DE3518283A1

DE3518283A1 - Verfahren zur entfernung leichter fluechtiger verunreinigungen aus gasen

Info

Publication number: DE3518283A1
Application number: DE19853518283
Authority: DE
Inventors: Manfred Dr. Eschwey; Werner 4100 Duisburg Schleser
Original assignee: Messer Griesheim GmbH
Current assignee: Air Liquide Deutschland GmbH
Priority date: 1985-05-22
Filing date: 1985-05-22
Publication date: 1986-11-27
Anticipated expiration: 2005-05-23
Also published as: US4755201A; ATE61245T1; EP0203340B1; DE3518283C2; EP0203340A1

Description

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2.Mai 1985

MESSER GRIESHEIM GMBH MG 1512

Kennwort: Dünnschxchtkondensation EM 1159

Erfinder: Dr.M.Eschwey Ordner: D

W.Schleser

Verfahren zur Entfernung leichter flüchtiger Verunreinigungen aus Gasen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Entfernung leichter flüchtiger Verunreinigungen aus Gasen nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Wirksame konventionelle Reinigungsverfahren wie Destillation, Rektifikation und Adsorption lassen sich wirtschaftlich nur bei großen Gasmengen durchführen. Wendet man derartige Reinigungsverfahren bei kleinen Gasmengen an und
werden zudem extrem hohe Reinheitsanforderungen gestellt, ο werden die gereinigten Produktgase außerordentlich teuer. Dies ist z.B. der Fall bei der Herstellung und Reinigung von Dotiergasen für die Halbleiterindustrie. Noch komplizierter werden diese Bedingungen, wenn die zu reinigenden Gase hochtoxisch, selbstendzündlich oder zum Selbstzer-

fall neigend sind.

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Beispiele für solche Gase sind Silan, Disilan, Dichlorsilan, German, Boran, Arsin, Chlorwasserstoff, Ammoniak, Tetrafluormethan und verschiedene metallorganische Verbindungen. Bei den verunreinigenden Störkomponenten handelt es sich neben Wasserstoff fast immer um Luftgase, also um Stickstoff, Sauerstoff, Edelgase, Kohlenwasserstoff, Kohlendioxid und Kohlenmonoxid. Diese Verunreinigungen sind in der Regel leichter flüchtig als die zu reinigenden Gase.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein einfaches und wirtschaftliches Verfahren zu schaffen, mit dem leichter flüchtige Verunreinigungen auch aus kleinen Mengen zu reinigender Gase hochwirksam in einem einzigen Schritt bis unter die analytische Nachweisgrenze entfernt werden können.

Ausgehend von dem im Oberbegriff des Anspruches 1 berücksichtigten Stand der Technik ist diese Aufgabe erfindungsgemäß gelöst mit den im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 ar.jegebenen Merkmalen.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Voraussetzung für die hohe Wirksamkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens ist das Arbeiten mit einem dynamischen Vakuum, d.h., die nichtkondensierten leichter flüchtigen Verunreinigungen werden ständig aus dem Vakuumsystem abgezogen, so daß sie keine Möglichkeit haben, zumindest teilweise in dem auskondensierten zu reinigenden Gas wieder in Lösung zu gehen. Zur Erzeugung des dynamischen Vakuums dient vorzugsweise eine Gastransfervakuumpumpe. Eine weitere Bedingung für die Wirksamkeit des erfindungs-5 gemäßen Verfahrens ist, daß die Dampfdruckkurven des zu

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reinigenden Gases und der zu entfernenden Verunreinigungen genügend weit auseinander liegen. Dies ist bei Wasserstoff und Luftgasen als Hauptverunreinigungen zwar in der Regel der Fall, doch gibt es Ausnahmen, beispielsweise die Abtrennung von Kohlendioxid aus Chlorwasserstoff. In einem solchen Fall, bei dem die abzutrennende Verunreinigung sogar schwerer flüchtig ist als das zu reinigende Gas, müssen andere Reinigungsverfahren angewendet werden. Sinnvollerweise wird man daher das erfindungsgemäße Verfahren immer dann mit konventionellen Reinigungs- und Trennverfahren kombinieren, wenn Verunreinigungen vorhanden sind, die sich mit dem erfindungsgemäßen Verfahren nicht oder nur wenig abreichern lassen. Es ergeben sich dann zwar mehrstufige, aber immer noch sehr effektiv und einfach arbeitende Reinigungsverfahren.

