DE2802417A1 - Abtastvorrichtung - Google Patents
AbtastvorrichtungInfo
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Description
Patentanwälte:
Dipl.-Ing. H. Tiedtke Dipl.-Chem. G. Bühling
Dipl.-Ing. R. Kinne Dipl.-Ing. P. Grupe
Bavarlaring 4, Postfach 20 24 8000 München 2
Tel.: (0 89) 53 96 53 Telex: 5-24845 tipat cable: Germaniapatent München
20. Januar 1978
B 8695/Canon case
CANON KABUSHIKI KAISHA Tokyo, Japan
Abtastvorrichtung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Abtastvorrichtung 25 zur Abgabe einer Mehrzahl von Abtaststrahlen.
' Zur Erzielung einer Mehrzahl von Abtaststrahlen unter Verwendung einer einzigen Ablenkvorrichtung besteht die Möglichkeit,
einen einzelnen Abtaststrahl von der Ablenkvor-30 richtung in eine Mehrzahl von Abtaststrahlen aufzuspalten
oder eine Mehrzahl stationärer Strahlen auf eine Ablenkvorrichtung aus unterschiedlichen Richtungen zu richten. Die
Erfindung bezieht sich auf das letztgenannte Verfahren.
VI/12
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B 8695
Wenn in einem solchen Fall eine Mehrzahl von Strahlen auf die Ablenkfläche der Ablenkvorrichtung aus verschiedenen
Richtungen.auftrifft, ohne daß zwischen ihnen eine Überlagerung
oder überdeckung besteht, sind die Ablenkzentren der Abtaststrahlen voneinander verschieden. Daher ist es
schwierig, mit Hilfe einer einzigen Abtastlinse bzw. eines einzigen Abtastlinsensystems derartige Abtaststrahlen optisch
zu verarbeiten, wie beispielsweise diese Abtaststrahlen auf einer abzutastenden Fläche abzubilden. Allgemein stimmt bei
einem optischen System zur Verarbeitung eines Abtaststrahls das Ablenkzentrum mit der Eintrittspupille des optischen
Systems überein. Wenn Ablenkstrahlen mit unterschiedlichen Ablenkzentren mittels des optischen Systems verarbeitet
werden, bedeutet das, daß die Eintrittspupille größer wird, d.h. die F-Zahl kleiner wird, so daß daher das Entwickeln
des optischen Systems schwieriger wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Abtastvorrichtung zu schaffen, die eine Mehrzahl von Abtaststrahlen
mit dem gleichen Ablenkzentrum ergibt.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß stationäre Strahlen mit unterschiedlichen Einfallsrichtungen
auf eine Ablenkfläche einer Ablenkvorrichtung in der Weise gerichtet werden, das sie einander überlagert sind bzw. in
Deckung sind. Auf diese Weise wird eine Mehrzahl von Abtaststrahlen mit dem gleichen Ablenkzentrum geschaffen, so daß
das Ablenkzentrum eines jeden der Strahlen mit dem Zentrum der Eintrittspupille übereinstimmen kann, was die praktische
Entwicklung des optischen Systems erleichtert.
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Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
Fig. 1(a) und 1(b) sind schematische Darstellungen optischer
Systeme für die Überlagerung von Strahlen
aus einer Mehrzahl von Lichtquellen an einer Reflexionsfläche einer Ablenkvorrichtung.
Fig. 2(a) und 2(b) zeigen optische Systeme für die Überlagerung
aufgeteilter Strahlen auf einer Reflexions
fläche einer Ablenkvorrichtung.
Fig. 3(a), 3(b)f 4(a), 4(b), 4(c) und 4(d) zeigen Beispiele
von Strahlenteilern, die bei den optischen Systemen nach den Fig. 2(a) und 2(b) verwendbar
sind.
Fig. 5(a), 5(b), 6(a), 6(b), 7(a) und 7(b) sind schematische
Darstellungen bestimmter Beispiele für die Überlagerung aufgeteilter Strahlen.
