DE3611141A1 - Mischung zur herstellung von bruchbestaendigem, faserverstaerktem keramikmaterial durch mikrowellenerwaermung - Google Patents

Mischung zur herstellung von bruchbestaendigem, faserverstaerktem keramikmaterial durch mikrowellenerwaermung

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DE3611141A1 DE19863611141 DE3611141A DE3611141A1 DE 3611141 A1 DE3611141 A1 DE 3611141A1 DE 19863611141 DE19863611141 DE 19863611141 DE 3611141 A DE3611141 A DE 3611141A DE 3611141 A1 DE3611141 A1 DE 3611141A1
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Description

-- -· K-0367
Mischung zur Herstellung \on bruchbeständigem faserverstärktem Keramikmaterial durch Mikrowellenerwärmung
Die Erfindung bezieht sich allgemein auf eine faserenthaltende Mischung und auf ein Verfahren zur Herstellung eines bruchbeständigen faserverstärkten Keramikmaterials durch
die Verwendung der Mikrowellenerhitzung. 5
Die konventionelle Herstellung von Keramikmaterialien erfolgt unter Verwendung von Widerstandsheizöfen, die relativ große Energiemengen verbrauchen, ferner viel Zeit und Arbeitskraft benötigen, wobei die Keramikmaterialien ziemlieh gefährdenden Umgebungen ausgesetzt werden. Ein alternatives Verfahren zur Herstellung von Keramikmaterial, verwendet in Dichtungen wurde in den folgenden US-Patentanmeldungen beschrieben: Serial-No. 538 889 und Serial-No. 538 890. Die Titel dieser Patentanmeldungen lauten "Ceramic-Glass-ffetal Seal By Microwave Heating" und "Ceramic-Glass-Ceramic Seal By Microwave Heating". Die in Dichtungen verwendeten Keramikmaterialien wurden dadurch gebildet, daß man eine Aufschlämmung, die ein Kopplungsagens, beispielsweise Uhrenöl und ein Dichtungsmaterial, wie beispielsweise Glas, enthielt, gleichmäßig zwischen Keramik und Keramik oder Metallsubstraten ausbreitete und gegenüber Mikrowellenenergie aussetzte, um die Erwärmung und die Bildung der Dichtung zu bewirken. Ein weiteres Verfahren und eine Mischung zur Herstellung von Keramikmaterialien,verwendet ebenfalls bei Dichtungen, wurde in US-Patentanmeldung Serial-No. 659 586 beschrieben.
Dieses andere Verfahren bestand darin, daß man eine Mischung aus Glasdichtxnaterial, einem Kopplungsagens und einem Oxidiermittel der Mikrowellenbestrahlung aussetzte, welche die Mischung hinreichend erwärmte, um das Oxidiermittel zu zünden,und die Bildung der Flüssigphasendichtung bewirkte.
Es verblieben noch weitere Probleme hinsichtlich der gebildeten Keramikmaterialien selbst bei Verwendung dieser neuen Mikrowellenheizverfahren. Speziell dann, wenn Keramikmaterialien in Formen von mehr als 4" χ 4" (10 cm χ 10 cm) hergestellt wurden, ergaben sich Brüche. Zudem konnten die sowohl durch den Mikrowellenheizprozeß wie auch durch konventionelle Prozesse hergestellten Keramikmaterialien nicht in einer solchen Weise modifiziert werden, daß der Wärmeaufbau entweder in oder auf dem Keramiksubstrat in einer geometrisch gesteuerten Weise verteilt werden konnte. Schließlich hatten die Keramikmaterialien keine speziellen Shunt- oder Parallelkapazitätswerte, die schnellere Übergangszeiten für elektronische Impulse gestatten würden, und zwar in irgendwelchen leitenden Pfaden, die in den KeramikSubstraten aufgebaut waren.
Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Ausbildung von Keramiksubstraten anzugeben, welche größere Bruchbeständigkeit.in.größeren,geometrischen Formen aufweisen. Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, ein leicht zu automatisierendes eine niedrige Energie benötigendes effizientes, schnelles und effektives Verfahren zur Bildung \on KeramikSubstraten anzugeben, und zwar von Keramiksubstraten mit erhöhter Festigkeit. Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, ein Keramiksubstrat anzugeben, in dem die in oder am Substrat erzeugte Wärme in geometrisch kontrollierter Weise verteilt werden kann. Schließlich ist ein weiteres Ziel
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darin zu sehen, ein keramisches Substrat vorzusehen, welches einen Shunt-Kapazitätswert derart besitzt, daß die elektronischen Impulse in aufgebauten Leitungspfaden schnellere Durchgangszeiten aufweisen.
Zusammenfassung der Erfindung. Um die genannten sowie weitere Ziele gemäß der Erfindung zu erreichen, ist folgendes vorgesehen: Herstellung einer keramischen Ausgangsmischung, die Glasmaterial enthält, ein Kopplungsagens und elastische Fasern; Umschließung der Mischung innerhalb eines Isoliermaterials; Aussetzung der Mischung gegenüber Mikrowellen, und zwar mit einer Leistung, Zeitdauer und Frequenz,ausreichend zur Bindung des Keramikmaterials an die Fasern; und Gestatten, daß das Material abkühlt, wodurch ein bruchbeständiges faserverstärktes Keramikmaterial erhalten wird.
Die vorliegende Erfindung kann entsprechend ihren Zielen und Zwecken auch ein bruchbeständiges faserverstärktes Material vorsehen, und zwar erzeugt durch ein Verfahren, welches folgende Schritte aufweist: Herstellung einer keramischen Ausgangsmischung, die Glasmaterial aufweist, ein Kopplungsagens und elastische. Fasern; Umschließung der Mischung innerhalb eines isolierenden Materials; Aussetzen der Mischung gegenüber Mikrowellenbestrahlung, und zwar mit einer Leistung, Zeit und Frequenz ausreichend zur Bindung des Keramikmaterials an die Fasern; Gestatten, daß das Material sich abkühlt, wodurch ein bruchbeständiges faserverstärktes Keramikmaterial erhalten wird. Die Erfindung kann ferner ein bruchbeständiges, faserverstärktes Keramiksubstrat vorsehen, wobei die Fasern derart orientiert sind, daß die in oder am Substrat erzeugte Wärme in einem gewünschten geometrischen Muster verteilt wird, und zwar parallel zu dem Fasermuster.
Schließlich kann die Erfindung zur Erreichung der Ziele und Zwecke ein bruchbeständiges, faserverstärktes Keramik-
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substrat vorsehen, dessen Shunt-Kapazitätwert für einen leitenden Pf.ad niedriger liegt als der Wert für das gleiche keramische Material ohne Fasern. Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht in dem beträchtlichen Zeit- und Energiegewinn, verglichen mit konventionellen, d. h. Strahungs-, Heizverfahren zur Herstellung von Keramiksubstraten. Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist die größere Festigkeit, die in jedwedem Keramikmaterial vorhanden ist, welches mit eingeschlossenen elastischen Fasern hergestellt wird. Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist seine Fähigkeit, ein gewünschtes Wärmeverteilungsmuster vorzusehen, und zwar entsprechend der Orientierung der Fasern innerhalb des Keramiksubstrats. Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist der niedrigere Shunt-Kapazitätwert für einen Leitungspfad in oder auf dem faserverstärkten Keramiksubstrat, der zu einer schnelleren elektronischen Impulslaufzeit für jedwede Schaltung in oder auf dem Keramiksubstrat führt.
Weitere Vorteile, Ziele und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen nach der Zeichnung; in der Zeichnung zeigt:
Fig. 1 eine Photomikrographxe mit 100facher Vergrößerung eines polierten Abschnitts eines bruchbeständigen, faserverstärkten Keramikmaterials, hergestellt nach Beispiel II;
Fig. 2 eine Photomikrographie mit 50Ofacher Vergrößerung eines polierten Abschnitts des bruchbeständigen, faserverstärkten Keramikmaterials, hergestellt nach Beispiel II.
Im folgenden seien die bevorzugten Ausführungs beispiele der Erfindung beschrieben.
