DE3339245A1 - Magnetischer aufzeichnungstraeger - Google Patents
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Description
DE-lt5
TDK Corporation 13-1, Nihonbashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo/Japan
Magnetischer Aufzeichnungsträger
Die Erfindung betrifft einen magnetischen Aufzeichnungsträger,
bei dem auf einem Schichtträger ein dünner ferromagnetischer Metallfilm ausgebildet ist.
Magnetische Aufzeichnungsträger bestehend aus einem Schichtträger, der mit einer magnetischen Beschichtungsmasse
aus einem ferromagnetischen Pulver und einem organischen Bindemittel überzogen ist, werden in großem
Umfang verwendet. Bei solchen beschichteten Aufzeichnungsträgern macht es jedoch das Vorhandensein des Bindemittels
theoretisch nahezu unmöglich, eine größere magnetische Restflußdichte als 3000 bis 4000 Gauß zu
erreichen. In jüngster Zeit haben Qualitätsverbesserungen an magnetischen Aufzeichnungsträgern sowie ein sich
rasch ausbreitender Markt für solche Aufzeichnungsträger zu einem ständig steigenden Bedürfnis nach Aufzeichnungsträgern
geführt, die eine Informationsaufzeichnung
mit höherer Dichte zulassen, als dies bisher möglich war. Um diesen Anforderungen Rechnung zu tragen, werden
magnetische Aufzeichnungsträger mit einem dünnen ferromagnetischen
Film entwickelt. Der Aufzeichnungsträger mit dünnem Metallfilm wird dadurch erhalten, daß ein
dünner Film aus einem ferromagnetischen Metall, beispielsweise einem Element oder einer Legierung der Eisengruppe,
auf einem Schichtträger durch Vakuumaufdampfung, Zerstäubung, Ionenplattieren, Ionnestrahlabschei-
_ ο —
dung, elektrochemische Abscheidung oder dergleichen ausgebildet wird. Unter diesen Techniken dürfte die Vakuumaufdampfung
das vielversprechendste Verfahren darstellen, um große Filmlängen in industriellem Maßstab zu erzielen,
und von zahlreichen Fachleuten werden umfängliche Forschungsarbeiten in dieser Richtung durchgeführt.
Der magnetische Aufzeichnungsträger muß gewisse wesentliche
Eigenschaften besitzen, von denen das Standbildverhalten besonders wichtig ist. Um eine gute Standbildwiedergabe
während des Abspielens des Aufzeichnungsträgers auf einem Videobandgerät sicherzustellen, kommt es
entscheidend darauf an, den Verschleiß der Magnetbandoberfläche auf Grund des Kontaktes mit den Wiedergabeköpfen
zu minimieren oder ganz auszuschließen. Bei einem bestimmten Videorecordersystem wird beispielsweise
die Standbildwiedergabe durch Abtasten eines vorbestimmten Teils des entlang einem rotierenden Kopf genau gehaltenen
Bandes mittels zweier magnetischer Köpfe bewirkt, die um 180° versetzt an einer rasch drehenden
Trommel angebracht sind. Wenn das Band eine niedrige Verschleißfestigkeit hat, wird durch die Abtastung die
Bandoberfläche allmählich abgekratzt, wodurch die Standbilddauer verkürzt wird. Es ist infolgedessen wichtig,
den Bandverschleiß beim Abtasten durch die mit hoher Geschwindigkeit
laufenden Magnetköpfe zu minimieren und die Wiedergabedauer zu verlängern.Dies gilt in besonderem
Maße für Schmalspurköpfe, die eingesetzt werden, um das Erfordernis einer Aufzeichnung mit hoher Dichte zu
erfüllen, die aber die Standbildwiedergabedauer erheblich verkürzen.
Es wurden Versuche gemacht, die Standbildwiedergabedauer von beschichteten magnetischen Aufzeichnungsträgern dadurch
zu erhöhen, daß in die Überzüge auf den Bändern
unterschiedliche Schleifmittel eingebracht werden; damit wurden günstige Ergebnisse erzielt. Andererseits
kann aber ein Aufzeichnungsträger mit dünnem Metallfilm hinsichtlich seiner Standbildeigenschaften aus einer
Reihe von Gründen kaum verbessert werden. Zu diesen Gründen gehören die Schwierigkeit, solche Schleifmittel
zuzusetzen, sowie die geringe Schichtdicke.
