgases oder -gasgemisches bekannt.
Dazu wird bspw. Luft, dessen Komponente Wasserdampf gemessen
werden soll, einer ersten Meßküvette direkt und einer
zweiten Meßküvette über einen Lufttrockner zugeführt. Die
beiden Meßküvetten werden von einem einzelnen
Infrarotstrahler mit Hilfe zweier geeigneter Spiegel
durchstrahlt. Die beiden Strahlenbündel treten durch - den
Einstrahlfenstern gegenüberliegende - Ausstrahlfenster
wieder aus und fallen danach auf ein Array von
strahlungsempfindlichen Widerständen in Brückenschaltung.
Die Differenz zwischen den Intensitäten der aus den beiden
Küvetten austretenden Strahlung ist ein Maß für den
Wasserdampfanteil in der zu messenden Luft und wird mittels
des Widerstandsdetektors und mit elektronischen Mitteln
weiter ausgewertet.
Die Fenster am Strahlungsein- und -auslaß wirken dabei
jeweils zusammen als Bandfilter; das heißt, es werden
jeweils Bandkantenfilter eingesetzt, die erst in Kombination
einen mehr oder weniger schmalbandigen Wellenlängenbereich
durchlassen, in welchem das zu detektierende Gas absorbiert.
Aus der US 4 420 687 ist ein weiterer nicht dispersiver
Infrarotabsorptions-Gasanalysator bekannt, der mittels zweier
Meßküvetten die Differenz der Absorptionen in einem Meßgas
und einem Referenzgas ermittelt. Dabei wird mittels einer
rotierenden Blendenscheibe mit zwei koaxial und
gegeneinander versetzt angeordneten Reihen von Öffnungen
abwechselnd die Meßgasküvette und die Referenzgasküvette von
einer Infrarotquelle durchstrahlt. Um die Absorption in
beiden Küvetten absolut vergleichbar zu gestalten, werden
die Öffnungen der rotierenden Blende so auf die
strahlbegrenzenden Durchlässe der Küvetten abgestimmt, daß
bei einer Verwendung von Referenzgas als Meßgas die IR-
Signale am für beide Küvetten gemeinsamen IR-Detektor
identisch sind. Diese spezielle Ausformung der Öffnungen in
der rotierenden Blende ist in gleicher Weiser nachteilig,
wie eingangs bei der DE 37 16 763 A1 erläutert.
Aus DE 82 29 505 U1 ist ein optisches Gasanalysegerät
entnehmbar, bei welchem in einem Metallgehäuse runde
optische Fenster eingebaut sind, die mittels eines
umfänglich angeordneten Dichtungsringes aus dauerelastischem
Material gegen das Gehäuse abgedichtet werden. Die
Dichtungsringe sind in eine abgesetzte Ausnehmung in der
Wandung des Metallgehäuses eingelegt. Ein Haltering drückt
das Fenster gegen das Dichtungsmaterial.
Die Zeitschrift tm-Technisches Messen, Heft 7/8, 1993, S.
296-301 zeigt in Bild 7.44 und zugehöriger Beschreibung
einen nicht dispersiven Infrarotabsorptions-Gasanalysator, der mittels
zweier Meßküvetten die Differenz in der Absorption in einem
Meßgas und einem Referenzgas ermittelt (analog zum oben
bereits beschriebenen Stand der Technik). Dabei wird im
genannten Bild ein einen Teil des IR-Weges (Quelle,
Interferenzfilter, optisches Eintrittsfenster)
umschließendes Gehäuse gezeigt, welches direkt auf der
Meßküvette sitzt. Eine Luftdichtheit dieses Gehäuses ist
nicht erkennbar; der Beschreibung dazu ist aber entnehmbar,
welche Störungen atmosphärische Beimischungen bei der
Messung, z. B. im genannten Lichtweg hervorrufen können.
Aus DD 1 59 367 B3 ist ebenfalls ein nicht dispersiver
Infrarotabsorptions-Gasanalysator bekannt, dessen Küvetten
spiegelsymmetrisch bezüglich eines gemeinsamen IR-Detektors
angeordnet sind. Der technische Sinn ist dabei weitestgehend
identisch mit dem der US 4 420 687, jedoch wurde eine andere
geometrische Anordnung zur Adaption der beiden Strahlenwege
gewählt.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es nun, einen
fertigungstechnisch einfach zu realisierenden
optoakustischen Gassensor zur gleichzeitigen Detektion mehrerer
Komponenten eines Gasgemisches aufzuzeigen, welcher durch
einfache Maßnahmen im optischen Weg für alle zu messenden
Gaskomponenten bezüglich des gewünschten Meßbereichs
optimierbar ist. Gleichzeitig soll dieser optoakustische
Gassensor durch in der Umgebung enthaltene gleiche
Gaskomponenten nicht oder nur in einem geringen Umfang
beeinflußt werden.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird ein optoakustischer Gassensor
der eingangs genannten Art mit den Merkmalen des Kennzei
chens des Anspruches 1 ausgestaltet.
