DE19826790A1 - Verfahren und Anordnung zur integralen und lokalen Dichtheitsprüfung - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur integralen und lokalen Dichtheitsprüfung von Behältern oder Gehäusen, wonach ein derartiges Prüfobjekt in eine Prüfkammer eingebracht wird und mit einem von der Umgebungsatmosphäre unterscheidbaren Testgas mit Druck beaufschlagt wird, welcher gegenüber dem in der Prüfkammer herrschenden Atmosphärendruck erhöht ist. Das aus einem Leck (7) am Prüfobjekt (6) austretende Testgas wird in einer teilweise offenen, durchströmbaren Nachweiskammer (1) detektiert und die Testgaskonzentration zur Bestimmung der Größe der Lackage ermittelt. Da die teilweise offene Nachweiskammer nun nicht mehr ein von der Umgebung streng getrennter Volumenbereich ist, kann beispielsweise durch ein einfaches Verschieben oder ein leichtes Anblasen mit Umgebungsluft ein Gasautausch zwischen der Nachweiskammer (1) und der Umgebung stattfinden. Somit kann eine bestimmte Stelle in der Umgebung des Prüfobjektes ohne zeitliche Verzögerung einfach dadurch auf Testgas hin untersucht werden, daß die Nachweiskammer (1) an diese Stelle verbracht wird. Besonders geeignet sind hierzu optische Gasnachweisverfahren, da diese die Möglichkeit bieten, bei nahezu unveränderter Nachweisempfindlichkeit die Nachweiskammer (1) teilweise offen auszubilden.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Anordnung zur integralen oder loka­ lisierenden Dichtheitsprüfung von Behältern und/oder Gehäusen, wonach ein derar­ tiges Prüfobjekt mit einem Testfluid beaufschlagt wird, das gegenüber der Umge­ bung unter erhöhtem Druck steht, so daß bei Vorhandensein eines Lecks Fluid aus dem Prüfobjekt austritt und hieraus das Leck erkannt wird.

Zur lokalen Dichtheitsprüfung von Behältern, die bei bestimmungsgemäßem Ge­ brauch mit einem flüssigen oder gasförmigen Medium verfüllt sind, z. B. von Wasser- und Ölkühlern für Kraftfahrzeuge, ist das sogenannte "Schnüffelverfahren" bekannt. Hierbei wird der Prüfling mit dem Testfluid, meistens Helium oder SF₆, mit Druck beaufschlagt, wobei die mit der Prüfung betraute Person den Prüfling mit einer "Schnüffel-Sonde", welche im einfachsten Fall aus einem dünnen Schlauch besteht, durch den Gas eingesaugt wird, absucht. Führt die mit der Prüfung betraute Person nun die Schnüffel-Sonde nahe genug über ein Leck hinweg, so wird etwas aus dem Leck ausgetretenes Testfluid eingesaugt und, z. B. bei Helium als Testfluid, über ein als Helium-Detektor betriebenes Massenspektrometer, nachgewiesen und somit das Leck erkannt. Andere Testgase, wie etwa SF₆ können sehr empfindlich mit optischen Nachweisverfahren beispielsweise mittels des photoakustischen Effektes nachgewiesen werden (siehe auch: "L.B. Kreutzer: Laser opto-acoustic spectro­ scopy. A new technique of gas analysis. Anal. Chem. 46. 239 A, 1974"). Die in ein optisches Gasnachweissystem eingebrachten Moleküle werden in diesem in einer Nachweiskammer von einem, auf die Absorptionslinien des verwendeten Testgases spektral abgestimmten Laser beleuchtet. Werden dabei auch Testgasmoleküle beleuchtet, so absorbieren diese einen Teil des eingestrahlten Laserlichtes. Diese Absorption des Laserlichtes wird dann über empfindliche Sensoren registriert. Die Amplitude dieses so erzeugten Sensorsignals ist dann ein direktes Maß für die Testgaskonzentration (siehe hierzu auch: Dipl. Phys. Gerhart Schroff, Dipl. Ing. Michael Stetter, Dichtheitsprüfung mit Laser. Robust und sicher; Kontrolle, S. 44-46, 4/1995).

