DE3636230C2 - Informationsumwandlungsvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Informationsumwandlungs­ vorrichtung, die Information von einer Form in eine andere um­ wandelt, wie beispielsweise von elektrischer in optische Form, wie es beispielsweise in einer Flüssigkristallanzeige ge­ schieht.

Eine bekannte Flüssigkristall-Anzeigeeinrichtung ist in der DE 31 01 987 A1 beschrieben. Dort sind viele Zellen in einem X-Y-Matrixformat angeordnet. Mehrere X-Adreßleitungen sind für eine elektrische Kommunikation mit "X" Plätzen der Vorrichtung vorgesehen, während mehrere Y-Adreßleitungen für eine elektri­ sche Kommunikation mit "Y" Plätzen der Vorrichtung vorgesehen sind. Ein bestimmter Platz in einer Informationsumwandlungs­ einrichtung kann durch die bestimmten X- und Y-Adreßleitungen angesprochen werden, die dem fraglichen Platz zugeordnet sind.

Bei der Fertigung von Informationsumwandlungsvorrichtungen kann das Auftreten einer Adreßleitungen, die einen offenen Strom­ kreis bzw. einen Leerlauf bildet, nur äußerst schwierig ver­ mieden werden. Dementsprechend ist ein gewisser Teil der Adreß­ leitung, in der ein offener Stromkreis existiert, elektrisch von einer externen Schaltungsanordnung isoliert, wodurch die Vorrichtungszellen, die einem derartigen isolierten Abschnitt zugeordnet sind, nicht richtig arbeiten. Ein Zellfehler beein­ flußt in nachteiliger Weise die Leistungsfähigkeit einer Infor­ mationsumwandlungsvorrichtung, indem das Auflösungsvermögen der Vorrichtung verkleinert und die Erzeugung falscher Da­ ten hervorgerufen wird.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Informationsumwandlungsvor­ richtung zu schaffen, die ein hohes Auflösungsvermögen und eine hohe Genauigkeit hat und die mit verbesserter Fertigungsausbeu­ te wirtschaftlich hergestellt werden kann.

Die Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruches 1 ge­ löst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteran­ sprüchen beansprucht.

Die mit der Erfindung erzielbaren Vorteile bestehen insbesonde­ re darin, daß die X-Hauptadreßleitung und die sie kreuzende X- Hilfsadreßleitung elektrisch kurzgeschlossen werden können, wenn dies erforderlich ist. Ähnlich können die Y-Hauptadreß­ leitung und die sie kreuzende Y-Hilfsadreßleitung erforderli­ chenfalls elektrisch kurzgeschlossen werden.

Die X-Hilfsadreßleitungen und die Y-Hilfsadreßleitungen sind vorzugsweise außerhalb des adressierbaren Bereichs der Informa­ tionsumwandlungsvorrichtung angeordnet, um so eine Beeinträch­ tigung der Auflösung der Vorrichtung zu vermeiden. Da jedoch eine Hilfsadreßleitung elektrisch mit einer der Hauptadreßlei­ tungen, die sie kreuzt, kurzgeschlossen sein kann, sind nur relativ wenige Hilfsleitungen erforderlich und können mit Haupt­ adreßleitungen in dem adressierbaren Bereich der Vorrichtung verschachtelt bzw. verflochten sein, ohne daß eine hochgradige Verschlechterung der Auflösung der Vorrichtung entsteht.

Die Erfindung wird nun anhand der Beschreibung und Zeichnung von Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Fig. 1 ist eine vereinfachte Draufsicht auf eine Adreßleitungs­ anordnung für eine Informationsumwandlungsvorrichtung gemäß der Erfindung.

Fig. 2 ist eine Detaildarstellung von einem Teil der Adreßlei­ tungsanordnung gemäß Fig. 1, die zusätzlich weitere Merkmale einer Informationsumwandlungsvorrichtung dar­ stellt.

Fig. 3A und 3B sind schematische Draufsichten von einem Kreuzungspunkt zwischen Hilfs- und Haupt­ adreßleitungen und stellen bevorzugte Tech­ niken zum elektrischen Kurzschließen derarti­ ger Leitungen dar.

