DE3314402A1 - Vorrichtung zum abtasten einer vielzahl von strahlen - Google Patents

Vorrichtung zum abtasten einer vielzahl von strahlen

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DE3314402A1
DE3314402A1 DE19833314402 DE3314402A DE3314402A1 DE 3314402 A1 DE3314402 A1 DE 3314402A1 DE 19833314402 DE19833314402 DE 19833314402 DE 3314402 A DE3314402 A DE 3314402A DE 3314402 A1 DE3314402 A1 DE 3314402A1
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DE19833314402
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Kazuo Yokohama Kanagawa Minoura
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/123Multibeam scanners, e.g. using multiple light sources or beam splitters

Description

  • Vorrichtung zum Abtasten einer Vielzahl von Strahlen
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abtastvorrichtung,bei tJer cine matrix- oder rejhenförmige Lichtquelle.
  • beispielsweise eine Halbleiterlaseranordnung, als Lichtquelleneinheit Verwendung findet.
  • Das Abtastem einer Vielzahl von Abtastzeilen -durch den Einsatz einer sogenannten Halbleiterlaseranordnung, bei der eine Vielzahl von Licht aussendenden Abschnitten eines Halbleiterlasers vorgesehen wird, ist bekannt.
  • Wenn bei einer derartig ausgebildeten Abtastvorrichtung der von jeder Lichtquelleneinheit ausgesendete Strahl auf der Ablenk-Reflexionsflache einer Ablenkeinheit, beispielsweise einem polygonalen Spiegel oder einem galvanischen Spiegel, zu breit wird, wird der Bereich der Ablenk-Reflexionsfläche zu groß, so daß daher die Abtastvorrichtung zu voluminös wird und die Abtastgeschwindigkeit nicht erhöht werden kann. Um diesen Nachteil zu vermeiden, ist in der japanischen Offenlegungsschrift 69 610/1981 vorgeschlagen worden, eine Ko3limationslinse zum Justieren des von dieser Lichtquelle abgegebenen Strahles vorzusehen. Die Austrit spupj ile dieser Kollimationslinse ist dabei auf der Ablenk-I?eflexionfläche angeordnet.
  • Damit bei einer derartig ausgebildeten Abtastvorrichtung ein weiteres optisches Elements beispielsweise ein anamorphotisches Element zur Korrektur des Abfallens der Rotationsachse o.ä. der Ablenkeinheit, zwischen der Lichtquelleneinheit und der Ablenkeinheit vorgesehen werden kann, muß zwischen der Lichtquelleneinheit und der Ablenkeinheit ein ausreichend großer Raum zur Verfügung stehen. Bei dem Vorschlag der japanischen Offenlegungsschrift 69 160/1981 führt eine Erhöhung des Abstandes zwischen der Lichtquelleneinheit und der Ablenkeinheit notwendigerweise zu einer Erhöhung der Brennweite der Kilimationslinse, was wiederum ein Absenken der Lichtstärke der Kollimationslinse oder eine Erhöhung des Außendurchmessers des polygonalen Spiegels, der als Ablenkeinheit dient, erforderlich macht. Wenn die Lichtstärke der Kollimationslinse abgesenkt wird, kann der Außendurchmesser des polygonalen Spiegels verringert werden.
  • Es wird jedoch dabei das Verhältnis zwischen dem eingestellten Lichtstrahl und dem von der Lichtquelleneinheit ausgesendeten Lichtstrahl und damit der Wirkungsgrad in bezug auf die Ausnutzung der Energie reduziert. Wenn der Außendurchmesser des polygonalen Spiegels erhöht wird, entstehen keine Probleme in bezug auf die Energieausnutzung. Andererseits wird es jedoch schwierig, die Rotationsgeschwindigkeit des polygonalen Spiegels zu erhöhen, und es bereitet Schwierigkeiten, die Kosten der Vorrichtung niedrig zu halten.
  • In der japanischen Offenlegungsschrift 69 611/1981 ist eine Anordnung beschrieben, bei der zur Schaffung einer großen Entfernung zwischen der Lichtquelleneinheit und der Ablenkeinheit ein afocales optisches System zwischen der Kollimationslinse und dem polygonalen Spiegel vorgesehen ist, so daß die Position der Pupille der Kol.limntionslinse Illld der Ablenk-Reflexionsfläche des polygonalen Spiegels durch das afocale optische System optisch konjugiert gemacht wird. Um dieses afocale optische System vorzusehenD sind jedoch mindestens zwei Linsen erforderlicho und die Linsen dieses Systems milasen gut korrigierte Linsenfehler besitzen.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die vorstehend erwähnten Nachteile zu vermeiden und eine Vorrichtung zum Abtasten einer Vielzahl von Strahlen zu schaffen, die ein gutes Energieausnutzungsvermögen besitzt und in der Lage ist, mit einer kleinen Ablenkvorrichtung einen Abtastvorgang mit hoher Geschwindig keit durchzuführen.
