DE2849379A1 - Opto-akustischer gas-analysator - Google Patents

Opto-akustischer gas-analysator

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DE2849379A1
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gas
filter
chopper
radiation
opto
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DE19782849379
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Atushi Horiba
Kozo Ishida
Osamu Saitoh
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Horiba Ltd
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Horiba Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids

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Description

  • BESCHREIBUNG
  • Die Erfindung liegt auf dem Gebiet der Gasanalyse und betrifft insbesondere einen opto-akustischen Gas-Analysator der im Oberbegriff von Patentanspruch 1 genannten Art.
  • Seit je besteht bei derartigen Geräten die grundsätzliche Forderung, eine kohärente Infrarot-Strahlungsquelle zu verwenden. Diese Strahlungsquelle wurde bisher ausschließlich durch eine Laser-inheit gebildet. Über Ausbildung und Möglichkeiten eines solchen herkömmlichen Gas-Analysators gibt beispielsweise der in der Fachzeitschrift "Science" vom 2. Juli 1971, Seite 45-47 erschienene Aufsatz von L.B. Kreuzer und C.K.N. Patel Auskunft.
  • Durch die Verwendung einer Laser-Einheit wird der Gas-Analysator teuer, aufwendig und in Bezug auf die Abmessungen umfangreich.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen gegenüber dem genannten Stand der Technik einfacheren, billiger herstellbaren und weniger umfangreichen Gas-Analysator vorzuschlagen.
  • Die erfindungsgemäße Lösung ist im Patentanspruch 1 enthalten.
  • Mit Vorteil wird in dem erfindungsgemäßen opto-akustischen Gas-Analysator als Lichtquelle ein schwarzer Körper verwendet, der ein kontinuierliches Spektrum abgibt und beispielsweise als Nickelchrom-Draht, als Silconite-Quelle, Wolframlampe oder dgl. ausgebildet sein kann. Die Beschränkung auf ein gewünschtes Strahlungsspektrum wird erfindungsgemäß durch die gleichzeitige Verwendung eines optischen Filters erreicht.
  • Nach einer Weiterbildung des Erfindungsgedankens ist vor- gesehen, in dem opto-akustischen Detektor im Strahlungsweg hintereinanderliegend zwei Strahlung aufnehmende Kammern anzuordnen, zwischen denen sich ein Filter befindet.
  • Die Verwendung eines Detektors mit zwei hintereinanderliegenden Kammern ist an sich bereits bekannt, siehe "Applied Physic's Letters" vom 15. März 1975, Seite 300 -303. Die Verwendung von zwei Kammern hat jedoch in diesem Falle den Zweck, einen Differenzdruck zwischen den in jeder Kammer angeordneten Druckaufnehmern meßtechnisch zu erfassen und bei der Analyse auszuwerten. Auch diese spezielle bekannte Gas-Analysator-Ausführung ist teuer, aufwendig und empfindlich.
  • Weitere vorteilhafte Weiterbildungen des Erfindungsgedankens können den Unteransprüchen 3 und 4 entnommen werden.
  • Nachstehend werden einige die Merkmale der Erfindung enthaltende Ausführungsbeispiele in Verbindung mit einer Zeichnung näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1, 2 und 3 je eine schematische Darstellung eines ersten, zweiten bzw. dritten Ausführungsbeispiels eines eines erfindungsgemäßen Gas-Analysators, Fig. 4 einen Schnitt im Verlauf einer Ebene IV-IV von Fig. 3, Fig. 5 ein schematisches Schaltbild zur Arbeitsweise des Ausführungsbeispiels von Fig. 3, und Fig. 6 einen Ausschnitt aus einem zur quantitativen Analyse mehrerer gasförmiger Komponenten geeigneten Gas-Analysator.
