DE3422401C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Aufladen oder Entladen einer Oberfläche gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Ein solches Verfahren ist in den Patents Abstracts of Japan P-182, March 12, 1983, Vol. 7/No. 60, beschrieben. Einer zu ladenden Oberfläche steht eine klein bemessene und kompakte elektrostatische Entladungseinrichtung ge­ genüber, die aus einer Induzierelektrode und einer Entla­ dungselektrode sowie einem dazwischengefügten Dielektrikum besteht. Zwischen den beiden Elektroden liegt eine Wech­ selspannung an, während zwischen der Entladungselektrode und einem leitenden Substrat an der Rückseite der zu ladenden Oberfläche eine Gleichspannung angelegt ist, die dafür sorgt, daß von den erzeugten Ionen beider Polari­ täten die der gewünschten Polarität auf die zu ladende Oberfläche gelangen.

Ähnliche Verfahren sind in den Patents Abstracts of Japan P-202, June 7, 1983, Vol. 7/No. 130 und der US-PS 41 55 093 beschrieben.

Vorteile bei diesem Verfahren ergeben sich u. a. dadurch, daß das Dielektrikum dünn ausgeführt werden kann (bis zu 500 µm, vorzugsweise 20 bis 200 µm) und so kleine Abmes­ sungen erreichbar sind.

Schwierigkeiten bei diesem bekannten Verfahren bestehen darin, daß die Ladungs- bzw. Entladungswirkung, mitbedingt durch Ungleichförmigkeiten des Dielektrikums und/oder Unebenheiten der Elektroden, nicht hinreichend gleichmäßig ist und insbesondere temperatur- und feuchtigkeitsabhängig schwankt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 derart weiterzubil­ den, daß eine hohe Gleichmäßigkeit der Flächenentladung erreicht wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit dem im kennzeich­ nenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmal gelöst.

Es hat sich herausgestellt, daß die Flächenentladungs­ fläche, d. h. also die Fläche, die Ladungen abgibt, bei ausreichender Höhe einen Sättigungswert erreicht, bei dem die Entladungsfläche eine der Breite der Induzierelektrode entsprechende Breite annimmt, die auch bei weiterer Er­ höhung der Spannung nicht überschritten wird.

Obwohl dieses Phänomen auf den ersten Blick in keinem Zusammenhang mit der festgestellten Ungleichmäßigkeit der Entladung steht, wurde darüber hinaus überraschenderweise gefunden, daß die Entladungswirkung dann über die gesamte Elektrodenlänge besonders gleichmäßig ist, wenn mit dem Sättigungswert, d. h. also mit der maximal erreichbaren Breite der Entladungsfläche gearbeitet wird. Dann läßt sich trotz Ungleichförmigkeiten des Dielektrikums und/oder Unebenheiten der Elektroden und bei Änderungen der Umge­ bungsbedingungen eine stabile und gleichmäßige Flächenent­ ladung erreichen.

Eine vorteilhafte Weiterbildung ist Gegenstand des Anspruchs 2. Mit mehreren parallelen Entladungselektroden ist es möglich, bei geringerer Spannung die gewünschte Entladungsbreite zu erreichen, wodurch die Gefahr von Durchschlägen an dem Dielektrikum vermieden wird.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbei­ spielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläu­ tert. Es zeigt

Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel einer Entladungsvor­ richtung;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht einer Entladungs­ einrichtung, die bei der Vorrichtung gemäß Fig. 1 zur Anwendung kommt;

Fig. 3A die Oberflächenentladungszone ohne Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens;

Fig. 3B die Oberflächenentladungszone bei Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens;

Fig. 4 die Beziehung zwischen einem Spitze-Spitze-Wert einer an die Entladungseinrichtung angelegten Wechselspannung und der Breite des Oberflächen­ entladungsbereichs;

Fig. 5 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Entla­ dungsvorrichtung;

Fig. 6A eine perspektivische Ansicht einer Entladungs­ einrichtung, die bei der Entladungsvorrichtung gemäß Fig. 5 zur Anwendung kommt;

Fig. 6B, 6C und 6D Beispiele elektrischer Verbindungen mehrerer Reihen von Entladungselektroden;

Fig. 7A die Oberflächenentladungszone bei Anwendung der Entladungsvorrichtung nach den Fig. 5 und 6 und des erfindungsgemäßen Verfahrens;

Fig. 7B die Oberflächenentladungszone bei zu niedriger Entladung.