Versuche, die Verschleißfestigkeit von Aufzeichnungsträgern
mit dünnem Metallfilm durch Ausbildung einer speziellen Deckschicht auf der Magnetschicht zu verbessern,
erwiesen sich in gewissem Umfang als wirkungsvoll. Alternativen sind jedoch erwünscht, weil die Deckschicht
leicht zu anderen Nachteilen führen kann.
Auf Grund der Suche nach einer solchen Alternative wurde jetzt gefunden, daß sich die Standbildwiedergabedauer
dadurch verlängern läßt, daß eine dünne Schicht aus organischem Material, vorzugsweise eine metallorganische
Schicht, die durch Plasmapolymerisation gebildet wird, sandwichartig zwischen dem Schichtträger und der
dünnen ferromagnetischen Metallschicht liegt.
Die Erfindung ist im folgenden an Hand von bevorzugten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Die beiliegende
einzige Figur zeigt eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Plasmapolymerisation, die sich zur Herstellung
des magnetischen Aufzeichnungsträgers nach der Erfindung eignet.
Der vorliegend vorgesehene magnetische Aufzeichnungsträger
mit dünnem ferromagnetischem Metallfilm besteht aus einer magnetischen Aufzeichnungsschicht aus einem
Element der Eisengruppe, beispielsweise Eisen, Nickel oder Kobalt, oder einer Legierung dieser Elemente oder
einer Legierung, die außerdem ein oder mehrere weitere Elemente enthält, wobei die Schicht in einer Dicke von
etwa 0,05 bis 0, 1 /jm auf einem herkömmlichen Schichtträger,
beispielsweise aus Polyethylenterephthalat,PoIyimid,
Polyamid oder Polyethylennaphthalat, ausgebildet ist. Die Aufdampfung stellt das am meisten verwendete
Verfahren zur Ausbildung der magnetischen Aufzeichnungsschicht
dar. Für die Aufdampfung wurden verschiedene Techniken vorgeschlagen, um die Koerzitivkraft zu steigern
und das Rechteckigkeitsverhältnis der aufgetragenen Schicht zu verbessern. Dazu gehören das Aufdampfen unter
schrägem Auftreffwinkel, das Aufdampfen im Magnetfeld
und eine Wärmebehandlung. Das erstgenannte Vorgehen eignet sich besonders zur Verbesserung der magnetischen
Eigenschaften der Schicht.
Die Schrägauftreff-Aufdampfung stellt, wie der Name
sagt, ein Verfahren dar, das von dem Phänomen Gebrauch macht, daß durch Ablagerung von verdampften Atomen unter
einem schrägen Winkel zur Oberfläche des Schichtträgers eine einachsige magnetische Aniosotropie auftritt.
Bei diesem Phänomen spielen komplizierte Mechanismen eine Rolle, und die Gründe der magnetischen Anisotropie
sind noch nicht voll geklärt. Allgemein dürften Selbstabschattungseffekte, säulenförmiges Kristallwachstum
und magnetostriktive Effekte zu der Entwicklung der Anisotropie beitragen. Bei der Schrägauftreff-Aufdampfung
wird meist so vorgegangen, daß man in einem Vakuumtank ein Substrat von einer Vorratsspule zu einer
Aufwickelspule und um einen Teil des Umfangs einer zylindrischen
Trommel laufen läßt sowie einen Metalldampf von einer ferromagnetischen Metalldampfquelle auf das
entlang der Trommel laufende Substrat derart richtet, daß die Teilchen unter einem schrägen Auftreffwinkel
auf die Oberfläche auftreffen. Die zylindrische Trommel wird mit einem Gas oder einer Flüssigkeit gekühlt, um
- 6 die Wärme von dem Substrat abzuleiten.
