DE3610479A1 - Magnetischer wegsensor - Google Patents

Magnetischer wegsensor

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Description

Die Erfindung betrifft einen magnetischen Wegsensor zur Erfassung der Lage eines Meßobjektes, das berührungslos längs eines von zwei wechselstromgespeisten Erregerspulen magnetisierten weichmagnetischen Kerns bewegbar angeordnet ist und - abhängig von seiner Position - an einer Stelle des weichmagnetischen Kerns einen virtuellen Luftspalt erzeugt und damit den Streufluß des Systems und die in mindestens einer Sekundärspule erzeugte Spannung beeinflußt.
Ein derartiger Wegsensor ist beispielsweise in der Zeitschrift Technisches Messen, 50. Jahrgang, 1983, Heft 10, auf den Seiten 373 bis 378 beschrieben. Dieser Wegsensor enthält einen langgestreckten rechteckförmigen magnetischen Kern, auf dessen Schmalseiten je eine Primär- und eine Sekundärwicklung angeordnet sind. Das Meßobjekt, dessen Lage durch den Wegsensor bestimmt werden soll, besteht aus einem Kurzschlußring, der eine der längeren Seiten des weichmagnetischen Kerns umschließt. Dieser Kurzschlußring bewirkt, daß an seiner jeweiligen Position ein virtueller Luftspalt in dem weichmagnetischen Kern entsteht, da die in ihm induzierten Kurzschlußströme weitgehend verhindern, daß der magnetische Kern an der Stelle des Kurzschlußrings einen magnetischen Fluß führt.
Wenn sich das Meßobjekt (Kurzschlußring) in der Mitte des lang­ gestreckten Schenkels des weichmagnetischen Kerns befindet, besitzen beide jeweils aus Primär- und Sekundärspule bestehenden Magnetsysteme das gleiche Streufeld, so daß die in den Sekundär­ spulen erzeugten Spannungen einander gleich sein können und sich in einer Differenzschaltung gegenseitig aufheben.
Verschiebt sich das Meßobjekt aus der Mittellage, so wird die induzierte Spannung in einer der Sekundärwicklungen vergrößert und in der anderen verkleinert. Man erhält also eine Spannung, deren Größe abhängig von der Lage des Meßobjektes ist, so daß der von dem Meßobjekt zurückgelegte Weg bestimmt werden kann.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine derartige Meß­ einrichtung bei mindestens gleicher Genauigkeit wesentlich zu vereinfachen und deren Einsatzmöglichkeiten zu erweitern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der weichmagnetische Kern als längsgestreckter Streifen ausgebildet ist, daß um den weichmagnetischen Kern mit Abstand voneinander zwei Erregerspulen gewickelt und so an eine Wechselspannungs­ quelle angeschlossen sind, daß die in den Erregerspulen fließen­ den Erregerströme den weichmagnetischen Kern gegensinnig magneti­ sieren, daß zwischen den Erregerspulen eine Sekundärwicklung auf den weichmagnetischen Kern gewickelt ist, deren Länge dem erfaß­ baren Weg entspricht und daß im Bereich der Sekundärspule ein Meßobjekt längs zum weichmagnetischen Kern bewegbar ist, das im weichmagnetischen Kern einen virtuellen Luftspalt erzeugen kann.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unter­ ansprüchen beschrieben.
Die Wirkungsweise des neuen Wegsensors wird nachstehend anhand der Fig. 1 bis 4 beschrieben. Fig. 5 zeigt eine Anordnung mit verringerter Empfindlichkeit gegen störende Gleichfelder.
In Fig. 1 ist der Aufbau des erfindungsgemäßen Wegsensors schematisch - ohne Halterungen, Gehäuse usw. - dargestellt. Er besteht aus einem Träger 1, der beispielsweise aus einem Kunststoffstreifen bestehen kann und aus einem auf den Träger 1 aufgeklebten Streifen aus amorphem Metall, der den weich­ magnetischen Kern bildet.
Hierzu kann jeder weichmagnetische Werkstoff verwendet werden, allerdings zeichnet sich amorphes Metall dadurch aus, daß es biegeunempfindlich ist und eine hohe Permeabilität aufweist. Verwendet man ein amorphes Metall aus einer Kobalt-Basislegierung mit verschwindend kleiner Magnetostriktion, so wäre es ohne weiteres möglich, zusammen mit einem elastischen Träger auch nichtgeradlinige Wegsensoren herzustellen.