Die Fig. 1 zeigt eine Entladungsvorrichtung, die eine Entladungseinrichtung 1 aufweist, die einer zu ladenden oder zu entladenden Oberfläche eines Elements 2 zugewandt ist. Die Entladungseinrichtung 1 besteht aus einem Dielektrikum 3, einer Induzierelek­ trode 4 und einer Entladungselektrode 5. Wie die Fig. 2 erkennen läßt, ist die Entladungselektrode 5 ein einzel­ nes gerades, längliches Teil, das sich längs der Mitte der Induzierelektrode 4 erstreckt.

Zwischen der Induzierelektrode 4 und der Entladungs­ elektrode 5 liegt eine von einer Wechselspannungsquelle 6 Wechselspannung an. Das Element 2, das in der Richtung des Pfeils A relativ zur Entladungseinrichtung 1 bewegt wird, besteht aus einem leitenden Basisteil 2 a und einem isolierenden oder photoleitfähigen Teil 2 b. Zwischen dem leitenden Basisteil 2 a und der Ent­ ladungselektrode 5 liegt eine von einer Spannungsquelle 7 erzeugte Vorspannung an.

Wenn im Betrieb die Wechselspannung an die Induzier- und die Entladungselektrode 4 bzw. 5 angelegt wird, tritt nahe der Entladungselektrode 5 eine elektrische Ent­ ladung auf, worauf positive und negative Ionen in ausrei­ chender Menge erzeugt werden. Auf Grund der zwischen der Entladungselektrode 5 sowie dem leitenden Basisteil 2 a vorhandenen Vorspannung werden die positiven oder nega­ tiven Ionen selektiv herausgezogen und zur Oberfläche des isolierenden oder photoleitfähigen Teils 2 b des Elements 2 hin gelenkt, um eine Auf­ ladung auf ein gewünschtes Niveau mit der gewählten Polarität zu erzeugen.

Als Material für das dielektrische Element 3 kann ein solches relativ hoher Härte, z. B. Keramik, Glimmer, Glas od. dgl., oder ein flexibles organisches Hochpolymer, z. B. Polyimidharz, Tetrafluoräthylen, Polyester, Akryl­ material, Vinylchloridpolyäthylen od. dgl., verwendet werden.

Die Fig. 3A und 3B zeigen Zustände der Oberflächenent­ ladung an der Entladungselektrode 5, und zwar von der Seite der Entladungselektrode her gesehen, wenn die Wechselspannung an die Induzierelektrode 4 und die Entla­ dungselektrode 5 der Entladungseinrichtung 1 (Fig. 1 und 2) angelegt wird. In den Fig. 3A und 3B ist die auf der Rückseite des Dielektrikums 3 aufgebrachte Induzierelek­ trode 4 mit strich-punktierten Linien dargestellt; ihre Breite ist mit L bezeichnet. Die Schraffur kennzeichnet den Bereich, in dem die Oberflächenentladung an der Fläche des Dielektrikums 3 auf beiden Seiten der Entladungselek­ trode 5 auftritt.

In Fig. 3A ist der Zustand der Oberflächenentladung ge­ zeigt, wenn das erfindungsgemäße Verfahren nicht zur An­ wendung kommt. Der Entladungsbereich 10 erstreckt sich bis in die Nähe der beiden Ränder der Entladungselektrode 5, wobei seine Breite l über die Länge der Entladungselek­ trode 5 nicht gleichbleibend ist. Deshalb wird, wie Fig. 1 zeigt, die Oberfläche der isolierenden oder photoleitfähigen Schicht 2 a nicht gleichförmig aufgeladen, wenn das Element 2 in Gegenüberlage zur Entladungselektrode 5 angeordnet und relativ zu dieser bewegt wird, d. h., die Oberflächen­ potentialverteilung ist in der Längsrichtung wegen der erwähnten Ungleichförmigkeit ebenfalls ungleichmäßig.

Es wurde gefunden, daß sich die Breite l des Oberflächen­ entladungsbereichs 10 mit dem Spitze-Spitze-Wert der zwi­ schen der Induzier- und Entladungselektrode 4 bzw. 5 liegenden Wechselspannung ändert.