Der erste Schritt bei der Herstellung eines bruchbeständigen, faserverstärkten Keramikmaterials unter Verwendung von Mikro-
wellenerhitzung besteht darin, eine Mischung herzustellen, die das Kupplungsagens, Glasmaterial und elastische Fasern enthält. Das Glasabdichtmaterial ist am häufigsten ein Glas mit thermischen Ausehnungseigenschaften, die mit den zu verbindenden elastischen Fasern kompatibel sind. Kopplungsagenzien können Materialien sein, wie öle, speziell Uhrenöl, Glycerin, Siliciumcarbid, Wasser und Zucker. Die vorgenannten Kopplungsagenzien bewirken sämtlich eine Kopplung, d. h. absorbieren Mikrowellen und wandeln die Energie in thermische Energie um, und zwar auf Mikrowellen von 2,45 gHz-Frequenz. Andere Molekularverbindungen koppeln auch an Mikrowellen von 2,45 gHz-Frequenz an. Diese Bindungen umfassen diejenigen, die in den NO_-, NO3-, CO3- und NH3~Gruppen vorhanden sind. Wenn ein Oxidationsmittel eine dieser Gruppen enthält, so kann das Oxidationsmittel Wärme durch Konvektion vorsehen, um die Temperatur des Glasmaterials zu erhöhen und auch seine eigene Temperatur zum Zündpunkt hin erhöhen. Wahlweise verwendbare Oxidationsmittel, die in der keramischen Ausgangsmischung enthalten sein können, umfassen Nitrate, die bevorzugte Oxidationsmittel sind, wobei Natriumnitrat das bevorzugteste Oxidationsmittel ist. Wenn die Temperatur des Glasmaterials erhöht wird, so hört das Material auf für Mikrowellen transparent zu sein und es fängt an, Wärme zu erzeugen, und zwar infolge der Kopplung mit den Mikrowellen. Wenn die keramische Ausgangsmischung auch ein Oxidiermittel enthält, so wird das Oxidiermittel durch die Wärmekonvektion von Kopplungsagens gezündet. Wenn das Oxidationsmittel gezündet wird, so wird die auf diese Weise erzeugte Extrawärme ein gründliches Schmelzen der keramischen Ausgangsmischung sicherstellen und eine feste Bindung mit den elastischen Fasern. Infolge der durch die Zündung des Natriumnitrats erzeugten Extrawärme kann die Mischungstemperatur bis auf 1000 0C ansteigen. Bei dieser Temperatur koppelt das Hochtemperaturglasmaterial hinreichend viel Mikrowellenenergie, um die Erwärmung fortzusetzen. Die Mi-
schung der Bestandteile für die keramische Ausgangsmischung wird durch konventionelle Maßnahmen vorgenommen.
Nach einer gründlichen Mischung der Komponenten der keramischen Ausgangsmischung wird die Mischung in einem Zirkonoxidschmelzgefäß angeordnet. In einer Herstellungsanordnung könnte eine keramische Ausgangsmischung in ein keramisches Substrat umgewandelt werden, und zwar durch das bekannte Verfahren des Bandgusses. Das Bandgußverfahren verwendet eine konventionelle Wärmequelle, wie beispielsweise Strahlungswärme. Für diese Erfindung wäre die Wärmezone ein Mikrowellentunnel, wo das Band kontinuierlich durch die Zone der Belichtung mit Mikrowellenstrahlung laufen würde. Für das Chargenverfahren unter Verwendung von Schmelzgefäßen kann das Verfahren zur Mikrowellenerhitzung verwendet werden, wie es allgemein in der erwähnten Patentanmeldung Serial-No. 538 890 beschrieben ist, auf die hier ausdrücklich Bezug genommen wird. Kurz gesagt, sieht diese Patentanmeldung vor, daß nach dem die keramischen Werkstücke für die Erhitzung zum Zwecke der Abdichtung bereit sind, im Gegensatz zur Bildung des keramischen Substrats in diesem Falle, diese von Isoliermaterial umgeben werden, und zwar angeordnet in einem Kohlraum, der normalerweise ein Ofen genannt wird^jn mitMikrowellenenergie bestrahlt zu werden, worauf dann die Erwärmung durch Mikrowellenenergie hinreichend lang erfolgt, um das Glas auf eine hoch genug liegende Temperatur zu bringen, so daß eine Glasdichtung gebildet wird. In dieser Anmeldung würde die Aussetzung gegenüber Mikrowellenenergie lang genug sein, um in gründlicher Weise die keramische Ausgangsmischung zu schmelzen, und zwar um eine adequate Verbindung zwischen dem Keramikmaterial und den elastischen Fasern sicherzustellen.