Durch diese Maßnahmen wird einerseits das zu durchstrahlende
Volumen im Lichtweg zwischen der Lichtquelle und dem Ein
tritt in die Meßkammer minimiert, so daß eine dort mögliche
Verringerung der eingestrahlten Lichtintensität durch in
einem relevanten Wellenlängenbereich absorbierende Gaskompo
nenten vermieden oder zumindest auf ein (gegenüber der Ab
sorption innerhalb der Meßkammer) vernachlässigbares Maß zu
rückgeführt wird. Andererseits ergibt sich durch die Kombi
nation des optischen Fensters mit den optischen Filtern eine
erhebliche Vereinfachung des Sensoraufbaus und der mechani
schen Justage der verschiedenen Komponenten bei der Ferti
gung.
Weitere Vorteile ergeben sich durch die mögliche Ausgestal
tung der einzelnen Blendenöffnungen für die unterschiedli
chen optischen Filter. Durch eine entsprechende Formgebung
kann zum einen erreicht werden, daß die Intensität des ein
gestrahlten modulierten Lichtes annähernd eine Trapezform
aufweist, d. h., die eingestrahlte Intensität ist über einen
langen Zeitraum (relativ zum Puls-Pausen-Verhältnis der Mo
dulation) konstant, was die elektronische Auswertung des
Sensorsignals erheblich vereinfacht; zum anderen ist es mög
lich, durch die Vorgabe von Blendenöffnungsverhältnissen die
spektrale Intensitätsverteilung der Lichtquelle oder aber
die unterschiedliche Absorption der zu detektierenden Gas
komponenten so zu korrigieren, daß für die den einzelnen
Gaskomponenten zugeordneten Ausgangssignale ähnliche Signal
pegel am Mikrofonausgang erreicht werden können.
In einer weiteren Ausgestaltung, die bevorzugt eingesetzt
werden kann, wenn die Konzentration einer zu detektierenden
Gaskomponente außerhalb der Meßkammer in einer gleichen Grö
ßenordnung oder sogar höher wie innerhalb der Meßkammer lie
gen kann, wird der gesamte Strahlungsweg zwischen Licht
quelle und Meßkammer durch ein Gehäuse gasdicht gekapselt.
Dies bedeutet hier, daß die Gasaustauschrate mit der Umge
bung so gering gehalten ist, daß ein nennenswerter Anstieg
der Konzentration von zu detektierenden Gasen innerhalb des
Strahlungsweges während der gesamten Dauer eines Meßvorgan
ges (also auch bei Dauermessungen) nicht stattfindet.
Für die Detektion von mehr als zwei unterschiedlichen Gas
komponenten kann vorzugsweise ein symmetrischer Aufbau des
Sensors gewählt werden. Dabei weist die Meßkammer zwei ge
genüberliegende Öffnungen auf, welche jeweils mit der erfin
dungsgemäßen Blende verschlossen werden. Dabei sind jeweils
zwei entsprechend modulierte Lichtquellen vorzusehen. Der
besondere Vorteil ergibt sich dabei daraus, daß eine Vergrö
ßerung der Meßkammer und damit des Meßgasbedarfs bei gleich
bleibenden Flächen für die optischen Filter für die einzel
nen -Gaskomponenten nicht notwendig ist.
Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfin
dung sind den Unteransprüchen und der Beschreibung der
Figuren der Zeichnung entnehmbar.
Im Folgendem wird der erfindungsgemäße optoakustische Gassensor
anhand der Zeichnung näher erläutert. Im einzelnen zeigt
Fig. 1 einen vereinfacht dargestellten optoakustischen Gas
sensor in einer bevorzugten Ausführung,
Fig. 2a ein als Blende mit mehreren optischen Filtern aus
gelegtes optisches Fenster für die Meßkammer des Gas
sensors,
Fig. 2b eine als optisches Fenster nutzbare Öffnung einer
bevorzugten Ausführung der Meßkammer,
Fig. 2c ein Ausführungsbeispiel für die Verbindung zwi
schen Meßkammer und Blende/Gehäuse,
Fig. 3 eine zur Blende aus Fig. 2a bevorzugt verwendbares
Blendenrad zur Strahlungsmodulation und
Fig. 4 einen optoakustischen Gassensor mit einer Meßkammer
mit zwei optischen Fenstern zur Detektion von vier
unterschiedlichen Gaskomponenten.