Ein typischer dünner ferromagnetischer Metallfilm wird
im Schrägauftreff-Verfahren beispielsweise dadurch ausgebildet,
daß ein verdampftes Material, das in der Hauptsache aus einer Kobalt-Nickel-Legierung (z.B. Co:Ni
= 80:20 (Gewichtsverhältnis)) besteht, unter einem Auftreffwinkel von etwa 60 bis 80 abgeschieden wird, um
auf dem Substrat eine Schicht mit einer Dicke von etwa 0,06 bis 0,10 ^m zu erhalten. Die resultierende Schicht
hat eine Koerzitivkraft im Bereich von etwa 900 bis 1000 Oe und eine Restflußdichte von etwa 6000 bis 8500
Gauß; sie eignet sich für magnetische Aufzeichnungen
hoher Dichte.
Ein magnetischer Aufzeichnungsträger mit dünnem ferromagnetischem
Film hält, wie oben ausgeführt, eine Standbildwiedergabe nicht für längere Zeitspannen aus.
Beispielsweise hat ein Aufzeichnungsträger bei Verwendung
einer Kobalt-Nickel-Legierung eine Standbildwiedergabedauer von nur etwa 10 Minuten. Erfindungsgemäß
läßt sich die Standbildwiedergabe verlängern, indem auf dem Schichtträger zunächst ein organischer, plasmapolymerisierter
Film ausgebildet wird und dann darüber ein dünner ferromagnetischer Metallfilm durch Aufdampfung
oder dergleichen abgeschieden wird.
Das Plasmapolymerisationsverfahren besteht darin, daß
ein Entladungsplasma eines Trägergases, beispielsweise Ar, He, H7 oder N„,mit einem Monomergas gemischt und
das gemischte Gas mit der Oberfläche des Schichtträgers unter Ausbildung eines plasmapolymerisierten Filmes auf
diesem Träger in Kontakt gebracht wird. Im Prinzip wird ein elektrisches Feld an das auf einem niedrigen Druck
gehaltene Gas angelegt, und die freien Elektronen, die
in kleiner Menge in dem Gas vorhanden sind, erfahren in dem elektrischen Feld eine erhebliche Beschleunigung,
weil der intermolekulare Abstand wesentlich größer als bei gewöhnlichem Druck ist. Die Elektronen nehmen auf
diese V/eise eine kinetische Energie (Elektronentemperatur) von 5 bis 10 eV an. Wenn die Atome mit dieser Geschwindigkeit
mit anderen Atomen oder Molekülen kollidieren, brechen sie die Atom- oder Molekülhüllen auf,
und es erfolgt eine Dissoziation zu normalerweise instabilen chemischen Teilchen, wie Elektronen, Ionen und
neutralen Radikalen. Die dissoziierten Elektronen erfahren
wiederum eine Beschleunigung im elektrischen Feld, um ihrerseits andere Atome und Moleküle zu dissoziieren.
Durch diese Kettenreaktion wird das Gas rasch in einen hochionisierten Zustand oder die als Plasmagas bekannte
Form überführt. Bei einer Wahrscheinlichkeit für wenige Kollisionen mit Elektronen absorbieren die Gasmoleküle
nur eine geringe Energie, und sie werden auf einer Temperatur gehalten, die nahe dem normalen Wert liegt.
Das System, bei dem die kinetische Energie der Elektronen (Elektronentemperatur) und die thermische Bewegung
der Moleküle (Gastemperatur) voneinander getrennt sind, wird als Niedertemperaturplasma bezeichnet, wobei die
chemischen Teilchen in vergleichsweise großem Umfang ihre ursprüngliche Form bewahren und für eine additive
chemische Reaktion, beispielsweise eine Polymerisation, bereit sind. Vorliegend werden die obengenannten Bedingungen
genutzt, um über einem Schichtträger einen plasmapolymerisierten Film auszubilden. Das Niedertemperaturplasma
übt auf den Schichtträger keinen nachteiligen thermischen Effekt aus.
Als Monomergas eignen sich vorliegend alle herkömmlichen
plasmapolymerisierbaren organischen Verbindungen einschließlich Kohlenstoff-Wasserstoff-, Kohlenstoff-
Wasserstoff-Sauerstoff-, Kohlenstoff-Halogen-, Kohlenstoff-Sauerstoff-Halogen-
und Kohlenstoff-Wasserstoff-Halogen-Systemen sowie metallorganischen Verbindungen.
