DE3446952A1 - Membranpumpe mit umlaufspuelung - Google Patents

Membranpumpe mit umlaufspuelung

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DE3446952A1 DE19843446952 DE3446952A DE3446952A1 DE 3446952 A1 DE3446952 A1 DE 3446952A1 DE 19843446952 DE19843446952 DE 19843446952 DE 3446952 A DE3446952 A DE 3446952A DE 3446952 A1 DE3446952 A1 DE 3446952A1
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Description

I
Membranpumpe mit Umlaufspülunq
Die Erfindung betrifft eine Membranpumpe gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bei bekannten Membranpumpen der gattungsgemäßen Art läßt es sich nicht vermeiden, daß aus dem Hydraulikmedium Gas, das zuvor hierin gelöst war, frei wird und sich dann in Form von Gasblasen an unerwünschten, den einwandfreien Betrieb der Membranpumpe störenden Stellen, beispielsweise in den Verbindungskanälen zwischen Kolbenraum und Membranarbeitsraum, ansammelt.
Eine Entgasung dieser Räume bereitet bei kleineren Membranpumpen sowie bei herkömmlicher Ausbildung der Verbindungskanäle sehr große Schwierigkeiten und ist unter bestimmten Bedingungen sogar unmöglich. Es stellt deshalb diese Entgasung in vielen Fällen ein Problem dar, das bislang ungelöst oder, weil mit großem konstruktivem Aufwand verbunden, nur unbefriedigend gelöst ist.
Bei solchen Membranpumpen, die eine bestimmte Größe aufweisen und bei denen in den Verbindungskanälen zwischen Kolbenraum und Membranarbeitsraum eine bestimmte hohe Strömungsgeschwindigkeit herrscht, kann zwar nahezu ausgeschlossen werden, daß sich in den Verbindungskanälen Gasblasen festsetzen. Außerdem wird sich auch dann, wenn sich dennoch einmal Gasblasen festsetzen sollten, aufgrund der Größe der Membranpumpe kaum eine Beeinträchtigung der Dosiergenauigkeit ergeben.
Ein derartiger Effekt der sich stets im Hydraulikmedium bildenden Gasblasen erweist sich jedoch immer dann als umso nachteiliger, je kleiner das Hubvolumen und damit der Förderstrom der Membranpumpe wird, da dann auch die in den Verbindungskanälen herrschenden Strömungsgeschwindigkeiten umso kleiner werden und
das Verhältnis von Hubvolumen der Pumpe zu dem Volumen der gebildeten Gasblasen umso ungünstiger wird. Dies rührt daher, daß ein bestimmter Hubanteil des Verdrängerkolbens verlorengeht, um die Gasblasen vom Saugdruck auf den Förderdruck zu verdichten. Dieser Hubanteil erbringt aber keine Förderleistung, was insbesondere bei kleinen Membranpumpen und speziell bei Mikrodosierpumpen unakzeptabel ist.
Zwar würde der vorerwähnte verlorengegangene bzw. unwirksame Hubanteil des Verdrängerkolbens, der keine Förderleistung erbringt, dann nicht unbedingt als nachteilig anzusehen sein, wenn die im Hydraulikmedium sich bildenden Gasblasen ein immer gleichgroßes Volumen aufweisen. Dies ist jedoch .nicht der Fall, da die Gasblasen mit unregelmäßigem Verlauf gebildet werden und wieder verschwinden, so daß dadurch der Gesamtdosierstrom mit der Anzahl der gebildeten Gasblasen schwankt. Die vorerwähnten nachteiligen Einflüsse bewirken somit eine beträchtliche Verschlechterung der Dosiergenauigkeit einer Membranpumpe, wobei sich dies umso nachteiliger zeigt, je kleiner das Hubvolumen der Pumpe ist, da hierbei das Verhältnis von Hubvolumen zu Gasblasenvolumen immer ungünstiger wird.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Membranpumpe der gattungsgemäßen Art bei außerordentlich geringem konstruktiven Aufwand mit einer Umlaufspülung zu versehen, so daß insbesondere bei kleinen Membranpumpen das Festsetzen von Gasblasen verhindert ist und gleichzeitig erreicht wird, daß die Gasblasen selbsttätig an eine Stelle transportiert werden, an der sie aus dem Kolbenraum oder aus dem Membranarbeitsraum entfernt werden .