In Fig. 1 ist ein optoakustischer Gassensor zur Detektion be
stimmter gasförmiger Medien in einer bevorzugten Ausführung
schematisch dargestellt. Gassensor besteht aus einem Sen
sorblock 101 mit einer darin integrierten Meßkammer 102. Der
Sensorblock 101 besteht aus einem metallischen
Werkstoff mit geeigneten thermischen Eigenschaften (z. B.
Kupferlegierung) und besitzt beispielsweise einen Umriß in
Form eines rechtwinkligen sechseckigen Prismas, in welches
senkrecht zu den beiden Basisflächen mittig eine durchgän
gige Bohrung als Meßkammer 102 eingebracht ist.
Die durch diese Bohrung entstandenen Öffnungen 103a, 103b
der Meßkammer 102 in den Basisflächen des Prismas können für
optische Fenster 104 verwendet werden, bzw. werden, wenn -
wie für den in Fig. 1 dargestellten optoakustischen
Gassensor - nur ein optisches Fenster 104 benötigt wird, mit einer Me
tallplatte 105 gasdicht verschlossen (Öffnung 103a).
Die zweite Öffnung 103b wird mittels einer optischen Blende
106 ebenfalls gasdicht verschlossen. Die optische Blende 106
dient als Einlaß für Lichtstrahlung in die Meßkammer 102 und
wird in Fig. 2 detailliert beschrieben.
Weiterhin weist der Sensorblock 101 in den Seitenwänden 107
des Prismas eine Gaseinlaßöffnung 108 und eine Gasauslaßöff
nung 109 auf, die mit entsprechenden Ein- bzw.
Auslaßventilen 110 bestückt sind und in ver
schiedenen Seitenwänden 107 angeordnet sind, um die Durch
strömung der Meßkammer 102 zu optimieren. In
einer dritten Seitenwand 107 des Prismas ist eine Detektor
öffnung 111 angeordnet, in welche ein Druckgradientenwandler
112 (beispielsweise ein auf Modulationsfrequenzen einer in
die Meßkammer 102 strahlenden Lichtquelle 113 abgestimmtes
Mikrophon) gasdicht eingebaut ist. Für den Gasaustausch in
nerhalb der Meßkammer 102 mit dem zu detektierenden Gas ist
es auch möglich, ein oder mehrere Gasaustauschöffnungen
(äquivalent 108, 109) vorzusehen, welche mit gasdurchlässi
gen Membranen verschlossen sind, wobei letztere einen aku
stischen Tiefpaß für die vom modulierten Licht erzeugten
Druckschwankungen innerhalb der Meßkammer 102 bilden.
Vor dem optischen Fenster 104 ist eine bewegliche Blende 115
angeordnet, welche die Lichtstrahlung aus der Lichtquelle
113 mit einer oder mehreren bestimmten Frequenzen moduliert.
Die Lichtquelle 113 besteht dabei aus dem eigentlichen
Strahler (in der Zeichnung nicht dargestellt), welcher in
nerhalb eines Reflektors 116 so angeordnet ist, daß das
emittierte Licht in konzentrierter Form durchs das optische
Fenster 104 in die Meßkammer 102 eingestrahlt wird. Die be
wegliche Blende 115 besteht dabei in der dargestellten
Ausführung aus einem runden Blendenrad 117 mit di
versen Ausbrüchen, deren Geometrie anhand eines Beispiels in
Fig. 3 erläutert wird.
Eine Drehachse 118 des Blendenrades 117 ist drehfest mit
einem elektrischen Antriebsmotor 119 auf der dem optischen
Fenster 104 abgewandten Seite verbunden und weist in die
Richtung der Bohrung der Meßkammer 102, ist jedoch seitlich
über das optische Fenster 104 hinaus versetzt, wobei der
Rand des Blendenrades 117 zumindest die wirksame Fläche der
optischen Blende 106 vollständig überdeckt.
Die Lichtquelle 113 und der Antriebsmotor 119 sind auf einer
Hilfsplatine 114 montiert, welche senkrecht zur Richtung der
Bohrung im Sensorblock 101 ausgerichtet und mit diesem di
rekt oder indirekt ortsfest verbunden ist. Durch diese Maß
nahmen ist der Abstand zwischen der Lichtquelle 113, welche
so montiert wird, daß ihre Lichtaustrittsöff
nung bündig mit der der optischen Blende 106 zugewandten Ober
fläche der Hilfsplatine 114 abschließt, und den Raumbedarf der optischen
Blende 106 minimiert, da er nur der Dicke des Blendenrades
117 und zusätzlich einem geringen Spielraum entspricht. Eine
Störung der Gasdetektion in der Meßkammer 102 im Gassensor
durch in der Umgebung des Gassensors befindliches absorbieren
des Gas kann bereits durch diese Maßnahme zur Verringerung
des außerhalb der Meßkammer 102 durchstrahlten Volumens auf
einen sehr kleinen Wert begrenzt werden (typisch kleiner 3%
Meßfehler bei gleichen Gaskonzentrationen innerhalb und
außerhalb des Gassensors).