Siliziumorganische Verbindungen, wie verschiedene Silane mit Siloxanbindungen, und verschiedene schwefel- oder
stickstoffhaltige organische Verbindungen sind gleichfalls brauchbar. Metallorganische Verbindungen erwiesen
sich für die vorliegenden Zwecke als besonders geeignet.
Ein dünner Film aus einem plasmapolymerisierten metallorganischen Polymer läßt sich dadurch ausbilden, daß ein
Entladungsplasma eines Trägergases, beispielsweise Ar, He, H« oder N«, mit einem metallorganischen Gas oder einem
Gas gemischt wird, das durch Auflösen einer metallorgani-'sehen
Verbindung in einem organischen Lösungsmittel erzeugt wird, und daß das gemischte Gas dann mit der zu behandelnden
Schichtträgeroberfläche in Berührung gebracht wird. Bei dem verwendeten metallorganischen Gas kann es
sich um beliebige plasmapolymerisierbare organische Verbindungen und Komplexsalze, beispielsweise von Zinn, Titan,
Aluminium, Kobalt, Eisen, Kupfer, Nickel, Mangan, Zink, Blei, Gallium, Indium, Quecksilber, Magnesium, Selen,
Arsen, Gold, Silber, Cadmium und Germanium handeln. Beispiele sind nachstehend durch Gruppen von Formeln angegeben,
in welchen R für eine organische Gruppe und X für Wasserstoff oder ein Halogen stehen:
(A) M1R
Phenylkupfer, Phenylsilber und dergleichen
(B) M11R0X2-0 (wobei 0 = 1,2)
Diethylzink, Dimethylzink, Methylquecksilberjodid,
Methylmagnesiumjodid, Ethylmagnesiumbromid, Dimethylquecksilber, Dimethylselen, Dimethylmagnesium,
Diethylmagnesium, Diphenylmag-
nesium, Dimethylzink, Di-n-propylzink, Di-nbutylzink,
Diphenylzink, Diphenylcadmium, Diethylquecksilber, Di-n-propylquecksilber, Allylethylquecksilber,
Diphenylquecksilber, und dergleichen;
(C) M111R X-. (wobei p = 1, 2, 3)
P ^-P
Trimethylaluminium, Triethylaluminium, Triisobutylaluminium,
Trimethylgallium, Trimethylindium, Diethylaluminiumchlorid, Trimethylgold und dergleichen;
(D) MIVR X4_ (wobei q - 1, 2, 3, 4)
Tetramethylzinn, Di-n-butylzinnmaleat, Dibutylzinndiacerat,
Tetra-n-butylzinn, Tetraethylble^i,
Tetramethylgermanium, Tetraethylgermanium, Diet
hyIcyclögermanahexan, Tetraphenylgermanium,
Methylgermanium, Ethylgermanium, n-Propylgermanium,
Triethylgermanium, Diphenylgermanium, Triphenylgermanium,
Trimethylbromgermanium, Triethylbromgermanium,
Triethylfluorgermanium, Triethylchlorgermanium,
Dimethyldichlorgermanium,
Methyltrichlorgermanium, Diethyldichlorgermanium, Diethyldibromgermanium, Diphenyldibromgermanium,
Diphenyldichlorgermanium, Ethyltrichlorgermanium,
Ethyltriborgermanium, n-Propyltrichlorgermanium,
Tetraethylzinn, Trimethylethylzinn, Tetraallylzinn, Tetraphenylzinn, Phenyltrimethylzinn, Triphenylmethylzinn,
Dimethylzinn-dichlorid, Dimethylzinn-dihydrid, Trimethylzinn-hydrid, Triphenylzinn-hydrid,
Tetramethylblei, Tetra-n-propylblei, Tetraisopropylblei, Trimethylethylblei,
Trimethyl-n-propylblei, Dimethyldiethylblei und
dergleichen;
(E) MVIR^_r (wobei T=I7Z, 3, A1 6)
Hexaethylgermanium, Hexamethyldizinn, Hexaethyldizinn, Hexaphenyldizinn und dergleichen;
(F) Acetylaceton-Komplexe
Acetylacetontitan, Acetylacetonaluminium, Acetylacetonkobalt,
Acetylacetoneisen, Acetylacetonkupfer, Acetylacetonnickel, Acetylacetonmangan und dergleichen.