Fig. 1 zeigt in vereinfachter Form eine Elektroden- oder "Lei­ tungs"-Anordnung 10, die vorteilhafterweise in einer Informa­ tionsumwandlungsvorrichtung (nicht gezeigt) vorgesehen sein kann, um beispielsweise elektrische Information in optische Information umzuwandeln. Die Leitungsanordnung 10 weist X-Haupt­ adreßleitungen 12A und Y-Hauptadreßleitungen 12B auf, die vor­ zugsweise miteinander verflochten sind, wie es in Fig. 1 ge­ zeigt ist. Die Adreßleitungen 12A und 12B erstrecken sich von einem adressierbaren Bereich 14 (mit einer gestrichelten Umran­ dung) nach außen von diesem Bereich 14 zu einer elektrischen Schaltungsanordnung (nicht gezeigt), die die Adreßleitungen 12A und 12B mit elektrischen Signalen speisen kann oder, stattdes­ sen, die elektrische Verbindung dieser Leitungen abtasten kann. In ähnlicher Weise weist die Leitungsanordnung 10 Y-Hauptadreß­ leitungen 16A und Y-Hauptadreßleitungen 16B auf, die bevorzugt in der gezeigten Weise verflochten sind. Die Anzahl der X-Haupt­ adreßleitungen 12A und 12B und auch die Anzahl der Y-Hauptadreß­ leitungen 16A und 16B liegt üblicherweise in der Größenord­ nung von 100, wobei 400 ein bevorzugter Wert für eine Flüssig­ kristallanzeigeanwendung mit einem adressierbaren Bereich von 10 cm mal 10 cm (4 Zoll mal 4 Zoll) ist.

Innerhalb des adressierbaren Bereichs 14 der Leitungsanordnung 10 sind mehrere Informationsumwandlungszellen 18 in einem X-Y- Matrixformat angeordnet. Die Zellen 18 sind einfach als Quadrate in der vereinfachten Darstellung gemäß Fig. 1 gezeigt. Eine genauere Darstellung einer Informationsumwandlungszelle 18 zeigt Fig. 2. Aus der schematischen Darstellung gemäß Fig. 2 ist ersichtlich, daß die X-Adreßleitungen 12A und 12B elektrisch von den Y-Adreßleitungen 16A und 16B getrennt bzw. isoliert sind. Ein Flüssigkristallelement 200 oder ein anderes Informationsumwandlungselement ist in der Weise gezeigt, daß es elektrisch zwischen ein Schaltelement 202 und einen Referenz- oder Masse­ potentialpunkt 204 geschaltet ist. Das Flüssigkristallelement 200 ist als ein Kondensator gemäß einem elektrischen Hauptkenn­ zeichen eines Flüssigkristallelements dargestellt. Bekanntlich bildet ein Flüssigkristallelement einen passiven Übertrager von Licht, das von einer unabhängigen Lichtquelle erzeugt ist, und diesbezüglich ist es ähnlich der Blende einer fotographi­ schen Kamera. Die Erfindung ist jedoch nicht auf die Verwendung eines Flüssigkristallelements 200 begrenzt. Zu den Alternativen des Flüssigkristallelements 200 gehören andere passive Licht­ übertrager, wie beispielsweise elektrochromatisches oder elek­ trophoretisches Material. Eine weitere Alternative für das Flüssigkristallelement 200 ist ein aktiver Generator von Licht, wie beispielsweise eine Licht emittierende Diode oder anderes Elektrolumineszenzmaterial. Eine weitere Alternative bildet ein elektrisch ansprechender Lichtsensor, wie beispielsweise ein Röntgenstrahlen-Szintillator. Weiterhin kann anstelle des Flüssigkristallelements 200 ein Element verwendet werden, das elektrische Information in mechanische Information umwandelt oder umgekehrt, wie beispielsweise ein piezo-elektrisches Ele­ ment, das anstelle des Flüssigkristallelements 200 verwendet werden könnte.