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen angegeben.
* S S β
Der erfindungsgemäßen Membranpumpe liegt der Gedanke zugrunde, durch eine ganz spezielle Ausgestaltung der Verbindungskanäle zwischen Kolbenraum und Membranarbeitsraum die in diesen Kanälen, vor allem in den waagrechten Kanälen herrschende mittlere Strömungsgeschwindigkeit von Null verschieden zu machen. Unter mittlerer Strömungsgeschwindigkeit wird hierbei das Mittel bzw. die Differenz aus der Strömungsgeschwindigkeit beim Saughub sowie aus derjenigen beim Druckhub verstanden. Dies bedeutet mit anderen Worten, daß in den Verbindungskanälen keine rein neutral pulsierende Strömung des Hydraulikmediums herrscht, wie das ansonsten bei den bekannten Membranpumpen der Fall ist, sondern es liegt in jedem einzelnen Kanal eine solche Strömung vor, daß die mittlere Strömungsgeschwindigkeit in eine Richtung, d.h. in Saughubrichtung oder in Druckhubrichtung, deutet.
Dies wird erfindungsgemäß durch eine entsprechende Ausgestaltung eines oder mehrerer der Kanäle, nicht jedoch aller Kanäle erreicht, und zwar derart, daß in der einen Strömungsriehtung (Saughub oder Druckhub) der Strömungswiderstand größer, insbesondere wesentlich größer ist als in der anderen Strömungsrichtung (Druckhub oder Saughub). Aufgrund dieser Ausgestaltung wird sich dann in dem speziellen, verändert ausgebildeten Kanal, der den veränderten Strömungswiderstand aufweist, beim Bewegen des Kolbens in der einen Richtung, beispielsweise beim Saughub, eine sehr viel kleinere Strömungsgeschwindigkeit einstellen als beim Bewegen des Kolbens in der anderen Richtung, also dann im Druckhub. Dies wirkt sich dann wiederum auf die anderen Kanäle in entsprechender Weise aus, was bedeutet, daß dann, wenn in dem verändert ausgestalteten Kanal beispielsweise während des Saughubs eine erheblich verringerte Strömungsgeschwindigkeit herrscht oder nahezu keinerlei Hydraulikmedium strömt und während des Druckhubs eine bestimmte höhere Strömungsgeschwindigkeit herrscht, sich in den an-
deren Kanälen zwangsläufig genau das Gegenteil ergibt, da ja eine Kompensation erreicht werden muß und aufgrund des hin- und herbewegten Verdrängerkolbens stets dieselbe Menge an Hydraulikmedium während des Saughubs sowie während des Druckhubs transportiert wird.
Wenn demgemäß in dem verändert ausgebildeten Kanal beispielsweise während des Saughubs die Strömungsgeschwindigkeit erheblich verringert oder annähernd Null ist, muß diese Strömungsgeschwindigkeit des Hydraulikmediums in den anderen Kanälen während des Saughubs entsprechend höher sein, wogegen dann im geschilderten Beispiel während des Druckhubs, in sämtlichen Kanälen die gleiche Strömungsgeschwindigkeit herrscht. Dadurch ergibt sich insgesamt der erstrebte technische Effekt, daß in all denjenigen Kanälen, in denen die erfindungsgemäße Ausgestaltung vorgesehen ist, beispielsweise beim Saughub, ein erhöhter Strömungswiderstand herrscht, so daß sich insgesamt eine mittlere Strömungsgeschwindigkeit in Richtung Druckhub, d.h. in Richtung zur Membran, ergibt, während dann dementsprechend bei den anderen Kanälen sich eine Strömungsgeschwindigkeit in Richtung Saughub, d.h. in Richtung des Verdrängerkolbens ergibt.