Die Belichtungszeit gegenüber Mikrowellenenergie sollte jedoch nicht so lange sein, daß dies zu einer Verschlech-
terung der elastischen Fasern führt. Wenn konventionelle Wärmequellen verwendet werden, so kann die Belichtungszeit oder Aussetzungszeit gegenüber der Wärmehöhe solange erfolgen, bis eine beträchtliche Verschlechterung einer beträchtlichen Anzahl von Fasern auftritt, und zwar aus dem Grunde der Sicherstellung einer adequaten Verbindung mit den verbleibenden Fasern. Das Mikrowellenheizverfahren gestattete somit eine schnelle Erwärmung derart, daß das Glasmaterial mit den elastischen Fasern verbunden wird, bevor die Fasern degradiert werden, d. h. ihre Qualität verlieren. Nachdem man genügende Zeit für die Bildung der Verbindung zwischen den elastischen Fasern und dem Glasmaterial vorgesehen hat, werden die Schmelzgefäße aus dem Mikrowellenofen entfernt und man läßt sie abkühlen.
Ein weiteres Merkmal, erhalten bei der Verwendung der Belichtung oder Aussetzung gegenüber Mikrowellenstrahlung als Heizmittel besteht darin, daß der ExH-Vektor des elektromagnetischen Feldes,aufgebaut im Reaktionshohlraum,die Fasern in einer einzigen Richtung orientiert. Diese Orientierung gestattet, daß die Fasern als ein Richtungsmittel für die erzeugte Wärme in oder auf dem Substrat dienen (das Substrat bei Verwendung nicht während der Bildung des Substrats), und zwar in einem gewünschten geometrischen Muster parallel zum Fasermuster. Dies ist auf die Tatsache zurückzuführen, daß Wärme im allgemeinen in einem parallelen Muster zum Fasermuster fließen wird.
Ein weiterer Vorteil des faserverstärkten keramischen Substrats besteht darin, daß dann, wenn die Basis des Substrats als eine elektrische Erdebene verwendet wird, die Shunt-Kapazität des Substrats geändert wird. Die sorgfältige Auswahl der elastischen Fasern mit einer niedrigeren Dielektrizitätskonstante als das keramische Substrat bedeutet, daß das bruchbeständige, faserverstärkte keramische Substrat
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einen niedrigeren dielektrischen Wert besitzt als das gleiche Keramikmaterial ohne die Fasern. Infolge dieser niedrigeren Dielektrizitätskonstanten wird die Shunt-Kapazität des keramischen Materials um einen vorgesehenen Leitpfad herum niedriger. Diese niedrigere Shunt-Kapazität bedeutet, daß irgendein längs des leitenden Pfades laufender elektronischer Impuls eine schnellere Durchlaufzeit zeigen wird, weil die niedrigere Shunt- oder Parallelkapazität den Impuls weniger verformen wird.
Beispiel I
Eine keramische Ausgangsmischung wurde mit den folgenden Bestandteilen hergestellt.
15
SiC-Fasern — 1 ,0 g •
Al2O3 - 8 g
NaNO3 - 6 ,5 g
Glycerin -1 0 g
Es sei darauf hingewiesen, daß obiges Al2O- bei 1850 0C unter Verwendung konventioneller Heizmittel sintert und bei der Zugabe des Oxidationsmittels NaNO3 ist die erwartete Reaktxonstemperatur 1000 0C. Diese Temperatur wird für eine kurze Zeit erreicht und sodann koppelt das Al3O3 und erwärmt sich zu seiner Sintertemperatur. Nach dem Mischen wird die keramische Ausgangsmischung in einem ZrO2-Schmelzgefäß angeordnet, welches 2,5 cm Durchmesser und 2 cm Höhe besitzt.
Das Schmelzgefäß wurde sodann in einem Zircar AL-15-Isolationshohlraum angeordnet und sodann war dieser in dem Gebiet der höchsten Mikrowellenelektrizitätsfeld-Intensität in einem Litton-Modell 1521 Mikrowellenofen angeordnet.