Die Fig. 4 zeigt ein Diagramm, in dem der Spitze-Spitze- Wert (doppelter Scheitelwert) gegen die Breite l des Ober­ flächenentladungsbereichs 10 aufgetragen ist. Die Ober­ flächenentladung beginnt am Punkt B. Mit Ansteigen des Spitze-Spitze-Werts wächst auch die Breite des Oberflächenentladungsbereichs an, bis schließlich eine Sättigung eintritt, wobei die Breite l im gesättigten Zustand im wesentlichen gleich der Breite L der Induzierelektrode 4 ist, d. h., daß sich der Oberflächen­ entladungsbereich im wesentlichen so weit wie die quer­ liegenden Flächen der Induzierelektrode 4 erstreckt. Selbst bei einer weiteren Erhöhung des Spitze-Spitze-Werts geht die Breite l nicht über diese Flächen der Induzier­ elektrode 4 hinaus. Das verwendete Dielektrikum 3 bestand aus einer Aluminiumoxidkeramik, die Entladungs­ elektrode 5 hatte eine Breite von 500 µm, die Breite der Induzierelektrode 4 betrug 6,5 mm.

Die Erfindung macht hiervon Gebrauch, um den Oberflächen­ entladungsbereich über die gesamte Länge der Entladungseinrichtung 1 in seiner Breite gleichförmig zu machen, und zwar unabhängig von der Ungleichförmigkeit des Materials des Dielektrikums 3 und/oder der Unebenheit (Rit­ ze, Rillen) der Elektroden und/oder anderer Gründe.

Die Fig. 3B zeigt den Oberflächenentladungsbereich 10 der Entladungseinrichtung gemäß der Erfindung. Der Spitze-Spitze- Wert der Wechselspannung wird so gewählt, daß sich der Oberflächenentladungsbereich im wesentlichen bis zu den Rändern der Induktionselektrode 4 über die gesamte Länge der Entladungseinrichtung erstreckt. Dann ist, wie Fig. 3B zeigt, die Breite l des Oberflächenentladungsbereichs 10 im wesentlichen gleich der Breite L der Induzierelektrode 4 und somit gleich­ förmig. Da die angelegte Spannung eine Wechselspannung ist, ändert sich genau genommen die Breite mit einer hohen Frequenz, jedoch ist die maximale Breite im wesentlichen gleich der Breite der Induzierelektrode 4 und gleichmäßig.

Wenn das Element 2 dem Ladungsvorgang in der in Fig. 1 gezeigten Weise mit der oben beschriebenen Ent­ ladungsvorrichtung unterworfen wird, wird es gleichförmig geladen. Wie bereits erwähnt, erstreckt sich der Oberflächenentladungsbereich 10 nicht über die Breite L der Induzierelektrode 4 hinaus, selbst wenn die Spannung erhöht wird. Die einzige Änderung liegt im Ansteigen der Ladungsdichte im Oberflächenentladungsbereich 10. Die Ladungsdichte innerhalb des Oberflächenentladungsbereichs ist in der Längsrichtung gleichförmig.

Wenn man diese Erscheinung im maximalen Ausmaß ausnutzt, kann eine gegenüber Änderungen in den Umgebungsbedingun­ gen relativ stabile Aufladung erreicht werden.

Das Dielektrikum 3 aus Aluminiumoxidkeramik mit einer Stärke von 200 µm wurde zwischen die Ent­ ladungselektrode 5 einer Breite von 500 µm und die Induzierelektrode 4 einer Breite von 4,5 mm eingefügt. Zwischen der Entladungs- und Induzier­ elektrode 5 bzw. 4 wurde eine Wechselspannung mit einem Spitze-Spitze-Wert von 2 kV an­ gelegt. Der Oberflächenentladungsbereich erstreckte sich nicht bis zu Rändern der Induzier­ elektrode 4. Wenn zwischen das Element 2 und der Entla­ dungseinrichtung eine Vorspannung von 2 kV gelegt wurde, wurde eine Ungleich­ förmigkeit von ± 8% an der Oberfläche des Elements 2 gemessen.