  • Die Erfindung bezweckt ferner die Schaffung eines einfachen optischen Systems, bei dem zwischen der Lichtquelleneinheit und der Ablenkeinheit ein weiter Abstand sichergestellt werden kann.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Abtastvorrichtung gelöst, die die nachfolgenden Bestandteile umfaßt: eine Lichtquelleneinheit zur Aussendung einer Vielzahl von Straheln, deren Hauptstrahlen parallel zueinander verlaufen, ein erstes bilderzsugendes optisches System, das so angeordnet ist, daß seine optische Achse parallel zu den Hauptstrahlen der von der Lichtquelleneinheit abgegebenen Lichtstrahlen verläuft, und ein zweites bilderzeugendes optisches System, das koaxial zu dem ersten bilderzeugenden optischen System und zwischen dem ersten bilderzeugenden optischen System und einer Ablenkeinrichtung angeordnet ist. Das erste bilderzeugende optische System i9t in einer Position vorgesehen, in der es die von der Lichtquelleneinheit abgegebenen Lichtstrahlen zusamrnenführt und die Lichtquelleneinheit abbildet, während das zweite bilderzeugende optische System in der Nähe der Position angeordnet ist, in der die Lichtquellerleirlheit durch das erste bilderzeugende optische System abgebildet wird. Darüber hinaus hält das zweite bilderzeugende optische System in mindestens einer Ebene parallel zur Ablenk-Abtast-Ebene die Lage des Brennpunktes des ersten bilderzeugenden optischen Systems benachbart zur Ablenkeinrichtung und den Punkt in der Nähe der Ablenk-Reflexionsfläche der Ablenkeinrichtung in einer optisch konjugierten Beziehung. Mit anderen Worten, das erste bilderzeugende optische System und der Punkt in der Nähe der Ablenk-Reflexionsfläche werden durch das zweite bilderzeugende optische System in eine Pupillenabbildungsbeziehung gebracht. Der hier verwendete Begriff "Ablenk-Abtast-Ebene" bedeutet eine Ebene, in der die Normale auf die Ablenk-Reflexionsfläche im Verlauf der Zeit in Abhängigkeit von der Rotation der Ablenkeinrichtung gebildet wird.
  • Bei der vorstehend beschriebenen Abtastvorrichtung wird die Abbildung der Lichtquelleneinheit nicht am Brennpunkt des ersten bilderzeugenden optischen Systems benachbart zur Ablenkeinrichtung erzeugt.
  • Das bedeutet, daß die Hauptstrahlen der von der Lichtquelleneinheit ausgesendeten Strahlen parallel zur optischen Achse verlaufen, daß es sich jedoch bei den von der Lichtquelleneinheit ausgesendeten Strahlen um keine parallelen Strahlen handelt. Die Tatsache, daß das zweite bilderzeugende optische System in der Nähe der Position angeordnet ist, in der die Lichtquelleneinheit durch das erste bilderzeugende optische System abgebildet wird, schließt einen Fall ein, bei dem das zweite bilderzeugende optische System so angeordnet ist, daß es mit dem Bild der Lichtquelleneinheit koinzidiert, sowie einen Fall, bei dem das zweite bilderzeugende optische system so angeordnet ist, daß die Lage des Bildes der Lichtquelleneinhelt und die Lage des Brennpunktes des zwei ten bilderzeugenden optischen Systems miteinander koinzidieren. Insbesondere dann, wenn das zweite bilderzeugende optische System so angeordnet ist, daß es mit der Lage des Bildes der Lichtquelleneinheit koinzidiert, erfüllt das zweite bilderzeugende optische System die Funktion einer Feldlinse, die kaum zum Abbildungsvorgang beiträgt.
  • In einem solchen Fall kann daher das zweite bilderzeugende optische System seine Funktion auch dann erfüllen, wenn es eine einzige Linse umfaßt und kaum zum Abbildungsvorgang beiträgt. Im Vergleich zu einer normalerweise verwendeten Abbildungslinse ist daher keine so genau durchzuführende Linsenfehlerkorrektur erforderlich.
  • Das Merkmals daß das zweite bilderzeugende optische System in mindestens einer Ebene parallel zur Ablenk-Abtast-Ebene die Lage des Brennpunktes des ersten bilderzeugenden optischen Systems benachbart zur Ablenkeinrichtung, welche Lage mit der Pupillenposition des ersten bilderzeugenden optischen Systems in Relation zur Konstruktion der Lichtquelleneinheit koinzidiert, und der Punkt in der Nähe der Ablenk-Reflexionsfläche der Ablenkeinrichtung in einer opt e konjugierten Beziehung hält, bedeutet folgendes bei dem zweiten bilderzeugenden optischen System kann es sich um sphärisches optisches System handeln, das selbst in einer Ebene, die die optische Achse von der Lichtquelle zur Ablenkeinrichtung enthält und senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebse verläuft (hiernach einfacherweise als senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene verlaufende Ebene bezeichnet) 9 der Punkt in der Nähe der Ablenk-Reflexionefläche und die Lage des Brennpunktes des ersten bitderzeugenden optischen Systems benachbart zur Ablenkeinrichtung in einer optisch konjugierten Beziehung halten kann, oder das zweite bilderzeugende optische System kann ein anamorphotisches optisches System sein, daß in orthogonalen Richtungen eine unter- schiedliche Wirkungsweise besitzt und das in der senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene verlaufenden Ebene die'vorstehend beschriebene Bedingung nicht erfüllen muß.