Die Schaltvorrichtung 202 gemäß Fig. 2 kann einen Feldeffekt­ transistor (FET) aufweisen, der vorzugsweise ein Typ mit amor­ phem Silizium ist. Der FET 202 weist eine Gate-Elektrode G, die mit der X-Adreßleitung 12A verbunden ist, eine Source- Elektrode S, die mit der Y-Adreßleitung 16B verbunden ist, und eine Drain-Elektrode D auf, die mit dem Flüssigkristallelement 200 verbunden ist. Das Flüssigkristallelement 200 ist elektrisch über den FET 202 mit der Y-Adreßleitung 16B immer dann verbun­ den, wenn dem Gate G des FET 202 über die X-Adreßleitung 12A ein entsprechendes elektrisches Steuersignal zugeführt ist, um den FET 202 zwischen seinen Source- und Drain-Elektroden S, D leitend zu machen. Zwar ist nur ein einziger FET 202 in der Informationsumwandlungszelle 18 gezeigt, es können aber ein oder mehrere zusätzliche FETs in der Zelle 18 vorgesehen sein, um für Redundanz zu sorgen, falls einer oder mehrere der FETs feh­ lerhaft wird.

Gemäß Fig. 1 enthält die Leitungsanordnung 10 X-Hilfsadreßlei­ tungen 12A' und 12B' und auch Y-Hilfsadreßleitungen 16A' und 16B'. Die X-Hilfsadreßleitungen 12A' kreuzen die X-Hauptadreß­ leitungen 12A und können mit einer der X-Hauptadreßleitungen 12A kurzgeschlossen sein. In ähnlicher Weise weisen die X-Hilfs­ adreßleitungen 12B' eine "Kreuzungs"-Relation zu den X-Haupt­ adreßleitungen 12B auf, und das gleiche gilt für die Gruppe der Y-Adreßleitungen 16A' und 16A und für die weitere Gruppe 16B' und 16B. (Der Begriff "Kreuzung" und seine Varianten werden hier in einem weiten Sinne gebraucht und beziehen sich einfach auf eine Queranordnung von Adreßleitungen ohne Bezug auf die vertikale Höhe der Leitungen, die sich kreuzen.) Die Anzahl der Hilfsadreßleitungen 12A' und 12B' kann von der gezeigten ab­ weichen und hängt von der Wahrscheinlichkeit von Fehlern in den X- und Y-Hauptadreßleitungen in der Leitungsanordnung 10 ab. Das folgende Beispiel bezieht sich auf eine bevorzugte Relation zwischen der Anzahl von Hilfsadreßleitungen und der Anzahl von Hauptadreßleitungen in einer Leitungsanordnung.

Eine typische Leitungsanordnung für beispielsweise eine Flüssig­ kristallanzeige weist eine X-Y-Matrix von 400 X-Hauptadreßlei­ tungen und 400 Y-Hauptadreßleitungen auf, wobei jede Adreßlei­ tung eine Weite von etwa 10 µm aufweist. Um für einen angemes­ senen Schutz für eine derartige X-Y-Matrix-Anzeige zu sorgen, wurde gefunden, daß das Verhältnis der Anzahl von Hilfsadreß­ leitungen zu der Anzahl von Hauptadreßleitungen bevorzugt 1 : 10 oder weniger beträgt.

Das vorstehende Beispiel macht deutlich, daß das Verhältnis der Hilfsadreßleitungen zu den Hauptadreßleitungen relativ klein sein kann. Dies verkleinert in vorteilhafterweise den Bereich der Vorrichtung, der durch die Hilfsleitungen eingenommen wird. Wenn also Hilfsleitungen in dem adressierbaren Bereich einer Vorrichtung (beispielsweise Bereich 14 in Fig. 1) angeordnet werden, wird die Auflösung der Vorrichtung nicht ernsthaft ver­ mindert. Wenn die Hilfsadreßleitungen außerhalb des adressier­ baren Bereiches einer Vorrichtung angeordnet sind, wird eine maximale Auflösung der Vorrichtung erzielt. Ein weiteres vor­ teilhaftes Merkmal der Erfindung besteht darin, daß die Hilfs­ leitungen wirtschaftlich hergestellt werden können, da sie in dem gleichen Fertigungsschritt ausgebildet werden können, der zur Bildung der Hauptadreßleitungen verwendet wird. Im Zusam­ menhang mit diesem Merkmal ist das weitere vorteilhafte Merkmal, daß eine übliche Fertigungseinrichtung verwendet werden kann, um die Hilfsadreßleitungen und auch die Hauptadreßleitungen zu bilden.