  • Der in Fig. 1 schematisch dargestellte opto-akustische Gas-Analysator hat als Lichtquelle einen scharzen Körper 1, einen Zerhacker 2, ein positives Interferenzfilter 3, welches aus mehreren Festfilm-Schichten zusammengesetzt ist, die nur ein Lichtband hindurchlassen, welches zu einem Bereich gehört, in dem eine Absorption durch eine analytisch zu untersuchende Objekt-Gaskomponente auftritt, ferner einen opto-akustischen Detektor 4 und einen Verstärker bzw. Vorverstärker 5 mit hoher Impedanz. Eine von dem schwarzen Körper 1 imitierte Infrarotstrahlenenergie wird durch den Zerhacker 2 intermittierend gestört und dann durch das Interferenzfilter 3 so gefiltert, daß nur jene Infrarotstrahlen hindurchgelangen, deren Wellenlängen in jenem Bereich liegen, wo eine Absorption durch die in dem Detektor 4 zu untersuchende Objekt-Gaskomponente auftritt. Hier bewirkt eine Gasprobe entweder kontinuierlich oder intermittierend von einem Einlaß 6 durch eine Kapillare 7 in den Detektor 4 eingeführt und durch eine Kapillare 8 und einen Auslaß 9 wieder abgeführt, die Gasprobe strömt so durch den Innenraum des Detektors 4 hindurch. Wenn die Gasprobe eine gasförmige Komponente enthält, deren Infrarotstrahlungs-Absorptionsbereich sich mit dem Absorptionsband der zu messenden Objekt-Gaskomponente überlappt, dann absorbiert die enthaltene gasförmige Komponente eine Infrarotenergie, und der Innendruck des Detektors 4 steigt an. Wenn der Zerhacker 2 die Infrarotstrahlung mit einer geeigneten Frequenz stört bzw.
  • unterbricht, dann kann mit dieser geeigneten Frequenz eine Kondensatormembran 10 verdrängt und diese periodische Verdrängung als Signal benutzt werden. Es sei erwähnt, daß nicht unbedingt ein Kondensatormikrofon wie in Fig. 1 angedeutet benutzt werden muß, vielmehr kann statt dessen beispielsweise auch eine Durchflußmeßeinrichtung wie beispielsweise ein Heißdraht-Animometer verwendet werden, welches innerhalb des Detektors einen auftretenden Gasstrom mißt.
  • Die Absorption von Infrarotstrahlungsenergie innerhalb des Detektors 4 ist verhältnismäßig stark gegenüber der Konzentration der zu messenden Objekt-Gaskomponente, folglich kann man eine quantitative Analyse der zu messenden, in der Gasprobe enthaltenen Gaskomponente durchführen. Durch den Verstärker 5 werden die Änderungen der Mikrofonkapazität der Kondensatormembran 10 in elektrische Leistung umgesetzt, dann in einem Gleichrichter 30 gleichgerichtet und durch den Zeiger eines Anzeigeinstrumentes 31 angezeigt.
  • Bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel ist es schwierig, durch Interferenzkomponenten verursachte Interferenzeffekte zu beseitigen. Diese treten auf, wenn das Infrarotstrahlen-Absorptionsband der Interferenzkomponente dicht neben dem Infrarotstrahlungs-Absorptionsband der zu messenden Objekt-Gaskomponente liegt, oder wenn die Konzentration der zu messenden Objekt-Komponente sehr viel niedriger ist als die Konzentration der Interferenzkomponente. Der geschilderte Nachteil kann durch Verwendung des Ausführungsbeispiels von Fig. 2 vermieden werden.
  • Zu diesem Zweck enthält das zweite Ausführungsbeispiel einen Differentialtyp-Detektor 4 mit zwei Lichtaufnahmekammern a und b zur Feststellung einer Druckdifferenz, wenn eine Energie-Absorptionsdifferenz vorhanden ist, und einem zwischen den beiden Kammern angeordneten Gasfilter 11, welches aber auch als Absorptionstyp-Festfilter ausgebildet sein kann. Angenommen, es soll die in kleiner Menge in atmosphärischer Luft enthaltene Luftkonzentration von Kohlenmonoxid CO gemessen werden, und es ist gleichzeitig Kohlendioxid CO2 als Interferenzkomponente zu Kohlenmonoxid bei der Infrarotstrahlenanalyse vorhanden.