Dann wurde die Wechselspannung auf 4 kV (Spitze- Spitze) erhöht, um den Oberflächenentladungsbereich 10 im wesentlichen bis zu den Rändern der Induzier­ elektrode 4 hin auszudehnen, das Laden wurde unter denselben Bedingungen durchgeführt. Die gemessene Ungleich­ förmigkeit betrug ±3%. Auf diese Weise konn­ ten allein durch Änderung des Spitze-Spitze-Werts der Wechselspannung mehr als 60% der Ungleichförmigkeit beseitigt werden.

Bei einer Spannung von 4 kV (Spitze-Spitze) dehnte sich der Oberflächenentladungsbereich 10 nicht bis zu den Rändern der Induzierelektrode 4 aus, wenn deren Breite auf 30 mm erhöht wurde. Es wurde eine Ungleichförmigkeit der geladenen Fläche von ±7% gemessen.

Die Fig. 5 und 6A zeigen eine Entladungsvorrichtung in einer anderen Ausführungsform, wobei die Entladeeinrichtung 1 in Fig. 6A perspektivisch dargestellt ist. Diese Ausführungsform ist derjenigen nach Fig. 1 und 2 im wesentlichen gleichartig; unterschiedlich ist, daß die Entladungselektrode 5 aus mehreren Reihen einzelner Entladungselektroden besteht, die mit im wesentlichen re­ gelmäßigen Abständen angeordnet sind, und daß die Breite der Induzierelektrode 4 dementsprechend größer ist.

Die Fig. 7A zeigt den Oberflächenentladungsbereich 10 der Entladungsvorrichtung nach den Fig. 5 und 6A, wobei die Elektroden 5 a und 5 b in regelmäßigen Abständen angeordnet sind. Der Abstand L 1 von dem Rand der Induzierelek­ trode 4 zur Mittellinie der am weitesten außen liegenden Elektroden 5 a und der Abstand L 2 zwischen einander benachbarten Elektroden sind so gewählt, daß die Bedingung L 1 gleich oder größer ¹/₂ · L 2 erfüllt wird. Die Fig. 7A zeigt nur eine einzige innen liegende Elek­ trode, d. h. drei solche Teile insgesamt, jedoch ist die Zahl der innen liegenden Elektrodenteile 5 b nicht be­ grenzt und kann irgendeinen Wert einschließlich Null ha­ ben. Der Wert der Spitze-Spitze-Spannung wird so bestimmt, daß der vom äußeren Elektrodenteil 5 a sich erstreckende Oberflächenentladungsbereich 10 a im wesentlichen bis zu dem entsprechenden Rand der Induzier­ elektrode 4 bei jedem der äußeren Elektroden 5 a reicht. Dann berühren oder überlagern sich die Oberflächenentladungsbereiche einan­ der benachbarter Elektroden auf Grund der oben angegebenen Abmessungen.

Deshalb sind die dazwischen liegenden Oberflächenla­ dungsbereiche 10 b ebenfalls über die Länge des Entlade­ elements 1 gleichförmig. Die gesamte Breite der Oberflä­ chenentladungsbereiche 10 a und 10 b ist an allen Stellen im wesentlichen gleich der Breite der Induzier­ elektrode 4, d. h. in der Längsrichtung der Entla­ dungseinrichtung gleichförmig.

Wenn die obengenannten Bedingungen nicht erfüllt werden, d. h., wenn der Abstand L 1 von dem Rand der Induzierelektrode 4 zur Mittellinie der am weite­ sten außen liegenden Elektrode 5 a und der Abstand L 2 zwischen einander benachbarten Elektroden derart sind, daß L 1 kleiner als ¹/₂ · L 2 ist, dann kann ein gleichförmiger Oberflächenentladungsbereich 10 einer im wesentlichen der Breite der Induzierelektrode 4 entsprechenden Breite durch Anlegen einer ausreichend hohen Spannung erhalten werden. Wenn unter den gleichen Bedingungen, d. h. L 1 kleiner als ¹/₂ · L 2, der äußere Oberflächenentladungsbereich 10 a so weit ausgedehnt wird, daß er nur näherungsweise den Rand der Induzier­ elektrode 4 erreicht, dann treten die inneren Oberflä­ chenentladungsbereiche 10 b nicht mit benachbarten Oberflächenbereichen in Be­ rührung oder in Überlagerung; jedoch kann eine recht gute gleichförmige Ladung erreicht werden.