Anmerkung: R ist eine organische Gruppe, z. B.
ein C, ,Q (vorzugsweise C, ,)-Alkyl,
ein C2_6-Alkenyl (Allyl),
ein Aryl (Phenyl), oder
eine Acyloxy-(Maleoyl- oder Acetyl-) Gruppe; und
X ist ein Halogen, z. B. Fluor, Chlor, Brom oder Jod.
Daneben können auch Phenylarsinoxid und dergleichen Stoffe
verwendet werden.
In der beiliegenden einzigen Figur ist eine Plasmapolymerisationsvorrichtung
schematisch dargestellt, bei der eine Hochfrequenzentladung benutzt wird, um einen dünnen
plasmapolymerisierten Film auf dem Schichtträger eines magnetischen Aufzeichnungsträgers auszubilden.
In ein Polimerisationsreaktionsgefäß R wird ein Monomergas
von einer Quelle 1 und ein Trägergas von einer Quelle 2 über Durchflußmengenregler 3 bzw.. 4 und nach Mischen
mittels eines Mischers 5 eingespeist. Das Monomergas oder das in dem Reaktionsgefäß zu polymerisierende Material
wird unter den plasmapolymerisierbaren Stoffen ausgewählt.
Als Trägergas eignen sich Ar, He, H«, Ν~ und dergleichen.
Das Monomergas wird in einer Durchflußmenge von 1 bis
100 ml/min, das Trägergas in einer Durchflußmenge von 50
bis 500 ml/min zugeführt. In dem Reaktionsgefäß R befinden
sich Mittel zum Abstützen des Schichtträgers des zu behandelnden magnetischen Aufzeichnungsträgers. Dabei
handelt es sich bei der veranschaulichten Anordnung um eine Vorratsrolle 9 und eine Aufwickelrolle 10 für den
Schichtträger eines Magnetbandes. In Abhängigkeit von der Form des zu behandelnden Schichtträgers können unterschiedliche
andere Abstützungen vorgesehen werden, beispielsweise stationäre oder rotierende Abstützungen. Zwei
Elektroden 7, 71 verlaufen waagrecht und parallel zu dem
Förderweg des Schichtträgers des Magnetbandes, der zwischen den Elektroden hindurchläuft. Die eine Elektrode 7
ist an eine Hochfrequenz-Energiequelle 6 angeschlossen,
während die andere Elektrode 7' bei 8 an Masse gelegt ist. Das Gefäß R ist ferner zur Evakuierung mit einem Vakuumsystem
ausgerüstet, zu dem eine Flüssigstickstofffalle 11, eine Rotationspumpe 12 mit Ölabdichtung und ein
Vakuumregler 13 gehören. Dieses Vakuumsystem hält innerhalb des Gefäßes ein Vakuum von 0,01 bis 10 Torr aufrecht.
Um die Dicke des plasmapolymerisierten Filmes nach Wunsch ändern zu können, können nicht veranschaulichte Mittel
zum Steuern oder Regeln der Drehzahl der Aufwickelrolle vorgesehen sein.
Im Betrieb wird das Reaktionsgefäß R mittels der ölabgedichteten
Rotationspumpe zunächst auf einen Wert von mehr als 10 Torr evakuiert, und das Monomergas sowie das
Trägergas werden gemischt in vorbestimmten Durchflußmengen eingespeist. Der in dem Gefäß herrschende Unterdruck
wird innerhalb eines Bereichs von 0,01 bis 10 Torr eingeregelt. Sobald die Geschwindigkeit des Schichtträgers
des Magnetbandes und die Durchflußmengen des Monomergases
und des Trägergases stetige Werte angenommen haben, wird die Hochfrequenzenergiequelle eingeschaltet. Dann
wird ein plasmapolymerisierter Film auf dem sich fortbewegenden Schichtträger des magnetischen Aufzeichnungsträgers
abgeschieden. Ein plasmapolymerisierter Film der gewünschten Dicke wird gebildet, indem mindestens
einer der drei folgenden Parameter gesteuert oder geregelt wird: die Gasdurchflußmengen, die Reaktionsdauer
und die Geschwindigkeit des Schichtträgers des Aufzeichnungsträgers. Der Augenblick, in dem die dem Monomer eigene
Plasmafarbe gerade verschwunden ist, wird als Endpunkt der Reaktion betrachtet.