Fig. 8(a) und 8(b) zeigen ein telezentrisches optisches
System, das unterschiedlich einfallende Strahlen aufnimmt.
25
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Fig. 9 ist eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der Abtastvorrichtung/ bei der
diese zum Aufbringen von Bildlichtmustern bei einem Halbleiter-Herstellungsverfahren verwendet
wird.
Fig. 10 zeigt ein Ausführungsbeispiel bei dem die Abtastvorrichtung
bei einem Laserstrahldrucker verwendet wird.
35
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Die Fig. 1(a) und 1(b) betreffen den Fall, bei dem zwei
stationäre Strahlen aus zwei jeweiligen Lichtquellen an einer Fläche eines Polygonaldrehspiegels überlagert werden. Die
Fig. 2(a) und 2(b) betreffen den Fall, bei dem zwei stationäre
Strahlen, die durch Aufteilung eines Strahls aus einer einzigen Lichtquelle erzielt worden sind, auf einer Fläche eines
Polygonaldrehspiegels überlagert werden. In diesen Figuren bezeichnet 1' eine Laserstrahlenquelle, 2 eine Linse bzw.
ein Linsensystem und 3 einen Polygonaldrehspiegel.
Bei der in Fig. 1(a) gezeigten Anordnung sind die aus
den Laserstrahlquellen kommenden beiden Strahlen zueinander im wesentlichen parallel ausgerichtet und werden miteinander
auf der Oberfläche des Polygonaldrehspiegels überlagert bzw. in Deckung gebracht. Die zweite Brennebene der Linse 2
fällt mit der Ablenkfläche des Polygonaldrehspiegels zusammen. Bei der in Fig. 1(b) gezeigten Anordnung werden die
beiden Strahlen mittels der Linse 2 auf dem Polygonaldrehspiegel überlagert, nachdem sie einander gekreuzt haben.
Der Kreuzungspunkt ist in bezug auf die Linse 2 zu der Ablenkfläche des Polygonaldrehspiegels konjugiert.
In den Fig. 2(a) und 2(b) bezeichnet 4 einen Strahlenteiler,
der durch Aufteilung eines Einzelstrahls zwei stationäre Strahlen bzw. Feststrahlen abgibt. Die auf diese Weise
abgegebenen beiden Strahlen werden miteinander auf gleiche Weise wie im Fall der Fig. 1(a) auf dem Polygonaldrehspiegel
überlagert. Bei dem in Fig. 2(b) gezeigten System ist der Punkt der Aufteilung mittels des Strahlenteilers in bezug
auf die Linse 2 mit der Ablenkfläche des Polygonaldrehspiegels konjugiert, so daß die beiden stationären oder Feststrahlen
miteinander übereinstimmen.
809830/0847
- 6 - B 8696
Die Fig. 3 und 4 zeigen für diese Zwecke verwendbare Strahlenteiler. Die Fig. 3(a) und 3(b) zeigen Strahlenteiler,
bei denen ein Halbspiegel verwendet ist. Der Strahlenteiler nach Fig. 3(a) weist einen unter einem Winkel von 45° geneigten
Halbspiegel BS und einen Reflexionsspiegel M auf. Der Strahlenteiler nach Fig. 3(b) weist Prismen und einen zwischengesetzten
Halbspiegel auf. Die Fig. 4(a) bis 4(c) zeigen Polarisations-Strahlenteiler, bei denen ein Wollerston-Prisma,
eine Savartsche Doppelplatte bzw. ein Rochon-Prisma verwendet sind. Die Fig. 4(d) zeigt ein Beispiel der Anwendung
einer Kristall-Platte, die so geschnitten ist, daß ihre optische Achse in bezug auf ihre Oberfläche geneigt. Wenn ein
Strahlenteiler mit Polarisationsaufteilung verwendet wird, muß der Strahl aus der Laserstrahlquelle ein zirkulär
polarisierter Strahl sein.