Die Hilfsadreßleitungen gemäß der Erfindung können in folgender Weise benutzt werden, um für eine elektrische Verbindung mit einer Hauptadreßleitung zu sorgen, die elektrisch von der zuge­ hörigen Schaltungsanordnung (nicht gezeigt) isoliert wird, die die Leitung steuert oder die elektrische Verbindung der Leitung abtastet. Wenn beispielsweise die unterste dargestellte X-Haupt­ adreßleitung 12B an der Stelle 50 geöffnet wird (schematisch durch einen Kreis dargestellt), dann kann die am weitesten links dargestellte X-Hilfsadreßleitung 12A' (oder die am weite­ sten rechts liegende Leitung 12A') elektrisch mit dem ansonsten isolierten Abschnitt 52 der X-Hauptadreßleitung 12B kurzge­ schlossen werden. Ein derartiger elektrischer Kurzschluß ist schematisch durch einen Kreis an einem Kreuzungspunkt 54 zwi­ schen dem anderenfalls isolierten Abschnitt 52 und der am weite­ sten links dargestellten X-Hilfsadreßleitung 12A' dargestellt. Verfahren zum Implementieren des elektrischen Kurzschlusses am Schnitt- bzw. Kreuzungspunkt 54 werden nachfolgend erläutert.

Der offene Stromkreis an der Stelle 50 in der untersten darge­ stellten X-Hauptadreßleitung 12B kann unabsichtlich hervorge­ rufen werden aufgrund von Fehlern im Fertigungsverfahren, die schwierig zu vermeiden sind. Beispielsweise können Verunreini­ gungen während des Verfahrens zum Herstellen der Leitungsanord­ nung 10 vorhanden sein und einen offenen Stromkreis, wie bei­ spielsweise an der Stelle 50, zur Folge haben. Alternativ können offene Stromkreise, wie beispielsweise an der Stelle 50, absichtlich hergestellt werden durch bekannte Verfahren wie beispielsweise Laser-Verdampfung, um einen elektrischen Kurz­ schluß zwischen einer X-Hauptadreßleitung und einer Y-Hauptadreß­ leitung abzutrennen. Wenn beispielsweise ein elektrischer Kurz­ schluß an der Stelle 56 vorhanden ist (d. h. zwischen einer Y-Hauptadreßleitung 16B und einer X-Hauptadreßleitung 12B), kann ein offener Stromkreis absichtlich an einer Stelle 50 und auch an einer Stelle 58 (schematisch durch einen gestrichelten Kreis gezeigt) hervorgerufen werden, um den Kurzschluß an der Stelle 56 in der Y-Hauptadreßleitung 60 zu isolieren. Unter diesen Umständen kann die am weitesten links dargestellte X-Hilfsadreßleitung 12A' (oder die am weitesten rechts darge­ stellte Leitung 12A') in der vorstehend beschriebenen Weise dazu verwendet werden, eine elektrische Verbindung mit dem an­ sonsten isolierten Abschnitt 52 der untersten dargestellten X-Hauptadreßleitung 12B herzustellen.

Eine erste bevorzugte Technik des elektrischen Kurzschließens einer Hilfsadreßleitung mit einer Hauptadreßleitung ist in Fig. 3A gezeigt, die einen Abschnitt der Adreßleitungsanord­ nung 10 gemäß Fig. 1 darstellt. In Fig. 3A sind in einer ver­ einfachten Draufsicht X-Hauptadreßleitungen 12B und X-Hilfs­ adreßleitungen 12A' gezeigt, wobei die Hilfsleitung die Haupt­ leitung an einer Kreuzungsstelle 54 schneidet. Ein Substrat 300 trägt Haupt- und Hilfsadreßleitungen 12B bzw. 12A'. Eine Isolierschicht 302 trennt dielektrisch die Hilfsleitung 12A' von der Hauptleitung 12B. Wenn es jedoch gewünscht ist, die Hilfs- und Hauptleitungen 12A' bzw. 12B elektrisch kurzzu­ schließen, ist die Funktion der dielektrischen Trennung durch die Isolierschicht 302 nicht länger erforderlich.