Im Bereich der Enden des Trägers 1 und des weichmagnetischen Kerns 2 sind zwei Erregerspulen 3 und 4 angeordnet; eine Sekuudärspule 5 befindet sich zwischen den Erregerspulen 3 und 4 und füllt den gesamten Raum zwischen diesen Erreger­ spulen aus.
Als Meßobjekt 11 dient ein Dauermagnet, der in Richtung der Pfeile 6 und 7 - also längs des weichmagnetischen Kerns 2 - verschiebbar ist. Der Abstand des Meßobjektes 11 von der Sekundärspule 5 bzw. vom weichmagnetischen Kern 2 kann so groß gewählt werden, daß der weichmagnetische Kern 2 von dem Magneten gerade noch gesättigt wird. Durch die Sättigung des weichmagnetischen Kerns 2 in der Position des Meßobjektes 11 wird erreicht, daß hier ein virtueller Luftspalt entsteht.
Wie beim Bekannten könnte man beim Gegenstand des erfindungs­ gemäßen Wegsensors ebenfalls einen Kurzschlußring verwenden; dies würde immer noch eine Vereinfachung bedeuten, da der Kurzschlußring seitlich einfach auf den weichmagnetischen Kern 2 aufgeschoben werden kann, während er beim Bekannten um einen Schenkel eines geschlossenen magnetischen Rechteckkerns gewickelt werden muß.
Vorteilhafterweise besitzen die Windungen der Sekundärspule 5 voneinander gleichen Abstand, da sich dann ein von der Ver­ schiebung des Meßobjektes 11 weitgehend linear abhängiges Ausgangssignal ergibt - also kein besonderer Aufwand zur Lineari­ sierung des analogen Ausgangssignals des erfindungsgemäßen Weg­ sensors erforderlich ist.
Fig. 2 zeigt, daß sich auf besonders einfache Weise ein gleich­ mäßiger Abstand der einzelnen Windungen der Sekundärspule 5 voneinander dadurch erzielen läßt, daß der Träger 1 etwas breiter gewählt ist als der weichmagnetische Kern 2 und an seinen Rändern Einkerbungen 8 zur Aufnahme des die Windungen der Sekundärspule 5 bildenden Drahtes besitzt.
ln Fig. 3 ist die Schaltung der in den Fig. 1 und 2 darge­ stellten Anordnung aufgezeigt. Die Erregerwicklungen 3 und 4 sind in Reihe an eine Wechselspannungsquelle 9 so angeschlossen, daß sie versuchen, den weichmagnetischen Kern 2 gegensinnig zu magnetisieren. Mit dem Meßobjekt 11 in Mittelstellung ergibt sich ein durch Unterbrechung des weichmagnetischen Kerns 2 angedeuteter virtueller Luftspalt 10 in der Mitte zwischen den Erregerspulen 3 und 4. Da sich an dieser Stelle ohnehin wegen der gegensinnigen Magnetisierung der Enden des weichmagnetischen Kerns 2 kein magnetischer Fluß befindet, hat der virtuelle Luftspalt an dieser Stelle keinen Einfluß auf die in der Sekundärspule 5 erzeugten Spannungen. Diese Spannungen sind mit u a und u b bezeichnet und sind einander entgegengerichtet (um 180° phasen­ verschoben), wie in Fig. 3 angedeutet ist. An den Anschlüssen 12 und 13 der Sekundärspule 5 liegt damit die Summenspannung u s an, die bei der in Fig. 3 dargestellten Position des Meß­ objektes 11 den Wert 0 hat.
Fig. 4 zeigt die gleiche Anordnung wie Fig. 3 nur mit dem Unterschied, daß das Meßobjekt 11 nach links verschoben ist. Man sieht, daß hierdurch die Spannung u a vermindert und die Spannung u b vergrößert ist, so daß sich ein von der Fosition des Meßobjektes 11 abhängiger Wert für die Summenspannung u s ergibt. Durch die exzentrische Lage des virtuellen Luftspalts 10 wird erreicht, daß in der Mitte zwischen den Erregerspulen 3 und 4 der von der Erregerspule 3 ausgehende Fluß geschwächt wird, so daß der Magnetisierungseinfluß der Erregerspule 4 überwiegt.
Bei der beschriebenen erfindungsgemäßen Anordnung mit einem Dauermagneten als Meßobjekt 11 können magnetische Gleichfelder je nach Stärke und Richtung den durch das Meßobjekt 11 erzeugten virtuellen Luftspalt 10 in Größe und Lage beeinflussen. Die sich hieraus ergebende Verfälschung des Meßwertes (Summenspannung u s ) läßt sich wesentlich verringern, wenn man zwei zu beiden Seiten der Sekundärspule 5 einander gegenüber angeordnete Dauermagnete 14 und 15 verwendet, die zusammen dann das Meßobjekt 11 bilden. Verwendet man Magnete als Meßobjekt 11, so können diese beliebige Richtungen im Verhältnis zum weichmagnetischen Kern 2 aufweisen, vorausgesetzt, daß sie an ihrer Position den weichmagnetischen Kern 2 sättigen können und damit einen virtuellen Luftspalt erzeugen.

