DE3414936A1

DE3414936A1 - Fluessigkeitsstrahlaufzeichnungskopf

Info

Publication number: DE3414936A1
Application number: DE19843414936
Authority: DE
Inventors: Masami Machida Tokio/Tokyo Ikeda; Hiroto Ebina Kanagawa Matsuda; Makoto Hiratsuka Kanagawa Shibata; Hiroto Hiratsuka Kanagawa Takahashi
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1983-04-20
Filing date: 1984-04-19
Publication date: 1984-10-25
Also published as: US4940999A; JPS59194868A; FR2544665B1; JPH062415B2; FR2544665A1

Description

Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, der eine Flüssigkeit abstrahlt und "fliegende" Flüss^gkeitströpfchen bildet, wodurch eine Aufzeichnung durchgeführt wird.

Tintenstrahlaufzeichnungsverfahren (Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsverfahren) haben in neuerer Zeit größere-Aufmerksamkeit auf sich gezogen, da die während des Aufzeichnungsvorganges auftretenden Geräusche vernachlässigbar gering sind und da eineAufzeichnung mit-hoher Geschwindigkeit möglich ist. Ferner kann die Aufzeichnung durchgeführt -werden, ohne daß die Bilder auf sogenanntem .Normalpapier fixiert werden müssen.

Von diesen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsverfahren weisen beispielsweise die in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 51837/1972 und der DE-OS 28 43 06Ά beschriebenen Verfahren spezielle Eigenschaften auf, die sie von anderen Flüssigkeitsstrahlau.fzeichnungsverfahren unterscheiden. Hiernach läßt man nämlich

Dresdner Bank (München) Kto. 393Θ

Bayer. Vereinsbank (München) Kto. 508

Poeischeck (München) Kto. 670-43-804

Wärmeenergie auf die Flüssigkeit einwirken, urn auf diese · Weise eine Antriebskraft zur Abgab.e von Flüssigkeitströpfchen zu erhalten.

Mit anderen Worten, die in diesen Veröffentlichungen beschriebenen Aufzeichnungsverfahren zeichnen.sich dadurch aus, daß die der Einwirkung von Wärmeenergie ausgesetzte Flüssigkeit eine Zustandsänderung erfährt, die zu einem steilen Volumenanstieg führen kann. Durch die auf dieser

.10 Zustandsänderung basierende -Kraft wird Flüssigkeit aus einer Öffnung am Ende des Aufzeichnungskopfabschnittes abgegeben, so daß "fliegende" Fi-üssigkeitströpfchen gebildet werden, die an dem Aufzeichnungsmedium anhaften, wodurch die Aufzeichnung durchgeführt wird.

' .

Insbesondere das in der DE-OS 28 43 064 beschriebene Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsverfahren .ist nicht nur in besonders wirksamer Weise füf ein sogenanntes Aufzeichnungsverfahren mit Tröpfchenbildung auf Anforderung nutzbar, sondern macht es auch ohne weiteres möglich, daß der Aufzeichnungskopfabschnitt als Vollzeilentyp ausgebildet sein und eine Vielzahl von Öffnungen hoher Dichte aufweisen kann, so daß auf diese Weise Bilder mit einem.hohen Auflösungsgrad und einer ausgezeichneten Qualität ,mit hoher Geschwindigkeit erzielt werden ' können. :

Der Aufz-eichnfungskopfabschnitt eine'r .Vorrichtung, mit der sich das ..vorstehend beschriebene Aufzeichnungsverfahren verwirklichen läßt, ist mit.einem Flüssigkeits-· abgabeabschni'tt versehen, der eine Öffnung'aufweist, die zur Abgabe von Flüssigkeit dient, sowie einen Flüssigkeitsströmungjskanal, der mit der Öffnung in Verbindung steht und als? Teil seiner Konstruktion einen Wa'rmeeinvjirkungsabschnitt besitzt, in dem Wärmeenergie zur Abgabe der Flüssigkeiitströpfchen auf die Flüssigkeit einwirkt..