Um die Hilfs- und Hauptleitungen 12A' bzw. 12B elektrisch kurz­ zuschließen, werden Laser-Impulse auf die vier Stellen 304 (schematisch als Kreise gezeigt) auf der Hilfsleitung 12A' ge­ richtet. Es wurde gefunden, daß ein einziger Laser-Impuls an jeder Stelle 304 geeignet ist, um einen elektrischen Kurzschluß der Hilfs- und Hauptleitungen 12A' bzw. 12B zu erzielen, obwohl auch Impulse an weniger Stellen ausreichend sein sollten. Die präzise Wechselwirkung eines Laser-Impulses mit Leitungen 12A' und 12B und der Isolierschicht 302 ist nicht vollständig ge­ klärt. Ein derartiges Verständnis ist jedoch auch nicht notwen­ dig, um die Erfindung auszuführen. Um beispielsweise eine Hilfs­ adreßleitung 12A' aus Molybdän mit einer Hauptadreßleitung 12B aus Titan elektrisch kurzzuschließen, wobei die Isolierschicht 302 eine 1500 Ångström dicke Unterschicht aus Siliziumnitrid aufweist, der eine 2500 Ångström dicke Unterschicht aus amor­ phem Silizium überlagert ist, hat sich ein Impuls von einer Mikrosekunde aus einem gepulsten Xenon-Laser mit einer Energie pro Impuls von 0,1 Millijoule für jede Stelle 304 als geeignet erwiesen.

Ein alternatives Verfahren zum elektrischen Kurzschließen der Hilfs- und Hauptadreßleitungen 12A' und 12B ist in Fig. 3B gezeigt, die Fig. 3A ähnlich ist. Ein elektrisch kurzschlie­ ßendes (d. h. leitendes) Medium 306, wie beispielsweise leit­ fähiges Epoxyd, ist auf Hilfs- und Hauptadreßleitungen 12A' bzw. 12B über der Isolierschicht 302 aufgebracht, um die Lei­ tungen elektrisch kurzzuschließen. Eine geeignete leitfähige Paste zum Bilden des kurzschließenden Mediums 306 ist bei­ spielsweise Epoxyd oder Farbe gefüllt mit Silberteilchen. Alter­ nativ kann das elektrisch kurzschließende Medium 306 ein durch Wärme abgeschiedenes Metall aufweisen, das beispielsweise durch die Wirkung eines Laser-Impulses gebildet ist, der in Richtung auf die gewünschte Lage für das kurzschließende Medium 306 ge­ richtet ist, wenn die Adreßleitungsstruktur gemäß Fig. 3B einem organometallischen Reagens, beispielsweise Dimethylcadmium, ausgesetzt ist. Die vorgenannte Technik der Wärme-aktivierten Metallabscheidung ist bekannt und beispielsweise in einem Arti­ kel von Y. Rytz-Froidevaux et al. mit dem Titel "Cadmium Depo­ sition on Transparent Substrates by Laser Induced Dissociation of Cd(CH₃)₂ at Visible Wavelengths" in Applied Physics A, Band A 27 (1982), Seiten 133-138, beschrieben.

Vorstehend sind eine hohe Auflösung und hohe Genauigkeit auf­ weisende Informationsumwandlungsvorrichtungen von verbesserter Fertigungsausbeute beschrieben. Die Vorrichtungen können wirt­ schaftlich mit üblichen Fertigungsgeräten hergestellt werden.