Liegt beispielsweise die Konzentration des zu detektierenden
Gases (oder eines anderen absorbierenden Gases) außerhalb
der Meßkammer 102 wesentlich höher als innerhalb, so ist es -
wie in der beschriebenen Ausführung des Gassensors
nach Fig. 1 möglich, zumindest den Lichtweg zwischen
der Lichtquelle 113 und dem optischen Fenster 104 mittels
eines gasdichten Gehäuses 120 gegen die Umgebung so abzu
schirmen, daß störende Gaskomponenten dort nicht zu einer
das Meßergebnis verfälschenden Absorption führen. Der Grad
der Gasdichtheit und Druckfestigkeit ist dabei - ebenso wie
auch für die Meßkammer 102 des Gassensors - vom speziellen Ein
satzzweck und von der speziellen Einsatzumgebung des Gassensors
abhängig.
Das hier beschriebene Anwendungsbeispiel genügt zur Verwen
dung bei im wesentlichen-atmosphärischen Druck inklusive der
atmosphärischen Änderungen und der Verwendung in Höhen von
etwa 0 bis 1500 Meter über dem Meeresspiegel (Druckschwan
kungen etwa +/- 15%). Bei größeren Druckveränderungen oder
besonders häufigen Druckschwankungen können aus dem Stand
der Technik bekannte Maßnahmen zur Adaption des Innendruckes
im Gehäuse 120 genutzt werden.
Das gasdichte Gehäuse 120 besteht aus einem tragenden Gehäu
seteil 121, welcher mit dem Sensorblock 101 verschraubt wer
den kann. Dabei muß der Übergang zwischen dem tragenden Ge
häuseteil 121 und dem Sensorblock 101 und/oder der optischen
Blende 106 gasdicht ausgeführt sein. Dies kann durch Ein
bringen von Dichtmitteln 123, beispielsweise eines Dichtrin
ges oder einer (wieder lösbaren) Verklebung zwi
schen den genannten Teilen geschehen. Alternativ dazu kann
das tragende Gehäuseteil 121 auch so ausgelegt werden, daß
es zusätzlich als optische Blende 104, bzw. als Teil davon
einsetzbar ist.
Auf dem tragenden Gehäuseteil 121 ist sowohl die Hilfspla
tine 114 z. B. mittels Abstandshaltern (aus Gründen der Über
sichtlichkeit nicht dargestellt), als auch ein z. B. pultför
miges Gehäuseoberteil 124 gasdicht befestigt, welches die
Hilfsplatine 114 mit dem darauf montierten Antriebsmotor 119
und der Lichtquelle 113 umgibt. Der abgeschrägte Teil 125
des pultförmigen Gehäuseoberteils 124 ist in diesem Ausfüh
rungsbeispiel über dem flacher bauenden Antriebsmotor 119
und der freien Seite des Blendenrades 117 angeordnet und
enthält mehrere gasdichte elektrische Durchführungen 126
(z. B. eingelötete übliche glasisolierte Durchführungen, wel
che durch ihre Anordnung den äußeren Umriß des Gehäuses 120
nicht überragen) zum Anschluß der im Gehäuse 120 eingebauten
und über Kabel 127 mit den Durchführungen 126 verbundenen
elektrischen Komponenten (Lichtquelle 113, Antriebsmotor 119
und gegebenenfalls weitere elektrische Einrichtungen) an die
außerhalb befindliche Steuerschaltung (nicht dargestellt).
Die gasdichte Verbindung zwischen dem tragenden Gehäuseteil
121 und dem pultförmigen Gehäuseoberteil 124 ist z. B. durch
eine Lötnaht erreichbar. Weitere Verbindungsverfahren wie
Verschweißen, Verkleben usw. sind dem bekannten Stand der
Technik entnehmbar.
In Fig. 2a ist schematisch eine kreisrunde optische Blende
206 (von der Meßkammer 102 aus gesehen) mit einer am Kreis
umfang angebrachten Positionierungsnase 228 zur Sicherstel
lung einer bestimmten Position auf dem Sensorblock 101 und
damit auch zur beweglichen Blende 115. Die optische Blende
206 besteht aus einem metallischen Werkstoff
(z. B. Edelstahl) und weist zwei Blendenöffnungen 229 auf,
welche beispielsweise als kreissektorförmige Durchbrüche aus
geführt sind. Über diese Blendenöffnungen 229 sind von der
anderen Seite (auf die Lichtquelle 113 gerichtet) optische
Filter 230 gelegt, welche nur für einen bestimmten Wellen
längenanteil des eingestrahlten Lichtes durchlässig sind.