Claims (9)

1. Magnetischer Wegsensor zur Erfassung der Lage eines Meß­ objektes (11), das berührungslos längs eines von zwei wechsel­ stromgespeisten Erregerspulen (3, 4) magnetisierten weichmagneti­ schen Kerns (2) bewegbar angeordnet ist und - abhängig von seiner Position - an einer Stelle des weichmagnetischen Kerns (2) einen virtuellen Luftspalt (10) erzeugt und damit den Streufluß des Systems und die in mindestens einer Sekundärspule (5) erzeugte Spannung beeinflußt, dadurch gekennzeichnet, daß der weichmagnetische Kern (2) als längsgestreckter Streifen ausgebildet ist, daß um den weichmagnetischen Kern (2) mit Abstand voneinander zwei Erregerspulen (3, 4) gewickelt und so an eine Wechselspannungsquelle (9)geschlossen sind, daß die in den Erregerspulen (3, 4) fließenden Erregerströme den weich­ magnetischen Kern (2) gegensinnig magnetisieren, daß zwischen den Erregerspulen (3, 4) eine Sekundärwicklung (5) auf den weichmagnetischen Kern (2) gewickelt ist, deren Länge dem erfaß­ baren Weg entspricht und daß im Bereich der Sekundärspule (5) ein Meßobjekt (11) längs zum weichmagnetischen Kern (2) bewegbar ist, das im weichmagnetischen Kern (2) einen virtuellen Luftspalt (10) erzeugen kann.
2. Magnetischer Wegsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Meßobjekt (11) ein in der Nähe des weichmagnetischen Kerns (2) angeordneter Dauermagnet vorgesehen ist.
3. Magnetischer Wegsensor nach Anspruch 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß an zwei gegenüberliegenden Seiten des magnetischen Kerns (2) als Meßobjekt (11) je ein Magnet (14, 15) so angeordnet ist, daß unterschiedliche pole an den dem benachbarten Kern (2) zugewandten Seiten vorhanden sind.
4. Magnetischer Wegsensor nach Anspruch 1, dadurch kennzeichnet, daß als weichmagnetischer Kern (2) ein Streifen aus amorphem Metall vorgesehen ist.
5. Magnetischer Wegsensor nach Anspruch 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der den magnetischen Kern (2) bildende Streifen aus amorphem Metall auf einen Träger (1) aufgeklebt ist.
6. Magnetischer Wegsensor nach Anspruch 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Träger (1) in Abständen voneinander Einkerbungen (8) zur Aufnahme und Fixierung der Windungen der Sekundärspule (5) aufweist.
7. Magnetischer Wegsensor nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Sekundärspule (5) so gewickelt ist, daß ihre Windungen voneinander überall den gleichen Abstand aufweisen.
8. Magnetischer Wegsensor nach Anspruch 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß für den Streifen aus amorphem Metall eine Kobalt-Basislegierung mit niedriger Magnetostriktion verwendet wird.
9. Magnetischer Wegsensor nach Anspruch 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Streifen aus amorphem Metall auf einen elastischen Träger (1) aufgeklebt ist, so daß sich der magnetische Kern (2) mit dem Träger (1) verbiegen läßt und der Wegsensor auch nichtlineare Bewegungen erfassen kann.
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3940280A1 (de) * 1989-11-10 1991-05-16 Siebert & Kuehn Dr Vorrichtung zur ermittlung der durchflussmenge eines stroemungsmediums
DE4311973A1 (de) * 1993-04-14 1997-02-13 Pepperl & Fuchs Magneto-induktive Sensorzeile für eine magnetische Positions- und/oder Wegbestimmung und Verfahren hierzu
DE19805783A1 (de) * 1998-02-12 1999-09-16 Siemens Ag Anordnung zur zweidimensionalen, berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes
DE19919424A1 (de) * 1999-04-28 2000-11-30 Tyco Electronics Logistics Ag Magnetischer Positionssensor, seine Verwendung und seine Herstellung
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
DE10124483B4 (de) * 2000-05-24 2005-01-13 Balluff Gmbh Wegmeßsystem
DE102007062862A1 (de) 2006-12-21 2008-07-10 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Verfahren und Sensoranordnung zum Bestimmen der Position und/oder Positionsänderung eines Messobjekts relativ zu einem Sensor
DE102008011971A1 (de) 2008-02-29 2009-09-03 Kuhnke Automotive Gmbh & Co. Kg Magnetisches Wegsensorsystem
DE102008063528A1 (de) 2008-12-18 2010-06-24 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensoranordnung und Verfahren zur Bestimmung der Position und/oder Positionsänderung eines Messobjekts
US7755315B2 (en) 2004-11-22 2010-07-13 Siemens Aktiengesellschaft Rotary linear drive having a transmitter device
DE102011010682B3 (de) * 2011-02-08 2012-06-21 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Spulenanordnung und Sensor
DE102007027039B4 (de) * 2006-07-13 2013-02-28 Ford Global Technologies, Llc Bestimmung der absoluten Position eines Lenksystems durch einen Linearsensor an der Zahnstange
US11333529B2 (en) 2018-05-22 2022-05-17 Swoboda Schorndorf KG Magnetic position sensor