Wie aus der vorstehenden Erläuterung ersichtlich ist, können die stationären Strahlen entweder zueinander parallel
sein oder nichtparallel sein. Andererseits kann ein stationärer Strahl afokal, divergierend oder konvergierend sein. Daher
sind 2x3=6 Kombinationen möglich. In der Beschreibung
sind als typische Beispiele der Fall erläutert, bei dem ein Strahlenteiler zur Abgabe paralleler Strahlen verwendet wird,
sowie der Fall bei dem ein Wollaston-Prisma zur Abgabe nichtparalleler Strahlen verwendet wird.
Die Fig. 5(a), 6(a) und 7(a) zeigen Fälle, bei denen
die Ausgangsstrahlen der Strahlenteilervorrichtungen parallel sind, wogegen die Fig. 5(b), 6(b) und 7(b) Fälle betreffen,
bei denen die Strahlen nichtparallel sind. Der allgemeine Aufbau besteht darin, daß der Strahlenteiler bzw. die Strahlenteilervorrichtung
zwischen eine Linse 1 mit einer Brennweite f.. und eine Linse 2 mit einer Brennweite f~ gesetzt ist. In
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Fig. 5(a) bildet die Kombination aus der Linse 1 und der
Linse 2 ein afokales optisches System, so daß der auf die Linse 1 auftreffende afokale Strahl nach dem Durchlaufen
der Linse 2 afokal bleibt. Obgleich die Linse 1 als Konkavlinse dargestellt ist, kann anstelle der Konkavlinse eine
Konvexlinse verwendet werden, wenn das System auf das dem Aufbau nach Fig. 5(b) entsprechende umgeändert wird. In letzterem
Fall fällt der zweite Brennpunkt der Linse 1 mit dem ersten Brennpunkt der Linse 2 zusammen.
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Die Oberfläche des Polygonalspiegeis bzw. Polygonaldrehspiegels
ist mit P bezeichnet. Da die auf die Linse 2 • einfallenden Strahlen parallel sind, fällt die Oberfläche P
mit der zweiten Brennebene der Linse 2 zusammen. Dieser Zusammenhang gilt auch für die Ausführungsbeispiele gemäß den
Fig. 6(a) und 7(a).
Andererseits ist nach Fig. 5(b) der Ort des Wollaston-Prismas,
der den Aufteilungspunkt bildet, mit der Oberfläche ρ des Polygonalspiegels konjugiert. D.h., daß folgende Gleichung
erfüllt ist:
1 + 1 = 1
a k ^2
25
25
Die Strahlen, in die mittels des Strahlenteilers ein einzelner Strahl aufgeteilt worden ist, treffen sich an der
Oberfläche P des Polygonalspiegels. Bei der Ausführungsform
nach Fig. 5(b) sind die Linse 1 und die Linse 2 so angeordnet, daß die zweite Brennebene der Linse 1 mit der ersten Brennebene
der Linse 2 zusammenfällt, wodurch der auf den Polygonalspiegel auffallende Strahl afokal ist.
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Die Anordnungen nach Fig. 6(a), 6(b) und 7 (a), 7 (b)
entsprechen im wesentlichen denjenigen gemäß den Fig. 5(a), 5(b) mit der Ausnahme, daß die Brechkraft der vorne angeordneten
Linse 1 so verändert ist, daß der auf den Polygonal- ·* spiegel auftreffende Strahl konvergierend oder divergierend
ist. Da die Fokussierung auf dem Polygonalspiegel allein durch die Linse 2 bewerkstelligt wird, kann die Linse 1
frei verändert werden, um den Zustand des auf dem Polygonalspiegel einfallenden Strahls zu verändern. Als Extrembeispiel
^O kann die Linse 1 ohne Brechkraft sein oder gemäß der Darstellung
in Fig. 6(b) weggelassen werden. Wenn natürlich eine Linse 1 vor dem Wollaston-Prisma angeordnet ist, kann der
Abbildungspunkt gegenüber dem Brennpunkt A der Linse 2 frei verschoben werden, so daß es aus diesem Grund nicht notwendig
ist, die Linse 1 wegzulassen.