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Ferner ist ein Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie vorgesehen, das als Einrichtung zur Erzeugung der Wärmeenergie dient.

Dieses Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische. Energie weist zwei Elektroden, und eine wärmeerzeugende Widerstand'sschicht auf, die diese Elektroden miteinander verbindet und e'inen wärmeerzeugenden Bereich (einen wärmeerzeugenden Abschnitt) .zwischen diesen Elektroden umfasst. Ferner ist im oberen Abschnitt des Elementes normalerweise eine Schutzschicht vorgesehen, die die Elektroden und die Oberfläche des wärmeerzeugenden. Abschnittes abdeckt und auf einer isolierenden Basisplatte ausgebildet ist. Ein' Teilschnitt zur Darstellung des typischen Aufbaues eines derartigen Elementes ist in Figur 1· der Zeichnung gezeigt.

Wie aus Figur 1 hervorgeht, besitzt ein Element 101 zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie einen Aufbau, gemäß dem ein aus Silizium, Glas oder Keramik bestehendes Stützelement 102, eine untere Schicht 103, die auf dem Stützelement 102 angeordnet und aus SiO_? o.a.. -ausgebildet ist, eine wärmeerzeugende Widerstandsschicht 104 zur Erzeugung von Wärmeenergie auf der unteren Schicht 103, eine Elektrodenschicht 105 aus Al o.a., die auf der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht 104 angeordnet ist und entsprechend einem Signal einen Strom zuführt, eine erste obere Schicht 106 aus SiO₂ o.a., die die wärmeerzeugende Widerstandsschicht 104 und' die Elektrodenschicht 105 schützt, eine zweite obere Schicht 107 aus Polyimidharz o>ä. zum Ausgleich von Defekten der ersten oberen Schicht 106 und eine dritte obere Schicht 108 aus Ta o.a., die die mechanische Festigkeit erhöht, in dieser Reihenfolge aufeinander angeordnet sind. Obwohl die oberen Schichten mit einem dreischichtigen Aufbau dargestellt sind, sind drei Schichten nicht

immer erforderlich, sondern es können auch eine oder zwei Schichten bzw. vier oder mehrere Schichten zu Schutzzwecken vorgesehen sein. Wenn die wärmeerzeugende Widefstandsschicht 104 pder die Elektrodenschicht 105 gegenüber Tinte widerstandsfähig sind und eine ausreichende mechanische Festigkeit besitzen, müssen die oberen Schichten nicht unbedingt vorhanden sein.

Figur 2 zeigt das Element 101 zur Umwandlung von elek- , trischer in thermische Energie in der Draufsicht, wobei die oberen Schichten entfernt worden sind. Auf der unteren Schicht 103 sind ein wärmeerzeugender Abschnitt 109 und eine Anzahl von Elektroden 105-1 und 105-2 zur Zuführung von Energie, damit der wärmeerzeugende Abschnitt . 109 Wärme erzeugen kann, nebeneinander angeordnet.

Die Herstellung des wärmeerzeugendeh Abschnittes 105 und der Elektroden 105-1 und 105-2 läuft normalerweise durch das folgende Verfahren ab. Eine wärmeerzeugende Wid'erstandsschicht 104, die beispielsweise aus HfB₂ o.a. besteht, wird auf der Oberfläche eines Elementes, das das Stützelement 102 und die darauf ausgebildete untere Schicht .103 umfasst, durch Abscheiden oder Sprühen hergestellt, und eine Elektrodenschicht 105, die beispielsweise aus Al o..ä. besteht, wird durch ein ähnliches Verfahren auf der Oberfläche der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht 104 ausgebildet. Danach wird durch die Verwendung einer Fotomaske, die ein in Figur 3 dargestelltes Muster besitzt, ein Teil der Elektrodenschicht 105 und der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht durch Fotoätzen entfernt. Ein Teil der Elektrodenschicht 105 wird durch den Einsatz einer.das in Figur 4 dargestellte Muster aufweisenden Fotomaske geätzt, so daß eine Elektrode und ein wärmeorzeugender Abschnitt mit gewünschten Formen an gewünschten Stellen ausgebildet werden.