  • Eine von dem schwarzen Körper 1 als Lichtquelle abgegebene Infrarotstrahlenenergie wird von dem Zerhacker 2 beispielsweise im 10-Hz-Rhythmus zerhackt und gelangt durch das Interferenzfilter 3 in den Detektor 4. Falls beide Kammern a und b mit einem Gas gefüllt sind, welches keine Infrarotstrahlen absorbiert, dann tritt im Detektor auch kein Druckanstieg sowie keine Verdrängung der Kondensatormembran auf, weil in beiden Kammern keine Energie absorbiert wird. Wenn jedoch in beiden Kammern a und b, wie für dieses Beispiel angenommen, ein CO2-Gas in Koexistenz mit einer kleinen Menge CO-Gas enthaltende atmosphärische Luft eingeschlossen ist, dann tritt mit Sicherheit in beiden Kammern eine Energieabsorption und folglich eine Verlagerung der Kondensatormembran 10 auf, die proportional der CO-Konzentration ist, wie nachstehend eingehend erläutert wird. Die Konzentration von CO läßt sich quantitativ genau und ohne Störung durch gleichzeitig vorhandenes CO2 bestimmen.
  • Zuvor sei angemerkt, daß die in die Lichtaufnahmekammer a eintretenden Infrarotstrahlen eine Energieverteilung in einem durch das Interferenzfilter 3 bestimmten definierten Wellenlängenbereich bzw. Infrarotspektrum haben, dessen Mitte etwa bei 4,6 ß liegt. Das Infrarot-Absorptionsband von CO2-Gas liegt sehr nahe beim Infrarot-Absorptionsband von CO-Gas, d.h. beide Absorptionsbänder überlappen sich teilweise gegenseitig. Diese Überlappung tritt selbstverständlich innerhalb des Energiebereiches des durch das Interferenzfilter 3 hindruchgelangenden Infrarotspektrums auf. Somit werden die in die Lichtaufnahmekammer a gelangenden Infrarotstrahlen sowohl vom CO-Gas in kleiner Menge als auch vom C02-Gas absorbiert, und zwar erfolgt eine Energieabsorption in einem Umfang, welcher proportional zu der Anfangsintensität der eingestrahlten Infrarotwellen ist. Dabei steigt die Temperatur in der Kammer an. Die mit A 1a bezeichnete Energieabsorption in Kammer a ergibt sich aus folgender Gleichung: worin die beiden Summanden auf der rechten Seite der Gleichung die Energieabsorption durch CO bzw. durch CO2 be- deuten. Da die Absorption A 1a sehr klein ist, treten gegenüber der Eingangsenergie zur Kammer a nur sehr wenig geschwächte Infrarotstrahlen in das Gasfilter 11 ein, welches im vorliegenden Falle das zu messende Objektgas, nämlich nur CO-Gas in geeigneter Konzentration enthält. Beim Passieren des Gasfilters 11 vermindert sich die Intensität der Infrarotstrahlen im Bereich des Hauptabsorptionsbandes durch die CO-Moleküle wesentlich, so daß sich die verbleibende Infrarotenergie hauptsächlich auf die Seitenbänder des Hauptabsorptionsbandes für CO beschränkt, d.h. auf die Seitenbänder der durch Filter 3 hindurchgegangenen Infrarotstrahlen. Die so beschnittene Strahlung gelangt aus dem Gasfilter 11 in die Kammer b, wo wieder eine Absorption des Infrarotspektrums aufgrund der Anwesenheit von CO- und CO2-Molekülen auftritt, so daß die Temperatur in Kammer b ansteigt. Die Energieabsorption A1b in Kammer b errechnet sich aus folgender Formel: wobei die beiden Summanden auf der rechten Seite der Gleichung die Energieabsorptionswerte für die Gasanteile CO bzw. CO2 darstellen. Wählt man ein Fest-Filter 3 mit angemessener halber Bandbreite und im Gasfilter 11 eine angemessene Konzentration von CO-Gas, dann ergibt sich halb-empirisch folgende Gleichung daraus: Die Differenz zwischen der Energieabsorption in den beiden Kammern a und b bzw. die daraus resultierende Druckanstiegs-Differenz zwischen beiden Kammern steht in einer Beziehung zu der Kraft, mit der die Kondensatormembran 10 verdrängt wird. Die Energiedifferenz A E ergibt sich aus folgender Rechnung: Da A ICo der Energieabsorption durch CO-Gas in Kammer b entspricht, wo die Infrarotstrahlen ihr dem Hauptabsorptionsband von CO-Gas entsprechendes Spektrum nach Durchlaufen des Gasfilters 11 bereits erheblich eingebüßt haben, daß folgende Relation gilt: Da A ICo und A ICo proportional der CO-Gas-Konzentration in der Gasprobe sind, ist A E ebenfalls der CO-Gas-Konzentration in der Gasprobe proportional. Folglich wird das CO-Gas-Signal nicht durch die Existenz von C02-Gas gestört und kann folglich korrekt gemessen werden. Dieses Signal wird praktischerweise elektrisch verstärkt und angezeigt.
