DE2345848B2 - Elektromagnetischer Schichtdicken- - Google Patents

Elektromagnetischer Schichtdicken-

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    • G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
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Description

gnetisierung erfolgt durch Abgleich des Dauermagneten 7, indem dieser beispielsweise zunächst voll magnetisiert und dann soweit geschwächt wird, bis der gewünschte Skalenverlauf erreicht ist. Das Magnetisieren des Polkernes kann nach dem Zusammenbau der Meß-Sonde dadurch erfolgen, daß diese in ein starkes axiales Magnetfeld gebracht wird; das Schwächen kann mit einem axialen, einstellbaren magnetischen Wechselfeld von erst zunehmender, dann abnehmender Amplitude erfolgen.
Die erfindungsgemäße Einstellung der Vormagnetisierung kann nach Fig.3 auch dadurch erfolgen, daß der Abstand des Dauermagneten 8 vom Polkern 9 verändert wird, beispielsweise mit einer im "~ :häuse 10 der Meß-Sonde gelagerten Einstelischraube '. ·.
Nach der Erfindung kann die einetei^-re vormagnetisierung auch durch das ma^netiscr... i-eld einer elektrischen Stromspule 12 in F: r t erzeugt werden, die auf des der Meßfläche 13 Lg-wandie Ende des Polkernes 14 wirkt und aus ._<·■■ ctromquelle 15 über den einstellbaren Widerstand 16 gespeist wird.
Bei einer anderen Ausführung der Erfindung nach Fig.5 werden zwei Kieß-Spulen 17 und 18 verwendet, die auf beiden Seiten der Erregerspule 19 angeordnet und gegeneinander geschaltet sind, so daß ihre Differenzspannung die Meß-Spannung ergibt Auch hier ■wird der Skalenverlauf durch Abgleich oder Magnetisierung des Dauermagneten 20 beeinflußt oder durch Veränderung seines Abstandes zum Polkern 21.
Eine weitere erfindungsgemäße Anordnung der Stromspule zur Erzeugung einer einstellbaren Vormagnetisierung zeigt F i g. 6.
Darin ist die Stromspule 22 konzentrisch um die Erregerspule 23 und die Meß-Spulen 24 und 25 gelegt
Die erfindungsgemäße Beeinflussung des Skalenverlaufes eines elektromagnetischen Schichtdickenmessers durch Vormagnetisierung seines Polkernes ist bedingt durch die Veränderung der magnetischen Permeabilität des Polkernwerkstoffes. Diese Veränderung ist größer bei geringer Sättigungsmagnetisierung des Polkernwerkstoffes als bei hoher Sättigungsmagnetisierung. Deshalb besteht erfindungsgemäß der Polkern aus einem weichmagnetischen Werkstoff, dessen Sättigungsmagnetisierung weniger als 1.4Tesla beträgt. Dabei ist es vorteilhaft daß seine Koerzitivfeidstarke weniger als 3 A/cm, vorzugsweise weniger als 1 A/cm beträgt um im Zusammenwirken mit der erfindungsgemäßen Vormagnetisierung einen stabilen Arbeitspunkt
des Schichtdickenmessers zu erhalten. Eine für den Polkern besonders geeignete Legierung besteht aus Eisen mit 13 bis 18% Aluminium. Die Legierung aus Eisen und 16% Aluminium weist beispielsweise eine eine Sättigungsmagnetisierung von 0.5 bis ! Tes... und
eine Koerzitivfeidstarke von weniger als I A/cm auf. Erfindungsgemäß kann in dieser Legierung für den Polkern bis zu 8% Aluminium duref. iilizium ersetzt Ϊ-Ϊ1Π-
Der Dauermagnet zur Erzeugung der Vormagnetisierung soll erfindungsgemäß eine hohe Koerzitivfeidstarke von mehr als 400 A/cm, vorzugsweise von mehr als 1000 AAm besitzen. Er kann beispielsweise aus einer Legierung von Eisen mit Aluminium, Nickel und Kobalt mit an sich bekannten Zusätzen bestehen, aus einem Ferritwerkstoff nach Art des BaO - 6 Fe2Oj oder aus einem Werkstoff nach Art des SmCo5. Zur Kompensation des Einflusses der Temperatur auf die Anzeige der Schichtdicke wird der Dauermagnet mit einem temperaturabhängigen magnetischen Nebenschluß versehen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (17)