Ein wesentlicher Nachteil dieser Art der Leckdetektion ist darin zu sehen, daß das aus einem Leck austretende Testgas zuerst in die Schnüffelsonde eingesaugt und zu dem eigentlichen Gasnachweissystem mittels eines - zum Teil einige Meter langen - Schlauches transportiert werden muß, was dann eine zeitliche Verzögerung von zwei bis drei Sekunden zwischen dem Einsaugen durch die Schnüffelsonde und dem Ansprechen des Gasdetektors nach sich zieht. Zum anderen verbleibt das so zu dem Detektor transportierte Gas einige Sekunden in der Gasnachweiseinheit, da diese nur bedingt gespült werden kann. Es ist somit für den mit der Prüfung be­ trauten Beobachter in vielen Fällen (vor allem bei großen oder komplexen Teilen) sehr schwierig, gefundenes Testgas eindeutig einem Leck zuzuordnen. Auch stellt diese manuelle Tätigkeit mit den hierdurch unvermeidlichen bedienerabhängigen Fehlerquellen für die industrielle Fertigung ein Problem dar.

Hiervon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und ei­ ne Anordnung der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, daß die Dichtheitsprüfung für praktische Anwendungsfälle schneller, sicherer und vor allem automatisierbar unter rauhen Industriebedingungen durchgeführt werden kann.

Diese Aufgabe wird hinsichtlich des Verfahrens durch die kennzeichnenden Merk­ male des Patentanspruchs 1, dem Grundgedanken nach, sowie in Ausführungsvari­ anten und Ausgestaltungen derselben durch die Merkmale der Unteransprüche 2 bis 19 und hinsichtlich der Anordnung durch die Merkmale des Anspruchs 20 und in Ausgestaltungen durch die weiteren Unteransprüche 21 bis 26 gelöst.

Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß optische Gasnachweisverfahren die Möglichkeit bieten, die Nachweiskammer teilweise offen - vorzugsweise als zylindri­ sche, an beiden Enden offene Röhre mit rundem oder rechteckigem Querschnitt­ auszubilden, wobei die Nachweisempfindlichkeit - bei geeignet gewählten Dimensio­ nen - nahezu unverändert bleibt. Da dann die das Untersuchungsvolumen (1) bilden­ de Nachweiskammer nicht mehr ein von der Umgebung streng getrennter Volumen­ bereich ist, kann beispielsweise durch ein einfaches Verschieben des Untersu­ chungsvolumens (1) - vorzugsweise in Richtung der Zylinderachse - oder ein leichtes Anblasen des Untersuchungsvolumens (1) mit Umgebungsluft ein Gasaustausch zwischen dem Untersuchungsvolumen (1) und der Umgebung stattfinden.

Es entfällt somit die Notwendigkeit, das auf das Testgas hin zu untersuchende Gas, mittels einer Schnüffelsonde in das Untersuchungsvolumen (1) zu transportieren und von dort mittels einer Vakuumpumpe wieder abzusaugen. Somit kann eine be­ stimmte Stelle in der Umgebung des Prüfobjektes ohne zeitliche Verzögerung ein­ fach dadurch auf Testgas hin untersucht werden, daß das Untersuchungsvolu­ men (1) an diese Stelle verbracht wird.

Besonders vorteilhaft kann das Verschieben des Untersuchungsvolumens (1) mittels Robotern und/oder Verschiebeeinheiten erreicht werden.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, in dem Untersu­ chungsvolumen (1) einen Detektor (11) zur Messung der Wechselwirkung des in das Untersuchungsvolumen (1) eingestrahlten Laserlichtes (3) mit dem im Leckfalle aus dem Prüfobjekt (6) ausgetretenen und in das Untersuchungsvolumen (1) gelangten Testgases anzubringen und das von diesem erzeugte Detektorsignal (11') einer Signalverarbeitungseinheit (10) zur Signalauswertung zuzuführen.

Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß zur Konzentra­ tionsbestimmung des Testgases in der Nachweiskammer das in der Deutschen Patentanmeldung DE 195 00 947.9 (Stetter/Schroff, 14.01.95) beschriebene photoakustischen Gasnachweisverfahren verwendet wird.