Families Citing this family (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0356505A4 (en) * 1988-02-11 1991-09-25 Biosys Magnetic position sensor
US4914389A (en) * 1988-10-24 1990-04-03 Eaton Corporation Multiturn shaft position sensor with backlash compensation
US5204621A (en) * 1990-02-08 1993-04-20 Papst-Motoren Gmbh & Co. Kg Position sensor employing a soft magnetic core
DE4234277A1 (de) * 1992-10-10 1994-04-14 Steingroever Magnet Physik Magnetischer Beschleunigungs- und Verzögerungssensor
GB2273568A (en) * 1992-12-18 1994-06-22 Univ Cardiff Position transducer
DE9304629U1 (de) * 1993-03-24 1993-08-19 Killat, Dirk, Dipl.-Ing., 64289 Darmstadt Berührungsloser magnetischer Drehmomentsensor
DE4415668C2 (de) * 1994-05-04 2003-05-28 Tyco Electronics Logistics Ag Stellungssensor zur kontaktlosen Erfassung bestimmter Positionen einer axial verschiebbaren und um bestimmte Winkel drehbaren Welle
DE4425903C2 (de) 1994-07-21 1997-03-20 Siemens Ag Vorrichtung mit einem Meßtransformator zur Erfassung der Position eines linear beweglichen Objektes
DE4425904A1 (de) * 1994-07-21 1996-01-25 Vacuumschmelze Gmbh Magnetischer Wegsensor
US5617023A (en) * 1995-02-02 1997-04-01 Otis Elevator Company Industrial contactless position sensor
US5717330A (en) * 1996-03-07 1998-02-10 Moreau; Terence J. Magnetostrictive linear displacement transducer utilizing axial strain pulses
US5977778A (en) * 1996-11-27 1999-11-02 Case Corporation Method and apparatus for sensing piston position
US6142059A (en) * 1996-11-27 2000-11-07 Case Corporation Method and apparatus for sensing the orientation of a mechanical actuator
US5901633A (en) * 1996-11-27 1999-05-11 Case Corporation Method and apparatus for sensing piston position using a dipstick assembly
US6005395A (en) * 1997-11-12 1999-12-21 Case Corporation Method and apparatus for sensing piston position
US6605939B1 (en) 1999-09-08 2003-08-12 Siemens Vdo Automotive Corporation Inductive magnetic saturation displacement sensor
FR2800458B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact a couche noyau de largeur variable
FR2800460B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact
FR2800457B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Procede de fabrication de capteur analogique de position sans contact
FR2800459B1 (fr) * 1999-10-27 2002-01-11 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact a couplage differentiel
WO2001066954A2 (en) * 2000-03-08 2001-09-13 Rosemount Inc. Piston position measuring device
WO2001066955A2 (en) 2000-03-08 2001-09-13 Rosemount Inc. Bi-directional differential pressure flow sensor
US20010037689A1 (en) * 2000-03-08 2001-11-08 Krouth Terrance F. Hydraulic actuator piston measurement apparatus and method
US20010037724A1 (en) 2000-03-08 2001-11-08 Schumacher Mark S. System for controlling hydraulic actuator
US6588313B2 (en) 2001-05-16 2003-07-08 Rosemont Inc. Hydraulic piston position sensor
US20040036468A1 (en) * 2002-04-17 2004-02-26 Bernd Hoffelder Measuring device for detecting the angular position of a rotatable object
DE10227019A1 (de) * 2002-06-17 2004-01-08 Festo Ag & Co Lineare Wegmessvorrichtung, insbesondere zur Bestimmung der Kolbenposition in einer fluidischen Zylinderanordnung
US6722260B1 (en) 2002-12-11 2004-04-20 Rosemount Inc. Hydraulic piston position sensor
US6722261B1 (en) 2002-12-11 2004-04-20 Rosemount Inc. Hydraulic piston position sensor signal processing
DE102004004100B4 (de) * 2004-01-27 2007-02-01 Siemens Ag Positionssensor und entsprechendes Verfahren zum Detektieren der Position eines Rotationskörpers