  • Wenn bei der erfindungsgemäß ausgebildeten Abtastvorrichtung ein lineares Bild auf die Ablenk-Reflexionsfläche der Ablenkeinrichtung projiziert wird, um das Abfallen der Ablenk-Reflexionsfläche zu korrigieren, muß das zweite bilderzeugende optische System ein anamorphotisches optisches System sein. In einem solchen Fall kann das zweite bilderzeugende optische System in der senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene verlaufenden Ebene derart wirken, daß der Lichtstrahl von dem ersten bilderzeugenden optischen System auf die Ablenk-Reflexionsfläche zusammengeführt wird.
  • Dieses anamorphotische zweite bilderzeugende optische System kann entweder ein sphärisches optisches System und ein zylindrisches optisches System oder eine einzige torische Linse umfassen.
  • Wenn in der parallel zur 4blenk-Abtast-Ebene verlaufenden Ebene die Position, In der der Lichtstrahl von der reihenförmigen Lichtquelle durch das erste bilderzeugende optische System abgebildet wird, und die Lage des Brennpunktes des zweiten bilderzeugenden optischen Systems zum Koinzidieren gebracht werden, wird der auf die Ablenk-Reflexionsfläche der Ablenkeinrichtung auftreffende Strahl zu einem Parallelstrahl. Auch dann, wenn der Brennpunkt des zweiten bilderzeugenden optischen Systems näher an der Lichtquelle liegt als der Punkt, an dem der von der Lichtquelle herrührende Strahl durch das erste bilderzeugende optische System abgebildet wird, führt ds zweite bilderzeugende optische system eine erweitere Funktion als Te]dlinse aus, und der auf die Ablenk-Refley.jonsfiäche-der Ablenkeinrichtung auftreffende Strahl wird zu einem divergierenden Strahl. Im ersten Fall handelt es sich somit bei dem auf die Ablenk-Reflexionsfläche der Ablenkeinrichtung auftreffenden Strahl um einen linearen parallelen Strahl, während es sich im zweiten Fall um einen linearen divergierenden Strahl handelt.
  • Bei den Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, die hiernach in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert werden, wird das zweite bilderzeugende optische System zur Korrektur des Abfallens der Ablenkeinrichtung so beschrieben, als wenn es eine sphärische Linse und eine zylindrische Linse aufweist. Bei der erfindungsgemäßen Konstruktion kann jedoch auch die sphärische Linse allein vorgesehen und die zylindrische Linse weggelassen werden.
  • Die Erfindung wird nunmehr anhand von AusfWhrungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert. Sämtliche gezeigten und beschriebenen Teile können dabei von erfindungswesentlicher Bedeutung sein. Es zeigen: Die Figuren 1A und 1B eine Ausführungsform einer Vorrichtung zum Abtasten einer Vielzahl von Str&ln; die Figuren 2A und 2B eine andere Ausführungsform einer Vorrichtung zum Abtasten einer Vielzahl von Strahlen; und die Figuren 3A und 35 eine Anordnung, bei der die Vorrichtung zum Abtasten einer Vielzahl von Strahlen bei einem Laserstrahldrucker Verwendung findet;.
  • Die Figuren 1A und 1B zeigen eine Ausführungsform einer erfindungsgemäß ausgebildeten Abtastvorrichtung, wobei die Figur 1A eine Draufsicht auf die gesamte Abtastvorrichtung und Figur 1B eine Vorderansicht des optischen Systems zwischen einem Lichtquellenabschnitt und einer Ablenkeinrichtung ist. In den Figuren 1A und 1B ist mit 1 eine Halbleiterlaseranordnung bezeichnet, die mit Licht aussendenden Abschnitten 1a und 1b versehen ist. Mit 2 ist eine erste sphärische Abbildungslinse bezeichnet, die so angeordnet ist., daß ihre optische Achse4 parallel zu dem Hauptstrahl des vom Halbleiterlaser ausgesendeten Lichtstrahles verläuft. Mit 3 ist eine zweite Abbildungslinse bezeichnet, die eine sphärische Linse 3a und eine zylindrische Linse 3b umfaßt, welche so angeordnet sind, daß ihre gemeinsame Achse parallel zur Ablenk-Abtast-Ebene und senkrecht zur optischen Achse 4 verläuft. Mit 5 ist ein polygonaler Spiegel bezeichnet, der als Ablenkeinrichtung funktioniert, und mit 6 eine einzige torische Linse. Die abzutastende Oberfläche trägt die Bezugsziffer 7.