Bei der Anordnung nach Fig. 7(b) besteht eine gegenseitige
Konjugation zwischen dem Wollaston-Prisma bzw. dem Punkt A und der Oberfläche des Polygonalspiegeis bzw. dem
Punkt B, d.h. es gilt:
1 4.1 -1
a.+b.-f2
a.+b.-f2
Selbstverständlich besteht hinsichtlich der Strahlenteilervorrichtungen,
die bei den Ausführungsbeispielen gemäß den Fig. 5(a), 5(b), 6 (a), 6(b), 7(a) und 7(b) verwendbar
sind, keine Einschränkung auf Strahlenteiler oder Wollaston-Prismen,
sondern es sind auch andere Strahlenteilersysteme oder Polarisations-Elemente wie solche gemäß der Darstellung
in Fig. 3 und 4 zufriedenstellend. Wenn für die nachgeschalteten
optischen Systeme die Polarisationseigenschaften von Bedeutung sind, kann nach den Kristall-Elementen eine 9^/A-Platte
angeordnet werden.
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Für Systeme, die im Falle der Verwendung mehrerer Lichtquellen
anwendbar sind, können aus der vorstehenden Erläuterung analoge Systeme gebildet werden. Wenn die Strahlen parallel
sind, ist die Linse 1 jeweils in die jeweilige Lichtquelle eingebaut, wogegen bei nichtparallelen Strahlen, der gegenseitige
Kreuzungspunkt als der (Aufteilungs-)Punkt der Wollaston-Prismen
bei den Ausführungsformen gemäß den Fig. 5 bis 7 zu betrachten ist.
Gemäß den vorstehenden Bestimmungen bzw. Auswertungen ist es verhältnismäßig einfach, die Polygonalspiegeloberfläche,
die der Pupillenpunkt des Gesamtsystems ist, mit dem Ablenkungszentrum in Übereinstimmung zu bringen. Das Verfahren
zur Verarbeitung einer Mehrzahl von Strahlen ist bei unterschiedlichen Anwendungsgebieten sehr wirkungsvoll, wie
beispielsweise bei Messungen, bei der gleichzeitigen Beobachtung zweier Gegenstände und bei Aufzeichnungsverfahren. Das optische
System ist bei der Ausführung dieser Vorgänge insofern von Vorteil, als bei jedem Strahl das Pupillenzentrum verwendet
wird. Allgemein ausgedrückt sind mehrere Strahlen in ihrer Dichte im wesentlichen gleich.
Als besonderes Beispiel wird nun die Anwendung der Abtastvorrichtung
bei einer automatischen Ausrichtung oder Einstellung für die Erzeugung von integrierten Schaltungen
erläutert. Die automatische Ausrichtung wird zu dem Zweck ausgeführt, eine zwei-dimensionale Deckung zwischen einer
Maske mit einem Vorlagemuster und einem Schaltungs- oder Mikroplättchen zu erzielen, auf das das Vorlagemuster aufzubringen
ist. Die Maske und das Mikroplättchen sind jeweils mit besonderen Markierungen versehen, die Paß- oder
Richtmarkierungen genannt werden. Die Einstellung wird durch Ausrichtung dieser Marken in einer vorbestimmten Beziehung
bewerkstelligt. Für die Einstellung, bei der eine Genauig-
2^ keit in der Größenordnung μπι und darunter notwendig ist,
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ist natürlich die Beobachtung mehrerer Punkte notwendig. Im allgemeinen wird eine Zwei-Punktüberwachung verwendet,
weil die Beobachtung bzw. Überwachung eines Punkts nicht ausreicht, einen Freiheitsgrad hinsichtlich der Drehung zu erfassen.
Daher haben die Maske und das Mikroplättchen jeweils zwei Markierungen an unterschiedlichen Orten. Zur Aufnahme
der Information über die beiden Positionen werden zur Bildung eines optischen Beobachtungs-bzw. Überwachungssystems zwei
Mikroskope als sogenannte Ausrichtungs-Mikroskope verwendet.