2145 Patentansprüche: einem temperaturabhängigen Nebenschluß versehen ist.
1. Elektromagnetischer Schichtdickenmesser mit einer einpoligen Meß-Sonde, deren weichmagnetischer Pclkem durch ein magnetisches Wechselfeld erregt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Polkern einstellbar vormagnetisiert ist.
2. Schschtdickeninesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vormagnetisierung durch einen Dauermagneten erfolgt
3. Schichtdickenmesser nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellung der Vormagnetisierung durch Abgleich des aufmagnetisierten Dauermagneten erfolgt
4. Schichtdickenmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vormagnetisierung durch das einstellbare Feld einer Stromspule erfolgt
5. Schichtdickenmesser nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer MeB-Sonde mit stabförmigem Polkern auf dem der Meßfläche abgewandtci Ende des Polkernes ein Dauermagnet angeordnet »t
6. Schichtdickenmesser nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet daß der Dauermagnet in Richtung der Achse des Polkernes magnetisiert ist
7. Schichtdickenmesser nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet daß der Dauermagnet den Polkern berührt
8. Schichtdickenmesser nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet daß der Dauermagnet in gegebenenfalls einstellbarem Abstand vom Polkern angeordnet IiC
9. Schichtdickenmesser nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet daß tie Str« nspule auf dem der Meßfläche abgewandter En "e des Polkernes angeordnet ist
10. Schichtdickenmesser nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromspule konzentrisch um die auf dem Polkern angeordneten Meßwicklungen angeordnet ist
11. Schichtdickenmesser nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet daß der Polkern aus einem weichmagnetischen Werkstoff besieht dessen Sättigungsmagnetisierung weniger als 1,4 Tesla beträgt
12. Schichtdickenmesser nach Anspruch 1 bis II, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstoff des Polkernes ei : Koerzitivfeldstärke von weniger als 3 A/cm, vorzugsweise von weniger als 1 A/cm aufweist
13. Schichtdickenmesser nach Anspruch 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Polkern aus einer Legierung von Eisen mit 13 bis 18% Aluminium besteht
14. Schichtdickenmesser nach Anspruch 13. dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung des Polkernes aus Eisen und ca. 16% Aluminium besteht und eine Sättigungsmagnetisierung von 0,5 bis 1 Tesla sowie eine Koerzitivfeldstärke von weniger als I A/cm aufweist.
15. Schichtdickenmesser nach Anspruch 13 und 14, dadurch gekennzeichnet, daß bis zu 8% Aluminium durch Silizium ersetzt ist.
16. Schichtdickenmesser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Dauermagnet eine Koerzitivfeldstärke von mehr als 400 A/cm, vorzugsweise von mehr als 1000 A/cm besitzt.
17. Schichtdickenmesser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Dauermagnet mit Die Erfindung betrifft elektromagnetische Schichtciikfcenmesser mit einpoliger Meß-Sonde, deren weichmagnetischer Polkern durch ein magnetisches Wechselfeld
ίο erregt wird.
Diese bekannten Schichtdickenmesser besitzen einen weichmagnetischen, stabförmigen Polkern, dessen eines Ende abgerundet ist und den Meß-Pol bildet Auf dem Stab ist eine Erreger.-pule angebracht, die von einem
is elektrischen Wechselstrom durchflossen wird, so daß ein magnetisches Wechselfeld entsteht Zwischen der Erregerspule und dem Meß-Pol oder zu beiden Seiten der Erregerspule sind Meß-Spulen angebracht in denen είπε elektrische Spannung induziert wird. Diese wird durch Annäherung des Meß-Poles an eine magnetisch oder elektrisch leitende Fläche verändert indem bei magnetisch leitender Fläche der magnetische Fluß durch den Meß-Pol infolge des magnetischen Leitwertes der Unterlage vergrößert, bei elektrisch leitender Fläche der magnetische Fluß durch den Meß-Pol infolge der in der Unterlage entstehenden Wirbelströme verringert wird. Bei Verwendung von zwei Meß-Spulen sind diese im allgeme:nen einander entgegengeschaltet, so daß die Differenz der in ihnen induzierten Spannung
in zur Messung benutzt wird. Diese in der oder den Meß-Spulen induzierte elektrische Spannung ist ein Maß für die Annäherung an die magnetisch oder elektrisch leitende Unterlage und damit für die Dicke einer auf dieser befindlichen Schicht wenn der Meß-Pol diese berührt
Ein Nachteil dieser bekannten Schichtdickenmesser ist daß die Empfindlichkeit der Anzeige bei kleinen Schichtdicken sehr groß und bei großen Schichtdicken nur sehr klein ist Der Verlauf der Empfindüchkeitskurve in Abhängigkeit von der Schichtdicke ist durch a in F i g. 1 dargestellt
Die Erfindung vermeidet diesen Nachteil der bekannten Schichtdickenmesser dadurch, daß der Polkern einstellbar vormagnetisiert ist Durch die
45- Vormagnetisierung des Polkernes ergibt sich ein Verlauf der Empfindlichkeit in Abhängigkeit von der Schichtdicke, der durch die Kurve b in F i g. 1 dargestellt ist. Die Meßempfindlichkeit wird bei kleinen Schichtdikken geringer, bei großen Schichtdicken größer als ohne Vormagnetisierung des Polkernes. Durch die erfindungsgemäße Einstellbarkeit der Vormagnetisierung kann der Verlauf der Empfindlichkeitskurve beeinflußt werden, so daß ein gewünschter Skalenveriauf erreicht wird oder die Empfindlichkeit an eine vorgegebene Skala angepaßt werden kann. Damit wird die Verwendung gedruckter Skalen ermöglicht.
Ein Ausführungsbeispiel aer Erfindung ist in Fig. 2 dargestellt. Auf einem stabförmigen Polkern I befinden sich eine Erregerspule 2 und eine Meß-Spule 3. Der
bo Polkern ist an einem Ende zjm Meßpol 4 abgerundet. Dieser berührt die zu messende Schicht 5, die auf der Unterlage 6 aufgetragen ist Die erfindungsgemäße Vormagnetisierung des Polkernes wird durch den auf seinem der Meßfläche abgewendeten Ende angeordneten Dauermagneten 7 erzeugt, der in Richtung N-Sder Achse d«s Polkernes magnetisiert ist. Er kann den Polkern 1 berühren oder mit einem Luftspalt zum Polkern angeordnet sein. Die Einstellung der Vornna-
DE2345848A 1973-09-12 1973-09-12 Elektromagnetischer Schichtdickenmesser Expired DE2345848C3 (de)