Claims (11)

1. Informationsumwandlungsvorrichtung enthaltend:

• a) mehrere Informationsumwandlungszellen, die in einem X-Y-Matrixformat angeordnet sind,
• b) mehrere X-Hauptadreßleitungen aus elektrisch leitfähi­ gem Material,
• c) mehrere Y-Hauptadreßleitungen aus elektrisch leitfähi­ gem Material, die von den X-Hauptadreßleitungen isoliert sind,
• d) wobei jede Zelle mit einer einzigen X-Hauptadreßleitung und einer einzigen Y-Hauptadreßleitung verbunden ist, und die spezielle X-Hauptadreßleitung und die spezielle Y-Hauptadreß­ leitung von der Lage der jeweiligen Zelle in der Matrix abhän­ gen derart, daß sie eine einzige bestimmte Adresse aufweisen,
• e) die X-Hauptadreßleitungen und die Y-Hauptadreßleitungen in einem Bereich der Vorrichtung quer zueinander orientiert sind, wobei die Zellen durch die X-Hauptadreßleitungen und die Y-Hauptadreßleitungen elektrisch adressierbar sind,
• f) wenigstens eine X-Hilfsadreßleitung aus elektrisch leitendem Material, die von den X-Hauptadreßleitungen isoliert ist,
• g) wobei die X-Hilfsadreßleitung wenigstens eine der X- Hauptadreßleitungen in elektrisch isolierter Relation dazu kreuzt und mit nur einer der X-Hauptadreßleitungen, die einen Fehler enthält, permanent elektrisch kurzschließbar ist, und
• h) an der Kreuzungsstelle zwischen der X-Hilfsadreßleitung und der X-Hauptadreßleitung eine Isolierschicht angeordnet ist, deren Dicke genügend klein ist, damit ein Laser-Impuls vorbe­ stimmter Energie, der auf die Kreuzungsstelle gerichtet ist, für einen elektrischen Kurzschluß zwischen der X-Hilfsadreß­ leitung und der X-Hauptadreßleitung sorgt.

2. Informationsumwandlungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Informations­ umwandlungszellen jeweils ein entsprechendes Flüssigkristall-Displayelement aufweisen und die mehreren X-Hilfsadressleitungen die wenigstens eine X-Hauptadressleitung an einer Stelle außerhalb des adressierbaren Bereiches kreuzen.

3. Informationsumwandlungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis der Anzahl von X-Hilfsadreßleitun­ gen zu der Anzahl der X-Hauptadreßleitungen einen maximalen Wert von 1 : 10 hat.

4. Informationsumwandlungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Isolierschicht ausreichend klein ist, damit ein auf den Kreuzungspunkt gerichteter Laser-Impuls von weniger als etwa 0,1 Millijoule für den elektrischen Kurzschluß zwischen der X-Hilfsadreßleitung und der X-Hauptadreßleitung sorgt.

5. Informationsumwandlungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede Informationsumwandlungszelle ein entsprechendes Flüssigkristallanzeigeelement aufweist.

6. Informationsumwandlungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede Informationsumwandlungszelle wenigstens einen Feldeffekttransistor aufweist, der zwischen entsprechende X- und Y-Hauptadreßleitungen und das Flüssigkristallanzeigeelement geschaltet ist.

7. Informationsumwandlungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Y-Hilfsadreßleitung aus elektrisch leitfähigem Material vorgesehen ist, die wenigstens eine der Y-Hauptadreßleitungen in elektrisch isolierter Relation dazu kreuzt und mit einer der Y-Hauptadreßleitungen permanent elektrisch kurzgeschlossen wer­ den kann.

8. Informationsumwandlungseinrichtung nach Anspruch 2 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine vorbestimmte X-Hilfsadressleitung permanent kurzgeschlossen ist mit einer vorbestimmten X-Hauptadressleitung, die sie kreuzt.

9. Informationsumwandlungseinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens eine Y-Hilfsadressleitung die wenigstens eine Y-Haupt­ adressleitung an einer Stelle außerhalb des adressierbaren Bereiches kreuzt.

10. Informationsumwandlungseinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kreuzungsstelle zwischen der X-Hilfsadressleitung und der X-Hauptadressleitung außerhalb des adressierbaren Bereiches angeordnet ist und die Kreuzungsstelle zwischen der Y-Hilfsadressleitung und der Y-Hauptadressleitung ebenfalls außerhalb des adressierbaren Bereiches angeordnet ist.

11. Informationsumwandlungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Hauptadress­ leitungen jeweils von zwei gegenüberliegenden Seiten der Fläche der Einrichtung erstrecken.