Aus diesem Grund werden Gasblasen, die sich möglicherweise in den Verbindungskanälen absetzen, praktisch nach Art eines Pilgerschrittverfahrens in einer bestimmten gewünschten Richtung transportiert, wobei in all denjenigen Kanälen, in denen keine Änderung des Strömungswiderstandes vorgenommen wurde, eine Bewegung der Gasblasen in Richtung des Saughubes, d.h. in Richtung des Verdrängerkolbens erfolgt, während in dem speziell ausgestalteten Kanal, der in der einen Strömungsrichtung einen erhöhten Strömungswiderstand aufweist, ein Transport der Gasblasen in Richtung des Druckhubes, d.h. in Richtung der Membran hin erfolgt.
Dies bewirkt den erstrebten Spüleffekt in der gewünschten Richtung, d.h. in Richtung Kolben und/oder in Richtung Membran.
Demgemäß zeichnet sich die erfindungsgemäße Membranpumpe dadurch aus, daß wenigstens einer der Kanäle derart verändert ausgestaltet ist, daß der hierin herrschende Strömungswiderstand für das vom Verdrängerkolben sowohl beim Druckhub als auch beim Saughub bewegte Hydraulikmedium in der einen Strömungsrichtung verschieden ist von demjenigen in der anderen Strömungsrichtung, so daß in jedem einzelnen Kanal die mittlere Strömungsgeschwindigkeit stets in eine Hubrichtung gerichtet ist und damit insgesamt in sämtlichen Kanälen eine Transportströmung für im Hydraulikmedium enthaltene Gasblasen gebildet ist.
Eine spezielle konstruktive Ausgestaltung der Erfindung ist darin zu sehen, daß der verändert ausgebildete Kanal einen unter der Wirkung der Strömung des Hydraulikmediums zwischen zwei Stellungen bewegbaren Widerstandskörper aufweist, der in der einen Stellung auf die Strömungsgeschwindigkeit des Hydraulikmediums keinen Einfluß ausübt, jedoch in der anderen Stellung einen vergrößerten Strömungswiderstand erzeugt und damit die Strömungsgeschwindigkeit des Hydraulikmediums verringert.
Besondere Vorteile ergeben sich, wenn dieser Widerstandskörper durch einen Stift gebildet ist, der in einem etwa senkrecht verlaufenden Bohrungsabschnitt des verändert ausgebildeten Kanals angeordnet ist und in seiner den vergrößerten Strömungswiderstand ausübenden Stellung unter der Wirkung der Schwerkraft auf einer Schulter des Bohrungsabschnittes ruht.
Dies bedeutet, daß der als Widerstandskörper dienende Stift erfindungsgemäß derart ausgestaltet sein soll, daß der Strömungswiderstand des diesen Stift aufweisenden Kanals im Saughub sehr groß ist. Ein derartiger Stift muß nicht .notwendigerweise dichtend der Schulter des Bohrungsabschnittes aufsitzen, sondern muß nur beim Saughub in dem betreffenden Kanal
. 3.
einen Strömungswiderstand erzeugen, der im Vergleich zu demjenigen beim Druckhub sehr hoch ist.
Der einzige konstruktive Aufwand ist lediglich darin zu sehen, daß ein zusätzlicher Stift vorgesehen werden muß, der als Widerstandskörper dient und in einem einfach herstellbaren gesonderten Bohrungsabschnitt des betreffenden Kanals einerseits im Druckhub unter der Wirkung des strömenden Hydraulikmediums anhebbar und andererseits im Saughub unter der Wirkung der Schwerkraft absenkbar, d.h. auf die Schulter des Bohrungsabschnittes aufsetzbar ist.
Zweckmäßigerweise ist der als Widerstandskörper dienende Stift wenigstens an seinem unteren Ende mit angefasten Kanten versehen, so daß es dadurch möglich ist, durch eine entsprechende Ausgestaltung des Stiftes das Ausmaß der Erhöhung des Strömungswiderstandes im Saughub zu beeinflussen.
Es liegt im Rahmen der Erfindung, den Kolbenraum und/oder Arbeitsraum mit einem gesonderten Entlüftungskanal zu versehen, der in ein übliches Entlüftungs- oder Schnüffelventil ausmündet und das Heraustransportieren der mittels der Erfindung aus den Kanälen entfernten Gasblasen ermöglicht.