DE602005007580D1 (de) 2004-03-01 2008-07-31 Sagentia Ltd Positionssensor
DE102004041107A1 (de) * 2004-03-08 2005-10-06 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg Berührungslos arbeitendes Wegmesssystem
DE102004026415B4 (de) * 2004-05-29 2015-10-01 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Vorrichtung zur Erfassung der Lage eines Messobjekts
DE102006050429A1 (de) * 2006-10-26 2008-04-30 Wabco Gmbh Vorrichtung zum Sensieren von Getriebeschaltpositionen
WO2008074317A2 (de) * 2006-12-21 2008-06-26 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Verfahren und sensoranordnung zum bestimmen der position und/oder positionsänderung eines messobjekts relativ zu einem sensor
JP5416104B2 (ja) 2007-06-27 2014-02-12 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド セルフベアリングモータ用位置フィードバック
US8283813B2 (en) 2007-06-27 2012-10-09 Brooks Automation, Inc. Robot drive with magnetic spindle bearings
JP5663304B2 (ja) 2007-06-27 2015-02-04 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 多次元位置センサ
US8222892B2 (en) * 2007-06-27 2012-07-17 Brooks Automation, Inc. Sensor for simultaneous position and gap measurement
US8823294B2 (en) 2007-06-27 2014-09-02 Brooks Automation, Inc. Commutation of an electromagnetic propulsion and guidance system
CN101855811B (zh) * 2007-06-27 2013-11-20 布鲁克斯自动化公司 具有提升能力和减少的齿槽特性的电机定子
US9752615B2 (en) 2007-06-27 2017-09-05 Brooks Automation, Inc. Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor
JP2011514652A (ja) 2007-07-17 2011-05-06 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置
JP5108143B2 (ja) 2008-03-19 2012-12-26 サジェンティア リミテッド 処理回路構成
DE102008062864A1 (de) 2008-05-21 2009-11-26 Continental Teves Ag & Co. Ohg Wegsensoranordnung
EP2149784B1 (de) 2008-07-31 2012-04-04 Kuhnke Automotive GmbH & Co. KG Magnetisches Wegsensorsystem
DE102009050338A1 (de) 2008-11-17 2010-05-20 Luk Lamellen Und Kupplungsbau Beteiligungs Kg Wegmesseinrichtung für einen konzentrischen Nehmerzylinder
DE102009043758A1 (de) 2008-11-17 2010-05-20 Luk Lamellen Und Kupplungsbau Beteiligungs Kg Wegmesseinrichtung für einen Geber- oder Nehmerzylinder
DE102009052205B4 (de) 2008-12-11 2019-03-28 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Ein-/Ausrücksystem für eine Doppelkupplung mit Wegmesseinrichtung
CN101603588A (zh) * 2009-07-14 2009-12-16 上海汽车集团股份有限公司 双离合器自动变速器换档机构的位置检测方法及系统
US9243933B2 (en) 2011-09-09 2016-01-26 Continental Teves Ag & Co. Ohg Amplitude evaluation by means of a goertzel algorithm in a differential transformer displacement sensor
WO2014118332A1 (de) 2013-02-01 2014-08-07 Continental Teves Ag & Co. Ohg Verfahren zum herstellen eines messaufnehmers
WO2014134129A1 (en) 2013-02-26 2014-09-04 Fuller Kenneth A Methods and apparatus for measuring axial shaft displacement within gas turbine engines
DE102013203586A1 (de) 2013-03-01 2014-09-04 Continental Teves Ag & Co. Ohg Sensor zum Erfassen einer Position eines Gebermagneten
DE102013219657A1 (de) 2013-09-27 2015-04-02 Continental Teves Ag & Co. Ohg Verfahren zum Testen eines Transformators
DE102014202470B4 (de) 2014-02-11 2023-01-12 Continental Automotive Technologies GmbH Additive DA-Wandlung über einen einzigen R2R-Netzwerk-Zweig
DE102014213221A1 (de) * 2014-07-08 2016-01-14 Continental Teves Ag & Co. Ohg Wegmessung basierend auf Wirbelströmen und eine Abschirmung aufhebenden Geberelement
CN209709764U (zh) * 2016-10-18 2019-11-29 金成浩 一种削弱发电机转子受到的电磁制动力的结构
DE102018213783A1 (de) * 2018-08-16 2020-02-20 Continental Teves Ag & Co. Ohg Transformator mit Testschaltung
CN109458923B (zh) * 2018-12-12 2021-03-30 上海兰宝传感科技股份有限公司 一种应用于岩土工程的位移传感器