Der Ofen wurde auf volle Leistung geschaltet und lief 60 Minuten. Das keramische Material verbindet sich gut mit den SiC-Fasern.
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Beispiel II
Die folgende Mischung wurde hergestellt und in ein ZrO--Schmelzgefäß gegeben, sodann in einem thermisch isolierenden Hohlraum angeordnet und schließlich gegenüber Mikrowellen ausgesetzt/ und zwar in einem Litton 1521-Mikrowellenofen wie in Beispiel I:
SiC-Fasern - 1,3 g
Pyrex (7740) - 12 g
NaNO3 -4g
Glycerin -7g.
Der Ofen wurde mit voller Leistung 64 Minuten lang betrieben und ein faserverstärktes keramisches Substrat wurde gebildet. Das Pyrex-(7740) Glas ist ein unter Warenzeichenschutz stehendes Produkt der Corning Glass.
Fig. 1 zeigt eine Querschnittsansicht in 10Ofacher Vergrößerung des gebildeten keramischen Produkts. Eine SiC-Faser kann als in Horizontalrichtung orientiert gesehen werden. Die Fig. 2 kann als eine Endansicht mit 500facher Vergrößerung angesehen werden. Das Vorhandensein der Kreise bestätigt die Parallelorientierung der Fasern. 25
Beispiel III
Die folgende Mischung wurde in ein bruchbeständiges, faserverstärktes Keramikmaterial wie in Beispiel II umgewandelt:
Si-N.-Fasern - 1 ,5 g
Al2O3 - 10 ,5 g
Glycerol - 9 g
Der Mikrowellenofen wurde jedoch bei 110 Minuten bei vollerleistung betrieben.
Beispiel IV
Die folgende Keramikausgangsmischung wurde in ein bruchbeständiges, faserverstärktes Keramikmaterial umgewandelt, und zwar durch Erhitzung bei voller Leistung über 65 Minuten hinweg wie in Beispiel II. Im geschmolzenen Glas waren "Whiskers" (Fäden) vorhanden:
Si^N.-Fasern - 1,5 g
Pyrex (7740) - 10 g
Glycerol - 10 g
Beispiel V
Die folgende Mischung wurde in ein bruchbeständiges, faserverstärktes Keramikmaterial umgewandelt, und zwar durch
90minütiges Erhitzen wie in Beispiel II:
20
Si-jN.-Fasern - 1, 2 g
ZrO2 - 15 g
NaNO3 - 8 g
Glycerol - 12 g
Beispiel VI
Die folgende Keramikausgangsmischung wurde in ein bruchbeständiges, faserverstärktes Keramikmaterial durch Erwärmen für 30 Minuten wie im Beispiel II umgewandelt:
30
SiC-Fasern - 1, 6 g
ZrO2 - 15 g
Zr (NO3)4 - 10 g
Glycerol - 12 g
Beispiel VII
Die folgende Mischung wurde in ein bruchbeständiges, faserverstärktes Keramikmaberial umgewandelt, und zwar durch Er-
hitzen für 105 Minuten wie in Beispiel II:
^ - 1,2 g
Glas(850° Schmelzpunkt)-10 g Glycerol - 8 g
Das erwähnte Glas zur Verwendung in diesem Beispiel wurde hergestellt aus einer Mischung mit den folgenden Prozentsätzen: PbO - 50 %, Al2O3 - 5 %, SiO2 - 35 %, B2O3 - 10 %.
Die vorstehende Beschreibung bevorzugter Ausführungsbei-
spiele dient der Erläuterung der Erfindung, soll aber nicht einschränkend verstanden werden. Abwandlungen der Erfindung sind dem Fachmann möglich.