Eine bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, als Testgas He (Helium), H₂ (Wasserstoff), CH₄, C₂H₆, C₃H₈, C₂H₂ (Ethin), C₂H₄ (Ethen), Propen, Buten, N₂O, CO₂, oder SF₆ oder ein Gemisch aus diesen Gasen mit Luft oder auch Preßluft zu verwenden.

Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß das Untersu­ chungsvolumen (1) - vorzugsweise zusammen mit der Signalauswertungseinheit (10) und/oder dem das Untersuchungsvolumen (1) beleuchtenden Laser (2) - nach einem fest vorgegebenen Raster durch die Umgebung des Prüfobjektes (6) zur Lokalisation und/oder Quantifizierung der aus einem Leck (7) am Prüfobjekt (6) austretenden Testgasmenge bewegt wird.

Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß das Prüfob­ jekt (6) zur Dichtheitsprüfung in eine Prüfkammer verbracht wird um ein unkontrol­ liertes Verwehen des aus dem Prüfobjekt an einem Leck (7) austretenden Testgases zu verhindern und daß eine definierte - vorzugsweise laminare - Strömung erzeugt und/oder aufrechterhalten wird, um das an einer Leckage (7) am Prüfobjekt (6) austretende Testgas definiert in Form einer das Testgas enthaltenden Testgaswolke (8) zu verwehen.

Eine bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß das Untersuchungsvo­ lumen (1) in einer stromabwärts des Prüfobjektes (6) gelegenen - vorzugsweise senkrecht zu der Strömungsrichtung orientierten - Ebene bewegt wird.

Zur Steigerung der Detektionsgeschwindigkeit können mehrere - vorzugsweise fest miteinander verbundene, identische - Untersuchungsvolumina (1) mittels des La­ sers (2) beleuchtet und stromabwärts des Prüfobjektes (6) nach einem fest vorgege­ benen Raster zur Lokalisation und/oder Quantifizierung der aus einem Leck (7) am Prüfobjekt (6) austretenden Testgasmenge in der Umgebung des Prüfobjektes (6) bewegt werden.

Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines optischen Dichtheitsprüfsystems zur integralen oder lokalen Dichtheitsprüfung mit einer Nachweiskammer.

Fig. 2 ein gegenüber Fig. 1 abgewandeltes Ausführungsbeispiel eines optischen Dichtheitsprüfsystems mit drei identischen Nachweiskammern.

Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung zeigt beispielhaft den prinzipiellen Aufbau eines optischen Dichtheitsprüfsystems. Die in Fig. 2 dargestellte Anordnung ergänzt die in Fig. 1 dargestellte Anordnung im wesentlichen im Hinblick auf die Anzahl der Nachweiskammern und deren Anordnung zueinander. Die Nachweiskammer (1) ist als ein - vorzugsweise dünnwandiges - zylindrisches, an beiden Enden offenes Rohr mit quadratischem Querschnitt ausgebildet und daher gut längs der Zylinderachse durchströmbar. Ein von einer Strahlquelle (2) - vorzugsweise einem Laser - emittierter - vorzugsweise kollimierter - Lichtstrahl (3) tritt durch die Strahleintrittsöffnung (4) in die Nachweiskammer (1) ein, durchsetzt diese - vorzugsweise senkrecht zur Zylin­ derachse - und tritt durch die Strahlaustrittsöffnung (5) aus der Nachweiskammer (1) wieder aus. Die Strahleintrittsöffnung (4) und die Strahlaustrittsöffnung (5) sind jeweils in der Mitte zweier gegenüberliegender Seitenwände der Nachweiskam­ mer (1) angebracht. In der Nachweiskammer (1) ist weiter ein - vorzugsweise nahe oder in einer Seitenwand integrierter - Detektor (11) angebracht. Das von diesem Detektor (11) erzeugte Detektorsignal (11') wird an eine Signalverarbeitungsein­ heit (10) zur Bestimmung der Testgaskonzentration in der Nachweiskammer und/oder zur Leckerkennung weitergeleitet.