Die optische Blende 206 deckt eine Öffnung 203b des in der
Fig. 2b in einer Draufsicht dargestellten Sensorblockes 201
ab. Der in seinem Querschnitt beispielsweise sechseckig ausge
legte Sensorblock 201 weist auf seiner Oberseite
(Basisfläche des Prismas) vier jeweils an den Ecken orien
tierten und auf einem Kreis befindliche Gewindebohrungen 231
zur Befestigung des tragenden Gehäuseteils 221 auf. Zur Ab
dichtung zwischen dem Sensorblock 201 und dem tragenden Ge
häuseteil 221 ist auf der Oberseite des Sensorblocks 201 in
Randnähe außerhalb der Gewindebohrungen 231 eine Nut 232 zum
Einlegen eines O-Ringes 233 vorgesehen.
Weiterhin weist die obere Öffnung 203 b des Sensorblocks 201
am Rand der Meßkammer 202 eine Einsenkung 234 mit einer Aus
nehmung 235 auf. In die Einsenkung 234 wird die optische
Blende 206 unter Zwischenlage eines zweiten O-Ringes 236 so
eingelegt, daß es mit seiner Oberkante bei nicht gepreßtem
O-Ring die Oberkante des Sensorblockes 201 überragt. Die Po
sitionierungsnase 228 der-optischen Blende 206 kommt dabei
in die Ausnehmung 235 zu liegen und sichert die optische
Blende 206 gegen eine Verdrehung.
Fig. 2c zeigt ein Schnittbild durch das Oberteil des Sensor
blockes 201 mit der als optisches Fenster 204 eingesetzten
Blende 206 und dem Übergang zum tragenden Gehäuseteil 221.
Dabei weist der Sensorblock 201 am Rand zur Meßkammer 202
die Ausnehmung 235 auf, in welche der zweite O-Ring 236 ein
gelegt ist. Durch eine entsprechende Formgebung der Anpreß
fläche 237 der Ausnehmung 235 wird verhindert, daß der O-
Ring 236 unter Druckbelastung herausgepreßt wird. Auf diesem
zweiten O-Ring 236 liegt die optische Blende 206 mit den
Blendenöffnungen 229 auf, wobei der Rand der optischen
Blende 206 über den Rand der Meßkammer 202 herausragt. Die
optischen Filter 230 überdecken die Blendenöffnungen 229
vollständig und sind auf der optischen Blende 206 auf der
der Meßkammer 202 abgewandten Seite gasdicht befestigt,
beispielsweise auf diese geklebt. Bei größeren Druckdifferenzen
zwischen der Meßkammer 202 und der Umgebung ist es auch mög
lich, die optische Blende 206 durch eine "Sandwichbauweise"
zu verstärken; dies kann beispielsweise dadurch geschehen,
daß zwei optische Blenden 206 mit zwischenliegenden opti
schen Filtern 230 verklebt werden. Dabei kann der obere Teil
dieser optischen Blende - wie in der Erläuterung zu Fig. 1
bereits angedeutet - als Teil des gasdichten Gehäuses 120
ausgelegt sein.
Im verbleibenden Rand der Basisfläche des Sensorblocks 201
ist nahe dem äußeren Rand eine Nut 232 eingefräst, in welche
ein erster O-Ring 233 eingelegt ist; weiterhin sind in die
Basisfläche mehrere Gewindebohrungen 231 eingebracht, die
von der Nut 232 umschlossen werden. Das tragende Gehäuseteil
221 wird mittels der Gewindebohrungen auf die Basisfläche
des Sensorblockes 201 aufgeschraubt und dabei durch den
ersten O-Ring 233 gegen die Umgebung abgedichtet. Gleichzei
tig drückt ein innerer Rand 238 einer Ausnehmung 239 im tra
genden Gehäuseteil 221, welcher geringfügig kleiner ist wie
der Durchmesser des optischen Fensters 204, auf den Rand der
optischen Blende 206 und damit diese gegen den zweiten O-
Ring 236 und dichtet so die Meßkammer 202 gegen die Umgebung
ab.
Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel für ein kreisförmiges
Blendenrad 317 mit einer zentralen Drehachse 318 und zwei
umfänglich angebrachten Reihen von jeweils gleichen, kreis
sektorförmigen Ausbrüchen 340. Die äußere Reihe besteht da
bei aus zehn Ausbrüchen 340 mit einer Breite von etwa 18
Grad, d. h. die dazwischenliegenden Stege sind etwa gleich
breit wie die Ausbrüche 340. Die innere Reihe besteht nur
aus zwei einander gegenüberliegenden Ausbrüchen 340 mit
einer Breite von etwa 45 Grad. Für das eingestrahlte Licht
ergeben sich somit zwei Modulationsfrequenzen die von der
Auswerteelektronik frequenzselektiv ausgewertet werden kön
nen. Eine Störung dieser Auswertung durch Oberwellen der Mo
dulationsfrequenzen ist durch geeignete Auswahl zu vermei
den.
In das Blendenrad 317 ist gestrichelt eine beispielhafte op
tische Blende 306 mit zwei verschiedenen Blendenöffnungen
329 gezeichnet, um die Überdeckungsverhältnisse zwischen den
Ausbrüchen 340 und den Blendenöffnungen 329 aufzuzeigen.
Die Blendenöffnungen 329 sind ebenfalls kreissektorförmig
und so untereinander (in radialer Richtung des Blendenrades
317 gesehen) angebracht, daß sie jeweils vollständig von al
len Ausbrüchen 340 je einer umfänglich angeordneten Reihe
überstrichen werden. Die Ausbrüche 340 sind dabei in ihrer
Ausdehnung in radialer Richtung geringfügig größer als die
Blendenöffnungen 329. Dies dient ausschließlich der Kompen
sation fertigungstechnischer Toleranzen. In Richtung des Um
fangs ist die äußere Reihe von Ausbrüchen 340 breiter, die
innere Reihe schmäler als die zugeordneten Blendenöffnungen
329.
Die Intensität des eingestrahlten modulierten Lichtes wird
jeweils durch den Blendenanteil mit der kleineren durch
strahlbaren Fläche bestimmt und erreicht ein Maximum, wenn
sich ein Ausbruch 340 und eine Blendenöffnung 329 vollstän
dig überdecken; die Intensität geht gegen Null, wenn sich
die beiden gar nicht überdecken. Dazwischen steigt die In
tensität im wesentlichen linear an, bzw. fällt ebenso ab.
Sind die Breiten der Ausbrüche 340 und der Blendenöffnungen
329 in Umfangsrichtung gleich groß, ergibt sich somit ein
Intensitätsverlaufin Form einer Dreiecksschwingung; dies
erschwert in der Regel die elektronische Auswertung des Sig
nals, da sich dadurch permanente Einschwingvorgänge ergeben
können, welche das Meßergebnis gegebenenfalls verfälschen. Es
werden daher unterschiedliche Längen für die
Ausbrüche 340 und die jeweils zugeordneten Blendenöffnungen
329 verwendet, um so einen trapezförmigen Intensitätsverlauf
zu erzielen, dessen Anteil an konstanter Intensität beson
ders einfach auszuwerten ist.
Die mittels des Druckgradientenwandlers 112 innerhalb der
Meßkammer 102 des Gassensors detektierbaren Druckschwankungen
sind von der Differenz der erreichbaren Intensitäten und von
der Dauer der Einstrahlung, mithin auch vom Puls-Pausenver
hältnis abhängig. Welche Verhältnisse nun durch die Wahl be
stimmter Geometrien beim Blendenrad 317, bzw. bei der opti
schen Blende 306 eingestellt werden, ist wiederum von ver
schiedenen vorgegebenen Parametern, wie z. B. untere und
obere Grenzempfindlichkeit, Art des zu detektierenden Gases,
Begleitgase, notwendige Meßgeschwindigkeit usw. abhängig,
muß also für jeden Anwendungsfall einzeln erarbeitet werden.
Insbesondere kann durch die Vorgabe unterschiedlicher maxi
mal durchstrahlbarer Flächen für die den verschiedenen zu
detektierenden Gasen zugeordneten Blenden/Ausbruch-Kombina
tionen eine Adaption an die Absorptionsintensität des jewei
ligen Gases bei der zu messenden Konzentration, an die spek
tralabhängige Intensitätsverteilung der Lichtquelle 113 bei
der jeweils ausgewählten Absorptionswellenlänge des zu de
tektierenden Gases und an die wellenlängenabhängige Durch
laßdämpfung der verwendeten optischen Filter 230 (die wie
derum zu den zu detektierenden Gasen geeignet ausgewählt
sind) erreicht werden. Ziel all dieser Anpassungsmaßnahmen
ist es, jeweils für alle zu messenden Gase innerhalb des ge
wünschten Meßbereichs Druckschwankungen gleicher Intensität
in der Meßkammer 202 zu erzeugen, so daß der Dynamikbereich
des Druckgradientenwandlers 112 für alle Meßgase vollständig
genutzt werden kann.