  • Wie man aus Figur lA entnehmen kann, werden die von den Licht aussendenden Abschnitten 1a und 1b der Halbleiterlaseranordnung 1 abgegebenen Lichtstrahlen durch die erste Abbildungslinse 2 zusammengeführt und in der Nähe der zweiten Abbildungslinse 3 abgebildet.
  • Die durch gestrichelte Linien angedeuteten Hauptstrahlen m1 und m2 verlaufen durch den Brennpunkt F der ersten Abbildungslinse 2. Am Punkt F schneiden sich somit die Hauptstrahlen der beiden Lichtstrahlen, und deren räumliche Ausdehnung wird an dieser Stelle am geringsten. Der in der Nähe der zweiten Abbildungslinse, insbesondere der sphärischen Linse 3a, zusammengeführte Lichtstrahl wird in seiner Richtung durch die als Feld linse wirkende sphärische Linse 3a verändert und trifft auf di e' Ablonk-Reflexi on sfll! che 9a des polygonalen Spiegels 5 auf. Der Brennpunkt F der ersten Abbildungslinse und der Punkt F' in der Nähe der Ablenkreflexionsfläche befinden sich in einer optisch konjugierten Beziehung relativ zur zweiten Abbildungslinse 3 (bei der es sich im wesentlichen um ein sphärisches Linsensystem 3a handelt) in einer Ebene parallel zur Ablenk-Abtast-Ebene. Das Bild am Brennpunkt F der ersten Abbildungslinse 2 wird daher von der zweiten Abbildungslinse 3 im wesentlichen auf der Ablenk-Reflexions-Fläche 5a abgebildet, und die Ausdehnung des Strahles auf der Ablenk-Reflexions-Fläche 5a wird gering, so daß auch die Ablenk-Reflexions-Fläche des polygonalen Spiegels klein gehalten werden kann. Hierdurch kann die Gesamt vorrichtung kompakt ausgeführt werden, und es wird ein verbesserter Abtastwirkungsgrad erreicht, da der polygonale Spiegel mit hoher Geschwindigkeit gedreht werden kann. Die zylindrische Negativlinse 3b, die die zweite Abbildungslinse 3 bildet, entfaltet in der parallel zur Ablenk-Abtast-Ebene verlaufenden Ebene keine Wirkungen wie in Figur 1A gezeigt, und beeinflußt daher nicht den Abtaststrahl.
  • Da es sich bei dem auf den polygonalen Spiegel 5 auch treffenden Lichtstrahl um einen divergierenden Strahl handelt, kann die abzutastende ebene Fläche selbst dann mit hilfe eines guten Abtastpunktes abgetastet werden wenn das zwischen dem polygonalen Spiegel 5 und der abzutastenden Oberfläche angeordnete Linsensystem 6 eine einzige Linse ist. Dadurch soll die Petzval-Summe des Linsensystems 6 optimiert werden. Eine derartige Technik ist in der japanischen Offenlegungsschrift 87540/ 1979 (amerikanische Patentanmeldung 971 439 vom 20. Dezember 1978) beschrieben und mllß daher an dieser Stelle nicht besonders herausgestellt werden. Die Abbildungslinse 6 muf3 auch in einer Ebene senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene. wirksam sein, um die Ablenk-Reflexionsfläche 5a des polygonalen Spiegels und die abzutastende Fläche 7 in dieser Ebene in einer optisch konjugierten Beziehung zu halten. Das Linsensystem 6 muß in beiden, senkrecht aufeinander stehenden Ebenen wirksam und sollte als torische Linse ausgebildet sein, da die Wirkungsweisen voneinander verschieden sind.
  • Wenn in der Ablenk-Abtast-Ebene die Verzeichnung der einzigen torischen Linse 6 auf die Rotationseigenschaften der Ablenkeinrichtung eingestellt ist, kann die abzutastende Oberfläche mit einer vorgegebenen Geschwindigkeit abgetastet werden. Wenn daher der Lichtstrahl im konvergierenden Zustand auftrifft, kann die abzutastende ebene Oberfläche mit gleicher Geschwindigkeit abgetastet werden, und das Abfallen der Ablenkfläche kann durch das zwischen der Ablenkeinrichtung und der abzutastenden Oberfläche angeordnete Linsensystem, das durch eine torische Linse gebildet wird, korrigiert werden.
  • Wie in Figur 1B gezeigt, werden in einer Ebene senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene die von den Licht aussendenden Abschnitten abgegebenen Lichtstrahlen durch das bilderzeugende Linsen system 2 zusammengeführt, wie vorstehend. beschrieben, wonach sie durch die zylindrische Linse 3b in divergierende Lichtstrahlen umgewandelt werden und in die sphärische Linse 3a eindringen.