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Es ist äußerst schwierig, die in den Figuren 3 und 4 dargestellten Muster genau zueinander auszurichten. Daher' tritt, häufig als Ergebnis des Fotoätzvorganges eine"Positionsabweichung auf, wie sie beispielsweise in Figur 5 dargestellt ist. Hierdurch wird die Verteilung, Dichte etc. des durch den wärmeerzeugenden Abschnitt fließenden Stroms für jedes hergestellte Teil ungleichmäßig _} was mit einer Verschlechterung der Haltbarkeit und Zuverlässigkeit der hergestellten Aufzeichnungsköpfe ver·?

bunden ist. Dies hat wiederum zu Unregelmäßigkeiten in bezug auf den Widerstandswert des wärmeerzeugenden Abschnittes geführt und die Ausbeute der Produkte herabgesetzt. ·

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf zu schaffen, der keine herstellungsbedingte Zuverlässigkeits- und Haltbarkeitsverschlechterung aufweist und bei häufig wiederholter Verwendung oder kontinuierlichem Langzeitgebrauch eine ausgezeichnete Haltbarkeit besitzt, wobei der Aufzeichnungskopf in der Lage sein soll, seine anfänglichen guten Flüssigkeitströpfchenbildungseigenschaften in beständiger Weise über eine lange Zeitdauer aufrechtzuerhalten.

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Die Erfindung bezweckt ferner die Ausschaltung von Unregelmäßigkeiten bei der Herstellung von derartigen Aufzeichnungsköpfen und die Verbesserung der Ausbeute derselben.

Die vorstehend genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsk.opf gelöst,. der mit einem Flüssigkeitsabgabeabschnitt versehen ist, welcher eine zur Abgabe von Flüssigkeit und zur Ausbildung von "fliegenden" Flüssigkeitströpfchen dienende

Öffnung und einen Flüssigkeitsströmungskanal aufweist, der mit der Öffnung in Verbindung steht und als Teil seiner Konstruktion einen Wärmeeinwirkungsabschnitt besitzt, in welchen Wärmeenergie zur Ausbildung der Flüssigkeitströpfchen auf die Flüssigkeit .einwirkt, und mit einem Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie, das elektrisch an eine auf einer Basisplatte angeordnete.wärmeerzeugende Widerstandsschicht angeschlossen ist und das mindestens zwei gegenüberliegende Elektroden aufweist, zwischen denen ein wärmeerzeugender Abschnitt ausgebildet ist, wobei die Breite der Elektroden in mindestens demjenigen Abschnitt, der sich mit dem-wärmeerzeugenden Abschnitt in Kontakt befindet, größer ist als die Breite der entsprechenden wärmeerzeu-' genden Widerstandsschicht.

Die vorstehend genannte Aufgabe wird ferner erfindungsgemäß durch einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf gelöst, der eine Öffnung zur Ausbildung von "fliegenden" Flüssigkeitströpfchen und ein Element zur Umwandlung von- elektrischer in thermische Energie aufweist, das · zwei-Elektroden besitzt, die in einem gewünschten Intervall angeordnet sind, sich gegeünberliegen und mit einer wärmeerzeugenden Widerstandsschicht zur Erzeugung der Energie zur Abgabe der Flüssigkeitströpfchen verbunden · sind, wobei dieses Intervall einen wärmeerzeugenden Abschnitt vorsieht und wobei die Breite der Elektroden in dem Verb indungsabschnitt zwischen den Elektroden und der wär.rneerzeugenden Widerstandsschicht größer ist als die der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht in mindestens dem Abschnitt, der sich mit dem wärmeerzeugenden Abschnitt in Kontakt befindet.