Wird nun die Nachweiskammer (1) - vorzugsweise zusammen mit der Strahlquelle (2) und dem integrierten Detektor (11) - von einer Position I an eine Position II - vorzugs­ weise parallel zur Zylinderachse der Nachweiskammer (1), d. h. parallel zu Achse (20) - in die Position II verschoben und befindet sich dann in dem in der Position II von dem Lichtstrahl (3) innerhalb der Nachweiskammer (1) beleuchteten Meßvolumen (9) Testgas, so wird von dem Detektor (11) aufgrund der Wechselwir­ kung des Lichtstrahls (3) mit dem in dem Meßvolumen (9) befindlichen Testgas ein - vorzugsweise zu der im Meßvolumen (9) vorliegenden Testgaskonzentration propor­ tionales - Detektorsignal (11') gebildet. Es ist somit durch ein systematisches Ver­ schieben der Nachweiskammer (1) in der Umgebung des Prüfobjektes (6) einfach möglich, Testgas, welches aus einem Leck (7) am Prüfobjekt (6) in Form einer Testgas enthaltenden Testgaswolke (8) austritt und sich in der Umgebung des Prüfobjektes (6) ausbreitet, zu detektieren und die Testgaskonzentration an den je­ weiligen Positionen zu bestimmen.

Eine bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß die jeweilige Position der Nachweiskammer (1) zusammen mit der dort gemessenen Testgaskonzentration an die Signalverarbeitungseinheit (10) weitergeleitet wird. Es kann dann von der Signalverarbeitungseinheit (10) ein "Leckstellenbild", d. h. die räumliche Testgas­ konzentrationsverteilung in der Umgebung des Prüfobjektes, in einem geeigneten Datenformat - vorzugsweise in Form einer perspektivischen dreidimensionalen, bildhaften Darstellung des Prüfobjektes (6) - zusammen mit der das Prüfobjekt (6) umgebenden Testgaswolken (8), erstellt werden.

Eine Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, den Detektor (11) als empfindliches Mikrophon auszubilden, um das Testgas mittels des photoakustischen Effektes detektieren zu können.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, die Strahlquelle (2) als CO₂- Laser auszubilden.

Eine weitere bevorzugte, in Fig. 2 dargestellte, Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß mehrere - vorzugsweise identische - Nachweiskammern (1) starr so mitein­ ander verbunden werden, daß die Strahlaustrittsöffnung (5) der ersten Nachweis­ kammer mit der Strahleintrittsöffnung der zweiten Nachweiskammer zusammenfällt und die Strahlaustrittsöffnung der zweiten Nachweiskammer mit der Strahleintrittsöff­ nung der dritten Nachweiskammer zusammenfällt, usw. und der von der Strahl­ quelle (2) emittierte Lichtstrahl (3) die einzelnen Nachweiskammern (1) somit nach­ einander beleuchten kann.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß die Zylinderachsen der einzelnen Nachweiskammern (1) zueinander parallel sind.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß jede der einzelnen Nach­ weiskammern (1) mit einem separaten Detektor (11) versehen ist und die von den einzelnen Detektoren (11) erzeugten Detektorsignale (11') alle separat zu der Signalverarbeitungseinheit (10) übertragen und ausgewertet werden.

Claims (26)