15
Zusammenfassend sieht die Erfindung folgendes vor:
Ein bruchbeständiges, faserverstärktes Keramiksubstrat wird durch ein Verfahren hergestellt, welches die Herstellung einer Keramikausgangsmischung vorsieht, welche Glasmaterial enthält, ein Kopplungsagens und elastische Fasern, worauf dann die Mischung Mikrowellenenergie ausgesetzt wird. Das Mikrowellenfeld orientiert die Fasern in dem sich ergebenden Keramikmaterial in einem gewünschten Muster, wodurch später in oder auf dem Substrat erzeugte Wärme in einem gewünschten geometrischen Muster parallel zum Fasermuster verteilt bzw. abgeleitet werden kann. Weiterhin ist die Shunt-Kapazität des bruchbeständigen, faserverstärkten Keramiksubstrats niedriger, was eine schnellere Durchgangszeit für elektronische Impulse zur Folge hat, die in irgendeinem leitenden Pfad laufen, der in das Keramiksubstrat eingeätzt ist.
Statt Glycerol lies Glycerin.

Claims (16)

R-8367 3611U1 Mischung zur Herstellung von bruchbeständigem, faserverstärktem Keramikmaterial durch Mikrowellenerwärmung Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung eines Keramikmaterials, wobei eine keramische Ausgangsmischung in einem Isoliermaterial eingeschlossen ist, einer Mikrowellenbestrahlung ausgesetzt wird, und zwar mit einer bestimmten Leistung, Zeit und Frequenz ausreichend um die keramische Ausgangsmischung miteinander zu verbinden, worauf dann eine Abkühlung erfolgt, dadurch g e -
VO kennzeichnet, daß die keramische Ausgangsmischung Glasmaterial, ein Kopplungsagens und elastische Fasern aufweist, und daß das keramische Material in der keramischen Ausgangsmischung sich mit den elastischen Fasern während der Mikrowellenaussetzung derart verbindet, daß bei dem Abkühlen ein bruchbeständiges, faserverstärktes Keramikmaterial erzeugt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die keramische Ausgangsmischung zusätzlich ein Oxidationsmittel enthält, welches während der Mikrowellenbestrahlung zündet, wodurch bewirkt wird, daß sich ein Flüssigphasenmaterial vor dem Abkühlschritt bildet.
3611U1
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Oxidationsmittel ein Nitrat ist.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fasern Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid sind.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Kopplungsagens Glycerin ist.
6. Verfahren nach Anspruch !,dadurch gekennzeichnet,
daß die Fasern Siliciumcarbid oder Siliciu.mnitrid sind.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrowellenbestrahlung mit einer hinreichenden Leistung, Zeit und Frequenz fortgesetzt wird, um die Fasern im wesentlichen alle in der gleichen Richtung zu orientieren.
8. Bruchbeständiges, faserverstärktes Material, hergestellt durch ein Verfahren, welches die folgenden Schritte aufweist:'
a. Herstellung einer keramischen Ausgangsmischung, die Glasmaterial, ein Kopplungsagens und elastische Fasern enthält;
b. Umschließen der Mischung mit einem isolierenden Material;
c. Mikrowellenbestrahlung der Mischung mit einer Leistung, Zeit und Frequenz, ausreichend zur
Verbindung des Keramikmaterials mit der Faser; und
d. Abkühlen des Materials, wodurch ein bruchbestän diges, faserverstärktes Keramikmaterial erhalten wird.
- 3 - 3611U1
9. Material nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die keramische Ausgangsmischung weiterhin ein Oxidationsmittel enthält, welches sich während des Mikrowellenschritts c. zündet, wodurch ein Flüssigphasenmaterial vor dem Kühlschritt d. gebildet wird.
10. Material nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Oxidationsmittel ein Nitrat ist.
11. Material nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Fasern aus Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid bestehen .
12. Material nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Kopplungsagens Glycerol ist.
13. Material nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Fasern Siliciumcarbid oder Siliciumnitrid sind.
14. Material nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrowellenbestrahlung mit einer hinreichenden Leistung, Zeit und Frequenz fortgesetzt wird, um die Fasern im wesentlichen alle in der gleichen Richtung zu orientieren ·
15. Bruchbeständiges, faserverstärktes Keramiksubstrat, bei dem die Fasern in einer solchen Weise orientiert sind, daß in oder auf dem Substrat erzeugte Wärme in einem gewünschten geometrischen Muster parallel zu dem Fasermuster abgeleitet oder verteilt wird.
16. Bruchbeständies, faserverstarkes Keramiksubstrat, dessen Shunt-Kapazitätswert für einen leitenden Pfad niedriger liegt als dies für das gleiche keramische Material ohne Fasern gilt.
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