Die Erfindung erbringt den wesentlichen Vorteil, daß sie bei allen Pumpengrößen angewendet werden kann, da nur ein geringer konstruktiver und kostenmäßiger Aufwand erforderlich ist, um die erfindungsgemäß vorgesehene Spülung bzw. Umlaufspülung zu erreichen. Die spezielle Art der Spülung ist auch deswegen bei allen Pumpengrößen möglich, weil immer nur ein Teil des Hydraulikmediums an dem oder den Widerstandskörpern vorbeiströmen muß. Im übrigen ist die Anwendung der Erfindung unabhängig von der Anzahl der vorgesehenen Verbindungskanäle, was einen weiteren wesentlichen Vorteil erbringt.
3U6952
Im Hinblick auf die Erfindung können demnach - im Unterschied zum Stand der Technik - zwei grundsätzliche Forderungen formuliert werden, nämlich dahingehend, daß einerseits die Strömungs- bzw. Verbindungskanäle querschnittlich möglichst klein sein sollen, um Beschädigungen der Membran bei deren hinteren Anlage zu vermeiden. Andererseits soll aber auch der Druckverlust in den Verbindungskanälen möglichst klein sein. Dies bedeutet, daß man zur Verbindung zwischen dem Kolbenraum und dem Membranarbeitsraum mehrere, also wenigstens zwei Strömungskanäle vorsehen muß, wobei es jedoch von Vorteil sein dürfte, beispielsweise fünf oder sechs Strömungskanäle vorzusehen. Um bei einer derartigen Ausgestaltung den erwünschten Freispüleffekt zu erzielen, ist es demgemäß im Sinn .der Erfindung von Bedeutung, daß die mittlere Strömungsgeschwindigkeit, d.h. der zeitliche Mittelwert der Strömungsgeschwindigkeit, von Null verschieden ist und daß somit keine rein pulsierende Strömung stattfindet. Dies ist deswegen erfindungsgemäß von Bedeutung, weil die Erfahrung gezeigt hat, daß Gasbläschen, die sich bei einer rein pulsierenden Strömung im jeweiligen Verbindungskanal befinden, niemals aus diesem Kanal heraustransportiert werden.
Demgemäß ist es auch von besonderer Wichtigkeit, daß die mittlere Strömungsgeschwindigkeit, die erfindungsgemäß von Null verschieden ausgestaltet ist, stets in Richtung des Entgasungsraums gerichtet ist.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es im übrigen auch möglich, statt des in einem Verbindungskanal angeordneten Widerstandskörpers eine spezielle Gestaltung von mindestens einem Verbindungskanal vorzusehen, und zwar derart, daß lediglich aufgrund dieser speziellen Ausgestaltung in dem betreffenden Kanal eine größere Strömung in der einen Richtung, jedoch eine geringere Strömung in der anderen Richtung herrscht.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Diese zeigt in:
Fig. 1 im senkrechten Schnitt eine Membranpumpe gemäß der Erfindung;
Fig. 2 eine abgewandelte Ausführungsform der den Kolbenraum mit dem Membranarbeitsraum verbindenen Kanäle und
Fig. 3 eine weitere abgewandelte Ausführungsform einer Ausgestaltung eines der Verbindungskanäle.
- 12 -
Wie aus der Zeichnung ersichtlich, ist bei der dargestellten Membranpumpe eine Membran 1 vorgesehen, die einen das Fördermedium aufnehmenden Förderraum 2 von einem Membranarbeitsraum 3 trennt.
Der Membranarbeitsraum 3 ist in der Stirnseite eines Pumpengehäuses 4 angeordnet, die ihrerseits durch einen Gehäusedeckel 5, der den Förderraum 2 enthält, verschlossen ist. Im Gehäusedeckel 5 ist außerdem ein Einlaßventil 6 bzw. Auslaßventil 7 angeordnet, die jeweils über Kanäle 8 bzw. 9 mit dem Förderraum 2 verbunden sind, so daß bei oszillierend betätigter Membran/das Fördermedium in Richtung der in Verbindung mit den Ventilen 6, 7 dargestellten Pfeile gefördert wird.