Von dem Prinzip des erfindungsgemäßen Verfahrens wird auch in Kühlfallen Gebrauch gemacht, wie sie beispielsweise aus der DE-OS 25 20 941 bekannt sind. Derartige Kühlfallen dienen jedoch ausschließlich zur Verbesserung und Aufrechterhaltung eines Vakuums, nicht zur Reinigung von Gasen.

Die praktischen Erprobungen des erfindungsgemäßen Verfahrens haben ergeben, daß es eine überraschend effektive Abtrennung von Verunreinigungen aus kondensierbaren Substanzen, insbesondere im Spurenbereich, ermöglicht.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren der Dünnschichtkondensation in einem dynamischen Vakuum handelt es sich um einen typisch irreversiblen Prozeß, nämlich das Ausströmen eines Gases in ein Vakuumsystem. Das System befindet sich demnach in einem thermischen Ungleichgewicht. Durch das kontinuierliche Entfernen der Verunreinigungen, also durch die Bildung eines dynamischen Vakuums, wird jedoch

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ein stabiler stationärer Zustand erreicht. Dieser stationäre Zustand eines kontinuierlich fließenden Systems unterscheidet sich grundsätzlich von der Einstellung eines annähernd thermischen Gleichgewichtes, wie es zur Erzielung günstiger Trenn- bzw. Reinigungseffekte bei bekannten thermischen Trennverfahren im Vakuum, z.B. Rektifikation oder fraktionierte Kondensation, notwendig ist.

Die Zeichnung veranschaulicht ein Ausführungsbeispiel der Erfindung in schematischer Form.

Das zu reinigende

Gas wird gasförmig aus einem Vorratsbehälter 1 entnommen und über einen Durchflußmesser 4 und ein Drosselventil 2 in ein Vakuumsystem, bestehend aus einem Kondensator 3 und einer Gastransfervakuumpumpe 5, entspannt. Als Kondensatoren können alle unter den besonderen Verhältnissen der Vakuumtechnik entwickelten Bauformen eingesetzt werden. Die mittlere Temperatur im Kondensator 3 wird durch eine geregelte Kühlung mit flüssigem Stickstoff mittels der Regeleinrichtung 11 auf einer dem Trennproblem angepaßten Temperatur von vorzugsweise -100 bis -200° C gehalten. An der Kaltfläche des Kondensators 3 wird die zu reinigende Komponente auskondensiert, d.h. in der Regel in Form dünner Schichten ausgefroren. Gleichzeitig werden die leichter flüchtigen Verunreinigungen über das Steigrohr 9 durch die Gastransfervakuumpumpe 5 abgesaugt. Das Steigrohr 9 bildet mit dem Eintritt des Kondensators 3 einen Ringspalt 8, durch welchen das zu reinigende Gas aus dem Vorratsbehälter 1 in den Kondensator 3 gelangt. Zur Kontrolle des Vakuums dienen Druckmesser 6 und 7, ein Drosselventil 10 dient zur Einstellung der Saugleistung der Gastransfervakuumpumpe 5. Nach Beendigung des Prozesses wird das gereinigte Gas mittels eines Kompressors 12 oder durch Umkondensation in Druckbehälter 13 überführt.

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Nachfolgend werden zwei Ausführungsbeispiele beschrieben. Beispiel 1: Reinigung von Monosilan.