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Weiterbildungen des Erfindungsgegenstandes gehen aus den Unteransprüchen hervor.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert. Es zeigen:

Figur 1 eine Teilschnitt.ansicht durch den Bereich des wärmeerzeugenden Abschnittes eines Flüssig-' keitsstrahlaufzeichnunaskopfes;

Figur 2 eine Teildraufsicht auf ein Element·zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie bei einem herkömmlich ausgebildeten Flüssig- " keitsstrahlaufzeichnungskopf;

die Figuren 3 und 4

Teildraufsichten auf Fotomasken zur Herstellung des herkömmlich ausgebildeten 'wärmeerzeugenden Abschnittes;

Figur 5 eine Fehlermöglichkeit bei dem herkömmlich ausgebildeten wärmeerzeugenden Abschnitt;

die Figuren 6 und 7

Teildraufsichten auf eine Ausführungsform eines wärmeerzeugenden Abschnittes eines erfindungsgemäß ausgebildeten..Flüssigkeitsstrahlauf zeichnungskopf es;

' *

die Figuren 8 und 9

schematische Ansichten einer Ausführungsfcrm

eines erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssig-

₃- keitsstrahlaufzeichnungskopfes; und

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die Figuren 10 und 11

Teildraufsichten auf Fotomasken zur Hers.tellung des wärmeerzeugenden Abschnittes des erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes.

Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der Figuren 6 und 7 im einzelnen beschrieben. Figur 6 zeigt eine Teildraufsicht auf die Umgebung des wärmeerzeugenden Abschnittes bei einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Elektroden 105-1 und 105-2 (von denen eine eine gemeinsame Elektrode und eine eine Uahlelektrode ist) weisen in denjenigen Abschnitten, die sich mit dem wärmeerzeugenden Abschnitt in Kontakt befinden, d.h.

in den Endabschnitten der Elektroden, Bereiche 110 und 111 auf, in denen die Breite der Elektroden größer ist als die Breite der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht. Mit anderen Worten, bei dem erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssigkeitsstr'ahlaufzeichnungskopf ist die Breite VJ₂ der Elektroden in dem Abschnitt, der sich mit dem wärmeerzeugenden Abschnitt in Kontakt befindet, größer als die Breite W, der wärmeerzeugenden l-Jidcrstandsschicht im wärmeerzeugenden Abschnitt, so daß es daher selbst dann, wenn eine größere oder kleinere Fehlausrichtuhg bei der Herstellung der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht und der Elektroden auf fotolithografischcr.i Wege auftritt, möglich ist, den durch die wärmeerzeunende Widerstandsschicht im wärmeerzeugenden Abschnitt fließenden Strom gleichmäßig und konstant zu halte'n.

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Dort, wo die Installationsdichte des Elementes zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie niedrig ist, ist es in bezug auf eine Musterfchlausrichtung

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von Bedeutung, daß die Längen I₁ und I₂ und die Breite W« der Bereiche 110 'und 111, in denen die Breite der Elektroden größer ist als die Breite der wärmeerzeugenden l-Jidefstandsschicht, so groß wie möglich sind. Wenn jedoch ein Mehrfachaufzeichnungskopf mit hoher Dichte hergestellt werden soll, tritthäufig eine Überbrückung infolge eines Kurzschließens von benachbarten Elektroden oder eines nicht vollständigen Ä'tzvorganges bei dem fotolithografischen Verfahren auf, so daß in einem solchen Fall es .

in bezug auf die Ausbeute des Aufzeichnungskopfes bei der Herstellung bevorzugt wird, die Längen 1, und 1_ und die Breite W₂ dieser Bereiche so klein wie möglich innerhalb des Grenzbereiches zu halten, in den die der Erfindung zugrundeliegende ■Aufgabe noch gelöst werden kann. Die Längen L, und L₂ dieser Bereiche brauchen nicht gleich groß zu sein.

In diesem Ausführungsbeispiel entspricht die Breite der üblichen Teile der Llektroden der Breite der wärmcer- · zeugenden Widerstandsschicht, die Breite W₇ der Elektroden kann sich jedoch von der Breite W, der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht unterscheiden. Auch in diesen Fall muß jedoch die Bedingung \-L'< W₂ erfüllt sein.