  • Bei dem vorhergehend beschriebenen zweiten Ausführungsbeispiel ist der Detektor 4 ein Differentialtyp mit zwei in Serie geschalteten Lichtaufnahmekammern a und b, und ferner ist ein Gas- oder Fest-Filter vorhanden, welches den gleichen Bereich des Infrarotspektrums herausfiltert, welches dem zu messenden Objekt-Gas zugeordnet ist. Auf diese Weise erhält man einen Gas-Analysator, mit dem sich bei niedrigen Kosten mit hoher Genauigkeit eine quantitative Analyse eines in einer kleinen Menge vorhandenen Gases durchführen läßt. In Fig. 2 ist ferner ein Einlaßpfad 32, ein Auslaßpfad 33 und ein Verbindungspfad 34 für die Gasprobe vorhanden.
  • Der gleiche Effekt wie mit dem zweiten Ausführungsbeispiel läßt sich mit dem in Fig. 3 dargestellten dritten Ausführungsbeispiel erreichen, welches ein rotierendes Korrelationsgasfilter 12 enthält. Durch Abwandlung dieses Gerätes ist es möglich, mehrere Komponenten gleichzeitig zu messen.
  • Zur Erläuterung der dritten Ausführung sei wieder angenommen, daß Kohlendioxid CO2 koexistent in atmosphärischer Luft enthalten ist, die als quantitativ zu analysierendes Objekt-Gas Kohlenmonoxid CO in einer kleinen Menge enthält. Von dem schwarzen Körper 1 als Lichtquelle immitierte Infrarotstrahlenenergie durchläuft zuerst das rotierende Korrelationsfilter 12, dann das durch mehrere Festfilm-Schichten gebildete Interferenzfilter 3 und gelangt dann in den Detektor 4. In der einen Gaszelle 13 des Gasfilters 12 befindet sich ein Gas, welches überhaupt keine Energie von dem eingehenden Infrarotlicht absorbiert, während sich in der anderen bzw. zweiten Gaszelle 14 das gleiche Gas wie das zu analysierende Objekt-Gas befindet, also im vorliegenden Falle CO-Gas. Es ist in einer angemessenen Konzentration darin eingeschlossen.