Anstelle der Hochfrequenzentladung kann für die Plasmaquelle
auch eine Mikrowellen-, Gleichspannungs- oder Wechselspannungsentladung vorgesehen werden.
Der auf diese Weise mit dem plasmapolymerisierten Film
überzogene Schichtträger wird dann behandelt, um darauf einen dünnen ferromagnetischen Metallfilm, beispielsweise
durch Aufdampfen, auszubilden.
Die Dicke des plasmapolymerisierten Filmes hängt von den gewünschten Eigenschaften der magnetischen Aufzeichnungsschicht
und der Art des gewählten plasmapolymerisierbaren Materials ab; es ist jedoch ratsam, daß die
Filmdicke einen gewissen Mindestwert übersteigt. Offenbar eignet sich ein mindestens 10 A dicker Polymerfilm,
um sicherzustellen, daß die Standbildwiedergabedauer etwa dreimal so groß ist, wie wenn kein derartiger plasmapolymerisierter
Film vorgesehen ist.
Der plasmapolymerisierte Film hat ein dreidimensional ausgebildetes, dichtes und festes Polymergefüge; er haftet
an dem Schichtträger fest an. Dieses Gefüge stellt
vermutlich den Faktor dar, welcher für gute Standbildeigenschaften
von erhöhter Dauer für den magnetischen Aufzeichnungsträger sorgt.
Die Haftkraft zwischen einer Polymerfläche und einem
Metallfilm ist nicht so stark. Andererseits ist die Haftkraft zwischen einem metallorganischen, plasmapolymerisierten
Film und einem Metallfilm stark, was auf den Beitrag der Metallbindung zurückzuführen sein dürfte.Auch
die Haftung zwischen einem Polymer und einem plasmapolymerisierten Film ist naturgemäß stark. Ein
metallorganischer, plasmapolymerisierter Film, bei dem die Eigenschaften von organischem Werkstoff und Metall
kombiniert sind, eignet sich in hervorragender Weise als Zwischenschicht zur Verstärkung der Haftung zwischen
einem Polymersubstrat und einem magnetischen Metallfilm. Es wird angenommen, daß dieser Umstand einer
der Gründe dafür ist, warum vorliegend besonders gute Standbildeigenschaften erzielt werden.
Dünne zinnorganische Polymerschichten von unterschiedlicher Dicke wurden durch Plasmapolymerisation auf einem
gemeinsamen Stück eines 12/um dicken Polyethylenterephthalatfilms
ausgebildet. Dazu wurde die in der Zeichnung veranschaulichte Vorrichtung benutzt. Die Bedingungen
für die Plasmapolymerisation waren wie folgt:
Monomergas: Tetramethylzinn
Durchflußmenge des Mono-
mergases: 10 ml/min
Trägergas: Argon
Durchflußmenge des
Trägergases: 50 ml/min
Höhe des Vakuums: 0,5 Torr
Hochfrequenz-Energiequelle: 13,56 MHz7 200 W
Die Dicke des plasmapolymerisierten Films wurde durch
Umschalten der Filmtransportgeschwindigkeit stufenweise geändert. Bei der Filmgeschwindigkeit von 5 m/min wurde
beispielsweise ein 50 A dicker plasmapolymerisierter Film auf dem Schichtträger abgeschieden.
Die Dicke und die Gleichförmigkeit der so gebildeten
plasmapolymerisierten Filme wurden durch das Mehrfachinterferenzverfahren
und mit einem Ellipsometer bestimmt. Es bestätigte sich, daß die beabsichtigten Dikken
in gleichförmiger Weise erhalten worden waren. Ergänzende
Versuche mit einem Fourier-Transformations-Infrarotspektrophotometer
sowie durch elektronische Spektroskopie für chemische Analyse bewiesen, daß es sich bei den polymerisierten Filmen um ein zinnhaltiges
Polymer handelte.