Es ist selbstverständlich auch möglich, mehr als zwei Gase
mit der obenbeschriebenen Gassensoranordnung zu detektieren.
Dazu werden in einfacher Weise mehr als zwei übereinander
liegende Blendenöffnungen 329 (in radialer Richtung des
Blendenrades 317 gesehen) in die optische Blende 306 einge
bracht. Ebenso erhält das Blendenrad 317 mehr als zwei um
fänglich angeordnete Reihen von Ausbrüchen 340 mit unter
schiedlicher Periodizität.
Eine derartige Anordnung erreicht jedoch durch die Begren
zung der zur Verfügung stehenden Fläche des optischen Fen
sters 204 rasch eine Grenze hinsichtlich der erreichbaren
Meßempfindlichkeit. Aus diesem Grund ist eine besonders ein
fache Erweiterung auf mehrere Gase durch die Nutzung der
zweiten als optisches Fenster 104 nutzbaren Öffnung 103 der
Meßkammer 101 - wie im folgenden beschrieben - als zusätzli
che Maßnahme möglich.
In Fig. 4 ist schematisch ein optoakustischer Gassensor für
vier unterschiedliche Gaskomponenten dargestellt. Dabei be
steht der Sensor - analog zu Fig. 1 - aus einem Sensorblock
401 mit einer in Form einer Bohrung eingebrachten Meßkammer
402, welche in den beiden Basisflächen als optische Fenster
404a, 404b nutzbare Öffnungen 403a und 403b aufweist. Diese
beiden Öffnungen 403a, 403b werden mittels optischer Blenden
406a und 406b luftdicht verschlossen und dienen der Ein
strahlung von unterschiedlich moduliertem Licht.
Der weitere Aufbau zur Erzeugung des modulierten Lichtes ist
identisch, bzw. für das zweite optische Fenster 404b spie
gelbildlich identisch wie bei Fig. 1. Das gleiche gilt für
ein zweites Gehäuse 420b, welches - ebenfalls spiegelbild
lich identisch zum ersten Gehäuse 420a - den gesamten Licht
weg zur Erzeugung des modulierten Lichtes gasdicht gegen die
Umgebung abschirmt. Für die detaillierte Beschreibung wird
daher ausdrücklich auf die Erläuterungen zu Fig. 1 verwie
sen.
Um die Signale des an die Meßkammer angekoppelten Druckgra
dientenwandlers 412 auswerten zu können, müssen die Modula
tionsfrequenzen für das auf beiden Seiten in die Meßkammer
402 eingestrahlten Lichtes unterschiedlich sein. Dies kann
anlog zur Erläuterung zu Fig. 3 durch die Verwendung von
zwei mit unterschiedlichen Ausbrüchen 440 versehenen Blen
denrädern 417a und 417b geschehen (unterschiedliche Anzahl
von Ausbrüchen 440 über den Umfang der Blendenräder 417),
oder aber es werden identische Blendenräder 417a und 417b
verwendet, wobei die jeweiligen Antriebsmotoren 419a, bzw.
419b für die Blendenräder 417a, bzw. 417b durch geeignete An
steuerung unterschiedliche Drehzahlen aufweisen.
Claims (9)
1. Optoakustischer Gassensor zur gleichzeitigen Detektion
von mehreren Komponenten eines Gasgemisches mit einer
Meßkammer, welche mit dem Gasgemisch befüllbar ist, mit
mindestens einem die Öffnung der Meßkammer gasdicht ver
schließenden optischen Fenster, einer Lichtquelle mit
einer beweglichen Blende zur Erzeugung von moduliertem
Licht mit mehreren Frequenzen mit unterschiedlichen op
tischen Filtern zur Begrenzung der von der Lichtquelle
abgegebenen Strahlung auf einen oder mehrere bestimmte
Wellenlängenbereiche,
dadurch gekennzeichnet, daß das optische Fenster (104;
204; 404a, 404b) aus einer die Öffnung (103; 203; 403a, 403b) der Meß
kammer (102; 202; 402) gasdicht abdeckenden Blende (106;
206; 306; 406a, 406b) besteht, deren Blendenöffnungen durch die
verschiedenen optischen Filter (230) gasdicht abge
schlossen sind, wobei die Blendenöffnungen (229; 329) im
Verhältnis ihrer durchstrahlbaren Flächen an die unter
schiedliche Absorptionsintensität der zu detektierenden
Gase, an die wellenlängenabhängige Intensität der Licht
quelle (113) und an die wellenlängenabhängigen Durchlaß
dämpfungen der verwendeten optischen Filter (230) ange
paßt sind.