1. Verfahren zur Dichtheitsprüfung von Behältern, Gehäusen und dergleichen Prüfobjekten, bei welchem das Prüfobjekt (6) mit einem unter Druck stehenden Testgas beaufschlagt wird und bei welchem bei Vorhandensein eines Lecks (7) aus dem Prüfobjekt (6) entweichendes Testgas in einem Untersuchungsvolu­ men (1) einem von einer Strahlquelle (2) emittierten elektromagnetischen Wel­ lenfeld (3) ausgesetzt wird, das Frequenzanteile enthält, die von dem Testgas unter Erzeugung eines der Leckerkennung dienenden Detektorsignals (11') ab­ sorbiert werden, dadurch gekennzeichnet, daß das Untersuchungsvolumen (1) so ausgestaltet ist, daß durch ein Verbringen des Untersuchungsvolumens (1) in die Umgebung des Prüfobjektes (6) und/oder ein Bewegen des Untersuchungs­ volumens (1) Gas aus der Umgebung des Prüfobjektes (6) in das Untersu­ chungsvolumen (1) gelangt und daß das Detektorsignal (11') als Maß für die Testgaskonzentration im Untersuchungsvolumen (1) und/oder für die Größe ei­ nes Lecks (7) gemessen und ausgewertet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Untersu­ chungsvolumen (1) so ausgestaltet ist, daß durch ein Verbringen - vorzugsweise Verschieben - des Untersuchungsvolumens (1) an eine zuvor festgelegte Stelle, eine definierte Menge an Gas aus der unmittelbaren Umgebung dieser zuvor festgelegten Stelle in das Untersuchungsvolumen (1) gelangt.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, daß zusammen mit dem Detektorsignal (11') die jeweilige Position des Untersu­ chungsvolumens (1) gemessen wird und - vorzugsweise mittels einer Signalver­ arbeitungseinheit (10) - hieraus auf den Ort und/oder die Größe eines Lecks (7) geschlossen wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der, das der Leckerkennung dienende Detektorsignal (11') erzeugende Detek­ tor (11) im Untersuchungsvolumen (1) integriert ist.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das der Leckerkennung dienende Detektorsignal (11') von einem als Detek­ tor (11) dienenden empfindlichen Schalldetektor - vorzugsweise einem empfind­ lichen Mikrophon - unter Verwendung des photoakustischen Effektes erzeugt wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zum Testgasnachweis das in der Deutschen Patentanmeldung DE 195 00 947.9 (Stetter/Schroff, 14.01.95) beschriebene optische Gasnachweisverfahren ver­ wendet wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere - vorzugsweise gleichartige - Untersuchungsvolumina (1) dem von der Strahlquelle (2) emittierten elektromagnetischen Wellenfeld (3) ausgesetzt wer­ den.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß in den einzelnen Untersuchungsvolumina (1) jeweils ein Detektor (11) zur Erzeugung des dem jeweiligen Untersuchungsvolumens (1) zugeordneten Detektorsignals (11') inte­ griert ist und/oder die von den einzelnen Detektoren (11) jeweils gebildeten De­ tektorsignale (11') einer gemeinsamen Signalverarbeitungseinheit (10) zur Leckerkennung und/oder Lecklokalisation zugeführt werden.

9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die einzel­ nen Untersuchungsvolumina (1) starr miteinander verbunden sind und/oder ge­ meinsam bewegt werden.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlquelle (2) und/oder die Detektoren (11) zusammen mit den Untersu­ chungsvolumina (1) bewegt werden.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Untersuchungsvolumen (1) automatisiert - vorzugsweise mittels eines Roboters und/oder einer Verschiebeeinheit - bewegt wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Testgas He (Helium) und/oder H₂ (Wasserstoff) und/oder CH₄ und/oder C₂H₆ und/oder C₃H₈ und/oder C₂H₂ (Ethin) und/oder C₂H₄ (Ethen) und/oder Propen und/oder Buten und/oder N₂O und/oder CO₂ und/oder SF₆ und/oder ein Gemisch aus diesen Gasen und/oder ein Gemisch aus einem oder mehreren dieser Gase mit Luft und/oder Stickstoff verwendet wird.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß als Strahlquelle (2) ein Laser - vorzugsweise ein CO₂-Laser oder ein He/Ne-La­ ser oder ein He/Xe-Laser - eingesetzt wird.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Prüfobjekt (6) zur Dichtheitsprüfung in eine Prüfkammer verbracht wird um ein unkontrolliertes Verwehen des aus dem Prüfobjekt an einem Leck (7) austre­ tenden Testgases zu verhindern.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß in der Prüfkammer eine definierte - vorzugsweise laminare - Strömung erzeugt und/oder aufrechter­ halten wird, um das an einer Leckage (7) am Prüfobjekt (6) austretende Testgas definiert in Form einer das Testgas enthaltenden Testgaswolke (8) zu verwehen.

16. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Nachweiskammer (1) nach einem fest vorgegebenen Raster durch die Umgebung des Prüfobjektes (6) zur Lokalisation und/oder Quantifizie­ rung der aus einem Leck (7) am Prüfobjekt (6) austretenden Testgasmenge be­ wegt wird.

17. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Untersuchungsvolumen (1) in einer stromabwärts des Prüfobjektes (6) gelegenen - vorzugsweise senkrecht zu der Strömungsrichtung orientierten - Ebene bewegt wird.

18. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß in der Prüfkammer eine - vorzugsweise laminare - Strömung von unten nach oben erzeugt wird und/oder mindestens ein Untersuchungsvolumen (1) in einer Ebene oberhalb des Prüfobjektes (6) bewegt wird.

19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß das in das Prüfobjekt (6) verbrachte Testgas aus dem Prüfobjekt (6) nach der Prüfung wieder abgepumpt und zurückgewonnen wird.

20. Anordnung zur Dichtheitsprüfung von Behältern, Gehäusen und dergleichen Prüfobjekten (6), die mit einem unter Druck stehenden Testgas beaufschlagbar sind, mit einer zum Gasaustausch mit der Umgebung teilweise offenen und durchströmbaren und/oder in der Umgebung des Prüfobjektes (6) bewegbaren Nachweiskammer (1), mit einer Strahlquelle (2) zur Erzeugung eines, in die Nachweiskammer (1) durch die Strahleintrittsöffnung (4) eintretenden, diese durchsetzenden, durch die Strahlaustrittsöffnung (5) die Nachweiskammer (1) wieder verlassenden elektromagnetischen Wellenfeldes (3), mit einem Detek­ tor (11) zur Messung der Wechselwirkung des in die Nachweiskammer (1) ein­ gestrahlten elektromagnetischen Wellenfeldes (3) mit dem im Leckfalle aus dem Prüfobjekt (6) ausgetretenen und in die Nachweiskammer (1) gelangten Testgases.

21. Anordnung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Nachweis­ kammer (1) als zylindrische - vorzugsweise dünnwandige - Röhre mit offenen En­ den - vorzugsweise mit rundem oder rechteckigem oder quadratischem Quer­ schnitt - zur leichten Durchströmbarkeit ausgebildet ist.

22. Anordnung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die an der Nachweiskammer (1) angebrachten Strahleintrittsöffnung (4) und Strahlaus­ trittsöffnung (5) so an der Nachweiskammer (1) angebracht sind, daß das elek­ tromagnetische Wellenfeld (3) die Nachweiskammer (1) senkrecht zur Zylinder­ achse der Nachweiskammer (1) durchsetzt.

23. Anordnung nach einem der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß das von dem Detektor (11) gebildete Detektorsignal (11') einer Signalverar­ beitungseinheit (10) zum Zwecke der Leckerkennung und/oder Leckquantifizie­ rung zugeführt wird.

24. Anordnung nach einem der Ansprüche 20 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (11) innerhalb - vorzugsweise nahe der Innenwand oder in der Wand - der Nachweiskammer (1) integriert ist.

25. Anordnung nach einem der Ansprüche 20 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlquelle (2) als Laser und/oder das elektromagnetische Wellen­ feld (3) als kollimierter Lichtstrahl oder Laserstrahl ausgebildet ist.

26. Anordnung nach einem der Ansprüche 21 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere - vorzugsweise identische - Nachweiskammern so miteinander ver­ bunden sind, daß die Strahlaustrittsöffnung (5) der ersten Nachweiskammer mit der Strahleintrittsöffnung der zweiten Nachweiskammer zusammenfällt, die Strahlaustrittsöffnung der zweiten Nachweiskammer mit der Strahleintrittsöff­ nung der dritten Nachweiskammer zusammenfällt, usw., und/oder die einzelnen Nachweiskammern nacheinander von dem elektromagnetischen Wellenfeld (3) durchsetzt werden und/oder die Zylinderachsen der einzelnen Nachweiskam­ mern (1) parallel zueinander sind.