  • Die konkave zylindrische Linse 3b bricht den vom ersten'bilderzeugenden Lisensystem 2 kommenden Lichtstrahl in einer Weise, als ob der in die sphärische Linse 3a eindringende Lichtstrahl vom Brennpunkt F des ersten bilderzeugenden Linsen systems 2 abgegeben würde. Wie vorstehend beschrieben, werden im wesentlichen durch die sphärische Linse 3a der Brennpunkt F des ersten bilderzeugendeii Linsensystems und der Punkt F' in der tiähe der Ablenk-Reflexionsfläche zea dcs polygonalen Spiegels r; i'l einer optisch konjugierten Beziehung zueinander gehalten, so daß auf diese Weise ein lineares Bild auf der Ablenk-Reflexionsfläche 5a des polygonalen Spiegels erzeugt wird.
  • In den Figuren 2A und 2B ist eine weitere AusfWhrungsform einer erfindungsgemäß ausgebildeten Abtastvorrichtung dargestellt. Figur 2A zeigt den Lichtweg in einer Ebene cjlallel zu der Ablenk-Abtast-Ebene, während Figur 2B den Lichtweg in einer Ebene senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene zeigt. Beide Figuren zeigen das optische System nur zwischen der Lichtquelleneinheit und der Ablenkeinrichtung. Wie man Figur 2A entnehmen kann, werden die von den Licht aussendenden Abschnitten 1a und 1b einer Halbleiterlaseranordnung 1 abgegebenen Lichtstrahlen durch ein erstes bilderzeugendes optisches System 2 auf einer Ebene Q abgebildet. Die Lage eines Brennpunktes eines zweiten bilderzeugenden optischen Systems 3 (das im wesentlichen aus einem sphärisehen Linsensystem 3a besteht), fällt mit der Ebene Q zusammeln, so daß daher die durch das zweite bilderzeugende optische System 3 dringenden Lichtstrahlen zu parallelen Strahlen werden und in Richtung auf die Ablenk-Reflexionsfläche 5a der Ablenkeinríchsung abgegeben werden. Auch bei dem in Figur 2A gezeigten optischen System sind der Brennpunkt F des ersten bilderzeugenden Linsensystems 2 und der sehr nahe an der Ablenk-1?eflexionsfläche 5a befindliche Punkt F' so eingestellt, daß sie sich in bezug auf das .zweite bilderzeugende Linsen system 3 in einer optisch konjugierten Beziehung befinden. Folglich kann die Ausdehnung des Lichtstrahles auf der Ablenk-Reflexionsfläche 5a gering gehalten und die Ablenkeinrichtung klein ausgebildet werden.
  • Eine zy]illdricìche lovenxlinse 3c ist in einer Ebene parallel zu der Ablenk-Abtast-Ebene nicht wirksam lmd bricht daher dei Abtaststrahl nicht. Wie jedoch in Figur 2B dargestellt ist, führt diese Linse den Strahl in einer Ebene senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene enger zusammen und bricht den Lichtstrahl so als wenn der durch die zylindrische Konvexlinse 3c dringende und in die sphärische Linse 3a eindringende Lichtstrahl vom Brennpunkt F des ersten bilderzeugenden optischen Systems 2 ausgesendet würde. Die sphärische Linse 3a hält den Brennpunkt F der ersten bilderzeugenden Linse 2 und die Ablenk-Reflexionsfläche 5a im wesentlichen in einer optisch konjugierten Beziehung zueinander, so daß der Lichtstrahl daher in einer Ebene senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene auf die Ablenk-Reflexionsfläche zusammengeführt wird.
  • Obwohl dies in den Figuren 1A und 1B nicht gezeigt ist, handelt es sich bei der zwischen der Ablenkeinrichtung und der abzutastenden Oberfläche angeordneten Abtast-Abbildungslinse um eine anamorphotische Abbildungslinse, die innerhalb der Ablenk-Abtast-Ebene ein Brechungsvermögen besitzt, damit der von der Ablenkeinrichtung abgelenkte Parallelstrahl auf der abzutastenden Oberfläche abgebildet werden kann, und in einer Ebene senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene ein solches Brechungsvermögen, daß der Punkt F' in der Nähe der Ablenk-Reflexionsfläche und die abzutastende Oberfläche in eine optisch konjugierte Beziehung zueinander gebracht werden können. Indem die Verzerrung der anamorphotischen Abbildungslinse in der Ablenk-Abtast-Ebene so gehalten wird, daß sie der Rotationseigenschaft der Ablenkeinrichtung entspricht, kann erreicht werden, daß der Abtastpunkt die abzutastende Oberfläche mit gleicher Geschwindigkeit abtastet.