Wenn das Element 2 dem Ladevorgang in der in Fig. 5 gezeigten Weise mit der oben beschriebenen Entla­ dungsvorrichtung ausgesetzt wird, dann wird seine Oberfläche gleichförmig geladen. Wie schon gesagt wurde, erstreckt sich der Oberflächenentladungsbereich 10 nicht über die Breite L der Induzierelektrode 4 hinaus, selbst wenn die Spannung erhöht wird. Die einzige Änderung liegt im Ansteigen der Ladungsdichte im Oberflächenentladungs­ bereich 10; diese Dichte ist in der Längsrichtung gleichförmig.

Bei Ausnutzung dieser Erscheinung bis zum maximalen Aus­ maß kann eine gegen Änderungen der Umgebungsbedin­ gungen relativ stabile Aufladung erreicht werden, so daß ein zufriedenstellendes Laden wie bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel bewirkt werden kann.

Die Reihen von Elektroden können elektrisch nach Art eines Kamms, wie Fig. 6B zeigt, an gegenüberlie­ genden Enden, wie Fig. 6C zeigt, oder in Zick-Zack-Form, wie Fig. 6D zeigt, verbunden werden.

Wenn die Entladungselektrode aus einer einzelnen Elek­ trode besteht, dann wird der Oberflächenentladungs­ bereich durch den Spitze-Spitze-Wert der Wechselspannung bestimmt. Um die Breite des Oberflächenentladungsbereichs zu erhöhen, ist es deshalb notwendig, die Spannung relativ stark zu erhöhen. Wenn jedoch mehrere Elektroden zur Anwendung kommen, kann die Breite ohne Notwendigkeit einer Span­ nungserhöhung in solch großem Ausmaß ausgedehnt werden. Die Breite kann nach Wunsch ausgedehnt werden, indem die Zahl der Elektroden erhöht wird; auf diese Weise kann die Ladungs- und Entladungsleistung erheblich gesteigert werden.

Die Fig. 7B zeigt eine gegenüber dem vorhergenannten Ausführungsbeispiel unterschiedliche Entladungseinrichtung 1, wobei die jeweiligen, sich von den Elektroden 5 a, 5 b und 5 c erstreckenden Oberflächenentladungsbereiche 10 die Breiten 11, 12 und 13 haben, die in der Längsrichtung nicht gleichförmig sind. Wenn das Element 2 mit einer solchen Entladungseinrichtung in der in Fig. 5 gezeigten Weise geladen wird, dann ist die Ladung an der Oberfläche der isolierenden oder photoleitfähigen Schicht in der Längsrichtung nicht gleichförmig, was selbstverständlich nicht erstrebenswert ist.

Das Dielektrikum 3 aus Aluminiumoxidkeramik mit einer Stärke von 200 µm war zwischen die Induzier­ elektrode 4 einer Breite von 14 mm und drei Entladungs­ elektroden 5 a, 5 b sowie 5 c eingefügt, die um 5 mm (L 2) beab­ standet waren und von denen jedes eine Breite von 500 µm hatte. Zwischen die Entladungselektroden 5 a, 5 b sowie 5 c und die Induzierelektrode 4 wurde eine Wech­ selspannung mit einem Spitze-Spitze-Wert von 2 kV gelegt. Der Oberflächenentladungs­ bereich erstreckte sich nicht bis zu den Rändern der Induzierelektrode 4, wie in Fig. 7B gezeigt ist. Wenn zwischen das Element 2 und der Entladungseinrichtung 1 eine Vorspannung von 2 kV durch die Vorspan­ nungsquelle 7 angelegt wurde, wurde an der Oberfläche des Elements 2 eine Ungleichförmigkeit von ±7,5% gemessen.

Dann wurde die Wechselspannung auf 4 kV (Spitze- Spitze) erhöht, um den Oberflächenentladungsbereich 10 im wesentlichen bis zu den Rändern der Induzierelektrode 4 auszudehnen; das Laden wur­ de unter den gleichen Bedingungen ausgeführt. Die gemes­ sene Ungleichförmigkeit betrug ±2,5%. Auf diese Weise wurden allein durch Änderung des Spitze- Spitze-Werts mehr als 85% der Ungleichförmigkeit besei­ tigt.