In den auf 10 mbar evakuierten Kondensator 3 mit einem Volumen von 10 1 läßt man bei laufender Gastransfervakuumpumpe 5 Monosilan durch den Ringspalt 8 einströmen.Die mittlere Temperatur an der Kaltfläche des Kondensators wird durch flüssigen Stickstoff mittels der Regeleinrichtung 11 auf -150 bis -196° C eingestellt. Am Durchflußmesser 4 und Drosselventil 2 wird ein konstanter Gasstrom zwischen 100 und 1000 1h unter Normalbedingungen eingestellt. Der Druck am Eingang des Kondensators 3 kann 100 bis 600 mbar betragen, am Kondensatorausgang wird sich ein Druck zwischen 10 und 10 mbar einstellen.

Die Saugleistung der Gastransfervakuumpumpe 5 wird mit Hilfe des Drosselventils 10 zwischen 5 und 15 m³ h entsprechend der Menge der abzupumpenden Gase eingestellt. Die genannten bevorzugten Bereiche für einige Verfahrensparameter sind im wesentlichen apparatebedingt. Daneben beeinflussen naturgemäß in hohem Maße die stark variierenden Anteile an schwer kondensierbaren Komponenten im eingespeisten Silan die Wahl bzw. Einstellung der Verahrensparameter.

Die Reinigungsanalyse des Monosilans erfolgte gaschromatographisch mit Hilfe eines hochempfindlichen Wärmeleitfähigkeitsdedektors. Zur Kontrolle wurden Analysen mit Hilfe einer Kopplung von Gaschromatograph und Massenspektrometer durchgeführt. Beide Analysenverfahren ergaben praktisch die folgenden übereinstimmenden Werte:

ORIC'.XAL [KSPECTED

? ■'■'■

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Analyse eingesetztes Silan Analyse nachgereinigest Prod,

H₂ N₂ Ar+0₂ CH,

338 vpm

80 vpm

20,5 vpm

20 vpm

10 vpm

1 vpm

Beispiel 2:

Nachreinigung von Chlorwasserstoff.Entscheidend für das 10 Gelingen der Nachreinigung von Chlorwasserstoff ist die vorherige völlige Entfernung der Störkomponenten Wasser und Kohlendioxid. Wasser würde Salzsäure bilden und Kohlendioxid ist schwerer flüchtig als Chlorwasserstoff. Hierfür seien die wichtigsten Verfahrenspararaeter und 15 Analysenergebnisse genannt:

In den Kondensator einströmende HCl Menge:

Druck am Kondensatoreingang: Druck am Kondensatorausgang: Temperatur des Kondensators:

400 bis 1200 1 h 200 bis 800 mbar 0,8 bis 0,01 mbar -130 bis -196° C

-1

Analyse eingesetztes HCl

Erreichte Endreinheit

H₂	214 vom	^ 10	vpm
O₂H-Ar:	23 vpm	■^ 1	vpm
N₂:	166 vpm		vpm

Ba/Hi

- Leerseite -

Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zur Entfernung leichter flüchtiger Verunreinigungen aus Gasen, um diese in hochreiner Form zu gewinnen,

dadurch gekennzeichnet,

daß das zu reinigende Gas in ein Vakuumsystem mit einer auf cryogenen Temperaturen befindlichen Kaltfläche eines Kondensators (3) geleitet wird, an weleher sich das zu reinigende Gas niederschlägt, während die leichter flüchtigen Verunreinigungen gasförmig kontinuierlich aus dem Vakuumsystem abgezogen werden.

2. Verfahren nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,

daß die leichter flüchtigen Bestandteile mittels einer Gastransfervakuumpumpe (5) abgezogen werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Kal^Iläche des Kondensators mittels einer geregelten Kühlung durch flüssigen Stickstoff auf Temperaturen zwischen -100° C und -200° C gehalten wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,

daß das zu reinigende Gas ein Gas aus der Gruppe Silan, Disilan, Dichlorsilan, German, Boran, Arsin, Chlorwasserstoff, Ammoniak und Tetrafluormethan ist, während die zu entfernenden Verunreinigungen aus einem oder mehreren Gasen der Gruppe Wasserstoff, Stickstoff, Sauerstoff, Edelgase, Kohlenwasserstoffe, Kohlendioxid und Kohlenmonoxid bestehen.

Ba/Hi

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