Im Falle des Drückens mit Verfahrensschritt und Wiederholung
sind an dem Mikroplättchen doppelt soviele Markierungen angebracht, wie Verfahrensschritte vorgesehen sind. Bei einem
automatischen Ausrichtsystem ist üblicherweise ein Teil des optischen Systems desselben zugleich für das Ausricht-Mikroskop
verwendet, so daß die mittels des Mikroskops betrachteten Richtmarkierungen abgetastet werden bzw. die
Lichtstärke so ausgeglichen wird, daß ein elektrisches Signal erzielt wird, das zu einer vorbestimmten Beziehung für
die Ausrichtung führt.
In der letzteren Zeit wurden unterschiedliche Arten von automatischen Ausrichtsystemen vorgeschlagen. Eines von diesen
ist in der US-Patentanmeldung 790 072 beschrieben. Gemäß dieser früheren Anmeldung werden die Maske und das Mikroplättchen
mittels eines Laserpunktstrahls abgetastet. Die Abtastvorrichtung ist bei einem derartigen System vorteilhaft
anwendbar. Da der Abtastvorgang unvermeidbar ist, ist die Ablenkvorrichtung, die notwendigerweise einen bewegten
Teil enthält, gleichfalls unvermeidbar. Im Hinblick auf die Umstände, daß der Abtastvorgang an zwei Orten mit jeweiligen
Richtmarkierungen durchzuführen ist und daß für einen möglichst kompakten Aufbau des Geräts die Verwendung einer einzigen
Ablenkvorrichtung erwünscht ist, ist die Abtastvor-
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richtung sehr vorteilhaft insofern, als sie die Abtastung mit einer Mehrzahl von Strahlen unter Verwendung einer
einzigen Ablenkvorrichtung ermöglicht.
Zusätzlich zu diesem Vorteil hinsichtlich des Aufbaus
und dem vorstehend beschriebenen Vorteil in bezug auf den Entwurf der Linsen ergibt die Abtastvorrichtung einen großen
Vorteil in dem Fall, daß exnBerührungsverfahren oder ein Annäherungs- bzw. Nahabstandsverfahren verwendet wird, da dabei
der Strahl in das Zentrum der Pupille des Mikroskops geleitet werden kann. Bei dem Berührungs- oder Kontaktverfahren oder
dem Nahabstandsverfahren werden während des Ausrichtvorgangs die Maske und das Mikroplättchen unter einem gegenseitigen Abstand
von einigen 10 μπι angeordnet. Wenn daher der Einfall-
^5 strahl in bezug auf die Oberfläche der Maske oder des Mikroplättchens
schräg liegt, werden die beiden Objekte schräg beobachtet, was in den Fig. 8(a) und 8(b) gezeigt ist. In
der Fig. 8(a), bei der der Abtaststrahl von dem Zentrum der Pupille O ausgeht, ist der durch eine Objektivlinse 10 gelangende
Strahl parallel zur optischen Achse ausgerichtet, so daß er auch so auf die Maskenfläche oder die Mikroplättchenflache
auftrifft. In einem derartigen Fall entsteht
kein Beobachtungsfehler. Andererseits zeigt die Fig. 8(b) den Fall, bei dem der Abtaststrahl von einem Punkt außerhalb
des Zentrums der Pupille O ausgeht. Dabei fällt der über die Objektivlinse gelangende Strahl auf die Oberfläche
mit einer Neigung auf, die der Abweichung des Ausgangspunkts von dem Zentrum der Pupille entspricht. Wenn ein
Punkt a der Maske in genauer Deckung mit einem Punkt A' des Mikroplättchens ist, wird mit der Anordnung nach Fig. 8(a)
ihre Übereinstimmung ermittelt, aber diese mit der Anordnung nach Fig. 8(b) als Fehlüberdeckung erfaßt. Aus diesen Gründen
muß der Ausgangspunkt des Strahls innerhalb einer geeigneten Toleranz mit der Pupille bzw. dem Zentrum der Pupille übereinstimmen.