Über jedem auf dem Schichtträger plasmapolymerisierten
Film wurde ein ferromagnetischer Film aus einer Kobalt-Nickel-Legierung
(Gewichtsverhältnis 4:1) durch Vakuumauf dampf ung gebildet. Der Legierungswerkstoff wurde
durch Elektronenstrahlerhitzung verdampft und entsprechend der Schrägauftrefftechnik mit einem zentralen Einfällswinkel
von 70° abgeschieden. Zur Kühlung des Schichtträgers wurde eine zylindrische Trommel benutzt,
wobei das zugeführte Kühlmittel auf 5°C gehalten wurde. Das Vakuumgefäß wurde auf 3 χ 10 Pa evakuiert. Sauerstoffgas
wurde bis zum Erreichen eines Behälterdruckes von 6,3 χ 10 Pa eingeleitet. Die Vakuumaufdampfung
wurde durchgeführt. Die der Elektronenkanone zugeführte
Energie und die Fördergeschwindigkeit des Schichtträgerfilmes wurden so eingestellt, daß eine Filmdicke von
800 A erzielt wurde. Eine Analyse des resultierenden
Filmes ergab, daß er die gleiche Zusammensetzung wie die
Mutterlegierung hatte. Der so erhaltene ferromagnetische
Film eignete sich für einen magnetischen Aufzeichnungsträger;
er hatte eine Koerzitivkraft von etwa 1000 Oe
und eine Restflußdichte von etwa 6500 Gauß.
Schließlich wurden Teststückgbschnitte abgeschnitten und auf eine Breite von 12,7 mm geschlitzt, um magnetische
Aufzeichnungsbänder für Testzwecke zu erhalten.
Bei jeder Bandprobe wurden die Dicke des plasmapolymerisierten
Filmes und die Standbildwiedergabedauer gemessen. Die Ergebnisse sind in der nachstehenden Tabelle
zusammengestellt. Die Standbildwiedergabedauer stellt diejenige Zeitspanne dar, innerhalb deren ein mit 4 MHz
mittels eines handelsüblich verfügbaren Videorecorders des VHS-Systems (hergestellt von der Victor Company of
Japan) aufgezeichnetes Einzelsignal als Standbild auf
einem Bildschirm wiedergegeben wird, bevor das Bild verschwindet. Als Vergleichsbeispiel wurde ein Band hergestellt,
indem ein dünner Film in der oben beschriebenen Weise unmittelbar auf dem Schichtträgerfilm abgeschieden
wurde, d. h. ohne Zwischenfügen eines plasmapolymerisierten
Filmes. Das Ergebnis für diese Probe mit einer Filmdicke von Null ist gleichfalls angegeben.
T | a b | eile | Films | (X) |
Dicke | des | plasmapolymerisierten | -50 | -100 |
0 | — 5 | -10 " -20 | ||
Standbildwiedergabe- 0-10 15-20 >30 ><50
> 60 >60 dauer (min)
-u-
Aus der Tabelle ist zu ersehen, daß die Versuchsproben,
die plasmapolymerisierte Filme mit einer Dicke von mehr als 10 A aufweisen, eine hervorragende Standbildfestigkeit
haben, wobei die betreffende Standbildwiedergabedauer mehr als das 3-fache derjenigen der Probe ohne
einen solchen Film beträgt.
einen solchen Film beträgt.
Claims (3)
- PATENTANWALT DlPL-ING. GERHARD SCHWANELFENSTRASSE32 · D-8000 MÜNCHEN 83DE-I15Ansprüche1J Magnetischer Aufzeichnungsträger, bei dem auf einem Schichtträger ein dünner ferromagnetischer Metallfilm ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine organische plasmapolymerisierte Schicht sandwichartig zwischen dem Schichtträger und dem Metallfilm liegt.
- 2. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die organische plasmapolymerisierte Schicht aus einer metallorganischen Verbindung hergestellt ist und die Schicht eine Dicke von mindestens 10 A hat.
- 3. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der dünne ferromagnetische Metallfilm ein hauptsächlich aus einer Kobalt-Nickel-Legierung bestehender aufgedampfter Film ist.FERNSPRECHER: 089/6012039 · KABEL: ELECTRICPATENT MÜNCHEN
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