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Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU947631A1 (ru) * 1978-04-04 1982-07-30 Отдел Физики Неразрушающего Контроля Ан Бсср Толщиномер
HU184050B (en) * 1979-11-29 1984-06-28 Gyoergy Balogh Method for detecting and checking the decreasing of activity and watchfulness level of driver on vehicles on non-limited way having independent source of power as well as safety device for vehicles of non-limited way
US4567436A (en) * 1982-01-21 1986-01-28 Linda Koch Magnetic thickness gauge with adjustable probe
US4553095A (en) * 1982-06-10 1985-11-12 Westinghouse Electric Corp. Eddy current thickness gauge with constant magnetic bias
JPS5928601A (ja) * 1982-08-10 1984-02-15 Amada Co Ltd 磁性体板の検出方法および装置
DE3236224C2 (de) * 1982-09-30 1985-03-28 Werner Turck Gmbh & Co Kg, 5884 Halver Induktiver Annäherungsschalter
US4661774A (en) * 1983-12-12 1987-04-28 Harris Graphics Corporation Method and apparatus for monitoring film thickness between rotatable rolls
US4767987A (en) * 1983-12-12 1988-08-30 Harris Graphics Corporation Method and apparatus for monitoring film thicknesses by sensing magnetic interaction between members movable to a film thickness distance
DE3408554C2 (de) * 1984-03-08 1994-02-17 Helmut Fischer Gmbh & Co Vorrichtung zum Messen des Eindringverhaltens eines Prüfkörpers in einen zerstörungsfrei zu prüfenden Stoff
JPS6138503A (ja) * 1984-07-31 1986-02-24 Ketsuto Kagaku Kenkyusho:Kk 膜厚計
JPS62298701A (ja) * 1986-06-18 1987-12-25 Ngk Insulators Ltd 非金属材料成形体の寸法測定法
US4804912A (en) * 1987-05-14 1989-02-14 Kamyr Ab Apparatus for electromagnetically measuring the distance between two opposing grinding surfaces
DK0444226T3 (da) * 1990-02-28 1994-05-16 Schenck Ag Carl fremgangsmåde og apparat til justering af en forskydningsmålekæde efter hvirvelstrømsmålefremgangs- måden
DE4119903C5 (de) * 1991-06-17 2005-06-30 Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zur Messung dünner Schichten
FR2678061A1 (fr) * 1991-06-25 1992-12-24 Fischer Gmbh Co Inst Elektro Procede et dispositif pour la mesure de couches minces.
US5343146A (en) * 1992-10-05 1994-08-30 De Felsko Corporation Combination coating thickness gauge using a magnetic flux density sensor and an eddy current search coil
WO1996036887A1 (de) * 1995-05-19 1996-11-21 International Business Machines Corporation Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der magnetischen kenngrössen dünner magnetischer schichten
GB9520515D0 (en) * 1995-10-05 1995-12-13 Elcometer Instr Ltd A thickness coating measuring instrument
FR2743148B1 (fr) * 1995-12-29 1998-02-27 Framatome Sa Dispositif et procede de controle de tubes par courants de foucault
DE19820546C1 (de) * 1998-05-08 1999-11-04 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Eliminierung von Meßfehlern bei der Bestimmung einer Dicke einer Schicht aus elektrisch leitendem Material
KR100381095B1 (ko) * 1998-10-10 2003-07-16 주식회사 포스코 자기 유도방식에 의한 아연도금량 두께 측정방법
GB0016591D0 (en) * 2000-07-06 2000-08-23 Elcometer Instr Ltd Dual mode coating thickness measuring instrument
US6593737B2 (en) * 2000-08-24 2003-07-15 Shell Oil Company Method for measuring the wall thickness of an electrically conductive object
US6975108B2 (en) * 2003-11-13 2005-12-13 Yuli Bilik Methods and devices for eddy current PCB inspection
NL1027373C2 (nl) * 2004-10-29 2006-05-03 Sonimex B V Werkwijze en inrichting voor het niet-destructief onderzoeken van een voorwerp.
US7403001B1 (en) * 2005-03-29 2008-07-22 Lam Research Corporation Methods and apparatus for measuring morphology of a conductive film on a substrate
US9194687B1 (en) * 2010-02-04 2015-11-24 Textron Innovations Inc. System and method for measuring non-conductive coating thickness using eddy currents
US9091664B2 (en) * 2012-06-07 2015-07-28 Thomas Krause Pulsed eddy current sensor for precision measurement at-large lift-offs on metallic surfaces
FR3009076B1 (fr) * 2013-07-26 2017-03-31 Michelin & Cie Systeme de mesure de l'epaisseur d'une couche de gomme d'un pneumatique
CN106940168A (zh) * 2017-05-08 2017-07-11 成都锦江电子系统工程有限公司 一种电磁波吸收涂层厚度无损测厚仪探头及测厚方法
DE102018211025A1 (de) * 2017-12-20 2019-06-27 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Elektronisches Gerät mit induktivem Sensor