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Die Fig. 9 zeigt ein Beispiel, bei dem die Abtastvorrichtung in einem automatischen Richtgerät oder Ausfluchtgerät eingebaut ist. Das optische System vor einem Polygonalspiegel
20 konvergiert zunächst mal den Strahl vor dem Polygonalspiegel, wie es in Fig. 6 gezeigt ist, so daß dann
der Strahl in der Form eines divergierenden Strahls auf den Polygonalspiegel fällt. Das optische Eingangssystem liegt in
einer zur Zeichnungsebene senkrechten Ebene. Eine Abbildungslinse 21 reproduziert in der Nähe einer Feldlinse 22 ein
Bild aus dem Bild, das zuerst aus dem Laserstrahl vor Erreichen des Polygonalspiegels gebildet war. Ein Prismenspiegel
23 richtet die beiden Strahlen zu einem rechten und einem linken Sucher bzw. einer rechten und einer linken
Visiereinrichtung. Daher wird der Prismenspiegel 23 mögliehst in der Nähe einer Position angeordnet, an der das
Bild des Strahls reproduziert wird. Die beiden mittels des Prismenspiegels 23getrennten Strahlen gelangen über jeweilige
Spiegel 24, Relaislinsen 25 und Objektivlinsen 26 und
tasten jeweils eine Maske 27 und ein Mikroplättchen 28 ab.
Damit gemäß der vorstehenden Beschreibung der Abtaststrahl senkrecht
auf die Oberfläche der Maske und des Mikroplättchens gerichtet wird / welche in einem Abstand zueinander gelagert
sind, wirkt das Zentrum der Pupillenebene der Objektivlinse 26 als Strahlausgangspunkt. Diese Bedingung wird dadurch
erfüllt, daß das Pupillenzentrum Y in konjugierte Stellung zu dem Reflexionspunkt X des Strahls an dem Polygonalspiegel angeordnet
wird, wobei der Reflexionspunkt X der tatsächliche Ursprungspunkt oder Ausgangspunkt ist. Während die optische
Einrichtung aus der Abbildungslinse 21, der Feldlinse 22
^O und dem Prismenspiegel 23 für die beiden Strahlen gemeinsam
ist, ist die optische Einrichtung nach dem Prismenspiegel 23 jeweils für den jeweiligen Strahl vorgesehen. Da jedoch
die Strahlen an dem Reflexionspunkt X des Polygonalspiegeis
zusammenfallen und darüber hinaus auf der optischen Achse 35
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- 13 - B 8695
liegen, ist es möglich, die Strahlen gleichzeitig den Pupillenzentren
an einer rechten und einer linken Pupillenebene 30 zuzuführen. Die von der Maske und dem Mikroplättchen reflektierten
Strahlen werden mittels nicht gezeigter fotoelektrischer Detektoren empfangen. Dabei läuft nach dem Prinzip eines telezentrischen
optischen Systems der Einfallstrahl bei einer flachen Oberfläche entlang der Einfallinie zurück und gelangt
wieder über das Pupillenzentrum Y. Aus dem Beibehalten der Konjugation zwischen dem Reflexionspunkt X an dem Polygonalspiegel
und dem Pupillenzentrum Y ergibt sich, daß sich der durch die Pupille laufende direkte Strahl nicht bewegt. Dies
ist dann vorteilhaft, wenn ein optisches System in der Weise aufgebaut ist, daß der direkte Strahl gesperrt bzw. ausgeblendet
wird und nur das Streulicht empfangen wird. Das automatische Ausfluchtgerät mit einer Mehrzahl von Strahlen kann
als typisches Beispiel einer Mehrkanal-Informations- oder Datenverarbeitung bezeichnet werden. Wenn ein Kristallelement
gemäß der Darstellung in Fig. 6(b) bei dem optischen System vor dem Polygonalspiegel 20 verwendet wird, sind die
beiden Strahlen in zueinander senkrecht stehenden Richtungen linear polarisiert, so daß dann, wenn das nachgeschaltete
optische System einen Strahlenteiler aufweist, die Polarisationseigenschaften einen Einfluß haben. Wenn in der
Anordnung nach Fig. 9 ein optisches Sucher- oder Visiersystem, eine zugehörige Lichtquelle oder ein (nicht gezeigter) Fotodetektor
eingesetzt sind, ist es unvermeidbar, einige oder viele Strahlenteiler hinzuzufügen. Es ist beispielsweise vorgesehen,
die Spiegel 24 durch Strahlenteiler zu ersetzen, die die Strahlen zu den fotoelektrischen Detektorvorrichtungen
führen. Wenn in einem solchen Fall die Polarisation Schwierigkeiten bereitet, ist es günstiger, hinter dem Kristall
bzw. Kristallelement eine Ά/4-Platte anzuordnen, wodurch an
beide Sucher-bzw. Visiereinrichtungen die Strahlen mit gleicher Intensität abgegeben werden. Wenn als Lichtquelle ein
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linear polarisierter Laserstrahl verwendet wird, muß die Lagebeziehung zwischen dem Kristall und der Polarisationsrichtung des Laserstrahls besonders beachtet werden oder es
muß in den Ausgangslaserstrahl eine ^\/4-Platte eingebracht
werden.