  • In den Figuren 3A und 3B ist eine Anordnung schematisch gezeigt, bei der die erfindungsgemäß aungebildete Abtastvorrichtung bei einem Lasers ürahJ druci:er Xerwendung: fi iid L . Pt2. Figur 3A ist eine Ansicht einer solchen Anordnung in einer Ebene parallel zur Ablenk-Abtast- Ebene, während Figur 3B eine abgewickelte Ansicht in einer Ebene senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene zeigt.
  • Eine Halbleiterlaseranordnung 119 die modulierte Lichtstrahlen abgibt, eine erste Abbildungslinse 12 mit einer optischen Achse 14, die im wesentlichen parallel zum Hauptstrahl eines jeden von der Laseranordnung abgegebenen Lichtstrahles verläuft, und ein zweites bilderzeugendes optisches System 13, das eine sphärische Linse 13a und eine zylindrische Positivlinse 13b umfaßt, besitzen eine ähnliche Konstruktion und sind ähnlich angeordnet wie bei der in den Figuren 2A und 2B gezeigten Ausführungsform und brauchen daher nicht im einzelnen beschrieben zu werden. Mit 15 ist ein polygonaler Spiegel bezeichnet, der mit einer konstanten Geschwindigkeit rotiert. Die Hauptstrahlen 11a und 1lb, die von den entsprechenden,Licht aussendenden Abschnitten abgegeben werden und mit gestrichelten Linien bezeichnet sind, schneiden sich in der Nähe der Ablenk-Reflexionsflächg 15a des polygonalen Spiegels 15. Der von der Ablenk-Reflexionsfläche 15a abgelenkte Lichtstrahl wird durch eine Abtast-Abbildungslinse, die eine Meniskuslinse 16, deren konkave Fläche zur Seite des polygonalen Spiegels 15 gerichtet ist, und eine torische Linse 17 umfaßt, in einer vorgegebenen Position auf einer elektrophotographischen lichtempfindlichen rotierenden Trommel 18 abgebildet. Die Abtast-Abbildungslinse 16, 17 besitzt in der Ablenk-Abtast-Ebene eine f- # Abbildungscharakteristik, d.h die Funktion einer sogenannten f-9-Linse, und der von dem polygonalen Spiegel abgelenkte Lichtstrahl bewegt sich auf der lichtempfindlichen Trommel 18 mit gleicher Geschwindigkeit. In einer Ebene senkrecht zu der Ablenk-Abtast-Ebene wird der von der Lichtquelle 11 herrührende Lichtstrahl auf der Ablen-Reflexionsfläche 15.a abgebildet. in sich die Ablenk-Reflexionsfläche 15a und die licht.
  • empfindliche Trommel 18 in optisch konjugierten Positionen relativ zu der Abtast-Abbildungslinse 17, 16 befinden, wird der Lichtstrahl immer in einer vorgegebenen Position auf der lichtempfindlichen Trommel 18 abgebildet, und zwar selbst dann, wenn die Ablenk-Reflexionsfläche 15a aus irgendeinem Grunde geneigt sein sollte. Um die lichtempfindliche Trommel herum sind verschiedene Teile angeordnet, die zur Ausbildung eines elektrophotographischen Bildes erforderlich sind.
  • Da jedoch ein derartiges Verfahren und diese Teile bekannt sind, sind sie nicht gezeigt.
  • Wie in den Figuren 1 und 2 gezeigt ist, besitzen die zylindrischen Linsen 3b und 3c, die das zweite bilderzeugende optische System 3 bilden, in der Richtung senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene in einigen Fällen ein positives und in anderen ein negatives Brechungsvermögen. Dies steht in Beziehung zu der Anordnung des anamorphotischen optischen Elementes. Die zylindrischen Linsen besitzen ein negatives Brechungsvermögen, wenn sie in Bezug auf die durch das erste bilderzeugende Linsen system abgebildete Stelle des Licht aussendenden Abschnittes benachbart zu dem Licht aussendenden Abschnitt angeordnet sind, und ein positives Brechungsvermögen, wenn sie in bezug auf diese abgebildete Stelle benachbart zu der Ablenkeinrichtung angeordnet sind.
  • Bei der erfindungsgemäß ausgebildeten Abtastvorrichtung ist es auch möglich, die Brennweite des zweiten bilderzeugenden Linsen systems zu ändern und dadurch die Entfernung zwischen der Lichtquelle und der Ablenkeinrichtung frei einzustellen.