Wenn die Spannung 4 kV (Spitze-Spitze) betrug, so erstreckte sich der Oberflächenentladungsbereich 10 nicht bis zu den Rändern der Induzier­ elektrode 4, wenn deren Breite auf 60 mm erhöht wurde; es wurde dann eine Ungleichförmigkeit der geladenen Oberfläche von ± 7% gemessen.

Bei jeder der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele ist die Breite l des Oberflächenentladungsbereichs vom Mate­ rial, von der Dielektrizitätskonstante und dem spezifi­ schen Oberflächenwiderstand des Dielektrikums 3 abhängig, der Fachmann auf diesem Gebiet kann jedoch ohne Schwierigkeiten den Spitze-Spitze-Wert in Abhängigkeit von diesen Faktoren bestimmen.

Auch hängt die Breite von den Umgebungsbedingungen ab, wie Atmosphärendruck, Temperatur, Feuchtigkeit und Verschmut­ zungsgrad der Oberfläche des Dielektrikums 3. Auf der Grundlage der tatsächlich gegebenen Bedingungen, unter denen die Vorrichtung verwendet wird, kann der Spitze-Spitze-Wert so bestimmt werden, daß der Oberflächen­ entladungsbereich 10 im wesentlichen bis zu den Längs-Rändern der Induzierelektrode 4 reicht, wie es erwünscht ist.

Die Wechselspannung ist nicht auf eine sinusförmige Wech­ selspannung begrenzt, sie kann vielmehr auch eine Recht­ eckspannung oder eine impulsförmige Wechselspannung sein.

Die obige Erläuterung war auf das Laden eines Elements 2 abge­ stellt. Wenn die Entladungsvorrichtung näher an dem Element angeordnet wird, kann dieses entladen werden, d. h., eine elektrische Ladung kann von diesem abgeführt werden. In diesem Fall ist die Vorspannungsquelle 7 nicht notwendig. Die Erfindung ist also auch auf diesen Fall vorteilhaft anwendbar.

Die Vorspannungsquelle 7 kann eine Gleichspannung oder eine pulsierende Span­ nung liefern, wobei die nahe der Entladungselektrode 5 erzeugten Ionen zu dem zu ladenden oder zu entladenden Teil geführt werden können. In der Beschreibung wurde erwähnt, daß die Spannung der Vorspannungsquelle 7 zwischen die Entladungselektrode 5 und das zu ladende oder zu entladende Element 2 angelegt wird; sie kann je­ doch auch zwischen der Induzierelektrode 4 und dem zu ladenden oder zu entladenden Element angelegt werden.

Wie erläutert, wird gemäß der Erfindung eine Entla­ dungsvorrichtung geringer Größe geschaffen werden, durch die ein zu ladendes oder zu entladendes Element gleichförmig geladen oder entladen werden kann.

Claims (3)

1. Verfahren zum Aufladen oder Entladen einer Oberfläche mittels einer Entladungseinrichtung, die mindestens eine Entladungselektrode, eine gegenüber der Entladungselek­ trode breitere Induzierelektrode sowie ein zwischen beiden liegendes Dielektrikum aufweist und mit der Entladungs­ elektrode der Oberfläche zugewandt ist, wobei zum Erzeugen einer Flächenentladung auf der mit der Entladungselektrode versehenen Seite des Dielektrikums zwischen der Indu­ zierelektrode und der bzw. den Entladungselektroden eine Wechselspannung angelegt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Wechselspannung so hoch gewählt wird, daß die Breite der Flächenentladung gleich der Breite der Induzierelek­ trode wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Entladungseinrichtung mit mehreren, gleichen Abstand voneinander aufweisenden Entladungselektroden verwendet wird, bei der die Abstände zwischen den außen liegenden Entladungselektroden und den zugehörigen Rändern der Indu­ zierelektrode (4) nicht geringer sind als der halbe Ab­ stand benachbarter Entladungselektroden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß Ladungen der Flächenentladung mittels eines elektrischen Feldes zwischen der bzw. den Entladungs­ elektroden und der aufzuladenden oder zu entladenden Ober­ fläche zu dieser Oberfläche hin abgezogen werden.