Die Anwendung des optischen Systems ist in Einzelheiten hinsichtlich eines automatischen Ausfluchtgeräts erläutert;
es ist jedoch in einem weiten Ausmaß auch bei anderen Systemen
anwendbar. Beispielsweise können bei einem Laserstrahldrucker, bei dem modulierte Doppelstrahlen abgelenkt werden,
jeweils zwei Zeilen gleichzeitig abgetastet werden, was bedeutet, daß die Druckgeschwindigkeit verdoppelt ist. Dies ist
in der Fig. 10 dargestellt, in welcher die Anordnung derjenigen nach Fig. 5(b) entspricht. Die Anordnung ist hier jedoch
mit Modulatoren M1 und M„ versehen. Zusätzlich fällt bei dieser
Anordnung unter Ausblendung des direkten Lichts das Beugungslicht auf den Polygonalspiegel. Mit S1 und S2 sind Blenden
zum Abhalten bzw. Ausblenden des direkten Lichts bezeichnet. Der Strahl vom Polygonalspiegel wird in ein f-9-Linsensystem
geleitet. Durch Anlegen von Informationsteilen für benachbarte zwei Zeilen an die Modulatoren M1 und M_ ist das
gleichzeitige Drucken der beiden Zeilen möglich.
Mit der Erfindung ist eine Abtastvorrichtung zur Erzielung
einer Mehrzahl von Abtaststrahlen geschaffen, bei der eine Mehrzahl stationärer oder feststehender Lichtstrahlen auf
eine Ablenkungsreflexionsflache in verschiedenen Richtungen
einfallen, wobei sie aber einander an der Reflexionsfläche überlagert sind. Von der Ablenk-Reflexionsflache wird eine
Mehrzahl von Ablenkstrahlen abgegeben. Da die Strahlen an der Reflexionsfläche einander überlagert sind, ist das Ablenkzentrum
für alle diese Lichtstrahlen das gleiche, so daß die Ablenkstrahlen auf einfache Weise mittels eines einzigen
optischen Systems verarbeitet werden können.
809830/0847
Claims (3)
1. Abtastvorrichtung, gekennzeichnet durch eine Ablenkvorrichtung
(3; 20) mit einer Ablenkfläche (P), eine Licht-0 quelle (11, 2; 1,2), die unter gegenseitiger Überlagerung
eine Mehrzahl stationärer Lichtstrahlen aus unterschiedlichen Richtungen auf die Ablenkfläche der Ablenkvorrichtung richtet,
und ein optisches System (21 bis 26) zur Verarbeitung einer Mehrzahl von Abtaststrahlen, die das gleiche Ablenk-Zentrum
haben.
2. Abtastvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle (1', 2; 1,2) ein Linsensystem (2) aufweist, das die Überlagerung der stationären Lichtstrahlen
auf- der Ablenkfläche (P) der Ablenkvorrichtung (3; 20) bewirkt.
VI/12
3 0/0847
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