  • Wie vorstehend beschrieben, können somit bei der erfindungsgemäß au:ebildeten Abtastvorrichtung die Haupt strahlen der von der Lichtquelleneinheit ausgesendeten Strahlen so geführt werden, daß sie sich in der Nähe der Ablenk-Reflexionsfläche der Ablenkeinrichtung schneiden, indem in einfacher Weise zwei bilderzeugende Systeme angeordnet werden die ein positives Brechungsvermögen zwischen der Lichtquelle und der Ablenkeinrichtung besitzen. Die Entfernung zwischen der Lichtquelleneinheit und der Ablenkeinrichtung kann auf einen gewünschten Wert gebracht werden, indem die Brennweite eines jeden bilderzeugenden Systems verändert wird. Bei einer solchen Kon--struktion können selbst dann, wenn auf der Ablenk-Reflexionsfläche der Ablenkeinrichtung ein lineares Bild erzeugt wird, um das Abfallen der Ablenkeinrichtung zu verhindern, die mittleren Positionen der linearen Bilder der entsprechenden Lichtstrahlen im wesentlichen zum Zusammenfallen gebracht werden, so daß daher selbst bei einer Vielzahl von Strahlen jeder Abtastpunkt auf der abzutastenden Oberfläche in einem guten focussierten Zustand abgebildet werden kann.
  • Erfindungsgemäß wird somit eine Vorrichtung vorgeschlagen, bei der von einer Lichtquelleneinheita die eine Vielzahl von unabhängigen Lichtstrahlen zur Verfügung stellt, ausgesendete Lichtstrahlen von einer Ablenkeinrichtung abgetastet werden Die von der Lichtquelleneinheit ausgesendeten Lichtstrahlen sind Parallslstrahlen, und die Hauptstrahlen der entsprechenden Lichtstrahlen verlaufen parallel zur optischen Achse eines optischen Systems. Zwischen der Lichtquelleneinheit und der Ablenkeinrichtung sind ausgehend von der Seite der Lichtquelleneinneit hintereinander ein erstes und ein zweites bilderzeugendes optisches System anreord1et. Der Brennpunkt des ersten bilderzeugendezl ooltischeH Systems benachbart zur Ablenkeinrichttng und der Punkt in der Nähe der Ablenkleflexionsilüc}le der Ablenkeinrichtung werden in bezug auf das zweite bilderzeugende optische System in einer Pupillen-konjugierten Beziehung gehalten.

Claims (9)

  1. Patentansprüche 1. Vorrichtung zum Abtasten einer Vielzahl von Lichtstrahlen, gekennzeichnet durch: ein erstes bilderzeugendes optisches System (2, 12), eine Lichtquelleneinheit (1, 11) zur Zufuhrung einer Vielzahl von Lichtstrahlen zu dem ersten bilderzeugenden optischen System (2, 12), von denen die Hauptstrahlen parallel zur optischen Achse (4, 14) des ersten bilderzeugenden optischen Systems verlaufen und bei denen es sich um keine Parallelstrahlen handelt, eine At'er.seinrichtung (5, 15) zum Ablenken der Vielzahl von Lichtstrahlen und ein zweites bilderzeugendes optisches System (3, 13), das zwischen der Ablenkeinrichtung (5, 15) und dem ersten bilderzeugenden optischen System (2, 12) angeordnet ist und den Brennpunkt des ersten bilderzeugenden optischen Systems, der zur Ablenkeinrichtung benachbart ist, sowie die Abtast-Reflexionsfläche (5a, 15a) der Ablenkeinrichtung in der Ablenk-Abtast-Ebene der Lichtstrahlen in einer im wesentlichen optisch konjugierten Beziehung zueinander hält.
  2. 2. Vorricht.ung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite bilderzeugende optische System (5, 15) ) so angeordnet ist, daß es im wesentlichen mit der Stelle zusammenfällt,an der das Bild der Lichtquelleneinheit (1, 11) durch das erste bilderzeugende optische System (2, 12) erzeugt wird.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite bilderzeugende optische System (5, 15) so angeordnet ist, daß sein der Lichtquelleneinheit (1, 11) zugewandter Brennpunkt mit dem Punkt zusammenfällt, an dem das Bild der Lichtquelleneinheit durch das erste bilderzeugende optische System (2, 12) erzeugt wird.
  4. 4. Vorrichtung zum Abtasten einer Vielzahl von Lichtstrahlen, gekennzeichnet durch: ein erstes bilderzeugendes optisches System (2, 12), eine Lichtquelleneinheit (1, 11) zur Zuführung einer Vielzahl von Lichtstrahlen zu dem ersten bilderzeugenden optischen System (2, 12), von denen die Hauptstrahlen parallel zur optischen Achse (4, 14) des ersten bilderzeugenden optischen Systems verlaufen und bei denen es sich nicht um Parallelstrahlen handelt, eine Ablenkeinrichtung (5, 15) zum Ablenken der Vielzahl der Lichtstrahlen und ein zweites bilderzeugendes optisches System (3, 13), das den Brennpunkt des ersten bilderzeugenden optischen Systems, der der Ablenkeinrichtung benachbart ist, und die Ablenk-Reflexionsfläche der Ablenkeinrichtung in einer im wesentlichen optisch konjugierten Beziehung zueinander in der Ablenk-Abtast-Ebene der Lichtstrahlen hält und das das von dem ersten bilderzeugenden optischen System erzeugte Bild der Lichtquelleneinheit und die Ablenk-Reflexionsfläche in einer Ebene, die die optische Achse (4, 14) enthält und senkrecht zu der Ablenk-Abtast-Ebene verläuft, in einer optisch konjugierten Beziehung zueinander hält.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite bilderzeugende optische System (3, 13) ein sphärisches Linsensystem (3a, 13a) und ein zylindrisches Linsensystem (3b, 3c, 13b) enthält.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite bilderzeugende optische System eine torische Linse umfaßt.