Figur 7 ist eine Teildraufsicht auf die Umgebung eines wärmeerzeugendeh Abschnittes einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Bei den Ausführunosbeispiel der Figur 6 waren die Elektroden zurückgedreht ausgebildet; die vorliegende Erfindung ist jedoch auch bei Einem Fall anwendbar, bei den eine gemeinsame Elektrode 105-3 in Richtung der Öffnung des Flüssigkeitsstrümungskanales vorgesehen ist, wie in Figur 7 gezeigt. Bei dieser Ausführungsform ist mit 105-4 eine Wahlelektrode bezeichnet.

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Bei dem erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf sind eine bzw. mehrere obere Schichten, die in Verbindung mit Figur 1 beschrieben wurden, auf einer'Basisplatte ausgebildet, auf der die Elemente zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie mit . der vorstehend beschriebenen speziellen Form vorgesehen sind. Der Aufzeichnungskopf wird vervollständigt, indent auf der Basisplatte Flüssigkeitsströmungskanäle 112 und Öffnungen 113 analog zu den wärmeerzeugenden Abschnitten 109 ausgebildet werden, die durch die Elemente 101 zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie vorgesehen sind.

Figur 8 ist eine schematische auseinandergezogene Ansicht eines Innenaufbaues einer Ausführungsforrn eines fertigen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes. Bei dieser Ausführungsform sind die Öffnungen über den wärnecrzeugendcn Abschnitt 109 vorgesehen. Hit 114 sind Tintenkanaluände, mit 115 eine gemeinsame Flüssigkeitskammer, mit 116 eine zweite gemeinsame Flüssigkeitskammer, mit 117 Durchnangslöcher, die die gemeinsame Flüssigkeitskarnmer 115 mit der zweiten gemeinsamen Flüssigkeitskammer verbinden, und mit 118 eine Deckplatte bezeichnet. Die Verdrahtungsabschnitte der Elemente zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie sind nicht dargestellt.

Figur 9 zeigt eine schematische Ansicht einer anderen Ausführungsform eines fertigen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes. Bei dieser Ausführungsforrn sind üffnungen 113 an den Enden der Flüssigkeitsströmungskanäle ausgebildet. Mit 119 sind Tintenzuführöffnungen bezeichnet,

Selbst wenn bei einem .erfindungsgemäß ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf der vorstehend beschriebenen Konstruktion die Elektroden in der Nähe dos

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wärmeerzeugenden Abschnittes an Stellen ausgebildet werden, die¹ während der Herstellung des Aufzeichnungskopfes mehr oder weniger, von vorgegebenen Stellen abweichen, wird hierdurch kaum der"durch die wärmeerzeugende Widerstandsschicht fließende Strom beeinflußt, so daß die bei den Endprodukten erhaltenen Unregelmäßigkeiten gering sind. Ferner wird nur die Breite der Elektroden in der Nähe des wärmeerzeugenden Abschnittes groß ausgebildet, so daß eine Überbrückung der Elektroden im anderen Be- ' reich.kaum auftritt und es dadurch möglich ist, die Ausbeute des Aufzeichnungskopfes bei der Herstellung zu verbessern.

Darüberhinaus wird durch die Erfindung ein Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf erreicht, der eine ausgezeichnete Haltbarkeit sowohl bei häufig wiederholtem Gebrauch als auch bei kontinuierlichem Langzeiteinsatz besitzt und der in der Lage ist, die anfänglich guten Flüssigkeitströpfchenbildungseigenschaften in beständiger Weise über eine ,20 lange Zeitdauer aufrechtzuerhalten.