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2692357A (en) * 1953-04-21 1954-10-19 Hays Corp Electrical system for remote transmission of mechanical movements
DE2325752C3 (de) * 1973-05-21 1975-11-06 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Einrichtung zur Umformung eines Wegs in eine elektrische Größe
JPS5376056A (en) * 1976-12-17 1978-07-06 Yokogawa Hokushin Electric Corp Displacement transducer

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3940280A1 (de) * 1989-11-10 1991-05-16 Siebert & Kuehn Dr Vorrichtung zur ermittlung der durchflussmenge eines stroemungsmediums
DE4311973A1 (de) * 1993-04-14 1997-02-13 Pepperl & Fuchs Magneto-induktive Sensorzeile für eine magnetische Positions- und/oder Wegbestimmung und Verfahren hierzu
DE19805783A1 (de) * 1998-02-12 1999-09-16 Siemens Ag Anordnung zur zweidimensionalen, berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes
DE19805783C2 (de) * 1998-02-12 2000-06-08 Siemens Ag Anordnung zur zweidimensionalen, berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes
DE19919424A1 (de) * 1999-04-28 2000-11-30 Tyco Electronics Logistics Ag Magnetischer Positionssensor, seine Verwendung und seine Herstellung
DE10124483B4 (de) * 2000-05-24 2005-01-13 Balluff Gmbh Wegmeßsystem
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
DE102004056211B4 (de) * 2004-11-22 2011-08-18 Siemens AG, 80333 Rotationslinearantrieb mit Gebereinrichtung
US7755315B2 (en) 2004-11-22 2010-07-13 Siemens Aktiengesellschaft Rotary linear drive having a transmitter device
DE102007027039B4 (de) * 2006-07-13 2013-02-28 Ford Global Technologies, Llc Bestimmung der absoluten Position eines Lenksystems durch einen Linearsensor an der Zahnstange
DE102007062862A1 (de) 2006-12-21 2008-07-10 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Verfahren und Sensoranordnung zum Bestimmen der Position und/oder Positionsänderung eines Messobjekts relativ zu einem Sensor
DE102008011971A1 (de) 2008-02-29 2009-09-03 Kuhnke Automotive Gmbh & Co. Kg Magnetisches Wegsensorsystem
DE102008063528A1 (de) 2008-12-18 2010-06-24 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensoranordnung und Verfahren zur Bestimmung der Position und/oder Positionsänderung eines Messobjekts
WO2010069285A2 (de) 2008-12-18 2010-06-24 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensoranordnung und verfahren zur bestimmung der position und/oder positionsänderung eines messobjekts
US8736255B2 (en) 2008-12-18 2014-05-27 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensor arrangement and method for determining the position and/or change in position of a measurement object
CN102257362B (zh) * 2008-12-18 2015-04-22 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 确定测量物体的位置和/或位置变化的传感器结构及方法
DE102011010682B3 (de) * 2011-02-08 2012-06-21 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Spulenanordnung und Sensor
US11333529B2 (en) 2018-05-22 2022-05-17 Swoboda Schorndorf KG Magnetic position sensor

Also Published As

Publication number Publication date
US4774465A (en) 1988-09-27
DE3761516D1 (de) 1990-03-01
EP0238922A1 (de) 1987-09-30
JPS62237301A (ja) 1987-10-17
JPH0769130B2 (ja) 1995-07-26
EP0238922B1 (de) 1990-01-24

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