  • Die durch die erste Gaszelle 13 hindurchtretenden Infrarotstrahlen werden durch CO- und CO2-Moleküle in dem opto-akustischen Detektor 4 absorbiert, so daß sich die Temperatur in der Kammer des Detektors erhöht und die Konclerlsatormembran 10 verdrängt wird, wie beim ersten Ausführungsbeispiel erläutert. Ein aus dieser Verdrängung resultierendes Signal sei mit A bezeichnet. Da die durch die zweite Gaszelle 14 hindurchtretenden Infrarotstrahlen ihren dem Hauptabsorptionsband für CO-Gas entsprechenden Wellenlängenbereich bereits eingebüßt haben, erfolgt die Absorption von Infrarot strahlen hauptsächlich aufgrund der Anwesenheit des CO2-Gases bei Ankunft der Infrarotstrahlen im Detektor 4, und dieses Licht führt zu einem Signal B, siehe Fig. 5. Entsprechend der Umlaufgeschwindigkeit des Korrelationsgasfilters 12 wechseln die Signale A und B periodisch miteinander ab und verursachen entsprechende Ausgänge an zugeordneten Vorverstärkern 5 bzw. 16. Von dort gehen sie in Abhängigkeit von einem aus einem Synchronisiersignalgenerator 17 bezogenen Synchronisiersignal zu entsprechenden Halteverstärkern 18 und 19, deren Ausgänge durch eine Subtraktionsstufe 20 zu einem Abschluß-Signalausgang B - A verarbeitet werden. Auf diese Weise kann man eine Information über die Konzentration von CO-Gas ohne negative Einflüsse durch das Interferenzgas an einer Anzeigeeinrichtung ablesen.
  • Es ist ferner möglich, den Gasanalysator zur quantitativen Analyse einer Vielzahl von gasförmigen Komponenten einzusetzen, indem man ein rotierendes Filter 12 mit entsprechend vielen Gaszellen verwendet, von denen jede als Fenster der Zelle ein aus mehreren, der Anzahl der zu messenden gasförmigen Komponenten entsprechenden Filmschichten zusammengesetztes Interferenzfilter hat. Fig.
  • 6 zeigt ein Beispiel für ein solches rotierendes Filter 12 mit vier Gaszellen 21,22,23,24, von denen die Gaszelle 21 mit CO-Gas, Zelle 22 mit N2-Gas (als Beispiel eines Gases, welches keine Infrarotstrahlen absorbiert), Zelle 23 mit CO2-Gas und Zelle 24 wiederum mit N2-Gas gefüllt ist. Jede der Zellen 21 und 22 besitzt ein Fenster in Form eines mehrschichtigen Interferenzfilters für CO-Gas, und als Fenster in jeder der Zellen 23 und 24 dient ein mehrschichtiges Interferenzfilter für C02-Gas.
  • Da bei der vorliegenden Erfindung ein schwarzer Körper 1 als Lichtquelle und ein aus mehreren Filmschichten zusammengesetztes positives Interferenzfilter verwendet wird, läßt sich bei niedrigen Kosten ein stabil arbeitender Gas-Analysator erstellen. Ein erfindungsgemäßer Gas-Analysator wird aufgrund seines Konstruktionsprinzips theoretisch niemals eine Null-Drift aufweisen.

Claims (4)

  1. Opto-akustischer Gas-Analysator PRIORITÄT: 17. November 1977, Japan, No. 52-138555 PATENTANSPRÜCHE Opto-akustischer Gas-Analysator mit einer Strahlungsqelle, einem die von der Quelle ausgehende Strahlung unterbrechenden Zerhacker und einem die unterbrochene Strahlung aufnehmenden opto-akustischen Detektor, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß die Lichtquelle ein schwarzer Körper (1) ist; und daß ein aus mehreren Festfilm-Schichten zusammengesetztes positives Interferenzfilter (3) vorhanden ist.
  2. 2. Gas-Analysator nach Anspruch 1, dadurch g e k e n nz e i c h n e t, daß in dem opto-akustischen Detektor (4) im Strahlungsweg hintereinanderliegend zwei Strahlung aufnehmende Kammern (a,b) angeordnet sind, in deren Mitte sich ein Filter (11) befindet.
  3. 3. Gas-Analysator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t, daß ein rotierendes Korrelationsgasfilter (12) als Zerhacker vorhanden ist.
  4. 4. Gas-Analysator nach Anspruch 3, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t, daß das rotierende Korrelationsgasfilter (12) mehrere Zellen (13,14;21,22,23,24) aufweist, von denen mindestens eine ein Gas enthält, welches keine Energie der hindurchtretenden Strahlung absorbiert.
DE19782849379 1977-11-17 1978-11-14 Opto-akustischer gas-analysator Withdrawn DE2849379A1 (de)

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