Der erfindungsgemäß ausgebildete Flüssigkeitsstrahlauf-

zeichnungskopf wird hiernach anhand eines Ausfühfungsbei-

spiels im einzelnen beschrieben.
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Ausführungsbeispiel:

Es wurde ein Si-Plättchen oxidiert, und ein SiO₉-FiIm mit einer Dicke von etwa 5 pm wurde auf der Oberfläche des Plättchens ausgebildet.· Dieses Plättchen wurde als-Basisplatte verwendet. Auf der Basisplatte wurde HfB₂ als wärmeerzeugende Uiderstandsschicht in einer Dicke von 3.000 /P durch Sprühen abgeschieden, wonach durch Elektronenstrahlabscheiduno eine Ti-Schicht und eine Al-Schicht als Elektrodenschicht in einer Dicke von 5OA und 10.000 Ä aufgebracht wurden. Danach wurden durch

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Verwendung der in Figur 10 dargestellten Maske die Elek-• trodensehicht und die wärmeerzeugende Widerstandsschicht durch ein fotolithografisches Verfahren geätzt, so daß die Elektrodenbreite W, in Figur 6 80 pm, W₂ lQO.-pm und 1 50 pm betrugen. Hiernach wurde zur Herstellung eines wärmeerzeugenden Abschnittes einer Größe von 80 μηπ mal 400 pm unter Verwendung der in Figur 11 dargestellten Maske wieder durch ein fotol-ithografisches Verfahren die Elektrodenschicht wahlweise geätzt, so daß ein Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie hergestellt wurde. Bei dem auf diese Weise ausgebildeten Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie bestand ein Grenzbereich von _+ 10 pm im Elektrodenmuster in demjenigen Abschnitt, der mit dem wärmeerzeugenden Abschnitt in Kontakt war, so daß selbst dann, wenn bei dem zweiten fotolithografischen Verfahren eine größere oder kleinere Musterfehlausrichtung auftrat, im Widerstandswert zwischen' den wärmeerzeugenden l-iiderstandsschichten keine oder nur sehr geringe Ungleichmäßigkeiten festges-tellt werden konnten. Darüberhinaus konnte das Auftreten von Kurzschlüssen und Brückenbildunocn zwischen den Elektroden nahezu in der gleichen Weise . wie beim Stand der Technik unterdrückt werden.

Danach wurde eine SiO₂-Sprühschicht durch Hochleistungssprühen in einer Dicke von 2,8 pm und hiernach eine PIQ-Schicht (Warenzeichen der Firma Hitachi Kasei Co., Ltd.) durch eine Schleudereinrichtung aufgebracht. Nur der obere Abschnitt des wärmeerzeugenden Abschnittes wurde durch* ein PIQ-A'tzmittel abgezogen, worauf ein Brenn- und Härtungsvorgang stattfand. Schließlich wurde eine Ta-Sprühschicht in einer Dicke von 0,5 pm aufgebracht, und es wurde .'eine Basisplatte für einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf hergestellt, bei dem das Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie mit einer Schutzschicht abgedeckt war.

Des weiteren wurde ein Trockenfilm aus einem lichtempfindlichen Harz mit einer Dicke von 50 pm auf dieser Basisplatte .abgeschieden, und es wurde ein Belichtung^.- und Entwicklungsvorgang durch eine vorgegebene Maske- ausgeführt, um Flüssigkeitsströmungskanäle und eine Flüssigkeitszuführkammer vorzusehen. Schließlich wurde eine Deckplatte aus Glas mit einem Epoxi.dkleber aufgebracht, so daß auf diese Weise der in Figur 9 dargestellte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf hergestellt wurde.

Bei Ausführung eines Aufzeichnungstests an zwanzig Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfen, die auf diese Weise hergestellt worden waren, wurden bei diesen Aufzeichnungsköpfen überhaupt keine oder nur geringe Unregelmäßig- keiten in bezug auf die Tintenabgabe festgestellt.