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2221516A (en) * 1937-04-01 1940-11-12 Gen Electric Continuous thickness gauge
DE1303674C2 (de) * 1965-07-19 1973-04-12 Nix H Magnetischer schichtdickenmesser
GB1097179A (en) * 1965-07-21 1967-12-29 Teledictor Ltd Apparatus for measuring the thickness of sheets of ferromagnetic materials
DE1623263A1 (de) * 1967-09-06 1970-12-23 Nix Hans Magnetischer Dickenmesser fuer Teile aus ferromagnetischen Werkstoffen
DE2063805A1 (de) * 1970-12-24 1972-07-06 Brockhaus S Anordnung zur induktiven Messung insbesondere der Dicke oder des Querschnittes von Blechen aus ferromagnetischen Werkstoffen
DE2107076C3 (de) * 1971-02-15 1975-01-30 Elektro-Physik Hans Nix & Dr.-Ing. E. Steingroever Kg, 5000 Koeln Magnetischer Schicht-Dickenmesser

Also Published As

Publication number Publication date
DE2345848A1 (de) 1975-03-20
US3922599A (en) 1975-11-25
FR2243414A1 (de) 1975-04-04
GB1410301A (en) 1975-10-15
FR2243414B1 (de) 1980-10-03
DE2345848C3 (de) 1986-06-19
JPS5057260A (de) 1975-05-19

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