  7. 7. Vorrichtung zum Abtasten einer Vielzahl von Lichtstrahlen, gekennzeichnet durch: eine Lichtquelleneinheit (1), die eine Vielzahl von divergierenden-Lichtstrahlen aussendet, von denen die Haupt strahlen parallel zueinander verlaufen, ein erstes bilderzeugendes optisches System (2), das so angeordnet ist, daß seine optische Achse (4) und die Hauptstrahlen der Lichtstrahlen parallel zueinander verlaufen, eine Ablenkeinrichtung (5) zum Ablenken der Vielzahl der Lichtstrahlen und ein zweites bilderzeugendes optisches System (3), das zwischen dem ersten bilderzeugenden optischen System (2) und der Ablenkeinrichtung (5) angeordnet ist und einen anamorphotischen optischen Teil (3c) aufweist, der in der Ablenk-Abtast-Ebene nicht wirksam ist, sowie einen sphärischen optischen Teil (3a), wobei beide Teile von der Lichtquellenseite aus hintereinander angeordnet sind und das zweite bilderzeugende optische System den Brennpunkt des ersten bilderzeugenden optischen Systems, der der Ablenkeinrichtwag benachbart ist, und die Ablenk-Reflexionsfläche der Ablenkeinrichtung in einer im wesentlichen optisch konjugierten eziehung zueinander in der Ablenk-Abtast-Ebene der Lichtstrahlen hält und wobei der von dem ersten bilderzeugenden optischen System abgegebene Lichtstrahl in einer Ebene, die die optische Achse enthält und senkrecht zur Ablenk-Abtast-Ebene verläuft, durch den anamorphotischen optischen Teil (3c) derart gebrochen wird, daß der Ausgangspunkt der Divergenz des in den sph.irischen optischen Teil (3a) eindringenden Lichtstrahles mit dem Brennpunkt (F) des ersten bilderzeugenden optischen Systems (2), der zu der Ablenkeinrichtung benachbart ist, zusammenfällt.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Stelle, an der der sphärische optische Teil (3a) angeordnet ist, in der Ablenk-Abtast-Ebene eine Stelle ist, an der der von dem ersten bilderzeugenden optischen System herrührende Lichtstrahl zusammengeführt wird, und daß der anamorphotische optische Teil eine zylindrische Negativlinse ist.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der spärische optische Teil (3a) so angeordnet ist, daß sein Brennpunkt mit der Stelle in der Ablenk-Abtast-Ebene zusammenfällt, an der der von dem ersten bilderzeugenden optischen System herrührende Lichtstrahl zusammengeführt wird, und daß der anamorphotische optische Teil (3c) eine zylindrische Positivlinse ist.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0526846A2 (de) * 1991-08-03 1993-02-10 Canon Kabushiki Kaisha Mehrstrahlige optische Abtastvorrichtung
DE19820674C2 (de) * 1997-05-09 2000-11-16 Hitachi Koki Kk Strahlenscanvorrichtung

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2741195B2 (ja) * 1987-02-25 1998-04-15 株式会社 リコー レーザーダイオードアレイを用いる光走査光学系
JP2554724B2 (ja) * 1987-12-11 1996-11-13 株式会社リコー レーザーダイオードアレイを用いる光走査光学系
JPH01211718A (ja) * 1988-02-19 1989-08-24 Japan Imeejingu Syst:Kk 光走査装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2802417A1 (de) * 1977-01-21 1978-07-27 Canon Kk Abtastvorrichtung
DE3042688A1 (de) * 1979-11-13 1981-05-21 Canon K.K., Tokyo Optisches abtastgeraet mit einer anordnung von lichtquellen

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2802417A1 (de) * 1977-01-21 1978-07-27 Canon Kk Abtastvorrichtung
DE3042688A1 (de) * 1979-11-13 1981-05-21 Canon K.K., Tokyo Optisches abtastgeraet mit einer anordnung von lichtquellen

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0526846A2 (de) * 1991-08-03 1993-02-10 Canon Kabushiki Kaisha Mehrstrahlige optische Abtastvorrichtung
EP0526846A3 (en) * 1991-08-03 1993-11-03 Canon Kk Plural-beam scanning optical apparatus
US5463418A (en) * 1991-08-03 1995-10-31 Canon Kabushiki Kaisha Plural-beam scanning optical apparatus
DE19820674C2 (de) * 1997-05-09 2000-11-16 Hitachi Koki Kk Strahlenscanvorrichtung

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