Erfindungsgemäß wird somit ein Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf vorgeschlagen, .der mit einen Flüssigkeitsabgabeabschnitt versehen ist, der eine zur Abgabe von

.20 Flüssigkeit und zur Ausbildung von "fliegenden" Flüssigkeitströpfchen dienende Öffnung und einen Flüssigkeitsströmungskanal aufweist, der mit der Öffnung in Verbindung steht und als Teil seiner Konstruktion einen Wärmeeinwirkungsabschnitt besitzt, in welchem Wärmeenergie zur Ausbildung der Flü.ssigkeitströpfchen auf die Flüssigkeit einwirkt. Es ist ferner ein Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie vorgesehen, das elektrisch an eine wärmeerzeugende Widerstandsschicht angeschlossen ist, welche auf einer Basisplatts vorgesehen ist,*und das mit mindestens zwei gegonüberlienonden Elektroden versehen ist, zwischen denen ein wärmoerzeugendcr Abschnitt ausgebildet ist. Die Breite der Elektroden in mindestens demjenigen Abschnitt, der sich mit dem wärineerzeugenden Abschnitt in Kontakt befindet, ist größer als die Breite der entsprechenden wärmeerzeugenden Uiderstandsschicht.

Claims

Patentansprüche

lüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf mit einem Flüssig- \keiltsabgabeabschnitt, der eine zur Abgabe von Flüssigkeit und zur Ausbildung von "fliegenden"- Flüssigkeitströpfchen dienende Öffnung und einen mit der öffnung in Verbindung stehenden Flüssigkeitsströmungskanql aufweist, der als Teil seiner Konstruktion einen Wärmeeinwirkungsabschnitt besitzt, in welchem Wärmeenergie zur Ausbildung der Flüssigkeitströpfchen auf die Flüssigkeit einwirkt, und einem Element zur Umwandlung von elektrischer in thermische Energie, das elektrisch an eine wärneerzeugende Wider-Standsschicht angeschlossen ist, die auf einer Basispiatte vorgesehen ist, und das mit mindestens zwei gegenüberliegenden Elektroden versehen ist, zwischen denen ein wärmeerzeugender Abschnitt ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite' der Elektroden (105-1 - 105-4) in mindestens dem Abschnitt, der sich mit dem wärmeerzeugenden Abschnitt (109) in Kontakt befindet, größer ist als die Breite der entsprechenden wärmeerzeugenden Uiderstandsschicht (104).

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2. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (113) am Ende des Flüssigkeitsströmungskanales (112) vorgesehen ist.

3. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskppf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (113) auf der ■ ' Seite angeordnet ist, die dem wärmeerzeugenden Abschnitt (109) gegenüberliegt.

4. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 1,

dadurch gekennzeichnet, daß eins Schutzschicht auf dem Element (101) zur Umwandlung von elektrischer in thermischer· Energie vorgesehen ist.

5. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskop'f nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Flüssigkei'tss'trömungskanalen (112) vorgesehen ist.

6. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf mit einer Öffnung, die zur Ausbildung von "fliegenden" Flüssigkeitströpfchen dient, und einem Element zur Umwandlung von elektrischer ih thermische Energie, das zwei Elektroden aufweist, die sich in einem bestimmten Intervall gegenüberliegen und an eine wärmeerzeugende Widerstandsschicht zur Erzeugung der für die Abgabe der Flüssigkeitströpfchen erforderlichen Energie angeschlossen sind, wobei dieses Intervall einenwärmeerzeugenden Abschnitt bildet, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Elektroden (105-1 105-4) in dem Verbindungsabschnitt zwischen den Elektroden und der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht (104) größer ist als die der wärmeerzeugenden Widerstandsschicht (104) in mindestens dem Abschnitt, der mit dem wärmeerzeugenden Abschnitt (109) in Kontakt steht.

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74 Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (113) auf der Seite angeordnet ist, die den wärmeerzeugenden Abschnitt (109) gegenüberliegt.
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8. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf idem Element (101) zur Umwandlung van elektrischer in thermische Energie eine Schutzschicht vorgesehen ist.

9. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Öffnungen (113) vorgesehen ist.

15. 10.. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (113) im wesentlichen senkrecht zur Oberfläche des wärmeerzeugenden Abschnittes (109) vorgesehen ist.

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