2. Optoakustischer Gassensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Meßkammer (102; 202;
402) ein weiteres, dem erstgenannten optischen Fenster
(104; 204; 404a) gegenüberliegendes optisches Fenster
(404b) mit der vorgenannten Blendenausbildung aufweist.
3. Optoakustischer Gassensor nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Blendenöffnungen (229;
329) in ihrer Durchlaßform dergestalt auf die zeitliche
Einstrahlcharakteristik des modulierten Lichtes abge
stimmt sind, daß der zeitliche Strahlungsverlauf in der
Meßkammer (102; 202; 402) eine angenäherte Trapezform
aufweist.
4. Optoakustischer Gassensor nach einem der vorhergehenden
Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das Trägermaterial der opti
schen Blenden (106; 206; 306; 406a, 406b) aus einem gegen das
Gasgemisch inerten, für die verwendeten Wellenlängenbe
reiche der Strahlung undurchlässigen Werkstoff, vorzugs
weise aus Edelstahl, besteht.
5. Optoakustische Gassensor nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß zur Abdichtung zwischen der
Meßkammer (102; 202; 402) und der optischen Blende
(106; 206; 306; 406a, 406b) ein oder mehrere Dichtringe (236)
aus elastischem Material verwendet sind, welche durch
eine Verschraubung zwischen der optischen Blende (106;
206; 306; 406a, 406b) und der Meßkammer (102; 202; 402) einer
Flächenpressung unterliegen.
6. Optoakustischer Gassensor nach einem der vorhergehende
Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der gesamte Lichtweg zwi
schen der Lichtquelle (113) und der optischen Blende
(106; 206; 306; 406a, 406b) durch ein Gehäuse (120; 420a, 420b)
gasdicht gegen die Umgebung abgeschlossen ist.
7. Optoakustischer Gassensor nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (120; 420a, 420b) gegen
den Sensorblock (101; 201; 401) mit einem Dichtring
(233) aus elastischem Material abgedichtet und ver
schraubt ist.
8. Optoakustischer Gassensor nach Anspruche 6 oder 7,
dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (120) aus minde
stens zwei Teilen (121, 124) besteht, welche gas
dicht miteinander verbunden sind.
9. Optoakustischer Sensor nach einem der Ansprüche 6 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß in das Gehäuse (120) gas
dichte elektrische Durchführungen (126) zum Anschluß der
innenliegenden elektrischen Komponenten (113, 119) ein
gebaut sind.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009023230A1 (de) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Pas-Analytik Gmbh | Verfahren zum Nachweisen mehrerer Substanzen eines Gasgemischs durch eine zeitlich aufeinanderfolgende Bestimmung der Einzelkonzentration der Substanzen |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19632867B4 (de) * | 1996-08-14 | 2006-07-27 | Columbus Schleif- Und Zerspantechnik Hard- Und Softwaresysteme Gmbh | Meßkopf für die photoakustische Spektroskopie |
EP0840105A1 (de) * | 1996-11-05 | 1998-05-06 | Orbisphere Laboratories Neuchatel Sa | Verfahren und Vorrichtung zur Spektroskopie |
DE102004034832B4 (de) * | 2004-07-19 | 2014-05-22 | Gerhart Schroff | Verfahren und Anordnung zur Gasanalyse |
US8848191B2 (en) | 2012-03-14 | 2014-09-30 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic sensor with mirror |
CN116930091B (zh) * | 2023-09-14 | 2023-12-12 | 武汉理通微芬科技有限公司 | 基于非共振光声池的气体分析装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE8229505U1 (de) * | 1983-02-03 | Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt | Baueinheit eines optischen Gasanalysegerätes | |
DE1948192A1 (de) * | 1969-09-24 | 1971-03-25 | Siemens Ag | Anordnung zur Bestimmung einer Komponente eines Gasgemisches |
DD159367B3 (de) * | 1981-02-02 | 1991-08-22 | Junkalor Gmbh | Modulationseinrichtung in einem nichtdispersiven analysengeraet |
US4420687A (en) * | 1982-10-28 | 1983-12-13 | Teledyne Ind | Non-dispersive infrared gas analyzer |
DK247786D0 (da) * | 1986-05-27 | 1986-05-27 | Brueel & Kjaer As | Fotoakustisk gasanalysator |
-
1994
- 1994-04-06 DE DE19944411853 patent/DE4411853C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009023230A1 (de) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Pas-Analytik Gmbh | Verfahren zum Nachweisen mehrerer Substanzen eines Gasgemischs durch eine zeitlich aufeinanderfolgende Bestimmung der Einzelkonzentration der Substanzen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4411853A1 (de) | 1995-10-12 |
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