Im Pumpengehäuse 4 ist weiterhin in der dargestellten Weise ein Kolbenraum 10 vorgesehen, in dem ein Verdrängerkolben 11 zur oszillierenden Betätigung der Membran 1 hin- und herbewegbar ist. Der Kolbenraum 10 ist über zwei im wesentlichen horizontal verlaufende Strömungs- bzw. Verbindungskanäle 12, 13 mit dem Membranarbeitsraum 3 verbunden. Die Gesamtheit aus Membranarbeitsraum 3, Verbindungskanälen 12, 13 und Kolben-
durch
raum 10, die/den Verdrängerkolben 11 beaufschlagt wird, stellt hierbei einen Druckraum dar, der insgesamt mit Hydraulikmedium gefüllt ist. Innerhalb des oberen Verbindungskanals 13 ist ein senkrecht verlaufender Bohrungsabschnitt 14 gebildet, der an seinem unteren Ende eine Schulter 15 aufweist und hin- und herverschieblich einen als Widerstandskörper dienenden Stift 16 aufnimmt. Dieser Stift 16 ist an seinen beiden Enden mit angefasten Kanten 17 versehen und steht lediglich unter der Wirkung der Schwerkraft, so daß er während des Saughubes, d.h. während der nach rechts in Fig. 1 erfolgenden Bewegung des Verdrängerkolbens 11,unter der Wirkung dieser Schwerkraft auf der Schulter 15 des senkrecht verlaufenden Bohrungsabschnittes 14 aufruht. Dadurch ist während des Saughubs des Verdrängerkolbens 11 aufgrund des im oberen Ver-
- ys -
bindungskanal 13 herrschenden verringerten Strömungsquerschnittes der Strömungswiderstand erheblich vergrößert, so daß auch demgemäß im Vergleich zum Druckhub eine geringere Menge an Hydraulikmedium vom Arbeitsraum 3 über den oberen Verbindungskanal 13 in den Kolbenraum 10 gelangen kann. Zum Ausgleich hierfür muß im unteren Verbindungskanal 12 während des Saughubes eine entsprechend größere Menge an Hydraulikmedium vom Arbeitsraum 3 in den Kolbenraum 10 transportiert werden, was naturgemäß die Strömungsgeschwindigkeit erhöht und dafür sorgt, daß im unteren Kanal 12 die mittlere Strömungsgeschwindigkeit in Richtung des Kolbenraums 10 gerichtet ist, während im oberen Kanal 13 die mittlere- Strömungsgeschwindigkeit in Richtung der Membran 1 zeigt.
Aufgrund des lediglich der Wirkung der Schwerkraft unterliegenden Stiftes 16 wird dieser dann, wenn der Verdrängerkolben 11 den Druckhub in Richtung der Membran 1 durchführt, durch das in Fig. 1 nach links transportierte Hydraulikmedium von der unteren Schulter 15 im senkrecht verlaufenden Bohrungsabschnitt 14 angehoben, und zwar derart weit, daß beim Druckhub der Strömungswiderstand im Kanal 13 etwa demjenigen im Kanal 12 entspricht.
Da jedoch insgesamt beim Kanal 13 in Richtung des Saughubes der Strömungswiderstand erheblich höher ist als in Richtung des Druckhubes, ergibt sich, wie schon dargelegt, beim oberen Kanal 13 eine mittlere Strömungsgeschwindigkeit - und damit ein Wandern etwaiger Gasblasen - in Richtung der Membran 1, während diese mittlere Strömungsgeschwindigkeit beim unteren Kanal 12 im Sinn des erforderlichen Zwangsausgleichs in Richtung des Kolbenraums 10 bzw. des Druckhubs zeigt und somit auch die in diesem Kanal 12 etwa befindlichen Gasblasen in Richtung des Kolbenraums 10 transportiert. Damit findet insgesamt ein Wandern der Gasblasen nach Art eines Pilgerschritt
Verfahrens statt, so daß ein Festsetzen dieser Gasblasen in den Kanälen 12, 13 wirksam verhindert und gleichzeitig deren Abtransport aus den Kanälen 12, 13 gewährleistet ist.
Um die aus den Kanälen 12, 13 heraustransportierten Gasblasen insgesamt aus der Membranpumpe entlüften zu können, weist diese in der üblichen Weise Entlüftungskanäle 18, 19 auf, die von der geodätisch höchsten Stelle des Membranarbeitsraums 3 bzw. des Kolbenraums 10 ausgehen und über ein Gasausschleußventil 20 bzw. Schnüffelventil 21 ins Freie oder in einen geeigneten Behälter ausmünden.
Die abgewandelte Ausführungsform gemäß Fig. 2 unterscheidet sich von derjenigen gemäß Fig. 1 dadurch, daß derjenige horizontale Abschnitt des oberen Verbindungskanals 13, der bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1 zwischen dem Kolbenraum 10 und dem senkrechten Bohrungsabschnitt 14 verläuft, bei der Ausführungsform gemäß Fig. 2 weggelassen ist, so daß dieser senkrecht verlaufende Bohrungsabschnitt 14 direkt in den Kolbenraum 10 einmündet.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 3 ist kein Widerstandskörper 16 vorgesehen, sondern stattdessen einer der beiden Verbindungskanäle 12 und 13, nämlich der obere Kanal 13 mit einer Erweiterung 13a versehen, die an den Kolbenraum
10 anschließt. Hierdurch ergibt sich beim Druckhub des Kolbens
11 im Kanal 13 eine größere Strömung, dargestellt durch
die Doppelpfeile, und im Saughub des Kolbens 11 eine kleinere Strömung, dargestellt durch den Einfachpfeil, so daß insgesamt der erstrebte Spüleffekt erreicht ist.

Claims (7)

PATENTANWALTS. ZEITLER POSTFACH 260251-8000 MÜNCHEN 26 TELEFON: 089/221806 HERRNSTRASSE 15 -8000 MÜNCHEN LEWA Herbert Ott GmbH + Co. Ulmer Straße 10 7250 Leonberg Membranpumpe mit Umlaufspülung Patentansprüche:
1. Membranpumpe mit einer Membran, die einen Förderraum von einem vollständig mit Hydraulikmedium gefüllten Arbeitsraum trennt, und einem Kolbenraum, der über wenigstens zwei Kanäle mit dem Membranarbeitsraum verbunden ist und in dem ein Verdrängerkolben zur oszillierenden Betätigung der Membran hin- und herbewegbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß zum Ausspülen von Gasblasen aus den Kanälen (12, 13) wenigstens ein Kanal derart verändert ausgestaltet ist, daß der hierin herrschende Strömungswiderstand für das vom Verdrängerkolben (11) sowohl beim Druckhub als auch beim Saughub bewegte Hydraulikmedium in der einen Strömungsrichtung verschieden ist von demjenigen in der anderen Strömungsrichtung, so daß in jedem einzelnen Kanal (12 bzw. 13) die mittlere Strömungsgeschwindigkeit stets in eine Hubrichtung gerichtet ist und damit insgesamt in sämtlichen Kanälen (12, 13) eine Transportströmung für im Hydraulikmedium enthaltene Gasblasen gebildet ist.
1955
_7Γ "-*' 3Α46952
2. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der verändert ausgestaltete Kanal (13) einen unter der Wirkung der Strömung des Hydraulikmediums zwischen zwei Stellungen bewegbaren Widerstandskörper (16) aufweist, der in der einen Stellung auf die Strömungsgeschwindigkeit des Hydraulikmediums keinen Einfluß ausübt, jedoch in der anderen Stellung einen vergrößerten Strömungswiderstand erzeugt und damit die Strömungsgeschwindigkeit des Hydraulikmediums verringert.
3. Membranpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Widerstandskörper durch einen Stift (16) gebildet ist, der in einem etwa senkrecht verlaufenden Bohrungsabschnitt (14) des verändert ausgebildeten Kanals (13) angeordnet ist.
4. Membranpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Stift (16) in seiner den vergrößerten Strömungswiderstand ausübenden Stellung unter der Wirkung der Schwerkraft auf einer Schulter (15) des Bohrungsabschnittes (14) ruht.
5. Membranpumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der als Widerstandskörper dienende Stift (16) wenigstens an seinem unteren Ende mit angefasten Kanten (17) versehen ist.
6. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Kolbenraum (10) und/oder der Membranarbeitsraum (3) einen gesonderten Entlüftungskanal (18 bzw. 19) aufweist.
7. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einer der Kanäle (13) eine querschnittliche Erweiterung (13a) aufweist.
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